CN111433653A - 激光投影设备 - Google Patents

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CN111433653A CN201880075303.6A CN201880075303A CN111433653A CN 111433653 A CN111433653 A CN 111433653A CN 201880075303 A CN201880075303 A CN 201880075303A CN 111433653 A CN111433653 A CN 111433653A
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Abstract

本发明从一种具有至少一个镜单元的激光投影设备出发，所述至少一个镜单元具有至少一个镜元件(14)和至少一个驱动单元(28)，所述至少一个镜元件设置用于使至少一个待投影的激光束(20)偏转，所述至少一个驱动单元设置用于将至少所述镜元件(14)激发至谐振振动。提出的是，该激光投影设备包括至少一个温度补偿单元(30)，所述至少一个温度补偿单元设置用于检测至少所述镜元件(14)的振动频率并由此求取所述镜单元的温度。

Description

激光投影设备
背景技术
已经提出过一种具有至少一个镜单元的激光投影设备，所述至少一个镜单元具有至少一个镜元件和至少一个驱动单元，所述至少一个镜元件设置用于对至少一个待投影的激光束进行偏转，所述至少一个驱动单元设置用于将至少镜元件激发(anregen)至谐振振动(resonanten Schwingung)。
发明内容
本发明从一种具有至少一个镜单元的激光投影设备出发，所述至少一个镜单元具有至少一个镜元件和至少一个驱动单元，所述至少一个镜元件设置用于对至少一个待投影的激光束进行偏转，所述至少一个驱动单元设置用于将至少镜元件激发至谐振振动。
提出的是，激光投影设备包括至少一个温度补偿单元，所述至少一个温度补偿单元设置用于检测至少镜元件的振动频率并由此求取镜单元的温度。
“镜元件”尤其应理解为对于电磁辐射、尤其对于人眼可见的电磁辐射可反射的元件。镜元件尤其在电磁谱的如下范围内是可反射的：激光投影设备在该范围内发送电磁辐射。优选地，镜元件至少部分地由对电磁辐射进行反射的材料制成。镜元件尤其可以至少部分地由金、银、硅或由本领域技术人员认为有意义的对电磁辐射进行反射的一种另外的材料制成。替代地或附加地可以设想，镜元件在镜元件的表面上具有对电磁辐射进行反射的涂层。优选地，涂层尤其可以至少部分地由金、银、硅或由本领域技术人员认为有意义的对电磁辐射进行反射的一种另外的材料制成。优选地，为了特别高的反射度，镜元件可以附加地具有优选抛光的表面、特别优选高光泽抛光(hochglanzpoliert)的表面。
优选地，镜元件构造为水平镜，该水平镜在激光投影设备中设置用于投影图像的水平行。为了投影图像的水平行，镜元件优选可运动地、尤其可旋转地支承。优选地，镜元件借助机构可运动地、尤其可旋转地支承。优选地，所述机构可以构造为(尤其机械的)弹簧系统。
优选地，镜元件设置用于对至少一个激光束进行偏转。“设置”尤其应理解为专门地编程、设计和/或配置。“对象设置用于确定的功能”尤其应理解为该对象在至少一个应用状态和/或运行状态下实现和/或实施所述确定的功能。优选地，通过激光束的偏转可以将至少一个图像投影到投影面上。优选地，由激光投影设备的辐射源产生激光束。辐射源尤其可以构造为固体激光器、气体激光器、分子激光器或本领域技术人员认为有意义的一种另外的激光辐射源。特别优选地，辐射源构造为激光二极管。激光投影设备尤其可以具有多个激光二极管。优选地，激光投影设备尤其具有在红色光谱范围内进行发射的激光二极管、在绿色光谱范围内进行发射的激光二极管和在蓝色光谱范围内进行发射的激光二极管。
优选地，该驱动单元构造为电磁式、静电式、热电式、压电式或本领域技术人员认为有意义的一种另外的驱动单元。驱动单元尤其可以是能够以电能运行的。优选地，可以借助电驱动信号来操控驱动单元。优选地，驱动单元与镜元件机械地耦合，以激发镜元件的谐振振动。特别优选地，镜元件和驱动单元一件式地构造。优选地，镜元件、驱动单元以及用于镜元件的可旋转支承的机构作为微机电系统(MEMS)布置在单个芯片上。镜元件、驱动单元以及用于镜元件的可旋转支承的机构尤其可以构成MEMS微镜。优选地，MEMS微镜可以相应于镜单元。
优选地，驱动单元尤其至少基本上以镜元件的谐振频率振动。在此，“驱动单元至少基本上以镜元件的谐振频率振动”尤其应理解为驱动单元以这样的频率振动，使得镜元件被谐振地驱动，其中，通过驱动单元与镜元件的机械耦合来补偿可能的摩擦损失。“驱动单元设置用于将至少镜元件激发至谐振振动”尤其应理解为，驱动单元仅仅可以将镜元件激发至谐振振动或者可以将镜元件与其他(尤其与镜元件连接的)构件激发至谐振振动。优选地，单个镜元件的谐振频率不同于具有与镜元件连接的其他构件的镜元件的谐振频率。在镜单元构造为MEMS微镜的情况下，驱动单元尤其将整个镜单元激发至谐振振动。优选地，检测整个镜单元的振动频率、尤其整个镜单元的谐振频率，并由此求取镜单元的温度。
优选地，温度补偿单元与驱动单元连接。优选地，温度补偿单元尤其与驱动单元导电地连接。温度补偿单元可以通过对驱动单元的(尤其电的)信号的检测来检测至少镜元件的振动频率。优选地，所述至少镜元件的振动频率相应于至少镜元件的谐振频率。至少镜元件的振动频率与镜单元的温度成比例。因此，温度补偿单元可以根据至少镜元件的振动频率来求取镜单元的温度。优选地，在镜单元构造为MEMS微镜的情况下，可以通过驱动单元的信号来检测整个镜单元的振动频率。温度补偿单元尤其可以根据整个镜单元的振动频率来求取镜单元的温度。
有利地，可以通过根据本发明的激光投影设备的构型来求取镜单元的温度。尤其可以借助激光投影设备的已经存在的设置用于实现其他功能的构件来求取温度。因此，可以有利地省去用于检测镜单元的温度的附加构件(例如温度传感器)。有利地，激光投影设备可以紧凑且需要很少保养地构造，并且有利地可以成本有利地生产。
此外提出，温度补偿单元具有至少一个计算单元，所述至少一个计算单元设置用于由至少镜元件的振动频率来计算镜单元的温度和/或由至少镜元件的振动频率的变化来计算镜单元的温度的变化。在镜单元构造为MEMS微镜的情况下，所述计算单元尤其设置用于由整个镜单元的振动频率来计算镜单元的温度和/或由镜单元的振动频率的变化来计算镜单元的温度的变化。“计算单元”尤其应理解为如下控制器：该控制器具有处理器、存储单元和/或存储在该存储单元中的运行程序、控制程序和/或计算程序。该处理器尤其可以构造为微处理器。优选地，处理器可以构造为数字信号处理器(DSP)。优选地，计算单元尤其可以构造为专用集成电路或专用集成电路的一部分。有利地，至少镜元件的振动频率与镜单元的温度的相关性的特征曲线被存储在计算单元的存储单元中。根据至少镜元件的所检测的振动频率与特性曲线的比较，计算单元、尤其计算单元的处理器可以借助存储在存储单元中的计算程序来计算镜单元的温度。
优选地，计算单元还设置用于将至少镜元件的在不同时间点检测的振动频率与特性曲线进行比较，并计算镜单元的在不同时间点的温度。如果在不同时间点之间至少镜元件的振动频率已经改变，则计算单元可以由镜元件的振动频率的变化来计算镜单元的温度变化。有利地，可以确定镜单元的温度和/或温度变化。
此外提出，所述激光投影设备包括至少一个频率参考元件，所述至少一个频率参考元件设置用于为温度补偿单元提供至少一个参考频率，该温度补偿单元设置用于根据与参考频率的相关性来求取至少镜元件的振动频率。优选地，频率参考元件构造为石英振荡器。优选地，频率参考元件尤其可以在长的时间段上以参考频率以及以与参考频率非常小的偏差振动。“长的时间段”尤其应理解为如下时间段：该时间段相应于至少一年、优选地相应于至少两年、特别优选地相应于激光投影设备的不包括频率参考元件的整个使用寿命。“非常小的偏差”尤其应理解为小于参考频率的万分之一的偏差。
优选地，参考频率相应于镜元件的谐振频率的倍数。在镜单元构造为MEMS微镜的情况下，参考频率优选地相应于整个镜单元的谐振频率的倍数。尤其可以借助至少一个可调节的非整数分频器(Teiler)从频率参考元件的参考频率推导出至少镜元件的驱动频率。优选地，非整数分频器示为如下物理单元：该物理单元设置用于由具有参考频率的参考信号推导出具有驱动频率的驱动信号。优选地，可以借助多个可调节的非整数分频器由频率参考元件的参考频率推导出至少镜元件的驱动频率。优选地，可以如此调节所述可调节的非整数分频器，使得由参考频率推导出的驱动频率至少基本上相应于至少镜元件的谐振频率。在至少镜元件的谐振频率改变至新的谐振频率的情况下，尤其可以重新校准所述可调节的非整数分频器，使得由参考频率推导出的驱动频率至少基本上相应于所述新的谐振频率。优选地，可调节的非整数分频器的调节值建立频率参考元件的参考频率与至少镜元件的振动频率之间的关系。
优选地，频率参考元件与温度补偿单元连接，以提供参考频率。特别优选地，频率参考元件尤其可以与温度补偿单元导电地连接。优选地，将温度补偿单元的参考频率尤其提供为电信号。优选地，温度补偿单元设置用于使至少镜元件的来自驱动单元的振动频率的信号与来自频率参考元件的参考频率的信号相关。根据两个信号的相关性，温度补偿单元、尤其温度补偿单元的计算单元可以求取至少镜元件的振动频率。优选地，温度补偿单元、尤其温度补偿单元的计算单元可以根据参考频率和可调节的非整数分频器的调节值来计算至少镜元件的振动频率。有利地，可以确定至少镜元件的振动频率。
此外提出，温度补偿单元设置用于根据所求取的温度来补偿至少镜元件的位置识别的由温度决定的偏差。至少镜元件的位置识别在不同温度下尤其可以示出不同的灵敏度。在不同的温度下，尽管至少镜元件的位置相同，但尤其可能识别到至少镜元件的不同位置。在不同的温度下，至少镜元件的位置识别中的相位延迟尤其可能发生改变。通过温度的变化尤其可以引起在至少镜元件的位置识别中的误差。温度补偿单元、尤其温度补偿单元的计算单元设置用于根据镜单元的所求取的温度来计算对于至少镜元件的位置识别的校正系数。温度补偿单元、尤其温度补偿单元的计算单元尤其设置用于计算在不同温度下对于至少镜元件的位置识别的不同的校正系数。温度补偿单元可以借助校正系数来补偿至少镜元件的位置识别的由温度决定的偏差。有利地，可以在不同的温度下确保至少镜元件的正确的位置识别。
此外提出，激光投影设备具有用于至少镜元件的位置识别的至少一个压电测量桥，其中，温度补偿单元设置用于根据所求取的温度来补偿压电测量桥的温度漂移。优选地，压电测量桥至少部分地由压阻材料制成。压电测量桥尤其至少部分地由硅、锗或由本领域技术人员认为有意义的一种另外的压阻材料制成。“材料是压阻的”尤其应理解为，由于作用到材料上的力而引起的材料变形导致材料的电阻变化。优选地尤其借助压电测量桥的电桥电路、特别优选地尤其借助压电测量桥的惠斯通测量桥来探测材料的电阻的变化。优选地，作为压阻材料的电阻变化的结果，压电测量桥的电桥电路提供电压信号。
优选地，为了至少镜元件的位置识别，压电测量桥至少与镜元件连接、尤其机械地连接。在力作用到压电测量桥上时，压电测量桥产生与作用的力成比例的电压信号。在至少镜元件的不同位置中，通过至少镜元件与压电测量桥的耦合来将不同的力施加到压电测量桥上。压电测量桥与所述不同的力成比例地产生不同的电压信号，所述电压信号相应于至少镜元件的不同位置。至少镜元件的位置识别可以通过压电测量桥的电压信号实现。
电压信号不仅取决于作用的力，而且取决于温度。如果镜单元的温度发生变化，则压电测量桥会出现温度漂移。即尽管作用到压电测量桥上的力不变，但压电测量桥的电压信号仍会由于温度变化而发生改变。优选地，温度补偿单元、尤其温度补偿单元的计算单元设置用于根据镜单元的所求取的温度来计算对于压电测量桥的电压信号的校正系数。优选地，温度补偿单元、尤其温度补偿单元的计算单元尤其设置为在镜单元的不同温度下计算对于压电测量桥的电压信号的不同校正系数。温度补偿单元可以借助校正系数来补偿压电测量桥的温度漂移。有利地，借助压电测量桥可以确保在不同温度下的至少镜元件的位置识别。
此外，本发明从一种用于运行根据本发明的激光投影设备的方法出发，该激光投影设备具有至少一个镜单元，所述至少一个镜单元具有至少一个镜元件和至少一个驱动单元，所述至少一个镜元件设置用于对至少一个待投影的激光束进行偏转，所述至少一个驱动单元设置用于将至少镜元件激发至谐振振动。
提出的是，根据至少镜元件的振动频率来求取镜单元的温度。有利地，可以省去用于检测镜单元的温度的附加构件(例如温度传感器)。
此外提出，由至少镜元件的振动频率来计算镜单元的温度和/或由至少镜元件的振动频率的变化来计算镜单元的温度的变化。有利地，可以确定镜单元的温度和/或镜单元的温度的变化。
此外提出，提供参考频率，并且根据与参考频率的相关性来求取至少镜元件的振动频率。有利地，与仅通过驱动单元的信号相比，至少镜元件的振动频率可以被更精确地确定。
此外提出，根据所求取的温度来补偿至少镜元件的位置识别中的由温度决定的偏差。有利地，可以在不同的温度下确保至少镜元件的位置识别。
此外提出，借助压电测量桥执行至少镜元件的位置识别，并且根据所求取的温度来补偿压电测量桥的温度漂移。有利地，借助压电测量桥可以确保在不同温度下的至少镜元件的位置识别。
此外，本发明从具有至少一个根据本发明的激光投影设备的激光投影仪出发，该激光投影设备包括至少一个镜单元，所述至少一个镜单元具有至少一个镜元件和至少一个驱动单元，所述至少一个镜元件设置用于对至少一个待投影的激光束进行偏转，所述至少一个驱动单元设置用于将至少镜元件激发至谐振振动。优选地，激光投影仪还包括对于激光投影仪的运行所必需的其他构件。优选地，激光投影仪尤其包括至少一个能量供给装置、至少一个数据输入端、至少一个图像处理器、至少一个壳体以及本领域技术人员认为有意义的其他构件。有利地，可以提供能够在大的温度范围内使用的激光投影仪。
在此，根据本发明的激光投影设备和/或根据本发明的方法和/或根据本发明的激光投影仪不应限于上述应用和实施方式。根据本发明的激光投影设备和/或根据本发明的方法和/或根据本发明的激光投影仪尤其可以具有与所提及的各个元件、构件和单元以及方法步骤的数量不同的数量，以实现在此描述的功能。此外，在本公开内容中指定的值范围内，位于所述极限内的值也应被认为是公开的且可任意使用。
附图说明
其他优点从以下附图描述中得出。在附图中示出本发明的实施例。附图、说明书和权利要求书包含许多组合形式的特征。本领域技术人员也根据目的单独地考虑这些特征并将其组合成有意义的其他组合。
附图示出：
图1以示意图示出根据本发明的激光投影设备；
图2以方框图示出根据本发明的用于运行激光投影设备的方法；
图3以立体示图示出根据本发明的激光投影仪。
具体实施方式
图1以示意图示出根据本发明的激光投影设备10。激光投影设备10包括第一镜元件12和第二镜元件14。第一镜元件12构造为竖直镜并且围绕第一旋转轴线16可运动地支承。第二镜元件14构造为水平镜并且围绕第二旋转轴线18可运动地支承。镜元件12、14通过未进一步示出的机械弹簧系统围绕旋转轴线16、18可旋转地支承。第一旋转轴线16和第二旋转轴线18基本上彼此垂直地定向。在此，术语“基本上垂直”尤其定义第一旋转轴线16相对于第二旋转轴线18的定向，其中，第一旋转轴线16和第二旋转轴线18——尤其在一平面中观察——形成90°的角度，并且该角度的最大偏差尤其小于8°、有利地小于5°、特别有利地小于2°。
第一镜元件12设置用于将激光束20偏转到竖直方向上。在此，“竖直方向”尤其应理解为至少基本上垂直于第一旋转轴线16的方向。第二镜元件14设置用于将由第一镜元件12偏转的激光束20偏转到水平方向上。为了清楚地表示第二镜元件14的作用方式，第二镜元件14部分透明地示出。在此，“水平方向”尤其应理解为至少基本上垂直于第二旋转轴线18的方向。借助由两个镜元件12、14偏转的激光束20，激光投影设备10将图像22投影到投影面24上。激光束20由辐射源26产生。辐射源26构造为激光二极管。
两个镜元件12、14在其表面上分别具有对于电磁辐射可反射的涂层。可反射的涂层由金制成。替代地，可反射的涂层也可以由银、硅或由本领域技术人员认为有意义的对电磁辐射进行反射的一种另外的材料制成。为了高的反射度，两个镜元件12、14的表面分别被高光泽抛光。为了高的反射度，两个镜元件12、14的表面分别具有足够高的平面度和/或足够低的粗糙度。
第一镜元件12由未进一步示出的驱动单元线性地驱动。第二镜元件14与驱动单元28一件式地构造。第二镜元件14和驱动单元28构造为MEMS微镜50。包括第二镜元件14和驱动单元28的MEMS微镜50形成镜单元。驱动单元28将MEMS微镜50激发至以MEMS微镜50的谐振频率的振动。
与驱动单元28连接有温度补偿单元30。温度补偿单元30通过电线路32与驱动单元28连接。温度补偿单元30可以通过电线路32从驱动单元28检测关于至少第二镜元件14的振动频率的电信号。在本实施例中，温度补偿单元30从驱动单元28检测关于MEMS微镜50的振动频率的电信号。温度补偿单元30设置用于由MEMS微镜50的振动频率来求取镜单元的温度。
温度补偿单元30具有计算单元36，该计算单元布置在温度补偿单元30内并且通过以虚线包围的区域表示。计算单元36设置用于由至少第二镜元件14的振动频率来计算镜单元的温度和/或由至少第二镜元件14的振动频率的变化来计算镜单元的温度的变化。
此外，激光投影设备10包括频率参考元件38。频率参考元件38构造为石英振荡器。频率参考元件38以参考频率振动。参考频率相应于MEMS微镜50在镜单元的准确定义的温度下的谐振频率。频率参考元件38设置用于提供温度补偿单元30的参考频率。频率参考元件38通过电线路40与温度补偿单元30连接，并且向温度补偿单元30提供参考频率作为电信号。
温度补偿单元30设置用于使关于驱动单元28的MEMS微镜50的振动频率的电信号与关于频率参考元件38的参考频率的电信号相关。温度补偿单元30可以根据两个电信号的相关性来求取MEMS微镜50的振动频率。
此外，温度补偿单元30设置用于根据镜单元的所求取的温度来补偿至少第二镜元件14的位置识别的由温度决定的偏差。为了至少第二镜元件14的位置识别，镜单元具有压电测量桥34。压电测量桥34构造为具有至少一个压阻元件的惠斯通测量桥。压电测量桥34与第二镜元件14机械地连接。第二镜元件14的不同位置通过机械耦合将不同的力施加到压电测量桥34上，这导致压电测量桥34的不同的电压信号。温度补偿单元30可以通过电线路42检测压电测量桥34的电压信号。压电测量桥34的电压信号也可以由于镜单元的温度变化而发生改变。产生压电测量桥34的温度漂移。温度补偿单元30设置用于根据所求取的镜单元的温度来补偿压电测量桥34的温度漂移。温度补偿单元30的计算单元36可以根据所求取的镜单元的温度变化来计算校正系数。为了补偿压电测量桥34的温度漂移，温度补偿单元30的计算单元36可以将校正系数考虑到压电测量桥34的电压信号中。
图2以方框图示出根据本发明的用于运行激光投影设备10的方法。在方框图中示出激光投影设备10的镜单元、温度补偿单元30、压电测量桥34和频率参考元件38。镜单元包括第二镜元件14和驱动单元28。第二镜元件14和驱动单元28与未进一步示出的机械弹簧系统一起形成MEMS微镜50。温度补偿单元30具有计算单元36。
在一个方法步骤中，根据MEMS微镜50的振动频率来求取镜单元的温度。借助温度补偿单元30来求取镜单元的温度。借助温度补偿单元30从驱动单元28检测关于第二镜元件14的振动频率的信号。在温度补偿单元30的计算单元36的存储单元中存储有关于MEMS微镜50的振动频率对镜单元的温度的相关性的特征曲线。借助计算单元36，根据所检测的MEMS微镜50的振动频率并且根据特征曲线来计算镜单元的温度。
在另一方法步骤中，由MEMS微镜50的振动频率计算镜单元的温度和/或由MEMS微镜50的振动频率的变化计算镜单元的温度的变化。对镜单元的温度的计算类似于上述方法步骤地进行。为了计算镜单元的温度的变化，借助温度补偿单元30在两个不同的时间点根据MEMS微镜50的振动频率来求取镜单元的温度。如果MEMS微镜50的振动频率在两个时间点之间已经发生改变，则镜单元的温度也发生改变，并且可以借助温度补偿单元30的计算单元36来计算镜单元的温度的变化。
在另一方法步骤中，提供参考频率，并且根据与参考频率的相关性来求取MEMS微镜50的振动频率。借助频率参考元件38将参考频率提供给温度补偿单元30。借助温度补偿单元30的计算单元36将来自驱动单元28的关于MEMS微镜50的振动频率的信号与参考频率相关。根据与参考频率的相关性来求取MEMS微镜50的振动频率。
在另一方法步骤中，根据所求取的温度来补偿第二镜元件14的位置识别中的由温度决定的偏差。由于温度的变化，可能导致第二镜元件14的位置识别的偏差。根据所求取的温度，借助温度补偿单元30的计算单元36来计算对于第二镜元件14的位置识别的校正系数。通过温度补偿单元30借助校正系数来补偿第二镜元件14的位置识别的由温度决定的偏差。
在另一方法步骤中，借助压电测量桥34执行第二镜元件14的位置识别，并且根据所求取的温度来补偿压电测量桥34的温度漂移。借助压电测量桥34，由第二镜元件14施加到压电测量桥34上的不同的力被检测到并被转换成不同的电压信号。不同的电压信号相应于第二镜元件14的不同位置。在温度改变的情况下，压电测量桥34具有温度漂移。根据所求取的温度，通过借助温度补偿单元30产生的对于电压信号的校正系数来补偿压电测量桥34的温度漂移。
图3以立体视图示出根据本发明的激光投影仪44。激光投影仪44包括激光投影设备10。激光投影设备10布置在激光投影仪44的壳体46内并且通过以虚线包围的区域表示。激光投影设备10布置在激光投影仪44的主板48上。

Claims (11)

1.一种激光投影设备，所述激光投影设备具有至少一个镜单元，所述至少一个镜单元具有至少一个镜元件(14)和至少一个驱动单元(28)，所述至少一个镜元件设置用于对至少一个待投影的激光束(20)进行偏转，所述至少一个驱动单元设置用于将至少所述镜元件(14)激发至谐振振动，其特征在于至少一个温度补偿单元(30)，所述至少一个温度补偿单元设置用于检测至少所述镜元件(14)的振动频率并由此求取所述镜单元的温度。
2.根据权利要求1所述的激光投影设备，其特征在于，所述温度补偿单元(30)具有至少一个计算单元(36)，所述至少一个计算单元设置用于由至少所述镜元件(14)的振动频率来计算所述镜单元的温度和/或由至少所述镜元件(14)的振动频率的变化来计算所述镜单元的温度的变化。
3.根据权利要求1或2所述的激光投影设备，其特征在于至少一个频率参考元件(38)，所述至少一个频率参考元件设置用于为所述温度补偿单元(30)提供至少一个参考频率，所述温度补偿单元设置用于根据与所述参考频率的相关性来求取至少所述镜元件(14)的振动频率。
4.根据以上权利要求中任一项所述的激光投影设备，其特征在于，所述温度补偿单元(30)设置用于根据所求取的温度来补偿至少所述镜元件(14)的位置识别的由温度决定的偏差。
5.根据以上权利要求中任一项所述的激光投影设备，其特征在于至少一个压电测量桥(34)，所述至少一个压电测量桥用于至少所述镜元件(14)的位置识别，其中，所述温度补偿单元(30)设置用于根据所求取的温度来补偿所述压电测量桥(34)的温度漂移。
6.一种用于运行激光投影设备(10)的方法，所述激光投影设备尤其是根据以上权利要求中任一项所述的激光投影设备，所述激光投影设备具有至少一个镜单元，所述至少一个镜单元具有至少一个镜元件(14)和至少一个驱动单元(28)，所述至少一个镜元件设置用于对至少一个待投影的激光束(20)进行偏转，所述至少一个驱动单元设置用于将至少所述镜元件(14)激发至谐振振动，其特征在于，根据至少所述镜元件(14)的振动频率来求取所述镜单元的温度。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，由至少所述镜元件(14)的振动频率来计算所述镜单元的温度和/或由至少所述镜元件(14)的振动频率的变化来计算所述镜单元的温度的变化。
8.根据权利要求6或7所述的方法，其特征在于，提供参考频率，并且根据与所述参考频率的相关性来求取至少所述镜元件(14)的振动频率。
9.根据权利要求6至8中任一项所述的方法，其特征在于，根据所求取的温度来补偿至少所述镜元件(14)的位置识别的由温度决定的偏差。
10.根据权利要求6至9中任一项所述的方法，其特征在于，借助压电测量桥(34)执行至少所述镜元件(14)的位置识别，并且根据所求取的温度来补偿所述压电测量桥(34)的温度漂移。
11.一种激光投影仪，所述激光投影仪具有至少一个根据权利要求1至5中任一项所述的激光投影设备(10)，所述激光投影设备包括至少一个镜单元，所述至少一个镜单元具有至少一个镜元件(14)和至少一个驱动单元(28)，所述至少一个镜元件设置用于对至少一个待投影的激光束(20)进行偏转，所述至少一个驱动单元设置用于将至少所述镜元件(14)激发至谐振振动。
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