CN111257712B - 插拔机构以及块构件的更换方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供插拔机构以及块构件的更换方法。不污染连接端子就能够以短时间执行具有连接端子的块构件的拆装的技术。一形态的插拔机构是相对于框架件插拔具有多个连接端子的一个或多个块构件的插拔机构，该框架件设置于具有多个第1端子的第1构件与具有多个第2端子的第2构件之间并构成将第1端子和第2端子电连接的中间连接构件，该多个连接端子将第1端子和第2端子电连接，该插拔机构具有第1卡合部、第2卡合部，其分别能够与块构件的第1被卡合部、第2被卡合部卡合，至少能够在与第1、第2被卡合部卡合的位置和不与第1、第2被卡合部卡合的位置之间移动，第1、第2卡合部分别与第1、第2被卡合部卡合，从而该插拔机构保持块构件。

Description

插拔机构以及块构件的更换方法
技术领域
本公开涉及一种插拔机构以及块构件的更换方法。
背景技术
在半导体器件的制造工艺中，使用检查装置而进行在基板上形成的多个器件的电的检查。检查装置具备探针台和测试器等，该探针台安装有探针卡，该探针卡具有与在基板上形成的器件接触的探针，该测试器用于借助探针卡向器件赋予电信号而检查器件的各种电特性。
在这样的检查装置中，为了取得测试器与探针卡的电的导通，设置有中间连接构件。作为中间连接构件，公知有具有如下构件的结构：多个弹性块，其是许多弹簧针座排列而形成的；弹性框架，其具有供弹性块插入嵌合的多个插入嵌合孔(参照例如专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2015-61021号公报
发明内容
发明要解决的问题
本公开提供一种不污染连接端子就能够以短时间执行具有连接端子的块构件的拆装的技术。
用于解决问题的方案
本公开的一形态的插拔机构是相对于框架件插拔具有多个连接端子的一个或多个块构件的插拔机构，该框架件设置于具有多个第1端子的第1构件与具有多个第2端子的第2构件之间并构成将所述第1端子和所述第2端子电连接的中间连接构件，该多个连接端子将所述第1端子和所述第2端子电连接，其中，该插拔机构具有：第1卡合部，其能够与所述块构件的第1被卡合部卡合，至少能够在与所述第1被卡合部卡合的位置和不与所述第1被卡合部卡合的位置之间移动；以及第2卡合部，其能够与所述块构件的第2被卡合部卡合，至少能够在与所述第2被卡合部卡合的位置和不与所述第2被卡合部卡合的位置之间移动，所述第1卡合部和所述第2卡合部分别与所述第1被卡合部和第2被卡合部卡合，从而该插拔机构保持所述块构件。
发明的效果
根据本公开，不污染连接端子就能够以短时间执行具有连接端子的块构件的拆装。
附图说明
图1是表示搭载有多个检查装置的检查系统的结构例的立体图。
图2是表示设置到图1的检查系统的检查装置的剖视图。
图3是表示图2的检查装置中的中间连接构件的弹性框架的俯视图。
图4是表示弹性块的一个例子的立体图。
图5是表示将图4的弹性块插入嵌合到弹性框架的状态的剖视图。
图6是表示将图4的弹性块向弹性框架的插入嵌合孔插入的中途的状态的图。
图7是表示插拔机构的一个例子的俯视图。
图8是图7的插拔机构的剖视图。
图9是用于说明图7的插拔机构的动作的图。
图10是用于说明弹性块的更换方法的一个例子的图。
图11是表示弹性块的另一个例子的剖视图。
图12是表示插拔机构的另一个例子的俯视图。
图13是图12的插拔机构的剖视图。
具体实施方式
以下，一边参照附图，一边对本公开的非限定性的例示的实施方式进行说明。在全部附图中，对相同或相对应的构件或零部件标注相同或相对应的附图标记，省略重复的说明。
(检查系统)
图1是表示搭载有多个检查装置的检查系统的结构例的立体图。检查系统10是如下系统：对在作为被检査体的半导体晶圆(以下称为“晶圆”。)形成的多个被检査器件(DUT：Device Under Test)赋予电信号而检查器件的各种电特性。
检查系统10具备：检查部12：其整体形状呈长方体，具有多个检查室11；和装载部13，其相对于各检查室11进行晶圆W的送入送出。检查部12的检查室11沿着水平方向排列有4个而构成列，列沿着上下方向配置有3层。在检查部12与装载部13之间设置有输送部14，在输送部14内设置有在装载部13与各检查室11之间进行晶圆W的交接的输送机构(未图示)。在各检查室11内设置有随后论述的检查装置。构成检查装置的一部分的测试器30被从检查部12 的前面向各检查室11的内部插入。此外，在图1中，检查室11的进深方向是X 方向，检查室11的排列方向是Y方向，高度方向是Z方向。
图2是表示设置到图1的检查系统10的检查装置的剖视图。检查装置20具有测试器30、中间连接构件40、以及探针卡50。在检查装置20中，借助探针卡50并利用测试器30进行在晶圆W形成的DUT的电特性的检查。
测试器30具有：水平设置的测试器主板31；多个检查电路板32，其以竖立设置状态安装固定到测试器主板31的槽；以及壳体33，其收纳检查电路板 32。在测试器主板31的底部设置有多个端子(未图示)。
探针卡50具有：板状的基部51，其在上表面具有多个端子(未图示)；和多个探针52，其设置到基部51的下表面。多个探针52能与在晶圆W形成的 DUT接触。晶圆W在被吸附到载物台60的状态下利用定位器(未图示)进行定位，与多个DUT相对应的探针分别与多个DUT接触。
中间连接构件40是用于对测试器30和探针卡50进行电连接的构件，具有弹性框架41和弹性块42。
弹性框架41由高强度且刚性较高、热膨胀系数较小的材料、例如NiFe 合金形成。例如，如图3所示，弹性框架41具有矩形形状，具有沿着厚度方向(Z方向)贯通的多个长方形的插入嵌合孔43。弹性块42能插入嵌合于插入嵌合孔43内。在弹性框架41的上表面设置有定位孔44。定位孔44设置于与随后论述的插拔机构100的定位销113相对应的位置，定位销113能插入嵌合于定位孔44。在图3中，定位孔44设置于弹性框架41的上表面上的、隔着设置有插入嵌合孔43的区域的对角位置。此外，图3是表示图2的检查装置20中的中间连接构件40的弹性框架41的俯视图。
弹性块42相对于弹性框架41定位，连接测试器30中的测试器主板31的端子与探针卡50中的基部51的端子。随后论述弹性块42的详细情况。
在测试器主板31与弹性框架41之间设置有密封构件71，测试器主板31与中间连接构件40之间的空间被抽真空，从而中间连接构件40隔着密封构件71 被向测试器主板31吸附。在弹性框架41与探针卡50之间设置有密封构件72，中间连接构件40与探针卡50之间的空间被抽真空，从而探针卡50隔着密封构件72被向中间连接构件40吸附。
在载物台60的上表面以包围晶圆W的方式设置有密封构件73。利用设置到各层的定位器(未图示)使载物台60上升而使探针卡50的探针52与在晶圆 W形成的DUT的电极接触。另外，使密封构件73与弹性框架41抵接而对由密封构件73围成的空间进行抽真空，从而载物台60被向中间连接构件40吸附。
接着，详细地说明中间连接构件40、特别是弹性块42。图4是表示弹性块42的一个例子的立体图。图5是表示将图4的弹性块42插入嵌合到弹性框架 41的状态的剖视图。
弹性块42具有引导构件421、连接端子422、凸缘423、以及销卡定部424。
引导构件421的整体形状呈大致长方体形状，俯视时具有长边和短边。与长边平行的方向是X方向，与短边平行的方向是Y方向。长边的长度是例如50mm以上，短边的长度是例如20mm以上。在引导构件421的上端，沿着其外缘形成有框架421a，在由框架421a围成的空间配置有多个连接端子422。另外，在引导构件421的下端，沿着其外缘形成有框架421b，在由框架421b 围成的空间配置有多个连接端子422。配置到由框架421a围成的空间的多个连接端子422和配置到由框架421b围成的空间的多个连接端子422分别与设置到引导构件421内的连接销(未图示)的一端和另一端连接。
测试器主板31与中间连接构件40之间、中间连接构件40与探针卡50的基部51之间被真空吸附，从而测试器主板31的端子与连接端子422连接、基部 51的端子与连接端子422连接。此时，成为测试器主板31与框架421a抵接了的状态、基部51与框架421b抵接了的状态。
凸缘423是树脂制的，以向引导构件421的一对长边的外侧突出的方式设置。
销卡定部424形成于凸缘423的上表面侧。随后论述的插拔机构100的第1 卡合销121、221和第2卡合销131、231能与销卡定部424卡定。销卡定部424 在各凸缘423各形成有3个。
图6是表示将弹性块42向弹性框架41的插入嵌合孔43插入的中途的图。如图6所示，弹性块42被从弹性框架41的插入嵌合孔43的上方插入，凸缘423 卡定于弹性框架41的上表面。在一个凸缘423的下表面以向下方突出的方式设置有定位销425。也就是说，定位销425设置于弹性块42的与连接销配置区域不同的区域。定位销425插入嵌合于被设置到与弹性框架41的上表面的定位销425相对应的位置的定位孔411。由此，弹性块42被相对于弹性框架41定位。
(插拔机构)
接着，对相对于构成前述的中间连接构件40的弹性框架41插拔弹性块42 的插拔机构的一个例子进行说明。图7是表示插拔机构的一个例子的俯视图。图8是图7的插拔机构的剖视图，且是在图7中的单点划线VIII-VIII处剖切的剖视图。图9是用于说明图7的插拔机构的动作的图。
如图7和图8所示，插拔机构100具有壳体110、第1卡合部120、以及第2 卡合部130。
壳体110将第1卡合部120和第2卡合部130支承成可沿着水平方向直动。壳体110具有在例如下方开口的大致箱状，具有可包围弹性框架41的上表面上的设置有插入嵌合孔43的区域的大小。壳体110具有侧壁部111、顶部112、以及定位销113。此外，在图7中，为了方便说明，省略壳体110的顶部112的图示。
侧壁部111将第1卡合部120和第2卡合部130支承成可沿着水平方向、例如相互平行的方向(图7和图8的X方向)直动。
顶部112以覆盖随后论述的第1卡合销121和第2卡合销131的方式设置于侧壁部111的上端。
定位销113设置于侧壁部111的下端的、与弹性框架41的定位孔44相对应的位置，在将壳体110向弹性框架41上设置之际被插入嵌合于定位孔44。由此，插拔机构100(壳体110)被相对于弹性框架41定位。
第1卡合部120可与弹性块42的销卡定部424卡合。第1卡合部120具有第1 卡合销121、第1滑动构件122、以及第1支承构件123。
第1卡合销121具有向第1滑动构件122的下方延伸且下端向第1卡合销 121的移动方向弯曲的L字形状。第1卡合销121可与弹性块42的销卡定部424 卡合，如图9所示，第1卡合销121至少在与销卡定部424卡合的位置和不与销卡定部424卡合的位置之间移动。此外，在图9中，以实线表示第1卡合销121 与销卡定部424卡合的位置，以双点划线表示第1卡合销121不与销卡定部424 卡合的位置。第1卡合销121的下端位于比壳体110的侧壁部111的下端靠上方的位置。由此，能够防止在将插拔机构100设置到弹性框架41上时第1卡合销121与弹性块42的上表面接触而污染连接端子422等。第1卡合销121根据弹性框架41的插入嵌合孔43的数量、换言之要插入嵌合于弹性框架41的弹性块42 的数量设置有多个。
第1滑动构件122具有矩形板状，被支承成可相对于壳体110沿着水平方向直动，例如向第1卡合销121的下端所弯曲的方向直动。第1滑动构件122保持1个或多个第1卡合销121。在图8中，表示在第1滑动构件122保持有4个第1 卡合销121的情况。
第1支承构件123具有以与第1滑动构件122的长边正交的方向为长边方向的矩形板状。第1支承构件123将1个或多个第1滑动构件122支承成可沿着水平方向直动，例如相对于壳体110向第1滑动构件122移动的方向直动。在第1支承构件123支承多个第1滑动构件122的情况下，优选多个第1滑动构件 122可分别相对于第1支承构件123独立地直动。由此，能够按照列选择被插入嵌合到弹性框架41的插入嵌合孔43的弹性块42而拆卸。例如，在拆卸被插入嵌合到弹性框架41的插入嵌合孔43的多个弹性块42中的1列量的弹性块42 的情况下，不拆卸全部的弹性块42，能够仅选择1列量的弹性块42而拆卸。
第2卡合部130可与弹性块42的销卡定部424卡合。第2卡合部130具有第2 卡合销131、第2滑动构件132、以及第2支承构件133。
第2卡合销131具有向第2滑动构件132的下方延伸且下端向第2卡合销 131的移动方向弯曲的L字形状。第2卡合销131可与弹性块42的销卡定部424 卡合，如图9所示，第2卡合销131至少在与销卡定部424卡合的位置和不与销卡定部424卡合的位置之间移动。此外，在图9中，以实线表示第2卡合销131 与销卡定部424卡合的位置，以双点划线表示第2卡合销131不与销卡定部424 卡合的位置。第2卡合销131的下端位于比壳体110的侧壁部111的下端靠上方的位置。由此，能够防止在将插拔机构100设置到弹性框架41上时第2卡合销131与弹性块42的上表面接触而污染连接端子422等。第2卡合销131根据弹性框架41的插入嵌合孔43的数量、换言之要向弹性框架41插入嵌合的弹性块42 的数量设置有多个。
第2滑动构件132具有矩形板状，被支承成可相对于壳体110沿着水平方向直动，例如向第2卡合销131的下端所弯曲的方向直动。第2滑动构件132设置于壳体110的侧壁部111中的与设置有第1滑动构件122的一侧相对的一侧。第2滑动构件132保持1个或多个第2卡合销131。在图8中表示在第2滑动构件 132保持有4个第2卡合销131的情况。
第2支承构件133具有以与第2滑动构件132的长边正交的方向为长边方向的矩形板状。第2支承构件133将1个或多个第2滑动构件132支承成可沿着水平方向直动，例如相对于壳体110向第2滑动构件132移动的方向直动。在第2支承构件133支承多个第2滑动构件132的情况下，优选多个第2滑动构件 132可相对于第2支承构件133独立地直动。由此，能够按照列选择被插入嵌合到弹性框架41的插入嵌合孔43的弹性块42而拆卸。例如，在仅拆卸被插入嵌合到弹性框架41的插入嵌合孔43的多个弹性块42中的1列量的弹性块42的情况下，不拆卸全部的弹性块42，能够仅选择1列量的弹性块42而拆卸。
参照图9和图10而说明如下方法：使用以上进行了说明的插拔机构100而相对于弹性框架41插拔弹性块42而更换弹性块42。以下，作为一个例子，对更换被插入嵌合到弹性框架41的插入嵌合孔43的全部的弹性块42的情况进行说明。图10是用于说明弹性块42的更换方法的一个例子的图。
最初，将使第1卡合销121和第2卡合销131移动到不与销卡定部424卡合的位置(图9的以双点划线表示的位置)的插拔机构100设置于检查装置20中的中间连接构件40的弹性框架41上。此时，以插拔机构100的定位销113被插入嵌合于弹性框架41的定位孔44的方式将插拔机构100设置于弹性框架41上。由此，插拔机构100的第1卡合部120和第2卡合部130与弹性块42的销卡定部 424之间被定位。另外，第1卡合销121和第2卡合销131的下端位于比壳体110 的侧壁部111的下端靠上方的位置。因此，能够防止在将插拔机构100设置到弹性框架41上时第1卡合销121和第2卡合销131与弹性块42的上表面接触而污染连接端子422等。
接下来，通过使至少第1滑动构件122和第1支承构件123中任一个相对于壳体110移动，使第1卡合销121向与销卡定部424卡合的位置(图9的以实线表示的位置)移动。由此，第1卡合销121与销卡定部424卡合。另外，通过使至少第2滑动构件132和第2支承构件133中任一个相对于壳体110移动，使第2卡合销131向与销卡定部424卡合的位置(图9的以实线表示的位置)移动。由此，第2卡合销131与销卡定部424卡合。
接下来，使插拔机构100向上方移动而使插拔机构100从弹性框架41上与弹性框架41分开。此时，第1卡合销121和第2卡合销131与销卡定部424卡合着，因此，弹性块42被插拔机构100保持而被从弹性框架41的插入嵌合孔43 拆卸。
接下来，将保持有弹性块42的插拔机构100设置于弹性块保管托盘300上。弹性块保管托盘300具有与例如弹性框架41的结构同样的结构，具有与弹性框架41同样地排列的插入嵌合孔(未图示)。
接下来，通过使至少第1滑动构件122和第1支承构件123中任一个相对于壳体110移动，使第1卡合销121向不与销卡定部424卡合的位置移动。另外，通过使至少第2滑动构件132和第2支承构件133中任一个相对于壳体110移动，使第2卡合销131向不与销卡定部424卡合的位置移动。由此，弹性块42安装于弹性块保管托盘300的插入嵌合孔。
接下来，使插拔机构100向上方移动而使插拔机构100从弹性块保管托盘 300上与弹性块保管托盘300分开。此时，第1卡合销121和第2卡合销131不与销卡定部424卡合，因此，弹性块42未被插拔机构100保持。
通过以上步骤，弹性块42从弹性框架41的拆卸完成。
接下来，将插拔机构100设置于弹性块保管托盘300上，该弹 性块保管托盘 300保管有要新安装于弹性框架41的弹性块42。
接下来，使插拔机构100与从弹性框架41拆卸弹性块42时同样地动作而从弹性块保管托盘300拆卸弹性块42，利用插拔机构100保持弹性块42。
接下来，将保持有弹性块42的插拔机构100设置于弹性块42已拆卸掉的弹性框架41上。
接下来，使插拔机构100与将弹性块42向弹性块保管托盘300安装时同样地动作而将弹性块42向弹性框架41的插入嵌合孔43安装。
通过以上步骤，插入嵌合到弹性框架41的插入嵌合孔43的全部的弹性块 42被更换成新的弹性块42。
此外，在更换一部分弹性块42的情况下，在使第1卡合销121和第2卡合销131与销卡定部424卡合之际使第1滑动构件122和第2滑动构件132向与该弹性块42相对应的位置移动即可。
如以上进行了说明这样，根据插拔机构100，具有可在与销卡定部424卡合的位置和不与销卡定部424卡合的位置之间移动的第1卡合部120和第2卡合部130。并且，通过第1卡合部120和第2卡合部130分别与销卡定部424卡合，该插拔机构100保持弹性块42。由此，不污染连接端子422，就能够以短时间执行弹性块的拆装。
此外，在上述的例子中，对弹性块42具有与第1卡合销121和第2卡合销 131卡合的销卡定部424的情况进行了说明，但并不限定于此。例如，如图11 所示，弹性块42也可以具有销卡合孔424a来替代销卡定部424。
接着，对相对于构成前述的中间连接构件40的弹性框架41插拔弹性块42 的插拔机构的另一个例子进行说明。图12是表示插拔机构的另一个例子的俯视图，表示相当于多列中的1列量的第1滑动构件122和第2滑动构件132的部分。图13是图12的插拔机构的剖视图，且是在图12中的单点划线XIII-XIII处剖切的剖视图。此外，在图12和图13中表示全部的第1卡合销221和第2卡合销231位于不与销卡定部424卡合的位置时的状态。
图12和图13所示的插拔机构200具有壳体210、第1卡合部220、以及第2 卡合部230。
壳体210将第1卡合部220和第2卡合部230支承成可沿着水平方向直动。壳体210具有在例如下方开口的大致箱状，具有可包围弹性框架41的上表面上的设置有插入嵌合孔43的区域的大小。壳体210具有侧壁部211、顶部212、以及定位销213。
侧壁部211将第1卡合部220和第2卡合部230支承成可沿着水平方向、例如相互平行的方向(图12和图13的X方向)直动。
顶部212以覆盖随后论述的第1卡合销221和第2卡合销231的方式设置于侧壁部211的上端。在顶部212形成有引导随后论述的第1卡合销221和第2卡合销231的引导孔212a。
定位销213设置于侧壁部211的下端的、与弹性框架41的定位孔44相对应的位置，在将壳体210设置于弹性框架41上之际被插入嵌合于定位孔44。由此，插拔机构200(壳体210)被相对于弹性框架41定位。
第1卡合部220可与弹性块42的销卡定部424卡合。第1卡合部220具有第1 卡合销221、第1滑动构件222、以及第1支承构件223。
第1卡合销221具有从壳体210的顶部212的上方穿过引导孔212a并向第1 滑动构件222的下方延伸且下端向第1卡合销221的移动方向弯曲的L字形状。第1卡合销221可与弹性块42的销卡定部424卡合，一边被引导孔212a引导一边至少在与销卡定部424卡合的位置和不与销卡定部424卡合的位置之间移动。另外，在第1卡合销221配置于与销卡定部424卡合的位置和不与销卡定部424卡合的位置的情况下，优选可利用锁定机构(未图示)固定成第1卡合销221不移动。第1卡合销221的下端位于比壳体210的侧壁部211的下端靠上方的位置。由此，能够防止在将插拔机构200设置到弹性框架41上时第1卡合销221与弹性块42的上表面接触而污染连接端子422等。
另外，第1卡合销221根据弹性框架41的插入嵌合孔43的数量、换言之要插入嵌合于弹性框架41的弹性块42的数量设置有多个。在第1卡合销221设置有多个的情况下，优选多个第1卡合销221分别一边被引导孔212a引导一边可独立地移动。由此，能够逐个选择被插入嵌合到弹性框架41的插入嵌合孔43 的弹性块42而拆卸。例如，在拆卸被插入嵌合到弹性框架41的插入嵌合孔43 的多个弹性块42中的1个弹性块42的情况下，不拆卸全部的弹性块42，能够仅选择1个弹性块42而拆卸。
第1滑动构件222具有矩形板状，被支承成可相对于壳体210沿着水平方向直动，例如向第1卡合销221的下端所弯曲的方向直动。第1滑动构件222与配置到相同的列的多个第1卡合销221接触而使多个第1卡合销221同时移动。
第1支承构件223具有以与第1滑动构件222的长边正交的方向为长边方向的矩形板状。第1支承构件223将1个或多个第1滑动构件222支承成可沿着水平方向直动，例如相对于壳体210向第1滑动构件222移动的方向直动。在第1支承构件223支承多个第1滑动构件222的情况下，优选多个第1滑动构件 222可分别相对于第1支承构件223独立地直动。由此，能够按照列选择被插入嵌合到弹性框架41的插入嵌合孔43的弹性块42而拆卸。例如，在拆卸被插入嵌合到弹性框架41的插入嵌合孔43的多个弹性块42中的1列量的弹性块42 的情况下，不拆卸全部的弹性块42，能够仅选择1列量的弹性块42而拆卸。
第2卡合部230可与弹性块42的销卡定部424卡合。第2卡合部230具有第2 卡合销231、第2滑动构件232、以及第2支承构件233。
第2卡合销231具有从壳体210的顶部212的上方穿过引导孔212a并向第1 滑动构件222的下方延伸且下端向第2卡合销231的移动方向弯曲的L字形状。第2卡合销231可与弹性块42的销卡定部424卡合，一边被引导孔212a引导一边至少在与销卡定部424卡合的位置和不与销卡定部424卡合的位置之间移动。另外，在第2卡合销231配置于与销卡定部424卡合的位置和不与销卡定部424卡合的位置的情况下，优选可利用锁定机构(未图示)固定成第2卡合销231不移动。第2卡合销231的下端位于比壳体210的侧壁部211的下端靠上方的位置。由此，能够防止在将插拔机构200设置到弹性框架41上时第2卡合销231与弹性块42的上表面接触而污染连接端子422等。
另外，第2卡合销231根据弹性框架41的插入嵌合孔43的数量、换言之要向弹性框架41插入嵌合的弹性块42的数量设置有多个。在第2卡合销231设置有多个的情况下，优选多个第2卡合销231一边分别被引导孔212a引导一边可独立地移动。由此，能够逐个选择被插入嵌合到弹性框架41的插入嵌合孔43 的弹性块42而拆卸。例如，在拆卸被插入嵌合到弹性框架41的插入嵌合孔43 的多个弹性块42中的1个弹性块42的情况下，不拆卸全部的弹性块42，能够仅选择1个弹性块42而拆卸。
第2滑动构件232具有矩形板状，被支承成可相对于壳体210沿着水平方向直动，例如向第2卡合销231的下端所弯曲的方向直动。第2滑动构件232与配置到相同的列的多个第2卡合销231接触而使多个第2卡合销231同时移动。
第2支承构件233具有以与第2滑动构件232的长边正交的方向为长边方向的矩形板状。第2支承构件233将1个或多个第2滑动构件232支承成可沿着水平方向直动，例如可相对于壳体210向第2滑动构件232移动的方向直动。在第2支承构件233支承多个第2滑动构件232的情况下，优选多个第2滑动构件232可分别相对于第2支承构件233独立地直动。由此，能够按照列选择被插入嵌合到弹性框架41的插入嵌合孔43的弹性块42而拆卸。例如，在拆卸被插入嵌合到弹性框架41的插入嵌合孔43的多个弹性块42中的1列量的弹性块 42的情况下，不拆卸全部的弹性块42，能够仅选择1列量的弹性块42而拆卸。
如以上进行了说明那样，根据插拔机构200，多个第1卡合销221和多个第2卡合销231可按照列直动，并且，可逐个直动。由此，能够按照列或逐个选择被插入嵌合到弹性框架41的插入嵌合孔43的弹性块42而拆卸。
此外，在上述的实施方式中，测试器主板31是第1构件的一个例子，测试器主板31的端子是第1端子的一个例子。另外，探针卡50是第2构件的一个例子，基部51的端子是第2端子的一个例子。另外，弹性框架41是框架件的一个例子，弹性块42是块构件的一个例子。另外，销卡定部424和销卡合孔 424a均是第1被卡合部和第2被卡合部的一个例子。
应该认为此次所公开的实施方式在全部的点都是例示，并非限制性的。上述的实施方式不脱离权利要求书及其主旨，也可以以各种形态进行省略、置换、变更。
在上述的实施方式中，列举具有多个检查室11的检查系统10内的检查装置20为例而进行了说明，但并不限定于此，也可以是单体的检查装置。

Claims (7)

1.一种插拔机构，其是相对于框架件插拔具有多个连接端子的一个或多个块构件的插拔机构，该框架件设置于具有多个第1端子的第1构件与具有多个第2端子的第2构件之间并构成将所述第1端子和所述第2端子电连接的中间连接构件，该多个连接端子将所述第1端子和所述第2端子电连接，其中，
该插拔机构具有：
第1卡合部，其能够与所述块构件的第1被卡合部卡合，至少能够在与所述第1被卡合部卡合的位置和不与所述第1被卡合部卡合的位置之间移动；以及
第2卡合部，其能够与所述块构件的第2被卡合部卡合，至少能够在与所述第2被卡合部卡合的位置和不与所述第2被卡合部卡合的位置之间移动，
所述第1卡合部和所述第2卡合部分别与所述第1被卡合部和所述第2被卡合部卡合，从而该插拔机构保持所述块构件，
该插拔机构具有将所述第1卡合部和所述第2卡合部支承成能够沿着水平方向直动的壳体，
所述第1卡合部具有：第1卡合销，其能够与所述第1被卡合部卡合；第1滑动构件，其使所述第1卡合销相对于所述壳体直动；以及第1支承构件，其将所述第1滑动构件支承成能够直动，
所述第2卡合部具有：第2卡合销，其能够与所述第2被卡合部卡合；第2滑动构件，其使所述第2卡合销相对于所述壳体直动；以及第2支承构件，其将所述第2滑动构件支承成能够直动，
所述第1卡合销和所述第2卡合销分别向所述第1滑动构件和所述第2滑动构件的下方延伸且下端向所述第1卡合部和所述第2卡合部的移动方向弯曲。
2.根据权利要求1所述的插拔机构，其中，
所述第1卡合部和所述第2卡合部相互平行地直动。
3.根据权利要求1所述的插拔机构，其中，
所述第1卡合销和所述第2卡合销的下端位于比所述壳体的下端靠上方的位置。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的插拔机构，其中，
所述第1卡合销和所述第2卡合销分别固定于第1滑动构件和第2滑动构件。
5.根据权利要求1～3中任一项所述的插拔机构，其中，
所述第1卡合销和所述第2卡合销分别能够相对于所述第1滑动构件和所述第2滑动构件沿着水平方向直动。
6.根据权利要求1～3中任一项所述的插拔机构，其中，
所述壳体具有能够插入嵌合于在所述框架件设置的定位孔的定位销。
7.一种块构件的更换方法，其是相对于框架件更换具有多个连接端子的块构件的方法，该框架件设置于具有多个第1端子的第1构件与具有多个第2端子的第2构件之间并构成将所述第1端子和所述第2端子电连接的中间连接构件，该多个连接端子将所述第1端子和所述第2端子电连接，其中，
该块构件的更换方法具有如下工序：
使能够与所述块构件的第1被卡合部卡合的第1卡合部从不与所述第1被卡合部卡合的位置向与所述第1被卡合部卡合的位置移动的工序；
使能够与所述块构件的第2被卡合部卡合的第2卡合部从不与所述第2被卡合部卡合的位置向与所述第2被卡合部卡合的位置移动的工序；以及
在使所述第1卡合部和所述第2卡合部分别与所述第1被卡合部和所述第2被卡合部卡合了的状态下输送所述块构件的工序，
其中，所述第1卡合部和所述第2卡合部被壳体支承成能够沿着水平方向直动，
所述第1卡合部具有：第1卡合销，其能够与所述第1被卡合部卡合；第1滑动构件，其使所述第1卡合销相对于所述壳体直动；以及第1支承构件，其将所述第1滑动构件支承成能够直动，
所述第2卡合部具有：第2卡合销，其能够与所述第2被卡合部卡合；第2滑动构件，其使所述第2卡合销相对于所述壳体直动；以及第2支承构件，其将所述第2滑动构件支承成能够直动，
所述第1卡合销和所述第2卡合销分别向所述第1滑动构件和所述第2滑动构件的下方延伸且下端向所述第1卡合部和所述第2卡合部的移动方向弯曲。
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