CN111162026B - 一种蚀刻后的表面防氧化处理装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种蚀刻后的表面防氧化处理装置,涉及防氧化技术领域。该蚀刻后的表面防氧化处理装置,包括液压仓A,所述液压仓A包括液压仓A内壁,所述液压仓A内壁与活塞C为密封活塞连接,所述活塞C的顶端与活塞传动杆A的底端固定连接,所述活塞传动杆A的顶端与活塞A的底端固定连接,所述活塞A与液压仓C为密封活塞连接,所述液压仓C的内部设置有活塞挡板,该蚀刻后的表面防氧化处理装置能够实现单种药剂不停机作业,大大的提高了工作效率,提升了产品的品质,该蚀刻后的表面防氧化处理装置能够实现不同工艺的生产需要,当生产工艺需要两种或以上的药剂的时候可以实现多种药剂依次对所需产品进行防氧化处理。
Description
技术领域
本发明涉及防氧化技术领域,具体为一种蚀刻后的表面防氧化处理装置。
背景技术
蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类,最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版,也广泛地被使用于减轻重量仪器镶板,铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工;经过不断改良和工艺设备发展,亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工,特别在半导体制程上,蚀刻更是不可或缺的技术。
但是目前市场上大多数的蚀刻后防氧化处理装置都不能做到不停机作业,大多数的装置在药箱装置内的药剂用完过后,需要停机往药箱装置内部装入新的药剂,这样不仅耽误时间,而且还降低了工作效率,在生产的过程当中耽误了产品最适合防氧化处理的时机,而且有的生产工艺当中需要两种不同的药剂来对产品进行防氧化处理,即两个药箱装置内不能装有相同的药剂。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本发明提供了一种蚀刻后的表面防氧化处理装置,解决了但是目前市场上大多数的蚀刻后防氧化处理装置都不能做到不停机作业,大多数的装置在药箱装置内的药剂用完过后,需要停机往药箱装置内部装入新的药剂,这样不仅耽误时间,而且还降低了工作效率,在生产的过程当中耽误了产品最适合防氧化处理的时机,而且有的生产工艺当中需要两种不同的药剂来对产品进行防氧化处理,即两个药箱装置内不能装有相同的药剂的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种蚀刻后的表面防氧化处理装置,包括液压仓A,所述液压仓A包括液压仓A内壁,所述液压仓A内壁与活塞C为密封活塞连接,所述活塞C的顶端与活塞传动杆A的底端固定连接,所述活塞传动杆A的顶端与活塞A的底端固定连接,所述活塞A与液压仓C为密封活塞连接,所述液压仓C包括液压仓C内壁,所述液压仓C内壁的底部与液压仓A内壁和液压仓B内壁的顶部固定连接,所述液压仓C的内部设置有活塞挡板,所述活塞挡板的右侧密封活塞连接活塞B,所述活塞B的底端与活塞传动杆B固定连接,所述活塞传动杆B的底端与活塞D的顶端固定连接,所述活塞D与液压仓B为密封活塞连接,所述液压仓A的右侧设置有液压仓B,所述液压仓A的右侧设置有液压仓D,所述液压仓D的右侧与液压仓A内壁固定连接,所述液压仓D的顶部与活塞E为密封活塞连接,所述活塞E的顶部与液压传动杆A的底部固定连接,所述液压仓D的底部与活塞F为密封活塞连接,所述活塞F的底部与活塞传动杆C为固定连接,所述活塞传动杆C的顶部与活塞G的底部固定连接,所述活塞G的左侧设置有活塞F挡板,所述活塞G与液压仓E的底部为密封活塞连接,所述液压仓E的右侧与活塞H为活塞密封连接,所述活塞H的底部与液压传动杆B的顶部固定连接,所述液压仓E的右侧设置有液压仓F,所述液压仓F的上方与活塞I为活塞密封连接,所述活塞I的顶端与活塞传动杆D固定连接,所述液压仓F的底部与活塞M为密封活塞连接,所述活塞M的底部与活塞传动杆E的顶部固定连接,所述活塞传动杆E与活塞L的底部固定连接,所述活塞L与液压仓G为密封活塞连接,所述液压仓G的顶部与活塞K为活塞密封连接,所述活塞K的顶部与液压传动杆C的底部为固定连接,所述活塞传动杆D的底部与支架的右端铰接,所述支架的左端与出水口挡板铰接,所述出水口挡板的两端穿过出水口的内壁在出水口的内壁上滑动,所述出水口的内壁的中间部位固定安装压力泵,所述液压仓A的底部设置有进水口,所述进水口设置有进水口内壁。
优选的,所述进水口内壁的左侧中间部位与进水口挡板铰接。
优选的,所述进水口内壁与液压仓A内壁固定连接。
优选的,所述进水口内壁右侧与进水口挡板卡扣固定连接。
优选的,所述液压仓E的顶端与液压仓A内壁固定连接。
优选的,所述液压仓F的上下两端与液压仓B内壁固定连接。
(三)有益效果
本发明提供了一种蚀刻后的表面防氧化处理装置。具备以下有益效果:
(1)、该蚀刻后的表面防氧化处理装置能够实现单种药剂不停机作业,当液压仓A内部的药剂用完后液压仓B内部的药剂就会被使用,此时液压仓A内部在不断注入药剂,当药剂注满后,液压仓B内部的药剂刚好用完,这样循环往复的使用,能够使得该装置实现单种药剂不停机作业,大大的提高了工作效率,提升了产品的品质。
(2)、该蚀刻后的表面防氧化处理装置能够实现不同工艺的生产需要,当生产工艺需要两种或以上的药剂的时候,液压仓A和液压仓B是单独运作的,既可以实现多种药剂依次对所需处理产品进行防氧化处理,大大的提升了工作效率。
附图说明
图1为本发明装置整体结构示意图;
图2为本发明液压传动装置结构示意图;
图3为本发明液压仓D结构示意图;
图4为本发明液压仓E结构示意图;
图5为本发明液压仓F结构示意图;
图6为本发明液压仓G结构示意图;
图7为本发明出水口挡板结构示意图;
图8为本发明进水口结构示意图。
图中:1、液压仓A;101、液压仓A内壁;102、活塞C;2、液压仓B;201、液压仓B内壁;202、活塞D;3、液压仓C;301、液压仓C内壁;302、活塞A;303、活塞B;304、活塞传动杆A;305、活塞传动杆B;306、活塞挡板;4、出水口;5、压力泵;6、液压传动装置;601、液压仓D;602、液压仓E;603、液压仓F;604、液压仓G;605、活塞E;606、活塞F;607、活塞G;608、活塞H;609、活塞I;610、活塞M;611、活塞K;612、活塞L;613、活塞传动杆C;614、活塞传动杆D;615、活塞传动杆E;616、液压传动杆A;617、液压传动杆B;618、液压传动杆C;619、支架;620、活塞F挡板;7、进水口;8、出水口挡板。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-8,本发明提供一种技术方案:一种蚀刻后的表面防氧化处理装置,包括液压仓A1,液压仓A1包括液压仓A内壁101,液压仓A内壁101与活塞C102为密封活塞连接,活塞C102的顶端与活塞传动杆A304的底端固定连接,活塞传动杆A304的顶端与活塞A302的底端固定连接,活塞A302与液压仓C3为密封活塞连接,液压仓C3包括液压仓C内壁301,液压仓C内壁301的底部与液压仓A内壁101和液压仓B内壁201的顶部固定连接,液压仓C3的内部设置有活塞挡板306,活塞挡板306的右侧密封活塞连接活塞B303,活塞B303的底端与活塞传动杆B305固定连接,活塞传动杆B305的底端与活塞D202的顶端固定连接,活塞D202与液压仓B2为密封活塞连接,液压仓A1的右侧设置有液压仓B2,液压仓A1的右侧设置有液压仓D601,液压仓D601的右侧与液压仓A内壁101固定连接,液压仓D601的顶部与活塞E605为密封活塞连接,活塞E605的顶部与液压传动杆A601的底部固定连接,液压仓D601的底部与活塞F606为密封活塞连接,活塞F606的底部与活塞传动杆C613为固定连接,活塞传动杆C613的顶部与活塞G607的底部固定连接,活塞G607的左侧设置有活塞F挡板620,活塞G607与液压仓E602的底部为密封活塞连接,液压仓E602的顶端与液压仓A内壁101固定连接,液压仓E602的右侧与活塞H608为活塞密封连接,活塞H608的底部与液压传动杆B617的顶部固定连接,液压仓E602的右侧设置有液压仓F603,液压仓F603的上下两端与液压仓B内壁201固定连接,液压仓F603的上方与活塞I609为活塞密封连接,活塞I609的顶端与活塞传动杆D614固定连接,液压仓F603的底部与活塞M610为密封活塞连接,活塞M610的底部与活塞传动杆E615的顶部固定连接,活塞传动杆E615与活塞L612的底部固定连接,活塞L612与液压仓G604为密封活塞连接,液压仓G604的顶部与活塞K611为活塞密封连接,活塞K611的顶部与液压传动杆C618的底部为固定连接,活塞传动杆D614的底部与支架619的右端铰接,支架619的左端与出水口挡板8铰接,出水口挡板8的两端穿过出水口4的内壁在出水口4的内壁上滑动,出水口4的内壁的中间部位固定安装压力泵5,液压仓A1的底部设置有进水口7,进水口7设置有进水口内壁701,进水口内壁701的左侧中间部位与进水口挡板702铰接,进水口内壁701与液压仓A内壁101固定连接,进水口内壁701右侧与进水口挡板卡扣703固定连接。
工作时(或使用时),该蚀刻后的表面防氧化处理装置中的液压仓A和液压仓B为装有药剂的装药装置,在压力泵5的作用下,液压仓B中的药剂会一直被使用抽出,使得蚀刻后的产品能够得到充足的药剂并对其进行防氧化处理,然后在液压仓C的作用下,液压仓A1内部的活塞B102会在压力的作用下向上运动,此时进水口7会不断的向液压仓C3内注入所需要的药剂,当液压仓B2内的药剂被消耗完后,活塞D202会带动液压仓G604,使得液压传动装置6运作,在液压传动装置6的运作下,出水口挡板8向右运动,使得右侧的出水管口处被出水口挡板8挡住,而左侧的出水管口处为开通状态,当液压仓A1内的药剂消耗完后,活塞A102会带动液压仓D601,使得液压传动装置6运作,在液压传动装置6的运作下,出水口挡板8向左运动,使得左侧的出水管口处被出水口挡板8挡住,而右侧的出水管口处为开通状态,压力泵5在不停机的状态下能够实现长时间稳定地工作状态,
综上所述,该蚀刻后的表面防氧化处理装置能够实现单种药剂不停机作业,当液压仓A内部的药剂用完后液压仓B内部的药剂就会被使用,此时液压仓A内部在不断注入药剂,当药剂注满后,液压仓B内部的药剂刚好用完,这样循环往复的使用,能够使得该装置实现单种药剂不停机作业,大大的提高了工作效率,提升了产品的品质,该蚀刻后的表面防氧化处理装置能够实现不同工艺的生产需要,当生产工艺需要两种或以上的药剂的时候,液压仓A和液压仓B是单独运作的,既可以实现多种药剂依次对所需处理产品进行防氧化处理,大大的提升了工作效率。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种蚀刻后的表面防氧化处理装置,包括液压仓A(1),其特征在于:所述液压仓A(1)包括液压仓A内壁(101),所述液压仓A内壁(101)与活塞C(102)为密封活塞连接,所述活塞C(102)的顶端与活塞传动杆A(304)的底端固定连接,所述活塞传动杆A(304)的顶端与活塞A(302)的底端固定连接,所述活塞A(302)与液压仓C(3)为密封活塞连接,所述液压仓C(3)包括液压仓C内壁(301),所述液压仓C内壁(301)的底部与液压仓A内壁(101)和液压仓B内壁(201)的顶部固定连接,所述液压仓C(3)的内部设置有活塞挡板(306),所述活塞挡板(306)的右侧密封活塞连接活塞B(303),所述活塞B(303)的底端与活塞传动杆B(305)固定连接,所述活塞传动杆B(305)的底端与活塞D(202)的顶端固定连接,所述活塞D(202)与液压仓B(2)为密封活塞连接,所述液压仓A(1)的右侧设置有液压仓B(2),所述液压仓A(1)的右侧设置有液压仓D(601),所述液压仓D(601)的右侧与液压仓A内壁(101)固定连接,所述液压仓D(601)的顶部与活塞E(605)为密封活塞连接,所述活塞E(605)的顶部与液压传动杆A(616)的底部固定连接,所述液压仓D(601)的底部与活塞F(606)为密封活塞连接,所述活塞F(606)的底部与活塞传动杆C(613)为固定连接,所述活塞传动杆C(613)的顶部与活塞G(607)的底部固定连接,所述活塞G(607)的左侧设置有活塞F挡板(620),所述活塞G(607)与液压仓E(602)的底部为密封活塞连接,所述液压仓E(602)的右侧与活塞H(608)为活塞密封连接,所述活塞H(608)的底部与液压传动杆B(617)的顶部固定连接,所述液压仓E(602)的右侧设置有液压仓F(603),所述液压仓F(603)的上方与活塞I(609)为活塞密封连接,所述活塞I(609)的顶端与活塞传动杆D(614)固定连接,所述液压仓F(603)的底部与活塞M(610)为密封活塞连接,所述活塞M(610)的底部与活塞传动杆E(615)的顶部固定连接,所述活塞传动杆E(615)与活塞L(612)的底部固定连接,所述活塞L(612)与液压仓G(604)为密封活塞连接,所述液压仓G(604)的顶部与活塞K(611)为活塞密封连接,所述活塞K(611)的顶部与液压传动杆C(618)的底部为固定连接,所述活塞传动杆D(614)的底部与支架(619)的右端铰接,所述支架(619)的左端与出水口挡板(8)铰接,所述出水口挡板(8)的两端穿过出水口(4)的内壁在出水口(4)的内壁上滑动,所述出水口(4)内壁的中间部位固定安装压力泵(5),所述液压仓A(1)的底部设置有进水口(7),所述进水口(7)设置有进水口内壁(701)。
2.根据权利要求1所述的一种蚀刻后的表面防氧化处理装置,其特征在于:所述进水口内壁(701)与液压仓A内壁(101)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种蚀刻后的表面防氧化处理装置,其特征在于:所述进水口内壁(701)的左侧中间部位与进水口挡板(702)铰接。
4.根据权利要求1所述的一种蚀刻后的表面防氧化处理装置,其特征在于:所述进水口内壁(701)右侧与进水口挡板卡扣(703)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种蚀刻后的表面防氧化处理装置,其特征在于:所述液压仓E(602)的顶端与液压仓A内壁(101)固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种蚀刻后的表面防氧化处理装置,其特征在于:所述液压仓F(603)的上下两端与液压仓B内壁(201)固定连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911353419.4A CN111162026B (zh) | 2019-12-25 | 2019-12-25 | 一种蚀刻后的表面防氧化处理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911353419.4A CN111162026B (zh) | 2019-12-25 | 2019-12-25 | 一种蚀刻后的表面防氧化处理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111162026A CN111162026A (zh) | 2020-05-15 |
CN111162026B true CN111162026B (zh) | 2022-04-15 |
Family
ID=70558063
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201911353419.4A Active CN111162026B (zh) | 2019-12-25 | 2019-12-25 | 一种蚀刻后的表面防氧化处理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111162026B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112119819A (zh) * | 2020-10-13 | 2020-12-25 | 衡阳远大建筑工业有限公司 | 一种装配式墙体的绿化养殖组件 |
CN113737181B (zh) * | 2021-09-27 | 2024-01-26 | 绍兴华立电子有限公司 | 一种弹片的蚀刻加工装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3493621B2 (ja) * | 2000-08-09 | 2004-02-03 | 日精樹脂工業株式会社 | 溶解容器内の溶融金属の酸化抑制方法及び装置 |
JP5898549B2 (ja) * | 2012-03-29 | 2016-04-06 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP5775851B2 (ja) * | 2012-06-27 | 2015-09-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布装置および塗布液充填方法 |
CN204198856U (zh) * | 2014-11-06 | 2015-03-11 | 绍兴华立电子有限公司 | 一种改进的蚀刻机 |
JP6971756B2 (ja) * | 2017-02-01 | 2021-11-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理装置 |
US20180261464A1 (en) * | 2017-03-08 | 2018-09-13 | Tokyo Electron Limited | Oxide film removing method, oxide film removing apparatus, contact forming method, and contact forming system |
CN107099800B (zh) * | 2017-04-25 | 2018-05-08 | 建滔(连州)铜箔有限公司 | 一种铜箔光面微浊处理工艺及设备 |
CN208980341U (zh) * | 2018-09-27 | 2019-06-14 | 惠州市惠阳区力行环保有限公司 | 一种酸性蚀刻废液制备微米级氧化亚铜的系统 |
-
2019
- 2019-12-25 CN CN201911353419.4A patent/CN111162026B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111162026A (zh) | 2020-05-15 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |