CN111352531A - 触控显示面板及其制作方法和触控显示装置 - Google Patents
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Abstract
本发明实施例公开了一种触控显示面板极其制作方法和显示装置，其中触控显示面板包括触控功能层；触控功能层包括触控电极层，触控电极层包括用于形成触控电极的至少一层金属层；触控功能层还包括与金属层一一对应的绝缘层，绝缘层为对应的金属层靠近显示功能层的一侧的相邻膜层，至少一层绝缘层为叠层结构绝缘层，叠层结构绝缘层包括沿显示功能层至对应的金属层方向层叠设置的有机绝缘层和无机绝缘层；使得无机绝缘层的厚度可以相应减小，进而有利于提升触控显示面板的柔性性能；并且可避免金属层与有机绝缘层中水汽反应生成金属氧化物造成的刻蚀残留，也可避免形成金属层时，金属离子进入到有机绝缘层造成的刻蚀残留，进而避免发生短路。
Description
技术领域
本发明实施例涉及触控显示技术领域，尤其涉及一种触控显示面板及其制作方法和触控显示装置。
背景技术
随着显示技术的发展，对显示面板的柔性性能要求也越来越高。
现有技术中，显示面板中通常包括触控功能层，其中具备金属网格触控电极结构的触控功能层以其超薄，价格低的优势而被广泛应用。现有技术中触控电极的下层膜层通常为无机层或有机层。然而，触控电极的下层膜层采用无机层时，存在弯折时触控功能层中无机层较为容易断裂的问题；触控电极的下层膜层采用有机层时，存在触控功能层刻蚀时金属刻蚀残留，导致产品短路的问题。
发明内容
本发明提供一种触控显示面板及其制作方法和触控显示装置，以实现提高触控显示面板的柔性性能，提高产品良率和可靠性。
第一方面，本发明实施例提供了一种触控显示面板，包括：
显示功能层，显示功能层包括基底和位于基底一侧的发光器件层以及覆盖发光器件层的薄膜封装层；
触控功能层，位于显示功能层的出光侧；触控功能层包括触控电极层，
触控电极层包括用于形成触控电极的至少一层金属层；
触控功能层还包括与金属层一一对应的绝缘层，绝缘层为对应的金属层靠近显示功能层的一侧的相邻膜层；
至少一侧绝缘层为叠层结构绝缘层，叠层结构绝缘层包括沿显示功能层至对应的金属层方向层叠设置的有机绝缘层和无机绝缘层。
可选的，无机绝缘层的厚度为100-800埃，有机绝缘层的厚度为1-4微米。
可选的，触控电极层包括第一金属层和第一金属层远离显示功能层一侧的第二金属层，触控功能层还包括与第一金属层对应的第一绝缘层和与第二金属层对应的第二绝缘层，第一绝缘层位于第一金属层与显示功能层之间，第二绝缘层位于第一金属层和第二金属层之间；
第一绝缘层和第二绝缘层中一者为叠层结构绝缘层，另一者为单层无机绝缘层。
可选的，触控电极层包括第一金属层和第一金属层远离显示功能层一侧的第二金属层，触控功能层还包括与第一金属层对应的第一绝缘层和与第二金属层对应的第二绝缘层，第一绝缘层位于第一金属层与显示功能层之间，第二绝缘层位于第一金属层和第二金属层之间；
第一绝缘层和第二绝缘层均为叠层结构绝缘层。
可选的，触控电极包括第一触控电极和第二触控电极，第一触控电极沿第一方向延伸，第二触控电极沿第二方向延伸，第一方向和第二方向相交；第一触控电极位于第二金属层；
第二触控电极包括位于第二金属层的多个子触控电极部，子触控电极部位于第一触控电极的第一方向上的两侧并与第一触控电极间隔设置；
第二触控电极还包括位于第一金属层包括多个搭接部，第一触控电极两侧的子触控电极部通过贯穿第二绝缘层的过孔与搭接部电连接；
优选的，第一触控电极和第二触控电极为金属网格电极或者条状电极。
可选的，第一触控电极位于第二金属层且沿第一方向延伸，第二触控电极位于第一金属层且沿第二方向延伸，第一方向与第二方向相交；
优选的，第一触控电极和第二触控电极为金属网格电极或条状电极。
可选的，金属层包括触控电极图案，沿触控显示面板厚度方向上，叠层结构绝缘层中无机绝缘层在显示功能层的正交投影与叠层结构绝缘层对应的金属层中触控电极图案在显示功能层上的正交投影重合。
可选的，显示功能层包括显示区和非显示区，非显示区包括至少一道挡墙，挡墙围绕显示区设置；
在非显示区内还包括位于至少一层金属层中的触控走线，触控走线位于挡墙远离显示功能层的一侧，触控走线与触控电极电连接。
第二方面，本发明实施例还提供了一种触控显示面板的制作方法，该触控显示面板的制作方法，包括：
在显示功能层的出光侧形成触控功能层，触控功能层包括触控电极层；触控电极层包括用于形成触控电极的至少一层金属层；触控功能层还包括与金属层一一对应的绝缘层，绝缘层为对应的金属层靠近显示功能层的一侧的相邻膜层，至少一层绝缘层为叠层结构绝缘层，叠层结构绝缘层包括沿显示功能层至对应的金属层方向层叠设置的有机绝缘层和无机绝缘层；
显示功能层包括基底和位于基底一侧的发光器件层以及覆盖发光器件层的薄膜封装层。
第三方面，本发明实施例还提供了一种触控显示装置，包括第一方面提供的触控显示面板。
本发明实施例提供了触控显示面板极其制作方法和显示装置，其中触控显示面板包括触控功能层，位于显示功能层的出光侧；触控功能层包括触控电极层包括触控功能层，触控电极层包括用于形成触控电极的至少一层金属层；触控功能层还包括与金属层一一对应的绝缘层，绝缘层为对应的金属层靠近显示功能层的一侧的相邻膜层，至少一层绝缘层为叠层结构绝缘层，叠层结构绝缘层包括沿显示功能层至对应的金属层方向层叠设置的有机绝缘层和无机绝缘层；使得无机绝缘层的厚度可以相应减小，进而有利于提升触控显示面板的柔性性能，进而有利于减少弯折时无机绝缘层的断裂；并且无机绝缘层可以起到隔离有机绝缘层与金属层的作用，使得有机绝缘层不会与金属层接触，进而避免金属层与有机绝缘层中水汽反应生成金属氧化物造成的刻蚀残留，也可避免形成金属层时，金属离子进入到有机绝缘层造成的刻蚀残留，进而避免发生短路，提高触控显示面板的良率和可靠性；并且可以使得在无机绝缘层沉积过程中，有机绝缘层的水汽被排出，避免水汽与金属层反应，进而有利于进一步提升触控显示面板的可靠性。
附图说明
图1是本发明实施例提供的一种触控显示面板的俯视图；
图2是本发明实施例提供的一种触控显示面板的剖视图；
图3是本发明实施例提供的另一种触控显示面板的剖视图；
图4是本发明实施例提供的另一种触控显示面板的剖视图；
图5是本发明实施例提供的另一种触控显示面板的俯视图；
图6是本发明实施例提供的另一种触控显示面板的剖视图；
图7是本发明实施例提供的另一种触控显示面板的剖视图；
图8是本发明实施例提供的另一种显示面板的结构示意图；
图9是本发明实施例提供的一种触控显示面板的制作方法的流程图；
图10是本发明实施例提供的一种触控显示装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
正如背景技术中所述，现有技术的显示面板触控电极的下层膜层采用无机层时，存在弯折时触控功能层中无机层较为容易断裂的问题，触控电极的下层膜层采用有机层时，存在触控功能层刻蚀时金属刻蚀残留，导致产品短路的问题。经发明人研究发现，出现上述问题的原因在于，现有技术大部分显示面板中，触控功能层中的大部分触控电极的下层结构为无机膜层，现有技术中无机膜层较厚，而无机膜层的柔性通常较差，使得显示面板在弯折过程中无机膜层出现断裂。现有技术的少部分显示面板中，触控功能层中触控电极的下层结构为有机膜层，而有机膜层的材料自身具有较强的吸水性，因此有机膜层中的水汽会与触控功能层中的金属膜层反应生成金属氧化物，导致刻蚀困难造成刻蚀残留，特别是在膜层结构凹凸不平形成台阶区的位置处，金属膜层会比较厚，刻蚀残留问题会更加严重；并且在等离子体沉积(Plasma)金属膜层时，由于有机膜层耐Plasma性能差，使得金属离子会进入到有机膜层中，进一步导致刻蚀残留问题。
基于上述原因，本发明实施例提供的一种触控显示面板，图1是本发明实施例提供的一种触控显示面板的俯视图，图2是本发明实施例提供的一种触控显示面板的剖视图，其中图2所示剖视图可对应图1沿剖面线A-A’剖切得到，参考图1和图2，该触控显示面板包括：
显示功能层100，显示功能层100包括基底110和位于基底110一侧的发光器件层120以及覆盖发光器件层120的薄膜封装层130；
触控功能层200，位于显示功能层100的出光侧；触控功能层200包括触控电极层210，触控电极层210包括用于形成触控电极的至少一层金属层；
触控功能层200还包括与金属层一一对应的绝缘层，绝缘层为对应的金属层靠近显示功能层100的一侧的相邻膜层，至少一层绝缘层为叠层结构绝缘层，叠层结构绝缘层包括沿显示功能层100至对应的金属层方向层叠设置的有机绝缘层和无机绝缘层。
具体的，显示功能层100即用于实现显示功能的膜层，其中显示功能层100中基底110可以为显示装置提供缓冲、保护或支撑等作用。基底110可以是柔性基底，柔性基底的材料可以是聚酰亚胺(PI)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)或者聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)等，也可以是上述多种材料的混合材料。基底110也可以为采用玻璃等材料形成的硬质基底。
发光器件层120可以是包括多个有机发光器件的有机发光器件层，也可以是包括多个无机发光器件(例如Micro-LED)的无机发光器件层，本实施例在此不做具体限定。发光器件层120中可以包括多种颜色的发光器件，例如红色发光器件、绿色发光器件和蓝色发光器件等。
薄膜封装层130可以包括至少一层有机层和至少一层无机层，薄膜封装层130可对发光器件层120进行封装，进而避免发光器件层120的发光器件收到水氧侵蚀，延长触控显示面板的使用寿命。
触控功能层200用于实现触控显示面板的触控功能，参考图1，图1以触控电极包括相互绝缘的第一触控电极213和第二触控电极214，且第一触控电极213和第二触控电极214为金属网格触控电极进行了示出。图1和图2以触控电极层210包括两层金属层，分别记为第一金属层211和第二金属层212进行示出，相应的，触控功能层中绝缘层也包括两层，以触控功能层210还包括与第一金属层211对应的第一绝缘层230以及与第二金属层对应的第二绝缘层220为例进行示出，第一绝缘层230位于第一金属层211与显示功能层100之间，第二绝缘层220位于第二金属层212与第一金属层211之间。其中，第一绝缘层230可复用为显示功能层100与触控功能层200的缓冲层。
参考图1和图2，触控功能层200可位于薄膜封装层130远离基底110的一侧，其中第一触控电极213和第二触控电极214位于第一金属层211和第二金属层212中的至少一层中，示例性的，第一触控电极213和第二触控电极214中一者位于第一金属层211中，另一者位于第二金属层212中；也可第一触控电极213和第二触控电极214中一者形成于第一金属层211和第二金属层212中的一个金属层中，另一者可形成于两个金属层中，即如图1和图2所示出情况，第一触控电极213形成于第二金属层212中，第二触控电极214可包括触控电极部2121和搭接部2111，其中触控电极部2121位于第二金属层212中，搭接部2111位于第一金属层211中，触控电极部2121和搭接部2111通过贯穿第二绝缘层220的过孔电连接，过孔中可填充第二金属层212的材料。参考图1，在第一触控电极213与第二触控电极214在显示功能层100上投影交叉点可形成电容，当人手等触控该触控显示面板时，对应于触控位置的第一触控电极213与第二触控电极214的交叉点处电容将会发生变化，触控显示面板可确定触控位置并执行相应动作。
参考图2，以第二绝缘层220为叠层结构绝缘层为例，该第二绝缘层220包括自第一金属层211至第二金属层212层叠设置的有机绝缘层221和无机绝缘层222，其中有机绝缘层221的材料可以是聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯等，无机绝缘层222的材料可以是氧化硅或氮化硅等。因有机绝缘层221即可以起到第一金属层211和第二金属层212之间的绝缘作用，因此使得无机绝缘层222的厚度可以相应减小，因无机绝缘层222的柔性较差，因此设置无机绝缘层222厚度减小有利于提高触控显示面板的柔性性能；有机绝缘层221柔性性能较佳，因此设置第二绝缘层220包括有机绝缘层221可进一步提升触控显示面板的柔性性能。可选的，无机绝缘层222的厚度小于有机绝缘层221的厚度。并且，因无机绝缘层222设置于第二金属层212与有机绝缘层221之间，而无机绝缘层222的无机材料通常具有良好的隔水性能，因此无机绝缘层222可以起到隔离有机绝缘层221与第二金属层212的作用，使得有机绝缘层221不会与第二金属层212接触，进而避免第二金属层212与有机绝缘层221中水汽反应生成金属氧化物(例如第二金属层212为Ti/Al/Ti时，水汽会与Ti反应生成氧化钛)造成的刻蚀残留，也可避免形成第二金属层212时，金属离子进入到有机绝缘层221造成的刻蚀残留，进而避免发生短路，提高触控显示面板的良率和可靠性；并且，因在无机绝缘层222的沉积过程中，需要进行加热和等离子体沉积等工艺，可以使得在无机绝缘层222沉积过程中，有机绝缘层221的水汽被排出，避免水汽与第一金属层211或第二金属层212反应，进而有利于进一步提升触控显示面板的可靠性。
需要说明的是，图2仅以第二绝缘层220为叠层结构绝缘层为例进行了示意性示出，第一绝缘层230也可为叠层结构绝缘层，当第一绝缘层230为叠层结构绝缘层时，也可具备提高显示面板柔性性能以及减少刻蚀残留的作用。本发明实施例在此不做具体限定。
还需说明的是，例如当显示面板中绝缘层包括非叠层结构绝缘层时，非叠层结构绝缘层其可以是无机材料构成，也可以是有机材料构成，本实施例在此不做具体限定。
另外，触控电极层210中的金属膜层并不限于图2所示的两层金属层，触控电极层210也可仅包括一层金属层或更多层金属层，本实施例在此不做具体限定。
本实施例提供的触控显示面板，包括触控功能层，触控电极层包括用于形成触控电极的至少一层金属层；触控功能层还包括与金属层一一对应的绝缘层，绝缘层为对应的金属层靠近显示功能层的一侧的相邻膜层，至少一层绝缘层为叠层结构绝缘层，叠层结构绝缘层包括沿显示功能层至对应的金属层方向层叠设置的有机绝缘层和无机绝缘层；使得无机绝缘层的厚度可以相应减小，进而有利于提升触控显示面板的柔性性能，进而有利于减少弯折时无机绝缘层的断裂；并且无机绝缘层可以起到隔离有机绝缘层与金属层的作用，使得有机绝缘层不会与金属层接触，进而避免金属层与有机绝缘层中水汽反应生成金属氧化物造成的刻蚀残留，也可避免形成金属层时，金属离子进入到有机绝缘层造成的刻蚀残留，进而避免发生短路，提高触控显示面板的良率和可靠性；并且可以使得在无机绝缘层沉积过程中，有机绝缘层的水汽被排出，避免水汽与金属层反应，进而有利于进一步提升触控显示面板的可靠性。
继续参考图2，在上述技术方案的基础上，可选的，无机绝缘层222的厚度d1为100-800埃。示例性的，无机绝缘层222的厚度d1可以是100埃，也可是800埃，还可以是100埃至800埃之间的任意一个厚度，例如400埃。无机绝缘层222的厚度d1为100-800埃，可以使得无机绝缘层222的厚度d1较薄，进而有利于提升触控显示面板的柔性性能，进而减少触控显示面板进行弯折时无机绝缘层222的断裂。
需要说明的是，在确定无机绝缘层222的厚度时，可综合考虑无机绝缘层222的膜层均一性，以及无机绝缘层222下侧有机绝缘层221的干刻损失，并结合对无机绝缘层222所受应力的仿真在100-800埃的范围内进行选取。
可选的，有机绝缘层221的厚度d2为1-4微米。
具体的，因无机绝缘层222的厚度d1较薄，为保证绝缘层220良好的绝缘性能，有机绝缘层221的厚度d2相较于无机绝缘层222的厚度d1通常较厚。具体的，设置有机绝缘层221的厚度d2为1-4微米，可以保证整个绝缘层220良好绝缘性能的基础上，使得整个有机绝缘层221的厚度不会过厚，进而保证触控显示面板的薄型化。并且，需要说明的是，有机绝缘层221的厚度设置需考虑应力测试时触控显示面板的应力中心数据，使得触控显示面板在承受一定的应力时，不会出现损坏。
继续参考图1和图2，在上述技术方案的基础上，可选的，触控电极层210包括第一金属层211和第一金属层211远离显示功能层100一侧的第二金属层212，触控功能层210还包括与第一金属层211对应的第一绝缘层230和与第二金属层212对应的第二绝缘层220，第一绝缘层220位于第一金属层211与显示功能层100之间，第二绝缘层220位于第一金属层210和第二金属层220之间；
第一绝缘层230和第二绝缘层220中一者为叠层结构绝缘层，另一者为单层无机绝缘层。
图2以第二绝缘层220为叠层结构绝缘层，第一绝缘层230为单层无机绝缘层为例示出，第二绝缘层220包括自第一金属层211至第二金属层212层叠设置的有机绝缘层221和无机绝缘层222，进而起到上述实施例中减少弯折过程中叠层结构绝缘层中无机绝缘层222的断裂，提高触控显示面板柔性性能，以及减少第二金属层212的刻蚀残留，保证触控显示面板的可靠性的作用；第一绝缘层230为单层无机绝缘层，相对于叠层结构绝缘层来说，可以使得触控显示面板结构更加简单，相应的，使得制备触控显示面板的工艺更加简化。
需要说明的是，图2所示结构，即第二绝缘层220为叠层结构绝缘层，第一绝缘层230为单层无机绝缘层仅是一个具体示例，还可将第一绝缘层230设置为叠层结构绝缘层，第二绝缘层220设置为单层无机绝缘层，该结构可具备减少弯折过程中叠层结构绝缘层中无机绝缘层的断裂，提高触控显示面板柔性性能，以及减少第一金属层230的刻蚀残留，保证触控显示面板的可靠性的作用；使得制备触控显示面板的工艺更加简化的效果。
因此，本实施例提供的显示面板，通过设置触控电极层210包括第一金属层211和第一金属层211远离显示功能层100一侧的第二金属层212，触控功能层210还包括与第一金属层211对应的第一绝缘层230和与第二金属层212对应的第二绝缘层220，第一绝缘层220位于第一金属层211与显示功能层100之间，第二绝缘层220位于第一金属层210和第二金属层220之间；第一绝缘层230或第二绝缘层220中一者为叠层结构绝缘层，另一者为单层无机绝缘层，可以减少触控显示面板中部分无机绝缘层(叠层结构绝缘层的无机绝缘层)的断裂，在提高显示面板柔性性能，减少部分金属层的刻蚀残留的基础上，使得触控显示面板的制备工艺较为简化。
图3是本发明实施例提供的另一种触控显示面板的剖视图，图3可对应图1沿剖面线A-A’剖切得到的另一种剖视图，参考图1和图3，触控电极层210包括第一金属层211和第一金属层211远离显示功能层100一侧的第二金属层212，触控功能层210还包括与第一金属层211对应的第一绝缘层230和与第二金属层212对应的第二绝缘层220，第一绝缘层220位于第一金属层211与显示功能层100之间，第二绝缘层220位于第一金属层210和第二金属层220之间；第一绝缘层230和第二绝缘层220均为叠层结构绝缘层。
参考图3，第一绝缘层230包括沿显示功能层100至第一绝缘层230对应的第一金属层211方向依次层叠设置的第一有机绝缘层231和第一无机绝缘层232，因第一有机绝缘层231可以绝缘作用，因此使得第一无机绝缘层232的厚度可以相应减小，因第一无机绝缘层232的柔性较差，因此设置第一无机绝缘层232厚度减小有利于提高触控显示面板的柔性性能，进而有利于减少弯折时第一无机绝缘层232的断裂。并且，因第一无机绝缘层232设置于第一金属层211与第一有机绝缘层231之间，而第一无机绝缘层232的无机材料通常具有良好的隔水性能，因此第一无机绝缘层232可以起到隔离第一有机绝缘层231与第一金属层211的作用，使得第一有机绝缘层231不会与第一金属层211接触，进而避免第一金属层211与第一有机绝缘层231中水汽反应生成金属氧化物(例如第二金属层212为Ti/Al/Ti时，水汽会与Ti反应生成氧化钛)造成的刻蚀残留，也可避免形成第一金属层211时，金属离子进入到第一有机绝缘层231造成的刻蚀残留，进而避免发生短路，提高触控显示面板的良率和可靠性；并且，因在第一无机绝缘层232的沉积过程中，需要进行加热和等离子体沉积等工艺，可以使得在第一无机绝缘层232沉积过程中，第一有机绝缘层231的水汽被排出，避免水汽与第一金属层211或第二金属层212反应，进而有利于进一步提升触控显示面板的可靠性。
继续参考图3，第二绝缘层220包括沿显示功能层至第二绝缘层220对应的第二金属层221方向依次层叠设置的第二有机绝缘层221和第二无机绝缘层222。基于上述同样的理由，第二无机绝缘层222厚度减小有利于提高触控显示面板的柔性性能，进而有利于减少弯折时第二无机绝缘层222的断裂；避免第二金属层212与第二有机绝缘层221中水汽反应生成金属氧化物造成的刻蚀残留，也可避免形成第二金属层221时，金属离子进入到第二有机绝缘层221造成的刻蚀残留，进而避免发生短路，提高触控显示面板的良率和可靠性。
本实施例提供的触控显示面板，通过设置第一绝缘层和第二绝缘层均为叠层结构绝缘层，可进一步减少弯折过程中无机绝缘层的断裂，并进一步减少刻蚀残留，提高触控显示面板的良率和可靠性。
继续参考参考图1-图3，可选的，触控电极包括第一触控电极213和第二触控电极214，第一触控电极213呈条状且沿第一方向x延伸，第二触控电极214呈条状且沿第二方向y延伸，第一触控电极213位于第二金属层212，；
第二触控电极214包括位于第二金属层212的多个子触控电极部2121，子触控电极部2121位于第一触控电极213第一方向x上的两侧并与第一触控电极213间隔设置；
第二触控电极214还包括位于第一金属层211包括多个搭接部2111，第一触控电极213两侧的子触控电极部2121通过贯穿第二绝缘层220的过孔与搭接部2111电连接；优选的，第一触控电极213和第二触控电极214为金属网格电极或者条状电极。
结合图1-图3，其以第一触控电极213和第二触控电极214为金属网格电极进行示例性示出，图1中示出的整个第二触控电极214包括位于第二金属层212的子触控电极部2121和位于第一金属层211的搭接部2111，在第二触控电极214与第一触控电极213交叉的位置处，第二触控电极214的子触控电极部2121通过位于第一金属层211的搭接部2111进行搭接，进而实现第二触控电极214与第一触控电极213的绝缘。
参考图1，第一触控电极213和第二触控电极214为金属网格电极时，金属网格的形状可以与显示功能层100中子像素形状相适应，可选的，金属网格的形状可以与显示功能层100中子像素形状相同。具体的，图1所示金属网格电极可以与显示功能层100中的子像素对应，在垂直该触控显示面板厚度的方向上，每个子像素可位于一个金属网格101内，进而可避免金属网格101对显示效果的影响。第一触控电极213和第二触控电极214为金属网格电极时，多个金属网格101可以相互连接形成触控电极单元102，可选的，第二触控电极214的子触控电极部2121可作为一触控电极单元102。
图4是本发明实施例提供的另一种显示面板的剖视图，图4可对应图1沿剖切线A-A’剖切得到的另一种剖视图，参考图1和图4，在上述技术方案的基础上，可选的，金属层包括触控电极图案，沿触控显示面板厚度方向z上，叠层结构绝缘层中无机绝缘层在显示功能层100的正交投影与叠层结构绝缘层对应的金属层中触控电极图案在显示功能层100上的正交投影重合。
图1和图4仍以触控电极层210包括两层金属层，分别记为第一金属层211和第二金属层212进行示出，相应的，触控功能层中绝缘层也包括两层，以触控功能层210还包括与第一金属层211对应的第一绝缘层230以及与第二金属层对应的第二绝缘层220为例进行示出，第一绝缘层230位于第一金属层211与显示功能层100之间，第二绝缘层220位于第二金属层212与第一金属层211之间。
仍以第二绝缘层220为叠层结构绝缘层为例，与该叠层结构绝缘层对应的金属层为第二金属层212，叠层结构绝缘层包括有机绝缘层221和无机绝缘层222，第一金属层211和第二金属层212均为图案化金属层，其中，在触控显示面板的显示区内，第一金属层211中可包括第二触控电极214的搭接部2111，有机绝缘层221覆盖第一金属层211并填充在各搭接部2111之间，即第一金属层211内的触控电极图案即为搭接部2111。显示区内，第二金属层212中可包括第二触控电极214的子触控电极部2121和第一触控电极213，即第二金属层212内的触控电极图案即为第二触控电极214的子触控电极部2121和第一触控电极213。叠层结构绝缘层(第二绝缘层220)中无机绝缘层222在显示功能层100的正交投影与叠层结构绝缘层对应的金属层(第二金属层212)中触控电极图案在显示功能层100上的正交投影重合，可以使得在第二金属层212远离显示功能层100的一侧的膜层在未设置有第二金属层212的位置可直接与有机绝缘层接触，参考图4，子触控电极部2121与第一触控电极213之间、相邻子触控电极部2121之间以及相邻第一触控电极213之间设置有绝缘材料310，绝缘材料310与有机绝缘层221接触，该绝缘材料310可以是有机缓冲层300的材料，有机缓冲层300覆盖第二金属层212并填充在子触控电极部2121与第一触控电极213之间、相邻子触控电极部2121之间以及相邻第一触控电极213之间。
具体的，在形成第二金属层212时，可首先在无机绝缘层222远离有机绝缘层221的一侧形成整层的第二金属材料层，然后对第二金属材料层进行图形化得到图案化的第二金属层212，进行图形化对第二金属材料层进行刻蚀时，将需要被刻蚀掉的第二金属材料层正下方的无机绝缘层222也可刻蚀掉，即触控显示面板中，无机绝缘层222的图形与第二金属层212的图形相同，进而使得第二金属材料层应该被刻蚀掉的部分对应位置处的无机绝缘层222也被刻蚀掉，进而避免第二金属层212中金属材料的刻蚀残留，避免因刻蚀残留造成的短路问题。
图5是本发明实施例提供的另一种触控显示面板的俯视图，图6是本发明实施例提供的另一种触控显示面板的剖视图，图7是本发明实施例提供的另一种触控显示面板的剖视图，图6可对应图5沿剖面线C-C’剖切得到的另一种剖视图，图7可对应图5沿剖面线B-B’剖切得到的剖视图，参考图5图6和图7，可选的，第一触控电极213位于第二金属层212且沿第一方向x延伸，第二触控电极214位于第一金属层211且沿第二方向y延伸，第一方向x与第二方向y相交；
优选的，第一触控电极213和第二触控电极214为金属网格电极或条状电极，其中图5示出了第一触控电极213和第二触控电极214为条形形状的情形，其中第一触控电极213和第二触控电极214为条形时，第一触控电极213和第二触控电极214可以为透明电极，进而避免触控功能层200对显示功能层100所显示画面的遮挡。
图6-图7仍以触控电极层210包括两层金属层，分别记为第一金属层211和第二金属层212进行示出，相应的，触控功能层中绝缘层也包括两层，以触控功能层210还包括与第一金属层211对应的第一绝缘层230以及与第二金属层对应的第二绝缘层220为例进行示出，第一绝缘层230位于第一金属层211与显示功能层100之间，第二绝缘层220位于第二金属层212与第一金属层211之间。仍以第二绝缘层220为叠层结构绝缘层为例，与该叠层结构绝缘层对应的金属层为第二金属层212，叠层结构绝缘层包括有机绝缘层221和无机绝缘层222，具体的，本实施例中触控显示面板与上实施例中触控显示面板的区别在于，本实施例中第二触控电极214只在一个金属层，即第一金属层211中形成。参考图6和图7，相邻第一触控电极213之间设置有绝缘材料310，绝缘材料310与有机绝缘层221接触，例如在第二金属层212远离第一金属层211的一侧可以包括有机缓冲层300，该有机缓冲层300的有机材料为绝缘材料310，覆盖第二金属层212并填充在相邻第一触控电极213之间。
具体的，在形成第二金属层212时，可首先在无机绝缘层222远离有机绝缘层221的一侧形成整层的第二金属材料层，然后对第二金属材料层进行图形化得到图案化的第二金属层212，进行图形化对第二金属材料层进行刻蚀时，将需要被刻蚀掉的第二金属材料层正下方的无机绝缘层222也可刻蚀掉，即触控显示面板中，无机绝缘层222的图形与第二金属层212的图形相同，进而使得在第二金属层212不会存在刻蚀残留，避免因刻蚀残留造成的短路问题。
图8是本发明实施例提供的另一种显示面板的结构示意图，参考图8，显示功能层100包括显示区AA和非显示区NAA，非显示区NAA包括至少一道挡墙500，挡墙500围绕显示区AA设置；
显示功能层100包括基底110和位于基底110一侧的有机发光器件层120以及覆盖有机发光器件层120的薄膜封装层130，触控功能层200位于薄膜封装层130远离基底110的一侧。
图8仍以触控电极层210包括两层金属层，分别记为第一金属层211和第二金属层212进行示出，相应的，触控功能层中绝缘层也包括两层，以触控功能层210还包括与第一金属层211对应的第一绝缘层230以及与第二金属层对应的第二绝缘层220，且第二绝缘层220为叠层结构绝缘层为例进行示出。具体的，本实施例中触控显示面板为有机发光显示面板，显示功能层100包括有机发光器件层120，有机发光器件层120中包括多个有机发光器件，因有机发光器件与水、氧等接触后寿命会显著缩短，因此需设置薄膜封装层130对有机发光器件层120进行封装。图7中以薄膜封装层130包括第一无机层131、第一有机层132和第二无机层133为例进行示出，其中第一有机层132位于第一无机层131与第二无机层133之间。因第一有机层132中有机材料具有流动性，故触控显示面板通常包括至少一道挡墙500结构，该挡墙500结构可防止有机材料溢出。但是挡墙500与显示区AA边缘通常具有一定距离，因此挡墙500与有机发光器件层120边缘容易形成凹陷结构510，导致在该凹陷结构510处，薄膜封装层130、以及薄膜封装层130以上的触控功能层200中绝缘层均容易形成凹陷结构，致使绝缘层的表面不平整，则当绝缘层采用有机材料时，在绝缘层上形成金属层后，在绝缘层的不平整表面处容易出现刻蚀残留。本实施例中，设置包括有机绝缘层和无机绝缘层的叠层结构绝缘层，例如图8所示的第二绝缘层220为叠层结构绝缘层，因无机绝缘层设置于第二金属层212与有机绝缘层221之间，而无机绝缘层222的无机材料通常具有良好的隔水性能，因此无机绝缘层222可以起到隔离有机绝缘层221与第二金属层212的作用，使得有机绝缘层221不会与第二金属层212接触，进而避免第二金属层212与有机绝缘层221中水汽反应生成金属氧化物(例如第二金属层212为Ti/Al/Ti时，水汽会与Ti反应生成氧化钛)造成的刻蚀残留，也可避免形成第二金属层212时，金属离子进入到有机绝缘层221造成的刻蚀残留，进而避免发生短路，提高触控显示面板的良率和可靠性；并且，因在无机绝缘层222的沉积过程中，需要进行加热和等离子体沉积等工艺，可以使得在无机绝缘层222沉积过程中，有机绝缘层221的水汽被排出，避免水汽与第一金属层211或第二金属层212反应，进而有利于进一步提升触控显示面板的可靠性。
继续参考图8，可选的，在非显示区NAA内还包括位于至少一层金属层中的触控走线600，触控走线600位于挡墙500远离显示功能层100的一侧，触控走线600与触控电极电连接，其中图8示意性示出了触控走线位于第二金属层212中的情况。
结合图1，具体的，第一触控电极213和第二触控电极214可位于显示区AA，触控走线600可与显示区内第一触控电极213和第二触控电极214电连接，进而向第一触控电极213和第二触控电极214传送信号，或者接收第一触控电极213和第二触控电极214的信号。图8中示意性示出了第二绝缘层220为包括有机绝缘层221和无机绝缘层222的叠层结构绝缘层的情况，因第二金属层212与有机绝缘层221之间包括无机绝缘层222，因此可以使得有机绝缘层221中包括水汽时与水汽与触控走线600发生反应，进而保证触控走线600传递信号可以更为准确。并且，在非显示区NAA内，可不设置第一金属层211，则触控走线600与显示功能层100之间只包括绝缘层220，因该绝缘层220包括层叠设置的有机绝缘层221和无机绝缘层222，无机绝缘层222设置于有机绝缘层221与触控走线600之间，进而使得有机绝缘层221不会与第二金属层212的触控走线600接触，进而避免第二金属层212与有机绝缘层221中水汽反应生成金属氧化物造成的刻蚀残留，也可避免形成第二金属层212时，金属离子进入到有机绝缘层221造成的刻蚀残留，进而避免发生短路，提高触控显示面板的良率和可靠性。
需要说明的是，在非显示区NAA中，也可以设置第一金属层211，触控走线600也可设置于第一金属层211，或者在第一金属层211和第二金属层212中均设置触控走线600，本实施例在此不做具体限定。
本发明实施例还提供了一种触控显示面板的制作方法，该制作方法可用于制作本发明上述任意实施例提供的触控显示面板，图9是本发明实施例提供的一种触控显示面板的制作方法的流程图，参考图9，该触控显示面板的制作方法包括：
步骤710、在显示功能层的出光侧形成触控功能层，触控功能层包括触控电极层；触控电极层包括用于形成触控电极的至少一层金属层；触控功能层还包括与金属层一一对应的绝缘层，绝缘层为对应的金属层靠近显示功能层的一侧的相邻膜层，至少一层绝缘层为叠层结构绝缘层，叠层结构绝缘层包括沿显示功能层至对应的金属层方向层叠设置的有机绝缘层和无机绝缘层；
显示功能层包括基底和位于基底一侧的发光器件层以及覆盖发光器件层的薄膜封装层。
在形成触控功能层之前，可以包括形成显示功能层；
具体的，显示功能层的制备可以包括多个步骤，例如显示功能层为有机发光功能层时，可以包括在基底的一侧依次形成阵列基板和有机发光器件等步骤。
示例性的，对于图1-图3所示触控功能层包括第一金属层、第一绝缘层、第二金属层和第二绝缘层，且第二绝缘层为叠层结构绝缘层时，在显示功能层的出光侧形成触控功能层可以包括：
步骤711、在显示功能层的一侧形成第一绝缘层；
步骤712、在第一绝缘层远离显示功能层的一侧形成第一金属层并图形化；
具体的，第一金属层的图案可以根据第一触控电极和第二触控电极的形状和位置来确定，例如第一金属层包括条状第二触控电极时，则将第一金属层图形化为条形图案。
步骤713、在第一金属层远离显示功能层的一侧形成有机绝缘层；
具体的，形成该有机绝缘层可以采用喷墨打印等现有技术中的常用方式，本实施例在此不做具体限定。
步骤714、在有机绝缘层远离显示功能层的一侧形成无机绝缘层；
具体的，形成该无机绝缘层可以采用化学气相沉积、等离子体沉积等方式，在沉积无机绝缘层时，包括加热步骤，加热步骤中相当于对无机绝缘层下层的有机绝缘层进行了预处理，使得有机绝缘层中的水汽可以被排出，进而可以减少有机绝缘层中的水汽与第一金属层或第二金属层的反应，进而使得第二金属层刻蚀时可以减少刻蚀残留，保证良好的触控效果。
步骤715、在无机绝缘层远离显示功能层的一侧形成第二金属层并图形化。
具体的，第一金属层的图案可以根据第一触控电极和第二触控电极的形状和位置来确定，例如第二金属层包括条状第一触控电极时，则将第二金属层图形化为条形图案。
本实施例提供的触控显示面板的制作方法，通过在在显示功能层的一侧形成包括触控功能层和绝缘层的触控功能层，触控电极层包括用于形成触控电极的至少一层金属层，绝缘层为对应的金属层靠近显示功能层的一侧的相邻膜层，至少一层绝缘层为叠层结构绝缘层，叠层结构绝缘层包括沿显示功能层至对应的金属层方向层叠设置的有机绝缘层和无机绝缘层；。使得无机绝缘层的厚度可以相应减小，进而有利于提升触控显示面板的柔性性能，进而有利于减少弯折时无机绝缘层的断裂；并且无机绝缘层可以起到隔离有机绝缘层与金属层的作用，使得有机绝缘层不会与金属层接触，进而避免金属层与有机绝缘层中水汽反应生成金属氧化物造成的刻蚀残留，也可避免形成金属层时，金属离子进入到有机绝缘层造成的刻蚀残留，进而避免发生短路，提高触控显示面板的良率和可靠性；并且可以使得在无机绝缘层沉积过程中，有机绝缘层的水汽被排出，避免水汽与属层反应，进而有利于进一步提升触控显示面板的可靠性。
在上述技术方案的基础上，在无机绝缘层远离显示功能层的一侧形成第二金属层并图形化，包括：
在无机绝缘层远离显示功能层的一侧形成整层第二金属材料层；
对第二金属材料层进行图形化形成图案化的第二金属层，且在图形化第二金属材料层时对无机绝缘层进行图形化。
具体的，在第二金属在图形化第二金属材料层时对无机绝缘层进行图形化，即用同一道光罩对二者进行图形化，进而使得无机绝缘层的图案与第二金属层的图案相同，进而使得第二金属材料层应该被刻蚀掉的部分对应位置处的无机绝缘,也被刻蚀掉，进而避免第二金属层中金属材料的刻蚀残留，避免因刻蚀残留造成的短路问题。
本发明实施例还提供了一种触控显示装置，图10是本发明实施例提供的一种触控显示装置的结构示意图，该显示装置1包括本发明任意实施例提供的触控显示面板10。触控显示装置1可以为图10所示的手机，也可以为电脑、电视机、智能穿戴显示装置等，本发明实施例对此不作特殊限定。
注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。
Claims (10)
1.一种触控显示面板，其特征在于，包括：
显示功能层，所述显示功能层包括基底和位于所述基底一侧的发光器件层以及覆盖所述发光器件层的薄膜封装层；
触控功能层，位于所述显示功能层的出光侧；所述触控功能层包括触控电极层，所述触控电极层包括用于形成触控电极的至少一层金属层；
所述触控功能层还包括与所述金属层一一对应的绝缘层，绝缘层为对应的所述金属层靠近所述显示功能层的一侧的相邻膜层，至少一层所述绝缘层为叠层结构绝缘层，所述叠层结构绝缘层包括沿所述显示功能层至对应的所述金属层方向层叠设置的有机绝缘层和无机绝缘层。
2.根据权利要求1所述的触控显示面板，其特征在于，所述无机绝缘层的厚度为100-800埃，所述有机绝缘层的厚度为1-4微米。
3.根据权利要求1所述的触控显示面板，其特征在于，所述触控电极层包括第一金属层和所述第一金属层远离所述显示功能层一侧的第二金属层，所述触控功能层还包括与第一金属层对应的第一绝缘层和与第二金属层对应的第二绝缘层，所述第一绝缘层位于所述第一金属层与所述显示功能层之间，所述第二绝缘层位于所述第一金属层和第二金属层之间；
所述第一绝缘层和第二绝缘层中一者为叠层结构绝缘层，另一者为单层无机绝缘层。
4.根据权利要求1所述的触控显示面板，其特征在于，所述触控电极层包括第一金属层和所述第一金属层远离所述显示功能层一侧的第二金属层，所述触控功能层还包括与第一金属层对应的第一绝缘层和与第二金属层对应的第二绝缘层，所述第一绝缘层位于所述第一金属层与所述显示功能层之间，所述第二绝缘层位于所述第一金属层和第二金属层之间；
所述第一绝缘层和所述第二绝缘层均为叠层结构绝缘层。
5.根据权利要求3或4所述的触控显示面板，其特征在于，所述触控电极包括第一触控电极和第二触控电极，所述第一触控电极沿第一方向延伸，所述第二触控电极沿第二方向延伸，所述第一方向和所述第二方向相交；所述第一触控电极位于所述第二金属层；
所述第二触控电极包括位于第二金属层的多个子触控电极部，所述子触控电极部位于所述第一触控电极的第一方向上的两侧并与所述第一触控电极间隔设置；
所述第二触控电极还包括位于所述第一金属层包括多个搭接部，所述第一触控电极两侧的子触控电极部通过贯穿所述第二绝缘层的过孔与所述搭接部电连接；
优选的，所述第一触控电极和第二触控电极为金属网格电极或者条状电极。
6.根据权利要求3或4所述的触控显示面板，其特征在于，所述第一触控电极位于第二金属层且沿第一方向延伸，所述第二触控电极位于所述第一金属层且沿第二方向延伸，所述第一方向与所述第二方向相交；
优选的，所述第一触控电极和所述第二触控电极为金属网格电极或条状电极。
7.根据权利要求1所述的触控显示面板，其特征在于，所述金属层包括触控电极图案，沿所述触控显示面板厚度方向上，所述叠层结构绝缘层中无机绝缘层在所述显示功能层的正交投影与所述叠层结构绝缘层对应的金属层中触控电极图案在所述显示功能层上的正交投影重合。
8.根据权利要求1所述的触控显示面板，其特征在于，所述显示功能层包括显示区和非显示区，所述非显示区包括至少一道挡墙，所述挡墙围绕所述显示区设置；
在所述非显示区内还包括位于至少一层所述金属层中的触控走线，所述触控走线位于所述挡墙远离所述显示功能层的一侧，所述触控走线与所述触控电极电连接。
9.一种触控显示面板的制作方法，其特征在于，包括：
在显示功能层的出光侧形成触控功能层，所述触控功能层包括触控电极层；所述触控电极层包括用于形成触控电极的至少一层金属层；所述触控功能层还包括与所述金属层一一对应的绝缘层，所述绝缘层为对应的所述金属层靠近所述显示功能层的一侧的相邻膜层，至少一层所述绝缘层为叠层结构绝缘层，所述叠层结构绝缘层包括沿所述显示功能层至所述对应的金属层方向层叠设置的有机绝缘层和无机绝缘层；
所述显示功能层包括基底和位于所述基底一侧的发光器件层以及覆盖所述发光器件层的薄膜封装层。
10.一种触控显示装置，其特征在于，包括权利要求1-8任一项的触控显示面板。
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