CN219490132U - 一种薄膜蒸镀器 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供了一种薄膜蒸镀器，包括依次设置的第一蒸镀机构、第二蒸镀机构和第三蒸镀机构，第一蒸镀机构包括第一蒸镀架、以及在所述第一蒸镀架延伸的方向上依次设置的一对放卷辊和一对收卷辊；第二蒸镀机构包括第二蒸镀架，以及在所述第二蒸镀架延伸的方向上依次设置的第一对蒸镀源和第二对蒸镀源；所述第三蒸镀机构包括第三蒸镀架，以及在所述第三蒸镀架延伸的方向上依次设置的第一对转向辊和第二对转向辊。本实用新型实施例仅通三个蒸镀机构即可实现两卷薄膜的蒸镀，提高薄膜的蒸镀效率。

Description

一种薄膜蒸镀器

技术领域

本实用新型涉及薄膜蒸镀技术领域，具体涉及一种薄膜蒸镀器。

背景技术

随着光学薄膜技术以及半导体科技的发展，真空镀膜技术在生产中的应用也越来越广泛与重要，而真空蒸发镀膜是发展最早、最普遍、应用最广泛的真空镀膜工艺。真空蒸发镀膜机的种类很多，型式各异，其中以间歇式真空蒸发镀膜机发展历史最久远，但由于其无法进行连续镀膜、镀膜面积小、生产效率低等缺点，难以满足大面积柔性薄膜镀膜生产的应用，与之相比，连续式卷绕真空镀膜机则由于其速度快、高效率、低成本而逐渐流行，广泛应用于大面积柔性薄膜的生产之中。

柔性薄膜基底材料的选择多种多样，市场上应用广泛的有PC、PI、PVC、PMMA、PET等等，这些材料会受温度升高影响而产生热应力，从而改变其形状，且随着温升增加而变形加剧，而较薄的基膜的热应力形变会更加明显。由于在真空蒸发镀膜中材料蒸发的加热温度普遍在1000℃以上，因此目前常规的卷绕镀膜机只能镀厚度在50微米至200微米之间的常规柔性基膜。

现有技术中，卷绕镀膜在真空镀膜开始前一般需要进行穿膜工序，在现有的卷绕镀膜设备中，大多需要打开真空室，在大气环境下通过人工或者某些机构在卷绕系统中穿膜，这种方法会使基膜和真空镀膜机内部长时间暴露在大气环境中，而现有技术中心每次只能进行一卷薄膜的穿膜，并且空间利用率很低。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例的目的在于提供一种薄膜蒸镀器，以解决现有技术中每次只能生产一卷薄膜且空间利用率低的技术问题。

为达上述目的，本实用新型提供一种薄膜蒸镀器，所述薄膜蒸镀器包括：依次设置的第一蒸镀机构、第二蒸镀机构和第三蒸镀机构，其中，

所述第一蒸镀机构包括：第一蒸镀架、以及在所述第一蒸镀架延伸的方向上依次设置的一对放卷辊和一对收卷辊；

所述第二蒸镀机构包括：第二蒸镀架，以及在所述第二蒸镀架延伸的方向上依次设置的第一对蒸镀源和第二对蒸镀源；

所述第三蒸镀机构包括：第三蒸镀架，以及在所述第三蒸镀架延伸的方向上依次设置的第一对转向辊和第二对转向辊。

在一些可能的实施方式中，还包括第四蒸镀机构，所述第四蒸镀机构设置于所述第二蒸镀机构和所述第三蒸镀机构之间，所述第四蒸镀机构包括：第四蒸镀架，以及在所述第四蒸镀架延伸的方向上依次设置的第三对蒸镀源和第四对蒸镀源；所述第一蒸镀架、所述第二蒸镀架、所述第三蒸镀架和所述第四蒸镀架的中心线在同一水平线上。

在一些可能的实施方式中，所述第一对蒸镀源在竖直方向上的安装高度低于所述一对放卷辊和所述第一对转向辊；

第二对蒸镀源在竖直方向上的安装高度高于所述第一对蒸镀源且低于所述一对收卷辊和所述第二对转向辊；

所述一对放卷辊与所述第一对转向辊的中心轴线在同一水平面上；

所述一对收卷辊与所述第二对转向辊的中心轴线在同一水平面上。

在一些可能的实施方式中，所述第二蒸镀机构还包括：

第一对冷却辊，安装在所述第二蒸镀架上，所述第一对冷却辊的中心轴线与所述一对放卷辊的中心轴线在同一水平面上；

所述第四蒸镀机构还包括：

第二对冷却辊，安装在所述第四蒸镀架上，所述第二对冷却辊的中心轴线与所述第一对转向辊的中心轴线在同一水平面上。

在一些可能的实施方式中，所述第二蒸镀机构还包括：

第一对冷却辊，安装在所述第二蒸镀架上，且所述第一对冷却辊的底部切面与所述一对收卷辊的顶部切面在同一水平面上；

所述第四蒸镀机构还包括：

第二对冷却辊，安装在所述第四蒸镀架上，且所述第二对冷却辊的底部切面与所述第二对转向辊的顶部切面在同一水平面上。

在一些可能的实施方式中，所述第二蒸镀机构还包括：

第一对冷却辊，安装在所述第二蒸镀架上，所述第一对冷却辊的底部切面与所述一对收卷辊的顶部切面在同一水平面上；

所述第四蒸镀机构还包括：

第二对冷却辊，安装在所述第四蒸镀架上，所述第二对冷却辊的中心轴线与所述第一对转向辊的中心轴线在同一水平面上。

在一些可能的实施方式中，所述第二蒸镀机构还包括：

第一对冷却辊，安装在所述第二蒸镀架上，所述第一对冷却辊的中心轴线与所述一对放卷辊的中心轴线在同一水平面上；

所述第四蒸镀机构还包括：

第二对冷却辊，安装在所述第四蒸镀架上，且所述第二对冷却辊的底部切面与所述第二对转向辊的顶部切面在同一水平面上。

在一些可能的实施方式中，所述第三蒸镀机构还包括：

第一对挤压辊和第二对挤压辊，分别转动安装于所述第三蒸镀架上，且所述第一对挤压辊与所述第一对转向辊滚动接触，所述第二对挤压辊分别与所述第二对转向辊滚动接触。

在一些可能的实施方式中，所述第一蒸镀机构还包括：

第三对挤压辊和第四对挤压辊，分别转动安装于所述第一蒸镀架上，所述第三对挤压辊与所述第一对放卷辊滚动接触，所述第四对挤压辊与所述一对收卷辊滚动接触。

上述技术方案的有益效果如下：

本实用新型实施例可以通过一对放卷辊同时对两卷薄膜进行放卷，实现两卷薄膜的蒸镀，解决了现有技术中每次只能进行一卷薄膜的穿膜，使基膜和真空镀膜机内部长时间暴露在大气环境中的技术问题，并且本实用新型实施例中的蒸镀机构均采用竖直设置，不仅提高了空间利用率，还提高薄膜的蒸镀效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的第一种薄膜蒸镀器的主视图；

图2是本实用新型实施例提供的第二种薄膜蒸镀器的主视图；

图3是本实用新型实施例提供的第三种薄膜蒸镀器的主视图；

图4是本实用新型实施例提供的第四种薄膜蒸镀器的主视图；

图5是本实用新型实施例提供的第五种薄膜蒸镀器的主视图；

图6是本实用新型实施例提供的第六种薄膜蒸镀器的主视图；

图7是本实用新型实施例提供的第七种薄膜蒸镀器的主视图；

图8是本实用新型实施例提供的第八种薄膜蒸镀器的主视图；

图9是本实用新型实施例提供的第九种薄膜蒸镀器的主视图；

图10是本实用新型实施例提供的第十种薄膜蒸镀器的主视图；

图11是本实用新型实施例提供的第十一种薄膜蒸镀器的主视图。

附图标号说明：

10、第一蒸镀架；11、一对放卷辊；12、一对收卷辊；13、第三对挤压辊；14、第四对挤压辊；

20、第二蒸镀架；21、第一对蒸镀源；22、第二对蒸镀源；23、第一对冷却辊；24、第三对冷却辊；

30、第三蒸镀架；31、第一对转向辊；32、第二对转向辊；33、第一对挤压辊；34、第二对挤压辊；

40、第四蒸镀架；41、第三对蒸镀源；42、第四对蒸镀源；43、第二对冷却辊；44、第四对冷却辊。

具体实施方式

下面将详细描述本实用新型的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本实用新型的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本实用新型可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本实用新型的示例来提供对本实用新型的更好的理解。在附图和下面的描述中，至少部分的公知结构和技术没有被示出，以便避免对本实用新型造成不必要的模糊；并且，为了清晰，可能夸大了部分结构的尺寸。此外，下文中所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。

实施例一

如图1所示，本实用新型实施例提供一种薄膜蒸镀器，该薄膜蒸镀器包括依次设置的第一蒸镀机构、第二蒸镀机构和第三蒸镀机构，其中，第一蒸镀机构包括第一蒸镀架10、以及在第一蒸镀架10延伸的方向上依次设置的一对放卷辊11和一对收卷辊12；第二蒸镀机构包括第二蒸镀架20，以及在第二蒸镀架20延伸的方向上依次设置的第一对蒸镀源21和第二对蒸镀源22；第三蒸镀机构包括第三蒸镀架30，以及在第三蒸镀架30延伸的方向上依次设置的第一对转向辊31和第二对转向辊32。

本实用新型实施例通过第一蒸镀机构对薄膜进行放卷，通过第一对转向辊31和第二对转向辊32对薄膜进行转向，通过第二蒸镀机构对经过蒸镀源上方的薄膜进行蒸镀。其中，一对放卷辊11包括第一放卷辊和第二放卷辊，对称的设置在第一蒸镀架10的两侧，分别用于对待蒸镀的第一卷薄膜和第二卷薄膜进行放卷；一对收卷辊12包括第一收卷辊和第二收卷辊，对称的设置在第一蒸镀架10的两侧，分别用于对蒸镀后的第一卷薄膜和第二卷薄膜进行收卷；第一对蒸镀源21包括第一蒸镀源和第二蒸镀源，对称的设置在第二蒸镀架20的两侧，分别用于对第一卷薄膜和第二卷薄膜的第一面进行蒸镀，第二对蒸镀源22包括第三蒸镀源和第四蒸镀源，第三蒸镀源和第四蒸镀源对称的设置在第二蒸镀架20的两侧，分别用于对第一卷薄膜和第二卷薄膜的第二面进行蒸镀，第一对转向辊31包括第一转向辊和第二转向辊，第一转向辊和第二转向辊对称的设置在第三蒸镀架30的两侧，第二对转向辊32包括第三转向辊和第四转向辊，第三转向辊和第四转向辊对称的设置在第二蒸镀架20的两侧，分别用于对第一卷薄膜和第二卷薄膜进行转向，使第一面蒸镀后的第一卷薄膜和第二卷薄膜转换为第二面蒸镀。本实用新型实施例提供的薄膜蒸镀器，可以设置在真空腔室中，不仅提高了真空空间的利用率，还可以同时蒸镀两卷薄膜，大大提高了生产效率。另外，本实用新型中蒸镀源的长度与蒸镀薄膜的宽幅相等，可以使得蒸发的气态金属能够均匀地分布于受镀面。

实施例二

在一些实施例中，如图2所示，薄膜蒸镀器还可以包括第四蒸镀机构，第四蒸镀机构设置于第二蒸镀机构和第三蒸镀机构之间，第四蒸镀机构包括第四蒸镀架40，以及在第四蒸镀架40延伸的方向上依次设置的第三对蒸镀源41和第四对蒸镀源42，第三对蒸镀源41和第四对蒸镀源42对称的设置在第四蒸镀架40的两侧；第一蒸镀架10、第二蒸镀架20、第三蒸镀架30和第四蒸镀架40相互平行地设置在同一个水平线上。

通过设置第四蒸镀架40，在第四蒸镀架40上设置第三对蒸镀源41和第四对蒸镀源42，第三对蒸镀源41包括第五蒸镀源和第六蒸镀源，第五蒸镀源和第六蒸镀源对称的设置在第四蒸镀架40的两侧，分别用于对经过第一对蒸镀源21蒸镀后的第一卷薄膜和第二卷薄膜的第一面分别进行第二次蒸镀，第四对蒸镀源42包括第七蒸镀源和第八蒸镀源，第七蒸镀源和第八蒸镀源对称的设置在第四蒸镀架40的两侧，通过第七蒸镀源和第八蒸镀源对第一卷薄膜和第二卷薄膜的第二面进行第一次蒸镀，通过第三蒸镀源和第四蒸镀源蒸镀后的第一卷薄膜和第二卷薄膜的第二面分别进行第二次蒸镀，增加了镀膜厚度，提高了镀膜质量；另外，本实用新型实施例中的第一蒸镀架10、第二蒸镀架20、第三蒸镀架30和第四蒸镀架40竖直设置，不仅占地面积小，而且可以同时蒸镀两卷薄膜。

在一些实施例中，第一对蒸镀源21在竖直方向上的安装高度低于一对放卷辊11和第一对转向辊31；第二对蒸镀源22在竖直方向上的安装高度高于第一对蒸镀源21且低于一对收卷辊12和第二对转向辊32；一对放卷辊11与第一对转向辊31的中心轴线在同一水平面上；一对收卷辊12与第二对转向辊32的中心轴线在同一水平面上。蒸镀时，第一卷薄膜和第二卷薄膜分别经过第一对蒸镀源21和第二对蒸镀源22的上方进行蒸镀，使得蒸镀中的第一卷薄膜和第二卷薄膜在第一对蒸镀源21和第二对蒸镀源22上成水平走带。

实施例三

在一些实施例中，如图3所示，第二蒸镀机构还包括第一对冷却辊23，安装在第二蒸镀架20上，并位于第一对蒸镀源21和第二对蒸镀源22之间，且第一对冷却辊23的中心轴线与一对放卷辊11的中心轴线在同一水平面上；第四蒸镀机构还包括第二对冷却辊43，安装在第四蒸镀架40上，并位于第三对蒸镀源41和第四对蒸镀源42之间，且第二对冷却辊43的中心轴线与第二对转向辊32的中心轴线在同一水平面上。本实用新型中的冷却辊可以为空心辊，在空心辊的中间设置有冷却介质，通过将冷却辊与薄膜接触，更有益于热传导，提高冷却效果。

实施例四

在一些实施例中，如图4所示，第一对冷却辊23的底部切面与一对收卷辊12的顶部切面在同一水平面上，且第二对冷却辊43的底部切面与第二对转向辊32的顶部切面在同一水平面上。

通过设置第一对冷却辊23和第二对冷却辊43，能够对蒸镀中的第一卷薄膜和第二卷薄膜进行冷却，降低蒸发热量对薄膜蒸镀的影响。

实施例五

在一些实施例中，如图5所示，第一对冷却辊23安装于第二蒸镀架20上，且第一对冷却辊23的底部切面与一对收卷辊12的顶部切面在同一水平面上，第二对冷却辊43安装在第四蒸镀架40上，且第二对冷却辊43的中心轴线与第一对转向辊31的中心轴线在同一水平面上；

或者，如图6所示，第一对冷却辊23安装于第二蒸镀架20上，且第一对冷却辊23在竖直方向上的安装高度与一对放卷部11相等，第二对冷却辊43安装在第四蒸镀架40上，且第二对冷却辊43的底部切面与第二对转向辊32的顶部切面在同一水平面上。这样能够使得第一卷薄膜和第二卷薄膜贴合在第一对冷却辊23和第二对冷却辊43上，能够提高冷却效果。

实施例六

在一些实施例中，如图7所示，为了进一步提高冷却效果，还可以设置第三对冷却辊24和第四对冷却辊44，第三对冷却辊24安装在第二蒸镀架20上，第四对冷却辊44安装在第四蒸镀架40上，使得第二蒸镀架20和第四蒸镀架40上分别设置两对冷却辊，即在每对蒸镀源的上放均设置一对冷却辊，以免蒸镀时温度过高烫坏薄膜。

或者如图8所示，还可以只包括第一对冷却辊23和第三对冷却辊24，第一对冷却辊23和第三对冷却辊24分别安装在第二蒸镀架20上，对蒸镀中的薄膜进行冷却。

或者如图9所示，只包括第二对冷却辊43和第四对冷却辊44，第二对冷却辊43和第四对冷却辊44分别安装在第四蒸镀架40上，对蒸镀中的薄膜进行冷却。

实施例七

在一些实施例中，如图10所示，第三蒸镀机构还包括第一对挤压辊33和第二对挤压辊34，分别转动安装于第三蒸镀架30上，且第一对挤压辊33与第一对转向辊31滚动接触，第二对挤压辊34分别与第二对转向辊32滚动接触。通过设置挤压辊，能够给予第一卷薄膜和第二卷薄膜一个挤压力，提高蒸镀材料与薄膜的粘合力。

实施例八

在一些实施例中，如图11所示，第一蒸镀机构还包括第三对挤压辊13和第四对挤压辊14，分别转动安装于第一蒸镀架10上，第三对挤压辊13与第一对放卷辊11滚动接触，第四对挤压辊14与一对收卷辊12滚动接触。

通过设置挤压辊，能够给予第一卷薄膜和第二卷薄膜一个挤压力，提高蒸镀材料与薄膜的粘合力。

本实用新型实施例提供的第一种薄膜蒸镀器的蒸镀原理如下：将待蒸镀的第一卷薄膜和到蒸镀的第二卷薄膜分别安装在一对放卷辊11上；通过多个转向辊对待蒸镀的第一卷薄膜进行转向，使得待蒸镀的第一卷薄膜依次经过多个蒸镀源进行双面的多次连续蒸镀，通过多个转向辊对待蒸镀的第二卷薄膜进行转向，使得待蒸镀的第二卷薄膜依次经过多个蒸镀源进行双面的多次连续蒸镀；通过一对收卷辊12对蒸镀后的第一卷薄膜和第二卷薄膜进行收卷。

具体的，通过一对放卷辊11中的第一放卷辊和第二放卷辊分别对第一卷薄膜和第二卷薄膜进行放卷，通过第一对转向辊31中的第一转向辊和第二转向辊、以及第二对转向辊32中的第三转向辊和第四转向辊分别第一卷薄膜和第二卷薄膜进行导向，使第一卷薄膜和第二卷薄膜依次经过第二蒸镀机构上的第一对蒸镀源21和第二对蒸镀源22分别对第一卷薄膜和第二卷薄膜的第一面和第二面进行蒸镀；

通过一对收卷辊12中的第一收卷辊和第二收卷辊分别对蒸镀后的第一卷薄膜和第二卷薄膜进行收卷。

在一些实施例中，还可以通过设置第四蒸镀机构，并在第四蒸镀机构上设置第三对蒸镀源41和第四对蒸镀源42，通过第一对蒸镀源21对第一卷薄膜和第二卷薄膜的第一面进行第一次蒸镀，通过第三对蒸镀源41对第一对蒸镀源21对第一卷薄膜和第二卷薄膜的第一面进行第二次蒸镀，通过第四对蒸镀源42对第一对蒸镀源21对第一卷薄膜和第二卷薄膜的第二面进行第一次蒸镀，通过第二对蒸镀源22对第一对蒸镀源21对第一卷薄膜和第二卷薄膜的第二面进行第二次蒸镀，通过对薄膜的二次蒸镀，可以在有限的空间和时间内提高镀膜厚度，节省镀膜时间的同时提高镀膜的效率。

本实用新型实施例提供的第二种薄膜蒸镀器的蒸镀原理如下：

将待蒸镀的第一卷薄膜和到蒸镀的第二卷薄膜分别安装在一对放卷辊11上；通过多个转向辊对待蒸镀的第一卷薄膜进行转向，通过多个冷却辊对第一卷薄膜进行冷却，使得待蒸镀的第一卷薄膜依次经过多个蒸镀源进行双面的多次连续蒸镀，通过多个转向辊对待蒸镀的第二卷薄膜进行转向，通过多个冷却辊对第二卷薄膜进行冷却，使得待蒸镀的第二卷薄膜依次经过多个蒸镀源进行双面的多次连续蒸镀；通过一对收卷辊12对蒸镀后的第一卷薄膜和第二卷薄膜进行收卷。

本实用新型实施例提供的第三种薄膜蒸镀器的蒸镀原理如下：

将待蒸镀的第一卷薄膜和到蒸镀的第二卷薄膜分别安装在一对放卷辊11上；通过多个转向辊对待蒸镀的第一卷薄膜进行转向，通过多个冷却辊对第一卷薄膜进行冷却，通过设置多个挤压辊对第一卷薄膜进行挤压，使得待蒸镀的第一卷薄膜依次经过多个蒸镀源进行双面的多次连续蒸镀，通过多个转向辊对待蒸镀的第二卷薄膜进行转向，通过设置多个挤压辊对第一卷薄膜进行挤压，通过多个冷却辊对第二卷薄膜进行冷却，使得待蒸镀的第二卷薄膜依次经过多个蒸镀源进行双面的多次连续蒸镀；通过一对收卷辊12对蒸镀后的第一卷薄膜和第二卷薄膜进行收卷。在蒸镀时设置多个冷却辊对蒸镀中的第一卷薄膜和第二卷薄膜进行冷却，以提高镀膜质量。

另外，在蒸镀时，还可以在转向时，增加多个挤压辊，提高蒸镀材料与薄膜之间的粘合力，另外，在收卷和放卷时，设置挤压辊，还可以在收卷或放卷的过程中薄膜更加平整，使得后续镀膜更加均匀。

需要说明的是，可以根据需要设置多个蒸镀机构，对第一卷薄膜和第二卷薄膜进行多次蒸镀，蒸镀机构的具体数量此处不做限制。

本实用新型实施例的上述技术方案的主要技术效果如下：

1、通过设置多个蒸镀架，将两组镀膜组件分别安装在不同的蒸镀架上，不仅提高了空间的利用率，还可以提高镀膜效率；

2、通过设置多个蒸镀源，可以同时对两卷薄膜的双面进行多次蒸镀，提高镀膜质量。

3、通过设置多个冷却辊，对蒸镀中的薄膜进行冷却，提高了薄膜蒸镀的质量；

4、设置多个挤压辊，不仅可以使薄膜走带更加平整，还可以提高蒸镀材料与薄膜之间的粘合力。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，术语中的“上、下、内和外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一、第二或第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

本实用新型实施例中除非另有明确的规定和限定，术语“安装、相连、连接”应做广义理解，例如：可以是固定连接、可拆卸连接或一体式连接；同样可以是机械连接、电连接或直接连接，也可以通过中间媒介间接相连，也可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

虽然已经参考优选实施例对本实用新型进行了描述，但在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

Claims (10)

1.一种薄膜蒸镀器，其特征在于，所述薄膜蒸镀器包括：依次设置的第一蒸镀机构、第二蒸镀机构和第三蒸镀机构，其中，

所述第一蒸镀机构包括：第一蒸镀架(10)、以及在所述第一蒸镀架(10)延伸的方向上依次设置的一对放卷辊(11)和一对收卷辊(12)；

所述第二蒸镀机构包括：第二蒸镀架(20)，以及在所述第二蒸镀架(20)延伸的方向上依次设置的第一对蒸镀源(21)和第二对蒸镀源(22)；

所述第三蒸镀机构包括：第三蒸镀架(30)，以及在所述第三蒸镀架(30)延伸的方向上依次设置的第一对转向辊(31)和第二对转向辊(32)；

所述一对放卷辊(11)包括第一放卷辊和第二放卷辊，对称的设置在所述第一蒸镀架(10)的两侧，分别用于对待蒸镀的第一卷薄膜和第二卷薄膜进行放卷；所述一对收卷辊(12)包括第一收卷辊和第二收卷辊，对称的设置在所述第一蒸镀架(10)的两侧，分别用于对蒸镀后的第一卷薄膜和第二卷薄膜进行收卷；所述第一对蒸镀源(21)包括第一蒸镀源和第二蒸镀源，对称的设置在所述第二蒸镀架(20)的两侧，分别用于对所述第一卷薄膜和所述第二卷薄膜的第一面进行蒸镀，所述第二对蒸镀源(22)包括第三蒸镀源和第四蒸镀源，所述第三蒸镀源和所述第四蒸镀源对称的设置在所述第二蒸镀架(20)的两侧，分别用于对所述第一卷薄膜和所述第二卷薄膜的第二面进行蒸镀，所述第一对转向辊(31)包括第一转向辊和第二转向辊，所述第一转向辊和所述第二转向辊对称的设置在所述第三蒸镀架(30)的两侧，所述第二对转向辊(32)包括第三转向辊和第四转向辊，所述第三转向辊和所述第四转向辊对称的设置在所述第二蒸镀架(20)的两侧，分别用于对所述第一卷薄膜和所述第二卷薄膜进行转向，使第一面蒸镀后的第一卷薄膜和第二卷薄膜转换为第二面蒸镀。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜蒸镀器，其特征在于，还包括：

第四蒸镀机构，设置于所述第二蒸镀机构和所述第三蒸镀机构之间，所述第四蒸镀机构包括：第四蒸镀架(40)，以及在所述第四蒸镀架(40)延伸的方向上依次设置的第三对蒸镀源(41)和第四对蒸镀源(42)；

所述第一蒸镀架(10)、所述第二蒸镀架(20)、所述第三蒸镀架(30)和所述第四蒸镀架(40)的中心线在同一水平线上。

3.根据权利要求2所述的一种薄膜蒸镀器，其特征在于，

所述第一对蒸镀源(21)在竖直方向上的安装高度低于所述一对放卷辊(11)和所述第一对转向辊(31)；

第二对蒸镀源(22)在竖直方向上的安装高度高于所述第一对蒸镀源(21)且低于所述一对收卷辊(12)和所述第二对转向辊(32)；

所述一对放卷辊(11)与所述第一对转向辊(31)的中心轴线在同一水平面上；

所述一对收卷辊(12)与所述第二对转向辊(32)的中心轴线在同一水平面上。

4.根据权利要求3所述的一种薄膜蒸镀器，其特征在于，

所述第二蒸镀机构还包括：

第一对冷却辊(23)，安装在所述第二蒸镀架(20)上，所述第一对冷却辊(23)的中心轴线与所述一对放卷辊(11)的中心轴线在同一水平面上；

所述第四蒸镀机构还包括：

第二对冷却辊(43)，安装在所述第四蒸镀架(40)上，所述第二对冷却辊(43)的中心轴线与所述第一对转向辊(31)的中心轴线在同一水平面上。

5.根据权利要求3所述的一种薄膜蒸镀器，其特征在于，

所述第二蒸镀机构还包括：

第一对冷却辊(23)，安装在所述第二蒸镀架(20)上，且所述第一对冷却辊(23)的底部切面与所述一对收卷辊(12)的顶部切面在同一水平面上；

所述第四蒸镀机构还包括：

第二对冷却辊(43)，安装在所述第四蒸镀架(40)上，且所述第二对冷却辊(43)的底部切面与所述第二对转向辊(32)的顶部切面在同一水平面上。

6.根据权利要求4所述的一种薄膜蒸镀器，其特征在于，

所述第一对冷却辊(23)的底部切面与所述一对收卷辊(12)的顶部切面在同一水平面上。

7.根据权利要求5所述的一种薄膜蒸镀器，其特征在于，

所述第一对冷却辊(23)的中心轴线与所述一对放卷辊(11)的中心轴线在同一水平面上。

8.根据权利要求6或7所述的一种薄膜蒸镀器，其特征在于所述第二对冷却辊(43)的底部切面与所述第二对转向辊(32)的顶部切面在同一水平面上。

9.根据权利要求8所述的一种薄膜蒸镀器，其特征在于，

所述第三蒸镀机构还包括：

第一对挤压辊(33)和第二对挤压辊(34)，分别转动安装于所述第三蒸镀架(30)上，且所述第一对挤压辊(33)与所述第一对转向辊(31)滚动接触，所述第二对挤压辊(34)分别与所述第二对转向辊(32)滚动接触。

10.根据权利要求9所述的一种薄膜蒸镀器，其特征在于，

所述第一蒸镀机构还包括：

第三对挤压辊(13)和第四对挤压辊(14)，分别转动安装于所述第一蒸镀架(10)上，所述第三对挤压辊(13)与所述第一对放卷辊(11)滚动接触，所述第四对挤压辊(14)与所述一对收卷辊(12)滚动接触。