CN111263578B - 一种剥离装置 - Google Patents

一种剥离装置 Download PDF

Info

Publication number
CN111263578B
CN111263578B CN202010114168.0A CN202010114168A CN111263578B CN 111263578 B CN111263578 B CN 111263578B CN 202010114168 A CN202010114168 A CN 202010114168A CN 111263578 B CN111263578 B CN 111263578B
Authority
CN
China
Prior art keywords
thimble
loading platform
driving device
loading
ejector pin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202010114168.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111263578A (zh
Inventor
柴国磊
孙有为
孙璞
仲强
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Goertek Inc
Original Assignee
Goertek Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Goertek Inc filed Critical Goertek Inc
Priority to CN202010114168.0A priority Critical patent/CN111263578B/zh
Publication of CN111263578A publication Critical patent/CN111263578A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111263578B publication Critical patent/CN111263578B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0404Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本发明公开一种剥离装置,用于剥离网格载具上的电子器件,包括底座、固定装置、驱动装置以及顶针机构;所述固定装置包括装载台,所述装载台在其所在平面的方向上活动安装于所述底座,所述装载台的一侧设有用以供网格载具安装的安装区域,所述装载台在所述安装区域所在位置呈镂空设置;所述驱动装置驱动所述装载台活动;所述顶针机构设于所述底座且位于所述装载台的另一侧,所述顶针机构包括在靠近或远离所述装载台的方向上可伸缩活动设置的顶针,且所述顶针对应所述安装区域设置,所述顶针可向所述装载台活动至工作位置,以穿过所述安装区域从网格载具的网格内剥离电子器件。

Description

一种剥离装置
技术领域
本发明涉及电子器件装配领域,特别涉及一种剥离装置。
背景技术
微型传感器封装工艺过程中,某些产品部件需首先贴附至网格载具上,以完成该部件的组装。部件组装完成后,需将其逐一取下,重新包装至载带内以供后工序使用。但因网格载具上用来贴附产品的胶带粘性较高,贴附部件的剥离力超过吸嘴的真空吸附力,从而导致吸嘴无法直接将部件取起。因此需借助辅助机构将产品从胶带上顶起,使产品与胶带脱离开,保证吸嘴对该部件的正常拾取。
目前封装设备针对Wafer上料使用的剥离机构普遍采用两段式顶起。首先在顶针回缩至顶针帽内情况下,顶针帽将载膜顶起,然后顶针从顶针帽内伸出,将产品顶起实现产品与载膜脱离开,以辅助吸嘴完成取料。但因网格载具普遍为金属材质,载具无法在顶针帽上顶后发生相对应的形变,使得两段式顶针无法正常使用,影响电子器件的剥离。
发明内容
本发明的主要目的是提出一种剥离装置,旨在解决剥离机构无法有效完成电子器件剥离的问题。
为实现上述目的,本发明提出一种剥离装置,用于剥离网格载具上的电子器件,包括:
底座;
固定装置,所述固定装置包括装载台,所述装载台在其所在平面的方向上活动安装于所述底座,所述装载台的一侧设有用以供网格载具安装的安装区域,所述装载台在所述安装区域所在位置呈镂空设置;
驱动装置,驱动所述装载台活动;以及,
顶针机构,设于所述底座且位于所述装载台的另一侧,所述顶针机构包括在靠近或远离所述装载台的方向上可伸缩活动设置的顶针,且所述顶针对应所述安装区域设置,所述顶针可向所述装载台活动至工作位置,以穿过所述安装区域从网格载具的网格内剥离电子器件。
可选的,所述固定装置还包括压盖,所述压盖可拆卸的安装于所述装载台背对所述顶针机构的一侧,且对应所述安装区域设置,所述压盖贯设有多个网格孔,所述压盖用以对置于所述安装区域的网格载具进行限位。
可选的,所述压盖具有沿第一方向延伸的两个相对的第一侧部,两个所述第一侧部均侧向延伸出限位柱;
所述装载台对应设于位于所述压盖的两个第一侧部的外围的两个安装凸起,每一所述安装凸起沿第一方向延伸,且每一所述安装凸起开设有供对应的所述限位柱安装的滑槽,所述滑槽沿第一方向延伸,且贯穿所述安装凸起位于所述第一方向上的一端,以形成入口。
可选的,所述压盖具有位于所述第一方向上的两端,且所述压盖其中靠近所述滑槽的入口的一端形成台阶部,所述台阶部用以与网格载具上的凸起抵接,以限制所述压盖朝着所述滑槽的入口方向移动;和/或,
所述滑槽具有远离所述装载台且用以压制所述限位柱的压制壁,所述压制壁在远离所述滑槽的入口的方向上呈逐渐靠近所述装载台设置。
可选的,所述固定装置还包括滑座,所述滑座沿一方向可活动的安装于所述底座;
所述装载台沿另一方向可活动地安装于所述滑座;
所述驱动装置包括第一驱动装置和第二驱动装置,所述第一驱动装置驱动所述滑座滑动,所述第二驱动装置驱动所述装载台滑动。
可选的,所述顶针机构还包括使得所述顶针复位至工作位置的复位装置、以及驱动所述顶针向远离所述装载台活动的顶针驱动装置。
可选的,所述顶针设有侧向突出所述顶针设置的驱动块;
所述顶针驱动装置包括:
转动驱动装置;以及,
凸轮,与所述转动驱动装置的转轴连接,以被驱动转动,所述凸轮与所述驱动块朝向所述装载台的一侧面抵接。
可选的,所述复位装置包括:
缸体;
活塞件,所述活塞件与所述顶针连接,所述活塞件将所述缸体分为第一缸体和第二缸体,其中,所述活塞件自所述第二缸体穿出;以及,
气压调节装置,与所述第二缸体连接,用以调节所述第二缸体的气压,以使得所述第二缸体保持设定大小的压力。
可选的,所述气压调节装置包括:
节流气路,设有节流阀,所述节流阀用以保持所述节流气路内的气流稳定;
减压气路,设有减压阀,所述减压阀用以降低所述减压气路内的气压;以及,
三通阀,所述三通阀的出气口连通至所述第二缸体,所述三通阀的两个入气口分别连接至所述节流气路和所述减压气路,以切换所述节流气路和所述减压气路。
可选的,所述顶针机构还包括导向套,所述导向套固定安装至所述底座上;
所述顶针可活动的套设于所述导向套内。
本发明的技术方案中,将带有电子器件的网格载具固定在所述装载台的安装区域上,所述顶针对应所述安装区域设置,所述顶针沿靠近或远离所述装载台的方向运动,以将电子器件从网格载具的网格内顶出剥离,并通过所述驱动装置驱动所述装载台运动,以使得每一网格内的电子器件都被顶出,从而实现电子器件的剥离。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
图1为本发明提供的剥离装置的立体结构示意图;
图2为图1中剥离装置不包括顶针机构的立体结构示意图;
图3为图1中装载台的立体结构示意图;
图4为图3中装载台的正视剖视结构示意图;
图5为图1中顶针机构的结构示意图;
图6为图5中气压调节装置的结构示意图。
附图标号说明:
标号 名称 标号 名称
100 剥离装置 32 第二驱动装置
1 底座 4 顶针机构
2 固定装置 41 顶针
21 装载台 411 驱动块
211 安装凸起 42 复位装置
2111 压制壁 421 缸体
22 压盖 422 活塞件
221 限位柱 43 顶针驱动装置
222 台阶部 431 转动驱动装置
3 驱动装置 432 凸轮
31 第一驱动装置 44 导向套
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
需要说明,若本发明实施例中有涉及方向性指示,则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等,如果该特定姿态发生改变时,则该方向性指示也相应地随之改变。
另外,若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述,则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外,各个实施例之间的技术方案可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本发明要求的保护范围之内。
微型传感器封装工艺过程中,某些产品部件需首先贴附至网格载具上,以完成该部件的组装。部件组装完成后,需将其逐一取下,重新包装至载带内以供后工序使用。但因网格载具上用来贴附产品的胶带粘性较高,贴附部件的剥离力超过吸嘴的真空吸附力,从而导致吸嘴无法直接将部件取起。因此需借助辅助机构将产品从胶带上顶起,使产品与胶带脱离开,保证吸嘴对该部件的正常拾取。
目前封装设备针对Wafer上料使用的剥离机构普遍采用两段式顶起。首先在顶针回缩至顶针帽内情况下,顶针帽将载膜顶起,然后顶针从顶针帽内伸出,将产品顶起实现产品与载膜脱离开,以辅助吸嘴完成取料。但因网格载具普遍为金属材质,载具无法在顶针帽上顶后发生相对应的形变,使得两段式顶针无法正常使用,影响电子器件的剥离。
本发明提供一种剥离装置,其中,图1至图6为本发明提供的剥离装置一实施例。
请参阅图1至图2,本发明提供一种剥离装置100,用于剥离网格载具上的电子器件,包括底座1、固定装置2、驱动装置3以及顶针机构4;所述固定装置2包括装载台21,所述装载台21在其所在平面的方向上活动安装于所述底座 1,所述装载台21的一侧设有用以供网格载具安装的安装区域,所述装载台21 在所述安装区域所在位置呈镂空设置;所述驱动装置3驱动所述装载台21活动;所述顶针机构4设于所述底座1且位于所述装载台21的另一侧,所述顶针机构4包括在靠近或远离所述装载台21的方向上可伸缩活动设置的顶针41,且所述顶针41对应所述安装区域设置,所述顶针41可向所述装载台21活动至工作位置,以穿过所述安装区域从网格载具的网格内剥离电子器件。
本发明的技术方案中,将带有电子器件的网格载具固定在所述装载台21 的安装区域上,所述顶针41对应所述安装区域设置,所述顶针41沿靠近或远离所述装载台21的方向运动,以将电子器件从网格载具的网格内顶出剥离,并通过所述驱动装置3驱动所述装载台21运动,以使得每一网格内的电子器件都被顶出,从而实现电子器件的剥离。
进一步的,请参阅图3,为了便于将网格载具安置在所述装载台21上,所述固定装置2还包括压盖22,所述压盖22可拆卸的安装于所述装载台21背对所述顶针机构4的一侧,且对应所述安装区域设置,所述压盖22贯设有多个网格孔,所述压盖22用以对置于所述安装区域的网格载具进行限位。将网格载具安置在所述安装区域后,通过所述压盖22将网格载具固定在所述安装区域,防止网格载具晃动影响电子器件的剥离。
具体的,在本发明中,所述压盖22具有沿第一方向延伸的两个相对的第一侧部,两个所述第一侧部均侧向延伸出限位柱221;所述装载台21对应设于位于所述压盖22的两个第一侧部的外围的两个安装凸起211,每一所述安装凸起211沿第一方向延伸,且每一所述安装凸起211开设有供对应的所述限位柱 221安装的滑槽,所述滑槽沿第一方向延伸,且贯穿所述安装凸起211位于所述第一方向上的一端,以形成入口。所述限位柱221自所述入口伸入至所述滑槽内,将所述限位柱221限位在所述滑槽内,使得所述压盖22固定在所述装载台21上。
在本实施例中,为了防止所述压盖22滑动,所述压盖22具有位于所述第一方向上的两端,且所述压盖22其中靠近所述滑槽的入口的一端形成台阶部 222,所述台阶部222用以与网格载具上的凸起抵接,以限制所述压盖22朝着所述滑槽的入口方向移动。所述压盖22安装至所述装载台21上,所述台阶部 222限制所述压盖22在其所在的平面内滑动,且定位所述压盖22,使得所述压盖22保持在所述安装区域。
另外,请参阅图4,所述滑槽具有远离所述装载台21且用以压制所述限位柱221的压制壁2111,所述压制壁2111在远离所述滑槽的入口的方向上呈逐渐靠近所述装载台21设置。所述限位柱221自所述滑槽的入口伸入所述滑槽内,并将所述压盖22沿第一方向滑动,使得所述限位柱221与所述压制壁2111之间相互抵接,并通过所述压制壁2111逐渐沿靠近所述装载台21的方向运动,使得所述压盖22将网格载具紧密的夹在所述压盖22与所述装载台21之间。
显而易见,所述台阶部222的设置和所述压制壁2111的设置这两个相关技术特征中,可以择一存在,也可以同时存在,在本发明中,这两个相关技术特征同时存在时带来的技术效果更好。
需要说明的是,在本实施例中,为了便于所述压盖22与所述滑槽配合,所述安装凸起211沿第一方向活动安装在所述装载台21上,将所述压盖22安装在所述安装区域后,滑动所述安装凸起211将所述限位柱221滑入所述滑槽内,使得所述压盖22紧贴在所述装载台21上。
另外,为了便于所述安装凸起211的运动,所述装载台21上设有气缸,所述气缸的输出轴沿第一方向延伸,且连接至所述安装凸起的沿第一方向的一端,以驱动所述安装凸起211沿第一方向活动。
在本发明中,所述固定装置2还包括滑座,所述滑座沿一方向可活动的安装于所述底座1;所述装载台21沿另一方向可活动地安装于所述滑座;所述驱动装置3包括第一驱动装置31和第二驱动装置32,所述第一驱动装置31驱动所述滑座滑动,所述第二驱动装置32驱动所述装载台21滑动。通过所述第二驱动装置32使得所述装载台21可以沿一个方向运动,将所述装载台21安装至所述滑座上,所述第一驱动装置31驱动所述滑座运动,使得所述装载台21可以沿另一方向运动,使得处于所述装载台21上的网格载具上的每一个网格内的电子器件都可以移动至被所述顶针41顶出。由于使得所述固定装置2运动,防止所述顶针机构4被所述顶针41的针筒等因素限制而无法剥离每个网格内的电子器件。
请参阅图5,进一步的,在本实施例中,所述顶针机构4还包括使得所述顶针41复位至工作位置的复位装置42、以及驱动所述顶针41向远离所述装载台21活动的顶针驱动装置43。通过顶针驱动装置43驱动所述顶针41远离所述装载台21,在通过所述复位装置42驱动所述顶针41运动至所述工作位置,使得所述顶针41快速在工位位置和远离所述装载台21的状态之间切换。
具体的,所述顶针41设有侧向突出所述顶针41设置的驱动块411;所述顶针驱动装置43包括转动驱动装置431以及凸轮432,所述凸轮432与所述转动驱动装置431的转轴连接,以被驱动转动,所述凸轮432与所述驱动块411朝向所述装载台21的一侧面抵接。保持所述驱动块411与所述凸轮432抵接,所述凸轮432转动时,所述驱动块411跟随所述凸轮432的直径的变化而靠近或远离所述装载台21,通过所述凸轮432的转动,使得所述顶针41的切换速度更快,极大的加快了所述顶针41的工作速度。
需要说明的是,所述转动驱动装置431可以为转动电机;所述复位装置42 将所述顶针41复位至所述工作位置,所述复位装置42可以为直线驱动电机,也可以使用强力弹簧,保持所述顶针41及时复位至工作位置。
在本实施例中,请参阅图6,所述复位装置42包括缸体421、活塞件422以及气压调节装置;所述活塞件422与所述顶针41连接,所述活塞件422将所述缸体421分为第一缸体和第二缸体,其中,所述活塞件422自所述第二缸体穿出;所述气压调节装置,与所述第二缸体连接,用以调节所述第二缸体的气压,以使得所述第二缸体保持设定大小的压力。通过所述气压调节装置,保持所述第二缸体内的气压,使得所述驱动块411保持与所述凸轮432的接触,且能够随着所述凸轮432的转动而运动。
进一步的,为了保证所述复位装置42的使用安全,所述气压调节装置包括节流气路、减压气路以及三通阀;所述节流气路设有节流阀,所述节流阀用以保持所述节流气路内的气流稳定;所述减压气路设有减压阀,所述减压阀用以降低所述减压气路内的气压;所述三通阀的出气口连通至所述第二缸体,所述三通阀的两个入气口分别连接至所述节流气路和所述减压气路,以切换所述节流气路和所述减压气路。通过所述三通阀在所述节流气路以及所述减压气路中切换,驱动所述顶针41向所述装载台21运动时,将气路保持在所述节流气路上,使得所述驱动块411缓慢的与所述凸轮432相接触,防止硬接触,在接触后,将气路切换至所述减压气路,防止所述驱动块411缸体421 内气压过高而导致所述顶针41与所述凸轮432之间接触过于紧密,无法转动,进而损坏所述缸体421和所述顶针41,使得所述驱动块411能够随着所述凸轮 432运动。
需要说明的是,所述三通阀可以设置为电磁二位三通阀,以便于调整。
另外,所述顶针机构4还包括导向套44,所述导向套44固定安装至所述底座1上,所述顶针41可活动的套设于所述导向套44内。通过所述导向套44防止所述顶针41在运动时产生晃动,进而导致与网格产生碰撞。
以上所述仅为本发明的优选实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是在本发明的构思下,利用本发明说明书及附图内容所做的等效结构变换,或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种剥离装置,用于剥离网格载具上的电子器件,其特征在于,包括:
底座;
固定装置,所述固定装置包括装载台,所述装载台在其所在平面的方向上活动安装于所述底座,所述装载台的一侧设有用以供网格载具安装的安装区域,所述装载台在所述安装区域所在位置呈镂空设置;
驱动装置,驱动所述装载台活动;以及,
顶针机构,设于所述底座且位于所述装载台的另一侧,所述顶针机构包括在靠近或远离所述装载台的方向上可伸缩活动设置的顶针,且所述顶针对应所述安装区域设置,所述顶针可向所述装载台活动至工作位置,以穿过所述安装区域从网格载具的网格内剥离电子器件。
2.如权利要求1所述的剥离装置,其特征在于,所述固定装置还包括压盖,所述压盖可拆卸的安装于所述装载台背对所述顶针机构的一侧,且对应所述安装区域设置,所述压盖贯设有多个网格孔,所述压盖用以对置于所述安装区域的网格载具进行限位。
3.如权利要求2所述的剥离装置,其特征在于,所述压盖具有沿第一方向延伸的两个相对的第一侧部,两个所述第一侧部均侧向延伸出限位柱;
所述装载台对应设于位于所述压盖的两个第一侧部的外围的两个安装凸起,每一所述安装凸起沿第一方向延伸,且每一所述安装凸起开设有供对应的所述限位柱安装的滑槽,所述滑槽沿第一方向延伸,且贯穿所述安装凸起位于所述第一方向上的一端,以形成入口。
4.如权利要求3所述的剥离装置,其特征在于,所述压盖具有位于所述第一方向上的两端,且所述压盖其中靠近所述滑槽的入口的一端形成台阶部,所述台阶部用以与网格载具上的凸起抵接,以限制所述压盖朝着所述滑槽的入口方向移动;和/或,
所述滑槽具有远离所述装载台且用以压制所述限位柱的压制壁,所述压制壁在远离所述滑槽的入口的方向上呈逐渐靠近所述装载台设置。
5.如权利要求1所述的剥离装置,其特征在于,所述固定装置还包括滑座,所述滑座沿一方向可活动的安装于所述底座;
所述装载台沿另一方向可活动地安装于所述滑座;
所述驱动装置包括第一驱动装置和第二驱动装置,所述第一驱动装置驱动所述滑座滑动,所述第二驱动装置驱动所述装载台滑动。
6.如权利要求1所述的剥离装置,其特征在于,所述顶针机构还包括使得所述顶针复位至工作位置的复位装置、以及驱动所述顶针向远离所述装载台活动的顶针驱动装置。
7.如权利要求6所述的剥离装置,其特征在于,所述顶针设有侧向突出所述顶针设置的驱动块;
所述顶针驱动装置包括:
转动驱动装置;以及,
凸轮,与所述转动驱动装置的转轴连接,以被驱动转动,所述凸轮与所述驱动块朝向所述装载台的一侧面抵接。
8.如权利要求7所述的剥离装置,其特征在于,所述复位装置包括:
缸体;
活塞件,所述活塞件与所述顶针连接,所述活塞件将所述缸体分为第一缸体和第二缸体,其中,所述活塞件自所述第二缸体穿出;以及,
气压调节装置,与所述第二缸体连接,用以调节所述第二缸体的气压,以使得所述第二缸体保持设定大小的压力。
9.如权利要求8所述的剥离装置,其特征在于,所述气压调节装置包括:
节流气路,设有节流阀,所述节流阀用以保持所述节流气路内的气流稳定;
减压气路,设有减压阀,所述减压阀用以降低所述减压气路内的气压;以及,
三通阀,所述三通阀的出气口连通至所述第二缸体,所述三通阀的两个入气口分别连接至所述节流气路和所述减压气路,以切换所述节流气路和所述减压气路。
10.如权利要求6所述的剥离装置,其特征在于,所述顶针机构还包括导向套,所述导向套固定安装至所述底座上;
所述顶针可活动的套设于所述导向套内。
CN202010114168.0A 2020-02-24 2020-02-24 一种剥离装置 Active CN111263578B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010114168.0A CN111263578B (zh) 2020-02-24 2020-02-24 一种剥离装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010114168.0A CN111263578B (zh) 2020-02-24 2020-02-24 一种剥离装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111263578A CN111263578A (zh) 2020-06-09
CN111263578B true CN111263578B (zh) 2021-04-16

Family

ID=70951290

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010114168.0A Active CN111263578B (zh) 2020-02-24 2020-02-24 一种剥离装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111263578B (zh)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103311159B (zh) * 2013-05-08 2015-12-02 华中科技大学 一种ic芯片剥离装置
CN105140156B (zh) * 2015-08-26 2017-10-27 华中科技大学 一种面向柔性芯片的多顶针剥离装置及剥离方法
CN108133907B (zh) * 2017-12-28 2020-05-01 北京中电科电子装备有限公司 一种芯片剥离装置
CN208861945U (zh) * 2018-09-30 2019-05-14 汕头大学 一种大尺寸超薄芯片阶段化高速剥离装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN111263578A (zh) 2020-06-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20210030969A1 (en) Insertion module and insertion device having the same
US7886427B2 (en) Component mounting head
CN111263578B (zh) 一种剥离装置
WO1997010696A1 (fr) Tete d'aspiration de machine de montage de composants electroniques
CN108927820B (zh) 末端执行器、机器人及翻转物品的方法
EP1161129A3 (en) Electronic-component mounting apparatus
EP0889688B1 (en) Electronic component mounting device
JPWO2013183123A1 (ja) 部品挿入組立装置
KR20090026015A (ko) 반도체 다이의 픽업 장치 및 픽업 방법
JP4290718B2 (ja) プッシュアップ構造付きの電子部品のピックアンドプレイス装置
CN213860773U (zh) 麦拉贴装治具及麦拉贴装系统
JP4212695B2 (ja) 部品装着装置
JP3087785B2 (ja) 真空吸着装置
CN112735958A (zh) 一种bga植球球板锡球移除装置、bga植球机及方法
JP2804570B2 (ja) 部品吸着ノズル
KR100585594B1 (ko) 부품실장용 그립퍼
CN109064887B (zh) 用于电子装置的屏幕的活化治具
CN217719551U (zh) 一种集成电路封装系统的安装夹具
JP4021598B2 (ja) 表面実装部品装着機
JP4459486B2 (ja) 部品実装装置及び部品実装方法
CN220077843U (zh) 取料装置
CN217448000U (zh) 导针器组件及其穿刺机器人
JPH05283329A (ja) 可動板を有するスピンコーター
KR880010642A (ko) 전기 부품 또는 전자 부품용 흡인 픽업 장치
CN214724352U (zh) 一种机械臂

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant