CN111438356B - 一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法 - Google Patents

一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111438356B
CN111438356B CN202010287561.XA CN202010287561A CN111438356B CN 111438356 B CN111438356 B CN 111438356B CN 202010287561 A CN202010287561 A CN 202010287561A CN 111438356 B CN111438356 B CN 111438356B
Authority
CN
China
Prior art keywords
titanium
powder
aluminum
target material
sheath
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202010287561.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN111438356A (zh
Inventor
李群
许鹏国
李卫
杨海勇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hebei Shenghua New Material Technology Co ltd
Original Assignee
Hebei Shenghua New Material Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hebei Shenghua New Material Technology Co ltd filed Critical Hebei Shenghua New Material Technology Co ltd
Priority to CN202010287561.XA priority Critical patent/CN111438356B/zh
Publication of CN111438356A publication Critical patent/CN111438356A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111438356B publication Critical patent/CN111438356B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00—Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/05—Metallic powder characterised by the size or surface area of the particles
    • B22F1/052—Metallic powder characterised by the size or surface area of the particles characterised by a mixture of particles of different sizes or by the particle size distribution
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
    • B22F3/12—Both compacting and sintering
    • B22F3/14—Both compacting and sintering simultaneously
    • B22F3/15—Hot isostatic pressing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F5/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the special shape of the product
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C14/00—Alloys based on titanium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C21/00—Alloys based on aluminium
    • C22C21/003—Alloys based on aluminium containing at least 2.6% of one or more of the elements: tin, lead, antimony, bismuth, cadmium, and titanium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
    • C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)

Abstract

本发明提供了一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法，该制备方法包括：提供钛粉和铝粉；将所述钛粉和铝粉混合均匀；将混合均匀的粉末装填进入包套；对装满粉末的包套进行除气；将除气完成的包套进行热等静压处理，在高温高压下，粉末在包套内部致密并形成锭坯；将锭坯进行机械加工制成钛铝靶材。制备得到的钛铝靶材有以下优点：(1)靶材材质和密度分布均匀，且致密度高、无气孔；(2)由于没有脆性金属间化合物的生成，靶材机加工性能良好，可实现复杂形状靶材的加工；(3)本发明所提供的钛铝靶材制备方法，可实现熔炼法无法实现的高铝含量的钛铝靶材的生产；(4)相对于热压方法和熔炼方法，可实现大尺寸钛铝靶材的生产。

Description

一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法
技术领域
本发明涉及粉末冶金技术领域，尤其涉及一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法。
背景技术
伴随着物理气相沉积技术的发展与成熟，薄膜及涂层在现代工业中的应用越来越广泛。钛铝靶材通过物理气相沉积技术在工件表面制备氮化物硬质涂层，这种硬质涂层具有高硬度、化学性质稳定、耐高温等特点，从而起到耐磨、防腐、抗氧化等目的，尤其在模具、工具、机械等领域具有广泛的应用。另外，随着现代装饰行业的迅速发展，对装饰材料的颜色及耐磨防腐的要求也越来越高，利用物理气相沉积技术，选用不同原子配比的钛铝靶材，通调整溅射工艺(包括气氛、偏压、温度等阐述)可在工件表面制备出黄色、黑色、玫瑰色等不同颜色的涂层，用于满足对装饰色彩的要求；同时，这种涂层又具有耐磨防腐的功效。
目前钛铝靶材的制作方法主要有粉末冶金和真空熔炼两种方法。中国发明专利ZL200910043144.4公开了一种钛铝合金靶材快速热压烧结成型工艺，中国发明专利ZL201711034130.7公开了一种钛铝合金靶材的制备方法，以上专利均属于采用热压工艺(粉末冶金法)制备钛铝靶材。该方法通过高温下压头施加的压力将材料密实而形成靶材。采用热压工艺存在如下问题：(1)有时需要加入成型剂，这些成型剂很难在后续脱剂工艺中完全去除，这将会引起靶材的污染，最终影响涂层质量。(2)上述专利均选用较高温度进行热压，导致在靶材内部生成硬且脆的金属间化合物，给后续的机械加工带来很多麻烦，甚至会在加工中崩裂，无法生产带有孔和螺纹等复杂形状的靶材。(3)生产厚度大于30毫米以上的靶材时容易引起靶材沿厚度方向密度的差异，当溅射工艺参数确定后，这种密度的差异将引起涂层厚度的变化，最终导致涂层性能的变化。
中国发明专利ZL 201310088019.1公开了一种钛铝合金靶材的生产方法，该方法是采用热等静压工艺(粉末冶金法)制备钛铝靶材，该方法具体工艺为：首先将钛粉铝粉混合，然后对混合均匀的粉末进行冷等静压形成冷压坯料，并通过自蔓延反应将冷压坯料制备成泡沫状钛铝合金，再将泡沫钛铝合金粉碎成一定粒度的粉末，将粉末装入包套，对装满粉末的包套除气并封焊，对封焊完成的包套进行热等静压处理而制备成靶材锭坯，机加工制成靶材。
用冷等静压或其它预压方式确实可以提高包套的装填密度，但是同时带来了其它不良影响：一、增加了生产工序，增加生产成本；二、采用冷等静压需要用到液体介质，这将增加材料被污染的机会；三、采用模压时，较大高度的坯料无法实现，而且容易造成靠近压头的位置粉末致密度大，而远离压头的位置粉末致密度小，热等静压后造成坯料两头尺寸大，而中间尺寸小。
发明内容
鉴于目前钛铝靶材制备中存在的技术问题，本发明提供了一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法，通过本方法制备的钛铝靶材有以下优点：
(1)靶材材质和密度分布均匀，且致密度高、无气孔；
(2)由于没有脆性金属间化合物的生成，靶材机加工性能良好，可实现复杂形状靶材的加工；
(3)本发明所提供的钛铝靶材制造方法，可实现熔炼法无法实现的高铝含量的钛铝靶材的生产；
(4)相对于热压方法和熔炼方法，可实现大尺寸钛铝靶材(长度达2000毫米)的生产；
(5)无需经过冷等静压或其它预压方式，使材料更加纯净，坯料更加均匀，节约成本。
本发明提供的制备钛铝靶材的步骤如下：
步骤(1)，将钛粉、铝粉混合均匀；其中钛粉的粒度为-300目～+500目，纯度99.6％；铝粉的粒度为-200目～+500目，纯度99.6％，铝粉的原子百分比大于等于5％且小于100％；
步骤(2)，将混合均匀的粉末装入包套；
步骤(3)，将装有粉末的包套进行高温除气；除气结束后，将除气管封焊；封焊前应将先除气管砸扁，然后剪断封焊。
步骤(4)，将封焊完成的包套进行热等静压；所述的热等静压保温温度为400～479℃，保温压力为120～150MPa，保温时间2～5h。
步骤(5)，将热等静压完成的包套进行机械加工而制成钛铝靶材。
优选的，所述步骤(1)中所述铝粉原子百分比为40～70％，其余为钛粉。
优选的，步骤(1)中所述混合粉末选用三维混料机或V字型混料机进行混合，混合时加入一定量的直径10～20mm不锈钢球。
优选的，步骤(2)所述的包套材料选用纯铝或铝合金，包套厚度为2～5mm。
优选的，步骤(3)说述的包套除气温度为200～500℃，真空度小于5×10-3Pa方可封焊除气管。
优选的，步骤(3)所述的除气管封焊，封焊前应将先除气管砸扁，然后剪断封焊。
优选的，步骤(4)所述的热等静压保温温度为470℃。
机械加工，可实现熔炼法无法制备的高铝含量靶材的生产。
钛的密度为4.5g/cm3，而铝的密度为2.7g/cm3；当选择钛粉(-300目，+500目)和铝粉(-200目，+500目)有利于粉末的混合均匀；此粒度的钛粉和铝粉混合有助于在装填过程中避免宏观偏析的产生。
封焊时需要先将脱气管剪断，如果直接将脱气管剪断，则空气会迅速进入已经脱气完成的包套；如果将脱气管砸扁，则在砸扁位置剪断脱气管，则阻断了外部空气的进入，保持了包套内部的真空度。
当温度高于510℃时，发生铝热反应，热等静压腔室无法控制，温度会急剧升高，会发生钛铝之间的铝热反应并烧化铝包套皮。
在混料时加入一定量10～20mm的不锈钢球，用以保证钛粉和铝粉混合均匀，而且由于不锈钢球的撞击作用使粉末产生咬合，在装粉过程中避免了偏析的发生。
本发明的有益效果是：
1、本发明选用直接装粉的方式减少了冷等静压或其它预压方式，缩短了生产工序、降低了生产升本、材料不会被污染、可实现较大高度的坯料的加工、坯料两头和中间尺寸均匀；
2、选用合适的粉末粒度以及混料时加入混料球的生产工艺，保证了粉末的均匀性，避免了偏析的产生；
3、选用了低的热等静压温度，使靶材内部无脆性金属间化合物的生成，从而靶材机加工性能良好，可实现复杂形状靶材的加工；
4、封焊前先将除气管砸扁，保证了包套内的真空度，使钛铝靶材元素分布均匀、靶材密度高。
附图说明
图1为本发明实施例1所制备的TiAl(33/67at％)靶材的背散射照片；
图2为本发明实施例2所制备的TiAl(50/50at％)靶材的背散射照片；
图3为本发明中原始粉末与实施例中钛铝靶材的XRD图谱；其中：(1)Ti粉；(2)Al粉；(3)460℃～470℃热等静压Ti33Al67at％靶材；(4)480℃热等静压Ti33Al67at％靶材；
图4a～图4c为本发明实施例中热等静压温度对包套及锭坯可加工性的影响；其中：
图4(a)460～470℃热等静压钛铝锭坯；
图4(b)460～470℃热等静压钛铝成品；
图4(c)480℃热等静压钛铝锭坯。
具体实施方式
下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本公开的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。
实施例1
步骤(1)，称量重量比为46.65份钛粉和53.35份铝粉(对应于原子百分比TiAl33/67at％)，钛粉和铝粉放入V字型混料机中进行混料，其中钛粉的粒度为-300目，+500目，纯度99.6％；铝粉的粒度为-200目，+500目，纯度99.6％。
步骤(2)，将步骤(1)混合均匀的粉末装入3毫米厚度的铝包套。
步骤(3)，将步骤(2)装满粉末的包套放入井式电阻炉中，进行除气；除气温度为350℃，真空度达到2×10-3Pa后再保温10小时；除气完成后，将包套脱气管砸扁并剪断，快速用氩弧焊封焊。
步骤(4)，将步骤(3)脱气完成的包套进行热等静压，热等静压保温温度为460～470℃，保温压力大于120MPa，保温保压时间为4h。
步骤(5)，将步骤(4)热等静压完的包套进行铣皮、线切割、平磨等机械加工工序而制成成品靶材。
图1为实施例1所制备的TiAl(33/67at％)靶材的显背散射照片，图中，白色的部分为钛，黑色的部分为铝，钛和铝的分布均匀，靶材由钛和铝的简单混合组成，无金属间化合物的生成。
实施例2
步骤(1)，称量重量比为63.95份钛粉和36.05份铝粉(对应于原子百分比TiAl50/50at％)，钛粉和铝粉放入V字型混料机中进行混料，其中钛粉的粒度为-300目，+500目，纯度99.6％；铝粉的粒度为-200目，+500目，纯度99.6％。
步骤(2)，将步骤(1)混合均匀的粉末装入3毫米厚度的铝包套。
步骤(3)，将步骤(2)装满粉末的包套放入井式电阻炉中，进行除气；除气温度为350℃，真空度达到2×10-3Pa后再保温12小时；除气完成后，将包套脱气管砸扁并剪断，快速用氩弧焊封焊。
步骤(4)，将步骤(3)脱气完成的包套进行热等静压，热等静压保温温度为460～470℃，保温压力大于120MPa，保温保压时间为4h。
步骤(5)，将步骤(4)热等静压完的包套进行铣皮、线切割、平磨等机械加工工序而制成成品靶材。
图2为实施例2所制备的TiAl(50/50at％)靶材的显背散射照片，图中，白色的部分为钛，黑色的部分为铝，钛和铝的分布均匀，靶材由钛和铝的简单混合组成，无金属间化合物的生成；相对于图1，由于钛含量的增加，所以白色部分占有面积增加。
实施例3
步骤(1)，称量重量比为46.65份钛粉和53.35份铝粉(对应于原子百分比TiAl33/67at％)，钛粉和铝粉放入V字型混料机中进行混料，其中钛粉的粒度为-300目，+500目，纯度99.6％；铝粉的粒度为-200目，+500目，纯度99.6％。
步骤(2)，将步骤(1)混合均匀的粉末装入3毫米厚度的铝包套。
步骤(3)，将步骤(2)装满粉末的包套放入井式电阻炉中，进行除气；除气温度为350℃，真空度达到2×10-3Pa后再保温10小时；除气完成后，将包套脱气管砸扁并剪断，快速用氩弧焊封焊。
步骤(4)，将步骤(3)脱气完成的包套进行热等静压，热等静压保温温度为400℃，保温压力大于120MPa，保温保压时间为4h。
步骤(5)，将步骤(4)热等静压完的包套进行铣皮、线切割、平磨等机械加工工序而制成成品靶材。
实施例4
步骤(1)，称量重量比为46.65份钛粉和53.35份铝粉(对应于原子百分比TiAl33/67at％)，钛粉和铝粉放入V字型混料机中进行混料，其中钛粉的粒度为-300目，+500目，纯度99.6％；铝粉的粒度为-200目，+500目，纯度99.6％。
步骤(2)，将步骤(1)混合均匀的粉末装入3毫米厚度的铝包套。
步骤(3)，将步骤(2)装满粉末的包套放入井式电阻炉中，进行除气；除气温度为350℃，真空度达到2×10-3Pa后再保温12小时；除气完成后，将包套脱气管砸扁并剪断，快速用氩弧焊封焊。
步骤(4)，将步骤(3)脱气完成的包套进行热等静压，热等静压保温温度为480℃，保温压力大于120MPa，保温保压时间为4h。
钛铝粉末在热等静压过程中发生自蔓延反应，生成脆性的金属间化合物，导致锭坯已经无法加工，见图4(c)。
在本发明中，分别测量了不同材质、不同热等静压温度所制备的靶材密度，如表1所示：
表1：
实施例 热等静压工艺 材质 理论密度(g/cm<sup>3</sup>) 实测密度(g/cm<sup>3</sup>)
实施例1 460～470℃、120MPa、4h TiAl33/67at％ 3.32 3.32
实施例2 460～470℃、120MPa、4h TiAl50/50at％ 3.63 3.63
实施例3 400℃、120MPa、4h TiAl33/67at％ 3.32 3.02
由实施例所测量的密度发现，当热等静压温度降低时，锭坯密度会降低；例如实施例3中，当在400℃进行热等静压时，实测锭坯密度只达到理论密度的91％。
在本发明中，还分别检测了Ti粉、Al粉、460～470℃热等静压Ti33Al67at％靶材(实施例1)以及480℃热等静压Ti33Al67at％靶材(实施例4)的XRD图谱。
结果如图3所示，当选用460～470℃对包套进行热等静压，钛铝靶材为钛粉和铝粉的简单混合物，并没有发生元素扩散而生成钛铝金属间化合物；当选用480℃对包套进行热等静压，由于发生了铝热反应而生成了Al2Ti、Al3Ti和AlTi3钛铝金属间化合物。
此外，本发明还分析了不同热等静压温度对包套及锭坯可加工性的影响，结果如图4(a)～图4(c)所示。
对比图4(a)和图4(c)可知：当热等静压温度为460～470℃时(实施例1和实施例2)，包套收缩均匀，包套外皮完整，锭坯可加工性良好；当热等静压温度为480℃时(实施例4)，由于发生了铝热反应，迅速且大量的放热导致铝制包套外皮熔化，而且由于脆性金属间化合物的生成，锭坯可加工性能大大降低，锭坯变硬变脆，无法加工成所需形状。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (6)

1.一种用于物理气相沉积的钛铝靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)将钛粉、铝粉混合均匀；其中钛粉的粒度为-300目～+500目，纯度99.6％；铝粉的粒度为-200目～+500目，纯度99.6％；铝粉原子百分比为40～70％，其余为钛粉；
(2)将步骤(1)所述混合均匀的粉末装入包套；
(3)将步骤(2)所述装满粉末的包套进行高温除气，除气完成后对包套进行封焊；封焊前应先将除气管砸扁，然后剪断封焊；
(4)将步骤(3)所述脱气完成的包套进行热等静压处理；所述的热等静压保温温度为400～479℃，保温压力为120～150MPa，保温时间2～5h；
(5)将步骤(4)所述热等静压完成后形成的锭坯进行机械加工制备成钛铝靶材。
2.如权利要求1所述的一种用于物理气相沉积的钛铝靶材的制备方法，其特征在于：钛粉和铝粉的混合选用三维混料机或V字型混料机进行混合，混合时加入一定量的直径10～20mm不锈钢球。
3.如权利要求1所述的一种用于物理气相沉积的钛铝靶材的制备方法，其特征在于：步骤(2)所述的包套材质选自普通碳钢、不锈钢、铝、铝合金、铜或铜合金的一种。
4.如权利要求1所述的一种用于物理气相沉积的钛铝靶材的制备方法，其特征在于：步骤(3)所述的包套除气温度为200～500℃，真空度小于5×10-3Pa。
5.如权利要求1所述的一种用于物理气相沉积的钛铝靶材的制备方法，其特征在于：步骤(4)所述的热等静压保温温度为470℃。
6.一种用于物理气相沉积的钛铝靶材，采用上述权利要求1-5任一项所述的制备方法制备。
CN202010287561.XA 2020-04-13 2020-04-13 一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法 Active CN111438356B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010287561.XA CN111438356B (zh) 2020-04-13 2020-04-13 一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010287561.XA CN111438356B (zh) 2020-04-13 2020-04-13 一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111438356A CN111438356A (zh) 2020-07-24
CN111438356B true CN111438356B (zh) 2022-02-22

Family

ID=71651674

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010287561.XA Active CN111438356B (zh) 2020-04-13 2020-04-13 一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111438356B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113981388B (zh) * 2021-10-25 2022-10-28 北京安泰六九新材料科技有限公司 一种高致密度TiAl及TiAlMe靶材的制备方法
CN116804265B (zh) * 2023-07-21 2024-01-30 苏州六九新材料科技有限公司 一种CrAlCuFe合金靶材及其制备方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003301264A (ja) * 2002-04-11 2003-10-24 Hitachi Metals Ltd 切削工具の表面皮膜形成用Ｔｉ−Ａｌ合金系ターゲット材およびその製造方法ならびに皮膜コーティング方法
CN101214546A (zh) * 2007-12-26 2008-07-09 安泰科技股份有限公司 一种钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法
CN102352483A (zh) * 2011-11-15 2012-02-15 江苏美特林科特殊合金有限公司 一种真空溅射镀膜用硅铝合金中空旋转靶材的制备方法
CN105328193A (zh) * 2014-08-12 2016-02-17 有研亿金新材料有限公司 一种粉末冶金靶材及其制造方法
CN105478756A (zh) * 2014-09-17 2016-04-13 宁波江丰电子材料股份有限公司 Ti-Al合金的成型方法
EP3323902A1 (de) * 2016-11-22 2018-05-23 Deutsche Edelstahlwerke GmbH Pulvermetallurgisch hergestellter, hartstoffpartikel enthaltender stahlwerkstoff, verfahren zur herstellung eines bauteils aus einem solchen stahlwerkstoff und aus dem stahlwerkstoff hergestelltes bauteil
CN109072419A (zh) * 2016-05-25 2018-12-21 山阳特殊制钢株式会社 溅射靶材
CN110257687A (zh) * 2019-05-31 2019-09-20 河北宏靶科技有限公司 一种含有稀土元素的合金靶材及其制备方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070091274A (ko) * 2004-11-18 2007-09-10 허니웰 인터내셔널 인코포레이티드 3차원 ｐｖｄ 타겟의 형성 방법
JP2010095770A (ja) * 2008-10-17 2010-04-30 Hitachi Metals Ltd Ｔｉ−Ａｌ系合金ターゲット及びその製造方法
CN101524754B (zh) * 2009-04-17 2010-10-13 中南大学 一种钛铝合金靶材快速热压烧结成型工艺
CN103071791B (zh) * 2013-01-18 2015-02-11 航天材料及工艺研究所 一种大长径比TiAl管靶材成形方法
CN103205721B (zh) * 2013-03-19 2015-10-28 昆山海普电子材料有限公司 一种钛铝合金靶材的生产方法
CN104416157B (zh) * 2013-09-11 2019-03-19 安泰科技股份有限公司 钛铝硅合金靶材的制备方法
CN104419846B (zh) * 2013-09-11 2017-09-12 安泰科技股份有限公司 钛铝锆合金靶材及其制备方法
CN109811288A (zh) * 2019-01-23 2019-05-28 上海航天精密机械研究所 快速制备TiAl合金板材的方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003301264A (ja) * 2002-04-11 2003-10-24 Hitachi Metals Ltd 切削工具の表面皮膜形成用Ｔｉ−Ａｌ合金系ターゲット材およびその製造方法ならびに皮膜コーティング方法
CN101214546A (zh) * 2007-12-26 2008-07-09 安泰科技股份有限公司 一种钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法
CN102352483A (zh) * 2011-11-15 2012-02-15 江苏美特林科特殊合金有限公司 一种真空溅射镀膜用硅铝合金中空旋转靶材的制备方法
CN105328193A (zh) * 2014-08-12 2016-02-17 有研亿金新材料有限公司 一种粉末冶金靶材及其制造方法
CN105478756A (zh) * 2014-09-17 2016-04-13 宁波江丰电子材料股份有限公司 Ti-Al合金的成型方法
CN109072419A (zh) * 2016-05-25 2018-12-21 山阳特殊制钢株式会社 溅射靶材
EP3323902A1 (de) * 2016-11-22 2018-05-23 Deutsche Edelstahlwerke GmbH Pulvermetallurgisch hergestellter, hartstoffpartikel enthaltender stahlwerkstoff, verfahren zur herstellung eines bauteils aus einem solchen stahlwerkstoff und aus dem stahlwerkstoff hergestelltes bauteil
CN110257687A (zh) * 2019-05-31 2019-09-20 河北宏靶科技有限公司 一种含有稀土元素的合金靶材及其制备方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
钛铝合金溅射镀膜靶材的研究进展;陈希;《湖南有色金属》;20120131;51-53 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN111438356A (zh) 2020-07-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7383300B2 (ja) 粉末冶金スパッタリングターゲット及びその製造方法
CN103302295B (zh) 一种轧制加工高纯度、高致密度钼合金靶材的方法
CN111926203B (zh) 利用SLM激光打印技术制备叠层结构的纯铜和Cu-Cr-Zr合金的方法
CN111438356B (zh) 一种用于物理气相沉积的钛铝靶材及其制备方法
JP4894008B2 (ja) ＭｏＮｂ系焼結スパッタリングターゲット材の製造方法
CN114481053B (zh) 一种镁锌铝镍钒合金靶材及其制造方法
JP2860064B2 (ja) Ｔｉ−Ａｌ合金ターゲット材の製造方法
CN111549244A (zh) 一种Ti35钛合金铸锭的制备方法
CN110527957A (zh) 一种铝铬硼合金靶材及其制备方法
CN111101105B (zh) 一种钛铝合金靶材的制备方法
CN115058694B (zh) 一种TiAlZr靶材及其制备方法
CN111394705A (zh) 一种钛铝钼合金靶材及其制备方法
CN104416157A (zh) 钛铝硅合金靶材的制备方法
CN111118379B (zh) 一种Co粘结的TiZrNbMoTa难熔高熵合金及其制备方法
JP6037422B2 (ja) Ｎｉ−Ｐ合金又はＮｉ−Ｐｔ−Ｐ合金からなるスパッタリングターゲットの製造方法
JP2005042201A (ja) 微細粒炭化タングステン−コバルト超硬合金を製造する方法
CN113953517A (zh) 一种高致密硬质合金块材的3d打印制备方法
CN116695076B (zh) 一种AlZr复合靶材及其制备方法和应用
CN110670037A (zh) 一种FeAlCoCuNiV高熵合金靶材热等静压成型的制备方法
CN108018463B (zh) 一种在金属材料表面镀膜获得耐高温涂层的铝钛钨三元合金靶材及其制备方法
CN115679282A (zh) 一种钛硅靶材的制备方法
CN105177513A (zh) 一种用粉末冶金法制备高性能钽靶材的方法
CN111438355B (zh) 一种铬铝硅靶材及其制备方法
JPH06264233A (ja) Ｔｆｔ製造用スパッタリングタ−ゲット
JPH0730418B2 (ja) Ｔｉ―Ａｌ系金属間化合物部材の成形法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant