CN111312625A - 一种槽体结构及防止其晃动偏移的方法 - Google Patents

一种槽体结构及防止其晃动偏移的方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种槽体结构及防止其晃动偏移的方法，槽体结构包括外部框架，外部框架内部设置有用于晶圆清洗和干燥的槽体，槽体顶部设置为敞口结构，槽体的两侧分别设置有两个圆柱形支撑柱，支撑柱与外部框架连接的位置设置有固定于外部框架内壁上的支撑复位机构，槽体顶部匹配有两组对开的顶盖机构，外部框架外表面设置有用于驱动顶盖机构进行开合的驱动机构。本发明能够有效使槽体在晃动后复位，尽可能的减小槽体晃动的偏移量，以解决现有的用于晶圆清洗和干燥槽体晃动偏移的问题。

Description

一种槽体结构及防止其晃动偏移的方法
技术领域
本发明涉及晶圆加工技术领域，尤其涉及一种槽体结构及防止其晃动偏移的方法。
背景技术
在半导体湿法工艺设备中，尤其是批量式的设备采用，其多配置各种工艺槽体模组装置进行清洗与干燥工艺的进行，在特定的槽体进行酸液、碱液、有机溶液、气体等的进行参与反应，晶圆在清洗与干燥时需要放置在清洗与干燥的槽体中，通过在槽体中的冲洗和吹风进行清洗和干燥。
现有的技术中，多种槽体模组装置通常会配置相对应的批量式晶圆夹取的机械手臂、各种管路配置、搭配的小型机械运动模组装置等，而可能性产生在各种应力作用的影响下造成槽体的些微偏移导致槽体错位或是相关对应的机械模组装置或是管路偏离本应所在的位置，继而造成湿法工艺设备在使用上无法预期的危险性。
发明内容
针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种槽体结构及防止其晃动偏移的方法，能够有效使槽体在晃动后复位，尽可能的减小槽体晃动的偏移量，以解决现有的用于晶圆清洗和干燥槽体晃动偏移的问题。
为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种槽体结构，用于防止干燥与清洗过程中晃动，包括外部框架，所述外部框架内部设置有用于晶圆清洗和干燥的槽体，所述槽体顶部设置为敞口结构，所述槽体的两侧分别设置有两个圆柱形支撑柱，所述支撑柱与外部框架连接的位置设置有固定于外部框架内壁上的支撑复位机构，所述槽体顶部匹配有两组对开的顶盖机构，所述外部框架外表面设置有用于驱动顶盖机构进行开合的驱动机构；
所述支撑复位机构包括固定于外部框架内表面的支撑板，所述支撑板顶部对应支撑柱的位置设置有支撑块；
所述顶盖机构包括弓形架，所述弓形架中间固定连接有与槽体顶部相匹配的顶盖，所述弓形架两端分别连接有一个连接块，所述连接块上错开弓形架连接的位置固定连接有转轴，所述转轴穿过外部框架的位置设置有固定于外部框架上的安装块。
进一步地，所述驱动机构包括与转轴相连接的驱动气缸。
进一步地，所述驱动气缸的输出轴铰接有连杆，所述连杆的另一端与转轴相铰接。
一种基于槽体结构的防止槽体晃动偏移的方法，包括：
使槽体晃动后进行复位的缓冲复位策略，所述缓冲复位策略被设置为将支撑块顶部与支撑柱对应的位置开设三角柱形状的缓冲槽，以使支撑块的缓冲槽内形成支撑柱的缓冲区间，所述缓冲区间用于支撑柱在晃动后回落至支撑块底部；
使顶盖开合过程中与槽体保持间隔的顶盖间隔策略，所述顶盖间隔策略被设置为将所述槽体的顶盖设置于弓形架的中间拱起部位，使顶盖被弓形架带动转动的过程中与槽体处于分离的状态，以避免顶盖在开合过程中带动槽体晃动；
使弓形架避免碰撞的弓形设计策略，所述弓形设计策略被设置为将所述槽体外部的部件设置于弓形件的拱起部位活动范围内侧，使弓形件的中间拱起部位的转动范围内侧形成部件安装区；
使弓形架安全转动的安全驱动策略，所述安全驱动策略被设置为将所述弓形架与转轴错位安装在安装块的两侧，以使弓形架转动过程中与槽体保持安全间隔。
进一步地，所述缓冲复位策略中，所述缓冲槽的底部设置为与支撑柱相匹配的弧形槽以提高支撑的稳定性。
进一步地，所述安装驱动策略中，所述转轴与安装块的连接处设置有轴承以降低转动时的振动。
进一步地，所述方法还包括使槽体上下晃动受限的压紧夹持策略，所述压紧夹持策略被设置为使所述弓形架带动顶盖闭合时，所述顶盖与槽体的顶部贴合，以配合底部支撑块对槽体形成上下夹持的效果，以使槽体的上下晃动受限。
本发明的有益效果：本发明通过在槽体两侧设置圆柱形的支撑柱匹配用于支撑的支撑块的缓冲槽，能够保证槽体在晃动后复位，同时在槽体的顶盖设计上采用弓形架带动顶盖开合的设计，保证顶盖开合的同时降低顶盖开合对槽体的晃动影响，从而降低槽体晃动偏移的风险。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本发明的槽体结构的结构示意图；
图2为本发明的外部框架内部的结构示意图；
图3为本发明的槽体与支撑复位机构连接的结构示意图；
图4为本发明的支撑复位机构的结构示意图；
图5为本发明的驱动机构与顶盖机构的连接结构图。
图中：1-外部框架、2-顶盖机构、3-驱动机构、4-支撑复位机构、5-槽体、6-晶圆、201-安装块、202-连接块、203-弓形架、204-顶盖、205-转轴、301-驱动气缸、401-支撑板、402-支撑块、403-缓冲槽、501-支撑柱。
具体实施方式
为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
请参阅图1，图1为本发明的槽体结构的结构示意图。
一种槽体结构，用于防止干燥与清洗过程中晃动，包括外部框架1，外部框架1内部设置有用于晶圆6清洗和干燥的槽体5，槽体5顶部设置为敞口结构，槽体5的两侧分别设置有两个圆柱形支撑柱501，支撑柱501与外部框架1连接的位置设置有固定于外部框架1内壁上的支撑复位机构4，槽体5顶部匹配有两组对开的顶盖机构2，外部框架1外表面设置有用于驱动顶盖机构2进行开合的驱动机构3。
外部框架1用于内部槽体5的安装支撑，并且为槽体5的清洗干燥管路进行连接安装。
请参阅图3和图4，图3为本发明的槽体与支撑复位机构连接的结构示意图；图4为本发明的支撑复位机构的结构示意图。
支撑复位机构4包括固定于外部框架1内表面的支撑板401，支撑板401顶部对应支撑柱501的位置设置有支撑块402。
一个支撑板401上设置有两个支撑块402以匹配槽体5一侧的两个支撑柱501。
请参阅图1、图2和图5，图1为本发明的清洗干燥装置的结构示意图；图2为本发明的外部框架内部的结构示意图；图5为本发明的驱动机构与顶盖机构的连接结构图。
顶盖机构2包括弓形架203，弓形架203中间固定连接有与槽体5顶部相匹配的顶盖204，弓形架203两端分别连接有一个连接块202，连接块202上错开弓形架203连接的位置固定连接有转轴205，转轴205穿过外部框架1的位置设置有固定于外部框架1上的安装块201。
驱动机构3包括与转轴205相连接的驱动气缸301，驱动气缸301的输出轴铰接有连杆，连杆的另一端与转轴205相铰接。
驱动气缸301通过连杆带动转轴205转动，转轴205通过连接块202带动弓形架203转动，弓形架203转动能够带动顶盖204进行开合运作。
一种防止槽体晃动偏移的方法，防止槽体晃动偏移的方法包括使用槽体结构对晶圆6进行清洗和干燥，包括晶圆清洗步骤和晶圆干燥步骤；
晶圆清洗步骤包括：
步骤A1、通过驱动机构3控制顶盖机构2打开顶盖；
步骤A2、将待清洗的晶圆6由槽体5顶部的敞口结构置入槽体5内部；
步骤A3、通过驱动机构3控制顶盖机构2关闭顶盖；
步骤A4、开始晶圆6清洗过程；
晶圆干燥步骤包括：
步骤S1、通过驱动机构3控制顶盖机构2打开顶盖；
步骤S2、将待干燥的晶圆6由槽体5顶部的敞口结构置入槽体5内部；
步骤S3、通过驱动机构3控制顶盖机构2关闭顶盖；
步骤S4、开始晶圆6干燥过程；
防止槽体晃动偏移的方法包括使弓形架在步骤A1、步骤A3、步骤S1和步骤S3的开合过程中避免带动槽体5晃动的顶盖间隔策略，顶盖间隔策略被设置为将弓形架203与转轴205错位安装在安装块201的两侧，以使弓形架203转动过程中与槽体5保持间隔；
防止槽体晃动偏移的方法还包括在步骤A4和步骤S4中使槽体5晃动后进行复位的缓冲复位策略，缓冲复位策略被设置为将支撑块402顶部与支撑柱501对应的位置开设三角柱形状的缓冲槽403，以使支撑块402的缓冲槽403内形成支撑柱501的缓冲区间，缓冲区间用于支撑柱501在晃动后回落至支撑块402底部。
缓冲复位策略中，缓冲槽403的底部设置为与支撑柱501相匹配的弧形槽以提高支撑的稳定性。
顶盖间隔策略中，转轴205与安装块201的连接处设置有轴承以降低转动时的振动。
顶盖间隔策略中，顶盖204与槽体5的顶部贴合时，能够配合底部支撑块402对槽体5形成上下夹持的效果，以使槽体5的上下晃动受限。
最后应说明的是：以上所述实施例，仅为本发明的具体实施方式，用以说明本发明的技术方案，而非对其限制，本发明的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (7)

1.一种槽体结构，用于防止干燥与清洗过程中晃动，其特征在于，包括：外部框架(1)，所述外部框架(1)内部设置有用于晶圆(6)清洗和干燥的槽体(5)，所述槽体(5)顶部设置为敞口结构，所述槽体(5)的两侧分别设置有两个圆柱形支撑柱(501)，所述支撑柱(501)与外部框架(1)连接的位置设置有固定于外部框架(1)内壁上的支撑复位机构(4)，所述槽体(5)顶部匹配有两组对开的顶盖机构(2)，所述外部框架(1)外表面设置有用于驱动顶盖机构(2)进行开合的驱动机构(3)；
所述支撑复位机构(4)包括固定于外部框架(1)内表面的支撑板(401)，所述支撑板(401)顶部对应支撑柱(501)的位置设置有支撑块(402)；
所述顶盖机构(2)包括弓形架(203)，所述弓形架(203)中间固定连接有与槽体(5)顶部相匹配的顶盖(204)，所述弓形架(203)两端分别连接有一个连接块(202)，所述连接块(202)上错开弓形架(203)连接的位置固定连接有转轴(205)，所述转轴(205)穿过外部框架(1)的位置设置有固定于外部框架(1)上的安装块(201)。
2.根据权利要求1所述的一种槽体结构，其特征在于：所述驱动机构(3)包括与转轴(205)相连接的驱动气缸(301)。
3.根据权利要求2所述的一种槽体结构，其特征在于：所述驱动气缸(301)的输出轴铰接有连杆，所述连杆的另一端与转轴(205)相铰接。
4.一种利用权利要求1所述的槽体结构来防止槽体晃动偏移的方法，其特征在于：所述防止槽体晃动偏移的方法包括使用所述槽体结构对晶圆(6)进行清洗和干燥，包括晶圆清洗步骤和晶圆干燥步骤；
所述晶圆清洗步骤包括：
步骤A1、通过驱动机构(3)控制顶盖机构(2)打开顶盖；
步骤A2、将待清洗的晶圆(6)由槽体(5)顶部的敞口结构置入槽体(5)内部；
步骤A3、通过驱动机构(3)控制顶盖机构(2)关闭顶盖；
步骤A4、开始晶圆(6)清洗过程；
所述晶圆干燥步骤包括：
步骤S1、通过驱动机构(3)控制顶盖机构(2)打开顶盖；
步骤S2、将待干燥的晶圆(6)由槽体(5)顶部的敞口结构置入槽体(5)内部；
步骤S3、通过驱动机构(3)控制顶盖机构(2)关闭顶盖；
步骤S4、开始晶圆(6)干燥过程；
所述防止槽体晃动偏移的方法包括使弓形架在步骤A1、步骤A3、步骤S1和步骤S3的开合过程中避免带动槽体(5)晃动的顶盖间隔策略，所述顶盖间隔策略被设置为将所述弓形架(203)与转轴(205)错位安装在安装块(201)的两侧，以使弓形架(203)转动过程中与槽体(5)保持间隔；
所述防止槽体晃动偏移的方法还包括在步骤A4和步骤S4中使槽体(5)晃动后进行复位的缓冲复位策略，所述缓冲复位策略被设置为将支撑块(402)顶部与支撑柱(501)对应的位置开设三角柱形状的缓冲槽(403)，以使支撑块(402)的缓冲槽(403)内形成支撑柱(501)的缓冲区间，所述缓冲区间用于支撑柱(501)在晃动后回落至支撑块(402)底部。
5.根据权利要求4所述的防止槽体晃动偏移的方法，其特征在于：所述缓冲复位策略中，所述缓冲槽(403)的底部设置为与支撑柱(501)相匹配的弧形槽以提高支撑的稳定性。
6.根据权利要求4所述的防止槽体晃动偏移的方法，其特征在于：所述顶盖间隔策略中，所述转轴(205)与安装块(201)的连接处设置有轴承以降低转动时的振动。
7.根据权利要求4所述的防止槽体晃动偏移的方法，其特征在于：所述顶盖间隔策略中，所述顶盖(204)与槽体(5)的顶部贴合时，能够配合底部支撑块(402)对槽体(5)形成上下夹持的效果，以使槽体(5)的上下晃动受限。
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