CN111172580A - 工件保持部件、具备该工件保持部件的电解处理装置的供电监控系统及电解处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种工件保持部件、具备该工件保持部件的电解处理装置的供电监控系统及具备该工件保持部件的电解处理装置，所述工件保持部件可以轻松地监控用于保持工件并构成工件的供电路径的工件保持部件的供电状态。本发明的工件保持部件以在电解处理液中浸渍的状态保持工件并向该工件进行供电，其特征在于，具备监控供给到该工件的供电量的电流传感装置。

Description

工件保持部件、具备该工件保持部件的电解处理装置的供电 监控系统及电解处理装置

技术领域

本发明涉及工件保持部件、具备该工件保持部件的电解处理装置的供电监控系统及具备该工件保持部件的电解处理装置。

背景技术

以往，在电子器件的表面实施电镀等电解处理时，使用了分批式或连续式等的电解处理装置。这里，大量生产实施了电解处理的电子器件等工件时，通常使用连续式的电解处理装置。用该连续式的电解处理装置处理长方板状的工件时，将该工件的上端部用设置有夹钳等把持部件的工件保持部件保持，将该工件浸渍在电解处理槽内的电解处理液中，使该工件保持部件沿着输送轨道移动，同时使电流通过该工件来进行连续的电解处理。

例如，作为这种电解处理装置，可以列举专利文献1所示的表面处理装置。该专利文献1的表面处理装置为具有输送单元和供电单元的、在表面处理槽内连续输送工件并向其供电的同时实施表面处理的表面处理装置，所述输送单元利用由沿着输送方向铺设的导轨支持的夹具，能够输送该夹具保持的工件，所述供电单元利用该夹具向输送中的工件供电，其中，利用滚动卡合机构将该夹具支持在导轨上，该供电单元具有沿着输送方向铺设的供电轨道、及在该夹具侧安装且与供电轨道滑动接触的能够集电的集电器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-13296号公报

发明内容

发明要解决的问题

如上所述，就专利文献1的表面处理装置而言，在由导轨支持的夹具(工件保持部件)上安装工件，在表面处理槽内连续输送工件，且利用该夹具向工件供电来进行工件的表面处理。保持工件的夹具即便为没有直接浸渍在电镀浴中的部分，也会被电镀浴产生的蒸汽等氧化，进而产生腐蚀。并且，氧化后膨胀的夹具会导致构成该夹具的螺丝等固定单元的松弛。构成工件的供电路径的该夹具中存在固定单元松弛的部位或腐蚀部位时，在该部位会产生导通不良，在该工件的被处理面形成的电镀层会有局部变薄等问题。

并且，就专利文献1记载的发明而言，无法确认在各工件中切实地流动着指定的电流的问题。电阻值比其他更高的工件保持部件无法确保所设定的电流值，因而会导致在该工件保持部件保持的工件上形成的电镀层的厚度变得不匀，无法均匀地电镀处理该工件的被处理面整体的问题。

鉴于上述现有技术的问题，为了使稳定的电解处理成为可能，市场上对于易于监控工件保持部件的供电状态的技术方案提出了要求，所述工件保持部件用来保持工件并构成工件的供电路径。

因此，本发明的目的是提供一种工件保持部件、具备该工件保持部件的电解处理装置的供电监控系统、及具备该工件保持部件的电解处理装置，所述工件保持部件可以轻松地监控用来保持工件且构成工件的供电路径的工件保持部件的供电状态。

解决问题的方法

本发明的工件保持部件以在电解处理液中浸渍的状态保持工件，并向该工件供电，其特征在于，具备监控供给到该工件的供电量的电流传感装置。

本发明的电解处理装置的供电监控系统是具备上述工件保持部件的电解处理装置的供电监控系统，其特征在于，利用上述电流传感装置监控供给到该工件保持部件的供电量，该供电量为异常值时，检测向该工件保持部件的供电不良的情况。

本发明的电解处理装置是具备上述工件保持部件的电解处理装置，其特征在于，具备驱动链，所述驱动链沿着导轨垂直输送并驱动该工件保持部件，并具有从外部向上述电流传感装置进行供电的供电路径。

发明的效果

本发明的工件保持部件、具备该工件保持部件的电解处理装置的供电监控系统、及具备该工件保持部件的电解处理装置能够轻松地监控用来保持工件并构成向工件的供电路径的工件保持部件的供电状态。因此，根据本发明，对于工件的电解处理产生故障时能够迅速地应对，并能够进行稳定的电解处理。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式的电解处理装置的结构示意图。

图2是本发明的一个实施方式的工件保持部件的正面图。

图3是本发明的一个实施方式的工件保持部件的侧面图。

图4是表示本发明的一个实施方式的电流传感装置的构成的控制框图。

图5是说明本发明的一个实施方式的供电监控系统的运转情况的示意图。

符号的说明

W工件(阴极)、WS被处理面、1工件保持部件、2电流传感装置、3分流电阻、4臂部、5供电杆、6把持部件、7齿轮(支持单元)、10电解处理装置、11电解处理槽(电镀处理槽)、12阳极电极(阳极)、13导轨、13a导轨(电解处理液中输送用)、14驱动链(供电路径)、15工件输送路径、20电流值获取部、21控制部、22通信部、23供电部、24开闭开关、30接近开关、30a第1接近开关、30b第2接近开关、40控制装置(供电监控系统侧)、50电解处理液(电镀处理液)

具体实施方式

以下，参照附图来说明具备多个本发明的工件保持部件的电解处理装置的供电监控系统。本实施方式的多个工件保持部件分别具备各自的电流传感装置。这种构成中，本发明的供电监控系统通过各电流传感装置与构成该供电监控系统的主控制装置进行通信，能够监控各工件保持部件保持的工件的电解处理情况是否良好，并能够确保该工件的可追溯性。以下，先说明该电解处理装置，随后说明供电监控系统。

电解处理装置

本发明的电解处理装置10在其构成中具备后述的工件保持部件1，沿着导轨13垂直输送并驱动该工件保持部件1。

本实施方式的电解处理装置10是在贮藏有电解处理液(电镀处理液)50的电解处理槽11内浸渍了工件W的状态，在该工件W(阴极)与阳极电极12(阳极)之间进行供电，从而电解处理(电镀处理)该工件W的被处理面WS的装置。该电解处理装置10是在利用多个工件保持部件1将多个工件W浸渍在电解处理液50中的状态，进行这些工件W的输送的同时向各工件W供电的所谓连续式的电解处理装置10。本实施方式的电解处理装置10在其构成中具备贮藏电解处理液50的电解处理槽11、在该电解处理液50中浸渍并构成阳极面的一对阳极电极12,12、及向保持并输送工件W的工件保持部件1供电的导轨13。以下，逐个说明这些构成元件。

电解处理槽：本实施方式的电解处理槽11在其上面设有开口并沿着该工件W输送的方向构成，从而能够连续地电解处理工件W。作为在该电解处理槽11内贮藏的电解处理液50，可以适当选用适于在工件W的被处理面WS形成所期望的电解处理层的成分。

阳极电极：本实施方式的阳极电极12,12与外部电源(未图示)的阳极电连接，并沿着电解处理槽11的长度方向隔开指定间隔来相向配置。此时，在该阳极电极12,12之间形成有工件输送路径15。各阳极电极12通常由呈长方板状的不锈钢、铂、碳等不溶性材料构成。本实施方式中，构成各阳极电极12的材料为通常用作为不溶性电极的材料即可，不限于上述材料。

导轨：本实施方式的导轨13沿着上述的工件输送路径15配置。这里，在该导轨13中可以附设与外部电源(未图示)的阴极电连接的供电轨道(未图示)。此时，通过在工件保持部件1设置与该供电轨道能够接触的被供电部(未图示)，能够使施加到输送中的多个工件W的电流保持恒定。

并且，在本实施方式的电解处理装置10具备的导轨13中附设有用于使工件保持部件1沿着该导轨13以一定速度移动的驱动链14。本实施方式的电解处理装置10具备使该工件保持部件1能够支持在该驱动链14的结构(支持单元)，从而随着该驱动链14的驱动，能够使工件W沿着输送方向移动。

本实施方式的电解处理装置10中，在上述驱动链14设置有从外部向后述的电流传感装置2进行供电的供电路径。本实施方式的电解处理装置10采用了使在该驱动链14设置的供电路径中流动的电流经由如上述支持单元供给到该电流传感装置2的结构，从而能够顺畅地进行向该电流传感装置2的供电。

以上，说明了本实施方式的电解处理装置10。该电解处理装置10具备多个具有后述的技术特征的工件保持部件1，从而能够切实地进行向多个工件W的供电，并能够在早期检测出多个工件W中发生的电解处理不良的情况。以下，说明本发明的电解处理装置10具备的工件保持部件1。

工件保持部件

本发明的工件保持部件1以在电解处理液50中浸渍的状态保持工件W，并向该工件W进行供电。本实施方式采用了呈长方板状形状的工件W，但本发明使用的工件W不局限于长方板状。该工件W为在工件保持部件1保持的状态利用该工件保持部件1能够进行供电的即可，可以是任意形状。

本发明的工件保持部件1具备监控供给到该工件W的供电量的后述电流传感装置2。

在该电流传感装置2以外，本实施方式的工件保持部件1在其构成中还具备用于沿着上述导轨13垂直输送并驱动该工件保持部件1的由上述驱动链14支持的臂部4、在该臂部4固定并用于向该工件W的被处理面WS内大致均匀地进行供电的供电杆5、及在该供电杆5固定并可自由拆装地夹持该工件W的多个把持部件(夹钳)6。进而，为了在工件W的被处理面WS形成电解处理层，在电解处理液50内浸渍的状态保持该工件W。以下，说明这些构成元件。

臂部：为了沿着上述导轨13垂直输送并驱动工件保持部件1，在本实施方式的臂部4设置有在该导轨13附设并与输送、驱动该工件保持部件1的驱动链14能够卡合的支持单元。作为该支持单元，例如，可以采用设置有与该驱动链14能够卡合的齿轮7等的结构。将齿轮7用作为该支持单元时，用单向离合器式的齿轮7能够使工件保持部件1的输送保持稳定，因而是优选的。

供电杆：就本实施方式的供电杆5而言，截面形状为一定且在长度方向直线状延伸来形成。该供电杆5沿着电解处理槽11的长度方向配置。该供电杆5用螺丝等固定单元固定在上述臂部4。

把持部件：就本实施方式的把持部件6而言，为了可自由拆装地夹持工件W，沿着上述供电杆5的长度方向设置有多个。该把持部件6只要能拆装该工件W即可，对于其结构没有特别的限定。该把持部件6用螺丝等固定单元固定在该供电杆5。

上述的臂部4、供电杆5及把持部件6均构成自上述导轨13至工件W的供电路径。因此，这些臂部4、供电杆5及把持部件6通常由导电材料构成。

电流传感装置：为了监控供给到工件W的供电量，工件保持部件1中具备本实施方式的电流传感装置2。多个工件保持部件1中分别具备本实施方式的电流传感装置2(参照图4所示的电流传感装置2A,2B,2C～2n)，从而能够逐个监控供给到各工件保持部件1保持的工件W的供电量。这里，该电流传感装置2只要能够掌握供给到该工件保持部件1保持的工件W的供电量即可，对于其结构等没有特别的限定。

本发明的工件保持部件1中，上述电流传感装置2优选在其构成中具备获取在上述供电路径中流动的电流值的电流值获取部20，无线发送该电流值获取部20获取的电流值相关信息的通信部22，控制该电流值获取部20及该通信部22的运转的控制部21，及向该电流值获取部20、该通信部22和该控制部21中的至少任意一个进行供电的供电部23(参照图4)。以下，说明这些构成元件。

本发明的电流值获取部20用于获取在上述工件保持部件1具备的供电路径中流动的电流值。这里，电流值获取部20可以具备电压检测部和演算部来获取该电流值，其中，电压检测部(未图示)在该供电路径连接分流电阻3并检测从该分流电阻3输出的电压值，演算部(未图示)基于该电压检测部检测的电压值与该分流电阻3的电阻值来演算在该供电路径中流动的电流值。本发明的电流值获取部20具备分流电阻3，因而在该供电路径中流动有大电流时也能够精确地判断供给到工件W的供电量的情况是否为良好。此外，分流电阻3是众所周知的，这里省略详细说明。以上，说明了在本发明的电流值获取部20中使用分流电阻3的例子，但为了获取在该供电路径中流动的电流值，本发明的电流值获取部20也可以不使用该分流电阻3，而是使用现有已知的电流传感器。

本发明的通信部22将上述电流值获取部20获取的电流值相关信息无线发送至如PC、或智能手机等的供电监控系统侧控制装置40。这里，操作人员能够通过该控制装置40具备的显示器(未图示)等及时确认传递到该控制装置40的电流值相关信息，在电解处理产生问题时能够迅速地进行应对。例如，作为无线通信方式，通信部22可以适当采用现有已知的短距离无线方式。

本发明的控制部21由具有CPU或RAM等的通用的微型计算机构成。该控制部21在其输入侧与上述的电流值获取部20连接，在其输出侧与上述的通信部22连接，从而控制这些电流值获取部20及通信部22的运转。该控制部21将该电流值获取部20获取的电流值相关信息传递到通信部22。

并且，如上所述，电流值获取部20由电压检测部和演算部构成时，控制部21可以兼具有该演算部。此时，控制部21基于该电压检测部检测的电压值来进行演算处理，算出电流值。例如，电流值获取部20在工件保持部件1的供电路径连接分流电阻3时，控制部21利用电流值获取部20获取的信息(分流电阻3两端的电压值)和该分流电阻3自身的电阻值来进行演算处理，算出在该供电路径中流动的电流值。

进而，控制部21也可以比较电流值获取部20获取的电流值相关信息与预先存储的基准信息，判断在各工件W实施的电解处理有无问题，将该结果传递至通信部22。

本发明的供电部23向上述电流值获取部20、通信部22和/或控制部21进行供电，使这些能够运转。该供电部23能够向电流值获取部20、通信部22和/或控制部21进行供电即可，对于其结构等没有特别的限定。

这里，本发明的供电部23优选由电池构成。该供电部23为电池时，电流传感装置2能够实现小型化，且通用性优异。因此，在连续式的电解处理装置10可以进行以往被认为是在结构上难以实现的、对于所有工件保持部件1的供电量有无异常的监控。并且，本发明的供电部23为电池，因而电流传感装置2的维护性优异。

以上，说明了本发明的电流传感装置2相关的基本构成，但该电流传感装置2优选还具备开闭开关24，该开闭开关24利用在电解处理上述工件保持部件1的工序的前段设置的第1接近开关30a开启向上述电流值获取部20的通电，利用在电解处理该工件保持部件1的工序的后段设置的第2接近开关30b终止向该电流值获取部20的通电。本发明的电流传感装置2具备在电解处理工件W的工序的前段和后段利用接近开关30来切换电流值获取部20的导通状态的开闭开关24，从而可以减少耗电量。此外，关于该接近开关30，在以下进行说明。

供电监控系统

其次，说明本发明的电解处理装置10的供电监控系统。本发明的供电监控系统是在其构成中具备上述工件保持部件1的电解处理装置10的供电监控系统。进而，本发明的供电监控系统利用上述电流传感装置2监控供给到该工件保持部件1的供电量，在获取的供电量为异常值时，检测向该工件保持部件1的供电不良的情况。

本发明的供电监控系统在其构成中具备上述工件保持部件1，因而能够及时检测供给到进行电解处理的工件W的供电量的异常。具体地说，本发明的供电监控系统在上述电流传感装置2获取的电流值处于预先设定的阈值范围外时，检测向工件W的供电不良的情况。因此，根据本发明的供电监控系统，所使用的工件保持部件1的数量即使增多，也可以监控供给到所有工件保持部件1的供电量。此时，也可以实时监控供给到所有工件保持部件1的供电量。

并且，本发明的供电监控系统检测出向上述工件保持部件1的供电不良时，优选执行警报运转。本发明的供电监控系统具备在检测出供给到工件保持部件1的供电量的异常情况时执行警报运转的警报单元(未图示)，从而可以减轻操作人员的监控负担。就本发明的供电监控系统而言，例如，可以在上述供电监控系统侧控制装置的输出侧连接兼具有作为显示异常发生的警报单元的要素的显示装置、或连接作为警报单元的蜂鸣器等。

再者，如上所述，电流传感装置2具备开闭开关24时，本发明的供电监控系统可以具备切换该开闭开关24的导通状态的接近开关30。这里提到的接近开关30是指无需可动部的机械接触即可运转的位置检测开关。作为该接近开关30，可以列举感知检测区域内发生的磁场变化来运转的感应式接近开关、利用磁力检测元件和磁铁的组合感知检测物接近时的磁通变化来运转的磁力式接近开关等。这些接近开关是公知的，在此省略详细说明。

以上，说明了本发明的供电监控系统。以下，说明上述构成的本实施方式的供电监控系统的运转。以下，以利用通常的连续式电解处理装置进行的电镀处理的流程为例子，切实地说明本发明的技术效果。

本实施方式的工件W呈长方板状。首先，该工件W配置在工件保持部件1的把持部件6，用该工件保持部件1进行垂吊。这里，在供电杆5的两端部至少各具备一个该把持部件6，从而用该工件保持部件1稳定地保持该工件W。本实施方式的供电监控系统中采用连续式的电解处理装置10。因此，多个工件保持部件1分别保持有进行电镀处理的工件W。

随后，保持有工件W的工件保持部件1通过臂部4支持在导轨13上。本实施方式的供电监控系统的运转中，该工件保持部件1利用作为支持单元的齿轮7支持在导轨13附设的驱动链14上，通过该驱动链14的驱动并沿着该导轨13在电镀处理槽11内进行输送。此时，该齿轮7采用只向一个方向旋转的单向离合器方式等，从而能够以大致相等的间隔输送多个工件保持部件1，实现品质的稳定化。此外，就本实施方式的电解处理装置10而言，在电镀处理槽11的工件W输送方向上游侧具备处理槽，该处理槽用于进行预处理该工件W的表面的多个工序(工件W的表面的脱脂处理、热洗涤处理、水洗处理、酸洗等)。

本实施方式的供电监控系统的运转中，如图5所示，使沿着导轨13在电解处理装置10内输送的工件保持部件1在电镀处理槽11的正上方位置下落后，转移到液中输送用的导轨13a上，进而将工件W在电镀处理液50中浸渍的状态再次进行输送。并且，将该工件W从电镀处理液50中取出时，在电镀处理槽11的端部附近位置使该工件保持部件1上升到电镀处理槽11的正上方，随后再次转移到导轨13上。

工件W浸渍在电镀处理槽11内贮藏的电镀处理液50中后，该工件W在该电镀处理槽11内相向配置的阳极电极12,12之间的工件输送路径15上进行移动。此时，通过在该相向配置的阳极电极12,12与作为阴极的工件W之间进行供电，电镀处理槽11内的电镀处理液50被电解，在工件W的被处理面WS形成电镀处理层。这里，保持该工件W的工件保持部件1的臂部4与在导轨13附设的供电轨道接触，从而经由臂部4、供电杆5及把持部件6构成的供电路径与阴极电连接，在工件W上施加恒定电压。随后，该工件W的与各阳极电极12相对的面成为被处理面WS。

这里，本实施方式的供电监控系统在其构成中具备电流传感装置2，该电流传感装置2在将工件W浸渍在电镀处理液50中的期间判断供给到工件W的供电量情况是否为良好。该电流传感装置2在其构成中具备获取在工件保持部件1的供电路径中流动的电流值的电流值获取部20，无线发送该电流值获取部20获取的电流值相关信息的通信部22，控制该电流值获取部20及该通信部22的运转的控制部21，及向该电流值获取部20、该通信部22及该控制部21中的至少任意一个进行供电的供电部23。根据该电流传感装置2，不使用膜厚测量仪等也能够确认工件W的被处理面WS上的电解处理层的平均厚度。并且，电流值获取部20具备在工件保持部件1的供电路径连接分流电阻3来检测该分流电阻3两端的电压值，并基于该电压值和该分流电阻3的电阻值来算出在该供电路径中流动的电流值的演算部，从而该电流传感装置2能够精确且稳定地判断供给到工件W的供电量情况是否为良好。作为该分流电阻3，选用与在工件保持部件1的供电路径中流动的电流大小相匹配的条件的分流电阻3。

并且，本实施方式的供电监控系统中，可以将该电流传感装置2具备的供电部23设为电池，也可以在驱动链14形成供电路径，进而从外部进行供电来实现向该电流传感装置2的供电。此外，也可以将该电池设为充电电池，从该驱动链14向该充电电池进行充电。本实施方式的供电监控系统通过采用这种结构，能够实现该电池的长寿命化，能够提高该工件保持部件1的维护性。并且，可以在多个工件保持部件1分别设置电流传感装置2，从而长期稳定地监控这些多个工件保持部件1保持的所有工件W的处理不良情况。

并且，本实施方式的供电监控系统中，可以在外部具备用于传递来自该通信部22的信息的控制装置40，在该控制装置40的输出侧具备警报单元(未图示)。因此，本实施方式的供电监控系统中，电流传感装置2可以在检测出供给到工件W的供电量的异常情况时进行使蜂鸣器鸣响的警报运转，从而减轻操作人员的监控负担。此外，该供电监控系统进行警报运转时，在停止工件W的输送的同时，也可以进行使外部电源(未图示)的供电停止的紧急停止运转。并且，该供电监控系统中，例如，也可以用机器人将检测出供电量的异常情况的工件保持部件1分拣出来。

再者，本实施方式的供电监控系统中，电流传感装置2具备开闭开关24，该开闭开关24在电解处理工件保持部件1之前的工件输送路径15附近配置第1接近开关30a来开启向该电流值获取部20的供电，在电解处理该工件保持部件1之后的工件输送路径15附近配置第2接近开关30b来终止向电流值获取部20的供电。本实施方式的电解处理装置10的供电监控系统通过采用这种结构，能够减少耗电量、削减制造成本。此时，控制部21通过控制通信部22的运转、终止电流值相关信息的无线通信，能够减少该电解处理装置10的供电监控系统整体的通信量，抑制通信干扰。

此外，图5示出了在将该工件保持部件1转移到液中输送用的导轨13a之前的工件输送路径15附近配置该第1接近开关30a，在将该工件保持部件1再次转移到导轨13之后的工件输送路径15附近配置该第2接近开关30b的例子。但这些第1接近开关30a及第2接近开关30b的配置位置不局限于图5所示的位置。例如，可以在将该工件保持部件1转移到液中输送用的导轨13a之后的工件输送路径15附近配置该第1接近开关30a，在将该工件保持部件1再次转移到导轨13之前的工件输送路径15附近配置该第2接近开关30b。

以上，说明了本实施方式的供电监控系统的运转。本发明中，多个工件保持部件1分别具备电流传感装置2，从而可以统一管理供给到各工件保持部件1的供电量，并将该供电量发生异常的工件保持部件1迅速通报给操作人员。

以上，说明了本发明的工件保持部件1、具备该工件保持部件1的电解处理装置10的供电监控系统、及具备该工件保持部件1的电解处理装置10。根据本发明，可以及时检测出发生电解处理不良的工件W。因此，本发明可以提前规避因工件保持部件1的导通不良导致的工件W局部电解处理层的厚度不匀的情况，均匀地电解处理工件W的被处理面WS整体。并且，本发明可以确定发生电解处理不良的工件W并迅速应对，品质管理变得容易。

此外，以上说明了将本发明的电解处理装置10用作为电镀装置的情形，但本发明不局限于此。例如，本发明的电解处理装置10也可以用作为蚀刻处理装置。并且，以上说明了本实施方式的电解处理装置10为连续式的情形，但本发明的电解处理装置10不局限于此，例如，也可以为分批式或水平输送的形式。

工业实用性

根据本发明，可以提前规避因工件保持部件1的导通不良导致的局部电镀厚度不充分的问题。因此，根据本发明，可以实现所有电解处理产品的品质稳定化及价格低廉化。

Claims (10)

1.一种工件保持部件，该工件保持部件以在电解处理液中浸渍的状态保持工件并向该工件进行供电，其特征在于，

具备监控供给到该工件的供电量的电流传感装置。

2.如权利要求1所述的工件保持部件，其中，所述电流传感装置具备获取在向所述工件的供电路径中流动的电流值的电流值获取部。

3.如权利要求2所述的工件保持部件，其中，所述电流值获取部具备电压检测部及演算部，所述电压检测部在向所述工件的供电路径连接分流电阻来检测该分流电阻输出的电压值，所述演算部基于该电压检测部检测的电压值和该分流电阻的电阻值来算出在该供电路径中流动的电流值。

4.如权利要求2所述的工件保持部件，其中，所述电流传感装置具备通信部及控制部，所述通信部无线发送所述电流值获取部获取的电流值相关信息，所述控制部控制该电流值获取部及该通信部的运转。

5.如权利要求2所述的工件保持部件，其中，所述电流传感装置具备供电部，所述供电部向所述电流值获取部、所述通信部和/或所述控制部进行供电。

6.如权利要求2所述的工件保持部件，其中，所述电流传感装置还具备开闭开关，所述开闭开关通过在电解处理所述工件保持部件的工序的前段设置的第1接近开关来开启向所述电流值获取部的通电，通过在电解处理该工件保持部件的工序的后段设置的第2接近开关来停止向该电流值获取部的通电。

7.如权利要求5或6所述的工件保持部件，其中，所述供电部由电池构成。

8.一种电解处理装置的供电监控系统，该电解处理装置的供电监控系统具备权利要求1所述的工件保持部件，其特征在于，

利用所述电流传感装置监控供给到该工件保持部件的供电量，检测到的供电量为异常值时，检测向该工件保持部件的供电不良的情况。

9.如权利要求8所述的电解处理装置的供电监控系统，其中，检测到向所述工件保持部件的供电不良的情况时，执行警报运转。

10.一种电解处理装置，该电解处理装置具备权利要求1所述的工件保持部件，其特征在于，

具备驱动链，所述驱动链沿着导轨垂直输送并驱动该工件保持部件，并具有从外部向所述电流传感装置进行供电的供电路径。

Images