CN111085494A - 一种掩膜版的清洗装置 - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 391
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims abstract description 20
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 90
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 43
- 238000005276 aerator Methods 0.000 claims description 29
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims description 16
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 claims description 16
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 29
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 18
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 3
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000008092 positive effect Effects 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/08—Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
- B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
- B08B3/123—Cleaning travelling work, e.g. webs, articles on a conveyor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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Abstract
本发明提供一种掩膜版的清洗装置，包括固定座，所述固定座上固定设置有清洗槽，所述清洗槽内设置有清洗框，所述清洗框内设置有若干组插接槽用于插设掩膜版，所述清洗框底部通过固定支座与清洗槽卡接固定；所述清洗框可拆卸安装固定有框盖，所述框盖中心上固定连接有连接轴，所述连接轴的顶部通过轴承转动连接有顶板，所述顶板上设置有带动所述连接轴转动的动力装置；所述固定座上还固定安装有升降装置，所述升降装置的顶部卡接所述顶板。本发明的清洗装置清洗的掩膜版，操作简单且清洗彻底。
Description
技术领域
本发明属于掩膜版加工设备领域，尤其是涉及一种掩膜版的清洗装置。
背景技术
随着现代电子产业的高速发展，手机背板纹理、平板显示器、集成电路板微纳结构的加工工艺越发关键，掩膜版曝光就是其中一种。掩膜版曝光中所用的掩膜版通常是在石英玻璃上镀一层铬层，并通过曝光腐蚀工艺制作出所需图案。掩膜版脏污后无法进行曝光实验，否则其上的脏污印记会毫无保留的转移到光刻板上。因此，脏污掩膜版的清洗至关重要。
现有的清洗装置在清洗掩膜版时，多数使用浸泡清洗，此清洗方式对于带孔的掩膜版不容易清洗彻底干净，进而影响后续的使用。
发明内容
本发明要解决的问题是提供一种掩膜版的清洗装置，使用该清洗装置清洗的掩膜版，操作简单且清洗彻底。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种掩膜版的清洗装置，包括固定座，所述固定座上固定设置有清洗槽，所述清洗槽内设置有清洗框，所述清洗框内设置有若干组插接槽用于插设掩膜版，所述清洗框底部通过固定支座与清洗槽卡接固定；所述清洗框可拆卸安装固定有框盖，所述框盖中心上固定连接有连接轴，所述连接轴的顶部通过轴承转动连接有顶板，所述顶板上设置有带动所述连接轴转动的动力装置；所述固定座上还固定安装有升降装置，所述升降装置的顶部卡接所述顶板。
在本技术方案中，设置动力装置可以带动连接轴进行转动，进而带动清洗框和内部的掩膜版进行转动，进而与清洗槽内的清洗液产生相对移动，其清洗液对掩膜版以及其内孔进行冲刷，可使得清洗更为彻底；设置升降装置，便于将框盖与掩膜版进行安装，且便于将掩膜版提起实现其转动。
进一步地，所述固定支座设置有四个分别设置于所述清洗框的四角底部，每个所述固定支座上固定设置有L形固定块，所述清洗框由四个所述固定块进行固定。
在本技术方案中，四个固定支座分别位于清洗框的四角底部，其L形固定块将清洗框固定在其四个固定支座之间，其在进行浸泡清洗时，可以将清洗框的位置进行固定。
进一步地，所述升降装置包括两个固定安装于所述固定座上的气缸，两个所述气缸分别平行设置于所述清洗槽的两侧，且与所述清洗槽的中心在同一条直线上，且所述气缸的活塞杆固定连接有卡接板，所述卡接板上开有卡槽，所述顶板的两个侧壁上均固定设置有与卡槽所卡接匹配的卡块，两个所述卡块分别与两个卡槽插接固定。
在本技术方案中，设置升降装置便于将清洗框向上吊起使其脱离固定支座的固定作用，进而便于实现其转动以加强清洗效果；同时设置升降装置亦便于将框盖与清洗框进行连接固定。控制气缸的活塞杆伸长时，使得其带动卡接板上升，然后将顶板的卡块插入到卡槽内进行卡接，使得气缸支撑所述顶板以及框盖，之后控制气缸的活塞杆缩短，其带动卡接板、顶板以及框盖下降，下降至与所述清洗框的位置，将框盖与清洗框进行固定，之后再控制气缸的活塞杆伸长，则会带动清洗框上升，使其底部不与固定支座接触即可，其开启动力装置即可带动整个清洗框和其内部的掩膜版进行转动，进而加强清洗效果。
进一步地，所述动力装置为伺服电机，所述伺服电机固定安装于所述顶板的顶部，且所述伺服电机的输出轴通过轴套与所述连接轴固定连接。
在本技术方案中，伺服电机直接作为动力装置，当伺服电机转动时，会带动连接轴进行转动，进而带动清洗框进行转动，此动力装置无需人力操作，便于机械控制。
进一步地，所述动力装置为齿轮传动装置，包括第一伞齿轮和第二伞齿轮，其中，所述第一伞齿轮固定设置于所述连接轴上，所述第二伞齿轮固定安装于转轴的底端上，所述转轴通过第二轴承与所述顶板转动连接，且所述转轴贯穿所述顶板且其顶端固定设置有转钮，且所述第一伞齿轮与第二伞齿轮啮合连接。
在本技术方案中，当旋转转钮时，其第二伞齿轮进行转动进而啮合第一伞齿轮进行转动，从而第一伞齿轮带动连接轴转动进而带动清洗框进行转动清洗，可加强其清洗效果。
进一步地，所述固定座上还固定设置有鼓风机，且所述清洗槽的其中一侧侧壁上安装有曝气器，所述曝气器与所述鼓风机通过通风管进行连接。
在本技术方案中，设置鼓风机和曝气器相结合使用，可以进一步加强清洗效果；其中，鼓风机吹气由通风管传输给曝气器吹入到清洗槽内，其吹动清洗液进行流动，进而不断地对掩膜版以及其内孔进行冲刷清洗，进一步地加强其清洗效果。
进一步地，所述固定座上还固定安装有辅助清洗组件，所述辅助清洗组件为降解光源和超声波发生器的组合体，且所述辅助清洗组件设置于所述清洗槽安装有曝气器相对的侧壁的一侧，且所述清洗槽为透明槽。
在本技术方案中，其辅助清洗组件可以辅助清洗液对掩膜版进行清洗；其中，超声波发生器发出的超声波能够震碎其掩膜版表面的残留物质，进而加快清洗液对掩膜版残留物质的清洗；降解光源发出的降解光可以将掩膜版上残存的可与降解光反映的残留物进行清洁，进而使得清洗液对掩膜版上的残留物质清洗的更为彻底。
进一步地，所述清洗槽的底部四角处固定设置有支撑脚。
进一步地，所述固定座的底部四角处均安装有万向轮。
进一步地，所述清洗槽的底部设置有出液口，所述出液口上设置有控制阀。
在本技术方案中，其支撑脚用于支撑清洗槽设置于固定座上，设置万向轮便于将清洗装置进行转移，设置出液口可以及时将用过的清洗液进行排出，其中控制阀用来控制清洗液的排出，控制阀开启时，排出清洗液，控制阀关闭时其清洗液不会由出液口排出。
本发明具有的优点和积极效果是：
1、本发明中，设置清洗框可用来插接放置若干个掩膜版，可以实现一次性同时清洗多个掩膜版；且设置升降装置便于提起清洗框进行上下位置的移动，设置动力装置，便于给予连接轴转动的动力，使得清洗框进行转动，在转动的过程中，则掩膜版相对于清洗液进行移动，且是多角度冲洗，便于将掩膜版以及其内孔清洗干净；即可以实现浸泡清洗，又可以实现多角度清洗，使得掩膜版的清洗更为彻底；
2、设置鼓风机和曝气器，其中鼓风机的风由曝气器吹出，则带动清洗液在清洗槽内进行流动，便于辅助冲洗掩膜版，可以使得掩膜版清洗的更快；
3、设置降解光源和超声波发生器作为辅助清洗组件，可以辅助清洗液更为快速和有效地对掩膜版进行清洗，使得清洗效果更好。
4、本发明的清洗装置，可以实现多种清洗方式，可以根据掩膜版的不同的情况选择相应的清洗模式，以便于更快速的完成清洗。
附图说明
图1是本发明一种掩膜版的清洗装置实施例1的结构示意图；
图2是本发明一种掩膜版的清洗装置中清洗框的结构图；
图3是本发明一种掩膜版的清洗装置中固定支座的结构图；
图4是本发明一种掩膜版的清洗装置实施例2的结构示意图；
图5是本发明一种掩膜版的清洗装置实施例3的结构示意图；
图6是本发明一种掩膜版的清洗装置实施例4的结构示意图；
图7是图6中A结构的放大图；
图8是本发明一种掩膜版的清洗装置实施例5的结构示意图；
图9是本发明一种掩膜版的清洗装置实施例6的结构示意图；
图中：1-固定座；2-清洗槽，201-支撑脚，202-出液口；3-清洗框，301-插接槽，302-限位块；4-固定支座，401-固定块；5-框盖；6-连接轴；7-轴承；8-顶板，801-卡块；9-动力装置，901-第一伞齿轮，902-第二伞齿轮，903-转轴，904-第二轴承，905-转钮；10-升降装置，101-气缸，102-卡接板，103-卡槽；11-鼓风机；12-曝气器；13-通风管；14-辅助清洗组件；15-万向轮。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作详细说明。
实施例1：
一种掩膜版的清洗装置，包括固定座1，固定座1上固定设置有清洗槽2，清洗槽2内设置有清洗框3，清洗框3内设置有若干组插接槽301用于插设掩膜版，其中掩膜版插设与相邻的两个限位块所形成的插接槽301内，清洗框3底部通过固定支座4与清洗槽2卡接固定；清洗框3可拆卸安装固定有框盖5，框盖5中心上固定连接有连接轴6，连接轴6的顶部通过轴承7转动连接有顶板8，顶板8上固定安装有伺服电机作为带动连接轴6转动的动力装置9，伺服电机的输出轴通过轴套与连接轴6固定连接；固定座1上还固定安装有升降装置10，升降装置10的顶部卡接顶板8。其中，伺服电机直接作为动力装置9，当伺服电机转动时，会带动连接轴进行转动，进而带动清洗框进行转动，此动力装置无需人力操作，便于机械控制；升降装置10的设置，便于将清洗框3向上吊起使其脱离固定支座4的固定作用，进而便于实现其转动以加强清洗效果；同时设置升降装置10亦便于将框盖5与清洗框3进行连接固定。
在本实施例中，进一步地，固定支座4设置有四个分别设置于清洗框3的四角底部，每个固定支座4上固定设置有L形固定块401，清洗框3由四个固定块401进行固定。其中，四个固定支座4分别位于清洗框3的四角底部，其L形固定块401将清洗框3固定在其四个固定支座4之间，其在进行浸泡清洗时，可以将清洗框3的位置进行固定。
在本实施例中，进一步地，升降装置10包括两个固定安装于固定座1上的气缸101，两个气缸101分别平行设置于清洗槽2的两侧，且与清洗槽2的中心在同一条直线上，且气缸101的活塞杆固定连接有卡接板102，卡接板102上开有卡槽103，顶板8的两个侧壁上均固定设置有与卡槽103所卡接匹配的卡块801，两个卡块801分别与两个卡槽103插接固定。其中，控制气缸101的活塞杆伸长时，使得其带动卡接板102上升，然后将顶板8的卡块801插入到卡槽103内进行卡接，使得气缸101支撑顶板8以及框盖5，之后控制气缸101的活塞杆缩短，其带动卡接板102、顶板8以及框盖5下降，下降至与清洗框3的位置，将框盖5与清洗框3进行固定，之后再控制气缸101的活塞杆伸长，则会带动清洗框3上升，使其底部不与固定支座4接触即可，其开启动力装置9即可带动整个清洗框3和其内部的掩膜版进行转动，具体为，伺服电机转动带动连接轴6转动，进而连接轴6带动框盖5和清洗框3同时转动，进而使得清洗液与所述掩膜版产生相对运动，达到清洗液对掩膜版进行冲刷，进而加强清洗效果。
在本实施例中，进一步地，清洗槽2的底部四角处固定设置有支撑脚201；固定座1的底部四角处均安装有万向轮15；清洗槽2的底部设置有出液口202，出液口202上设置有控制阀。其中，设置支撑脚201用于支撑清洗槽2设置于固定座1上，设置万向轮15便于将清洗装置进行转移，设置出液口202可以及时将用过的清洗液进行排出，其中控制阀用来控制清洗液的排出，控制阀开启时，排出清洗液，控制阀关闭时其清洗液不会由出液口202处排出。
本实施例在使用时：
一、进行浸泡清洗
首先，将掩膜版插入到清洗框3内；
其次，将清洗框3放置于四个固定支座4之内进行固定；
再次，控制气缸101使其活塞杆伸长，伸长到一定的高度时(具体为便于将顶板8与卡接板102进行安装即可)，将顶板8上的卡块801插接入卡槽103内，使得气缸101支撑顶板8以及框盖5呈悬挂状态；
再次，控制气缸101使其活塞杆缩短，带动框盖5向下移动，直至与清洗框3接触并进行固定；
再次，向清洗槽2内加入清洗掩膜版所需的清洗液，直至清洗液覆盖掩膜版即进行浸泡清洗。
二、进行旋转加强清洗
先行进行浸泡清洗，之后若需要进行旋转加强清洗时，只需要控制气缸101使其活塞杆伸长，直至其清洗框3不与其固定支座4相接触即可；启动伺服电机，其通过连接轴6带动整个清洗框3进行旋转，使得清洗框3内的掩膜版与清洗液相对运动，从而清洗液对掩膜版进行冲刷，可以增强其清洗效果。此装置对于带孔的掩膜版同样适用。
实施例2：
一种掩膜版的清洗装置，包括固定座1，固定座1上固定设置有清洗槽2，清洗槽2内设置有清洗框3，清洗框3内设置有若干组插接槽301用于插设掩膜版，清洗框3底部通过固定支座4与清洗槽2卡接固定；清洗框3可拆卸安装固定有框盖5，框盖5中心上固定连接有连接轴6，连接轴6的顶部通过轴承7转动连接有顶板8，顶板8上固定安装有伺服电机作为带动连接轴6转动的动力装置9，伺服电机的输出轴通过轴套与连接轴6固定连接；固定座1上还固定安装有升降装置10，升降装置10的顶部卡接顶板8。
在本实施例中，进一步地，固定支座4设置有四个分别设置于清洗框3的四角底部，每个固定支座4上固定设置有L形固定块401，清洗框3由四个固定块401进行固定。
在本实施例中，进一步地，升降装置10包括两个固定安装于固定座1上的气缸101，两个气缸101分别平行设置于清洗槽2的两侧，且与清洗槽2的中心在同一条直线上，且气缸101的活塞杆固定连接有卡接板102，卡接板102上开有卡槽103，顶板8的两个侧壁上均固定设置有与卡槽103所卡接匹配的卡块801，两个卡块801分别与两个卡槽103插接固定。
在本实施例中，进一步地，清洗槽2的底部四角处固定设置有支撑脚201；固定座1的底部四角处均安装有万向轮15；清洗槽2的底部设置有出液口202，出液口202上设置有控制阀。
在本实施例中，进一步地，固定座1上还固定设置有鼓风机11，且清洗槽2的其中一侧侧壁上安装有曝气器12，曝气器12与鼓风机11通过通风管13进行连接。其中，设置鼓风机11和曝气器12相结合使用，可以进一步加强清洗效果；其中，鼓风机11吹气由通风管13传输给曝气器12吹入到清洗槽2内，其吹动清洗液进行流动，进而不断地对掩膜版以及其内孔进行冲刷清洗，进一步地加强其清洗效果。
本实施例在使用时：
一、进行浸泡清洗
首先，将掩膜版插入到清洗框3内；
其次，将清洗框3放置于四个固定支座4之内进行固定；
再次，控制气缸101使其活塞杆伸长，伸长到一定的高度时(具体为便于将顶板8与卡接板102进行安装即可)，将顶板8上的卡块801插接入卡槽103内，使得气缸101支撑顶板8以及框盖5呈悬挂状态；
再次，控制气缸101使其活塞杆缩短，带动框盖5向下移动，直至与清洗框3接触并进行固定；
再次，向清洗槽2内加入清洗掩膜版所需的清洗液，直至清洗液覆盖掩膜版，然后开启鼓风机11到工作状态，此时即进行浸泡清洗。相对于实施例1的技术方案，其浸泡清洗时，本技术方案因加入鼓风机11与曝气器12使得清洗液呈现流动状态，进而加强了其清洗效果。
二、进行旋转加强清洗
此时，只需要控制气缸101使其活塞杆伸长，直至其清洗框3不与其固定支座4相接触即可；启动伺服电机，其通过连接轴6带动整个清洗框3进行旋转，使得清洗框3内的掩膜版与清洗液相对运动，从而清洗液对掩膜版进行冲刷，可以增强其清洗效果。此装置对于带孔的掩膜版同样适用。相对于实施例1的技术方案，增加了鼓风机11与曝气器12配合使用，进一步加强了清洗液对掩膜版的清洗效果。
实施例3：
一种掩膜版的清洗装置，包括固定座1，固定座1上固定设置有清洗槽2，清洗槽2内设置有清洗框3，清洗框3内设置有若干组插接槽301用于插设掩膜版，清洗框3底部通过固定支座4与清洗槽2卡接固定；清洗框3可拆卸安装固定有框盖5，框盖5中心上固定连接有连接轴6，连接轴6的顶部通过轴承7转动连接有顶板8，顶板8上固定安装有伺服电机作为带动连接轴6转动的动力装置9，伺服电机的输出轴通过轴套与连接轴6固定连接；固定座1上还固定安装有升降装置10，升降装置10的顶部卡接顶板8。
在本实施例中，进一步地，固定支座4设置有四个分别设置于清洗框3的四角底部，每个固定支座4上固定设置有L形固定块401，清洗框3由四个固定块401进行固定。
在本实施例中，进一步地，升降装置10包括两个固定安装于固定座1上的气缸101，两个气缸101分别平行设置于清洗槽2的两侧，且与清洗槽2的中心在同一条直线上，且气缸101的活塞杆固定连接有卡接板102，卡接板102上开有卡槽103，顶板8的两个侧壁上均固定设置有与卡槽103所卡接匹配的卡块801，两个卡块801分别与两个卡槽103插接固定。
在本实施例中，进一步地，清洗槽2的底部四角处固定设置有支撑脚201；固定座1的底部四角处均安装有万向轮15；清洗槽2的底部设置有出液口202，出液口202上设置有控制阀。
在本实施例中，进一步地，固定座1上还固定设置有鼓风机11，且清洗槽2的其中一侧侧壁上安装有曝气器12，曝气器12与鼓风机11通过通风管13进行连接。
在本实施例中，进一步地，固定座1上还固定安装有辅助清洗组件14，辅助清洗组件14为降解光源和超声波发生器的组合体，且辅助清洗组件14设置于清洗槽2安装有曝气器12相对的侧壁的一侧，且清洗槽2为透明槽。其中，其辅助清洗组件14可以辅助清洗液对掩膜版进行清洗；其中，超声波发生器发出的超声波能够震碎其掩膜版表面的残留物质，进而加快清洗液对掩膜版残留物质的清洗；降解光源发出的降解光可以将掩膜版上残存的可与降解光反映的残留物进行清洁，进而使得清洗液对掩膜版上的残留物质清洗的更为彻底。
本实施例在使用时：
一、进行浸泡清洗
首先，将掩膜版插入到清洗框3内；
其次，将清洗框3放置于四个固定支座4之内进行固定；
再次，控制气缸101使其活塞杆伸长，伸长到一定的高度时(具体为便于将顶板8与卡接板102进行安装即可)，将顶板8上的卡块801插接入卡槽103内，使得气缸101支撑顶板8以及框盖5呈悬挂状态；
再次，控制气缸101使其活塞杆缩短，带动框盖5向下移动，直至与清洗框3接触并进行固定；
再次，向清洗槽2内加入清洗掩膜版所需的清洗液，直至清洗液覆盖掩膜版，然后开启鼓风机11到工作状态，开启辅助清洗组件内的降解光源和超声波发生器；此时即进行浸泡清洗。相对于实施例2的技术方案，其浸泡清洗时，本技术方案因加入辅助清洗组件，其中降解光和超声波与掩膜版表面的残存物进行反应或者是震碎，再组合清洗液的清洗作用，进而加强了其清洗效果。
二、进行旋转加强清洗
此时，只需要控制气缸101使其活塞杆伸长，直至其清洗框3不与其固定支座4相接触即可；启动伺服电机，其通过连接轴6带动整个清洗框3进行旋转，使得清洗框3内的掩膜版与清洗液相对运动，从而清洗液对掩膜版进行冲刷，可以增强其清洗效果。此装置对于带孔的掩膜版同样适用。相对于实施例2的技术方案，增加了辅助清洗组件的辅助作用，可对掩膜版上的残存物作用，结合清洗液的清洗作用，进一步加强了清洗液对掩膜版的清洗效果。
实施例4：
一种掩膜版的清洗装置，包括固定座1，固定座1上固定设置有清洗槽2，清洗槽2内设置有清洗框3，清洗框3内设置有若干组插接槽301用于插设掩膜版，其中掩膜版插设与相邻的两个限位块所形成的插接槽301内，清洗框3底部通过固定支座4与清洗槽2卡接固定；清洗框3可拆卸安装固定有框盖5，框盖5中心上固定连接有连接轴6，连接轴6的顶部通过轴承7转动连接有顶板8，顶板8上设置有带动连接轴6转动的动力装置9，固定座1上还固定安装有升降装置10，升降装置10的顶部卡接顶板8。其中，动力装置9为连接轴6转动提供动力，当连接轴6转动时带动清洗框进行转动，此动力装置无需人力操作，便于机械控制；升降装置10的设置，便于将清洗框3向上吊起使其脱离固定支座4的固定作用，进而便于实现其转动以加强清洗效果；同时设置升降装置10亦便于将框盖5与清洗框3进行连接固定。
在本实施例中，进一步地，固定支座4设置有四个分别设置于清洗框3的四角底部，每个固定支座4上固定设置有L形固定块401，清洗框3由四个固定块401进行固定。其中，四个固定支座4分别位于清洗框3的四角底部，其L形固定块401将清洗框3固定在其四个固定支座4之间，其在进行浸泡清洗时，可以将清洗框3的位置进行固定。
在本实施例中，进一步地，升降装置10包括两个固定安装于固定座1上的气缸101，两个气缸101分别平行设置于清洗槽2的两侧，且与清洗槽2的中心在同一条直线上，且气缸101的活塞杆固定连接有卡接板102，卡接板102上开有卡槽103，顶板8的两个侧壁上均固定设置有与卡槽103所卡接匹配的卡块801，两个卡块801分别与两个卡槽103插接固定。其中，控制气缸101的活塞杆伸长时，使得其带动卡接板102上升，然后将顶板8的卡块801插入到卡槽103内进行卡接，使得气缸101支撑顶板8以及框盖5，之后控制气缸101的活塞杆缩短，其带动卡接板102、顶板8以及框盖5下降，下降至与清洗框3的位置，将框盖5与清洗框3进行固定，之后再控制气缸101的活塞杆伸长，则会带动清洗框3上升，使其底部不与固定支座4接触即可，其开启动力装置9即可带动整个清洗框3和其内部的掩膜版进行转动，进而加强清洗效果。
在本实施例中，进一步地，动力装置9为齿轮传动装置，包括第一伞齿轮901和第二伞齿轮902，其中，第一伞齿轮901固定设置于连接轴6上，第二伞齿轮902固定安装于转轴903的底端上，转轴903通过第二轴承904与顶板8转动连接，且转轴903贯穿顶板8且其顶端固定设置有转钮905，且第一伞齿轮901与第二伞齿轮902啮合连接。其中，当旋转转钮905时，其第二伞齿轮902进行转动进而啮合第一伞齿轮901进行转动，从而第一伞齿轮901带动连接轴6转动进而带动清洗框3进行转动清洗，可加强其清洗效果。
在本实施例中，进一步地，清洗槽2的底部四角处固定设置有支撑脚201；固定座1的底部四角处均安装有万向轮15；清洗槽2的底部设置有出液口202，出液口202上设置有控制阀。其中，设置支撑脚201用于支撑清洗槽2设置于固定座1上，设置万向轮15便于将清洗装置进行转移，设置出液口202可以及时将用过的清洗液进行排出，其中控制阀用来控制清洗液的排出，控制阀开启时，排出清洗液，控制阀关闭时其清洗液不会由出液口202处排出。
本实施例在使用时：
一、进行浸泡清洗
首先，将掩膜版插入到清洗框3内；
其次，将清洗框3放置于四个固定支座4之内进行固定；
再次，控制气缸101使其活塞杆伸长，伸长到一定的高度时(具体为便于将顶板8与卡接板102进行安装即可)，将顶板8上的卡块801插接入卡槽103内，使得气缸101支撑顶板8以及框盖5呈悬挂状态；
再次，控制气缸101使其活塞杆缩短，带动框盖5向下移动，直至与清洗框3接触并进行固定；
再次，向清洗槽2内加入清洗掩膜版所需的清洗液，直至清洗液覆盖掩膜版即进行浸泡清洗。
二、进行旋转加强清洗
先行进行浸泡清洗，之后若需要进行旋转加强清洗时，只需要控制气缸101使其活塞杆伸长，直至其清洗框3不与其固定支座4相接触即可；转动旋钮905，其第二伞齿轮902在转轴903的带动下转动，故与其啮合的第一伞齿轮901带动连接轴6进行转动，其连接轴6带动整个清洗框3进行转动，使得清洗框3内的掩膜版与清洗液相对运动，从而清洗液对掩膜版进行冲刷，可以增强其清洗效果。此装置对于带孔的掩膜版同样适用。与实施例1的技术方案相对比，本技术方案中，需要人工转动旋钮905进行操作，使得清洗框3进行旋转，便于停止观察一下其清洗状况。
实施例5：
一种掩膜版的清洗装置，包括固定座1，固定座1上固定设置有清洗槽2，清洗槽2内设置有清洗框3，清洗框3内设置有若干组插接槽301用于插设掩膜版，清洗框3底部通过固定支座4与清洗槽2卡接固定；清洗框3可拆卸安装固定有框盖5，框盖5中心上固定连接有连接轴6，连接轴6的顶部通过轴承7转动连接有顶板8，顶板8上设置有带动连接轴6转动的动力装置9，固定座1上还固定安装有升降装置10，升降装置10的顶部卡接顶板8。
在本实施例中，进一步地，固定支座4设置有四个分别设置于清洗框3的四角底部，每个固定支座4上固定设置有L形固定块401，清洗框3由四个固定块401进行固定。
在本实施例中，进一步地，升降装置10包括两个固定安装于固定座1上的气缸101，两个气缸101分别平行设置于清洗槽2的两侧，且与清洗槽2的中心在同一条直线上，且气缸101的活塞杆固定连接有卡接板102，卡接板102上开有卡槽103，顶板8的两个侧壁上均固定设置有与卡槽103所卡接匹配的卡块801，两个卡块801分别与两个卡槽103插接固定。
在本实施例中，进一步地，动力装置9为齿轮传动装置，包括第一伞齿轮901和第二伞齿轮902，其中，第一伞齿轮901固定设置于连接轴6上，第二伞齿轮902固定安装于转轴903的底端上，转轴903通过第二轴承904与顶板8转动连接，且转轴903贯穿顶板8且其顶端固定设置有转钮905，且第一伞齿轮901与第二伞齿轮902啮合连接。
在本实施例中，进一步地，清洗槽2的底部四角处固定设置有支撑脚201；固定座1的底部四角处均安装有万向轮15；清洗槽2的底部设置有出液口202，出液口202上设置有控制阀。
在本实施例中，进一步地，固定座1上还固定设置有鼓风机11，且清洗槽2的其中一侧侧壁上安装有曝气器12，曝气器12与鼓风机11通过通风管13进行连接。其中，设置鼓风机11和曝气器12相结合使用，可以进一步加强清洗效果；其中，鼓风机11吹气由通风管13传输给曝气器12吹入到清洗槽2内，其吹动清洗液进行流动，进而不断地对掩膜版以及其内孔进行冲刷清洗，进一步地加强其清洗效果。
本实施例在使用时：
一、进行浸泡清洗
首先，将掩膜版插入到清洗框3内；
其次，将清洗框3放置于四个固定支座4之内进行固定；
再次，控制气缸101使其活塞杆伸长，伸长到一定的高度时(具体为便于将顶板8与卡接板102进行安装即可)，将顶板8上的卡块801插接入卡槽103内，使得气缸101支撑顶板8以及框盖5呈悬挂状态；
再次，控制气缸101使其活塞杆缩短，带动框盖5向下移动，直至与清洗框3接触并进行固定；
再次，向清洗槽2内加入清洗掩膜版所需的清洗液，直至清洗液覆盖掩膜版然后开启鼓风机11到工作状态，此时即进行浸泡清洗。相对于实施例4的技术方案，其浸泡清洗时，本技术方案因加入鼓风机11与曝气器12使得清洗液呈现流动状态，进而加强了其清洗效果。
二、进行旋转加强清洗
此时，只需要控制气缸101使其活塞杆伸长，直至其清洗框3不与其固定支座4相接触即可；转动旋钮905，其第二伞齿轮902在转轴903的带动下转动，故与其啮合的第一伞齿轮901带动连接轴6进行转动，其连接轴6带动整个清洗框3进行转动，使得清洗框3内的掩膜版与清洗液相对运动，从而清洗液对掩膜版进行冲刷，可以增强其清洗效果。此装置对于带孔的掩膜版同样适用。相对于实施例1的技术方案，增加了鼓风机11与曝气器12配合使用，进一步加强了清洗液对掩膜版的清洗效果。
实施例6：
一种掩膜版的清洗装置，包括固定座1，固定座1上固定设置有清洗槽2，清洗槽2内设置有清洗框3，清洗框3内设置有若干组插接槽301用于插设掩膜版，清洗框3底部通过固定支座4与清洗槽2卡接固定；清洗框3可拆卸安装固定有框盖5，框盖5中心上固定连接有连接轴6，连接轴6的顶部通过轴承7转动连接有顶板8，顶板8上设置有带动连接轴6转动的动力装置9，固定座1上还固定安装有升降装置10，升降装置10的顶部卡接顶板8。
在本实施例中，进一步地，固定支座4设置有四个分别设置于清洗框3的四角底部，每个固定支座4上固定设置有L形固定块401，清洗框3由四个固定块401进行固定。
在本实施例中，进一步地，升降装置10包括两个固定安装于固定座1上的气缸101，两个气缸101分别平行设置于清洗槽2的两侧，且与清洗槽2的中心在同一条直线上，且气缸101的活塞杆固定连接有卡接板102，卡接板102上开有卡槽103，顶板8的两个侧壁上均固定设置有与卡槽103所卡接匹配的卡块801，两个卡块801分别与两个卡槽103插接固定。
在本实施例中，进一步地，动力装置9为齿轮传动装置，包括第一伞齿轮901和第二伞齿轮902，其中，第一伞齿轮901固定设置于连接轴6上，第二伞齿轮902固定安装于转轴903的底端上，转轴903通过第二轴承904与顶板8转动连接，且转轴903贯穿顶板8且其顶端固定设置有转钮905，且第一伞齿轮901与第二伞齿轮902啮合连接。
在本实施例中，进一步地，清洗槽2的底部四角处固定设置有支撑脚201；固定座1的底部四角处均安装有万向轮15；清洗槽2的底部设置有出液口202，出液口202上设置有控制阀。
在本实施例中，进一步地，固定座1上还固定设置有鼓风机11，且清洗槽2的其中一侧侧壁上安装有曝气器12，曝气器12与鼓风机11通过通风管13进行连接。
在本实施例中，进一步地，固定座1上还固定安装有辅助清洗组件14，辅助清洗组件14为降解光源和超声波发生器的组合体，且辅助清洗组件14设置于清洗槽2安装有曝气器12相对的侧壁的一侧，且清洗槽2为透明槽。其中，其辅助清洗组件14可以辅助清洗液对掩膜版进行清洗；其中，超声波发生器发出的超声波能够震碎其掩膜版表面的残留物质，进而加快清洗液对掩膜版残留物质的清洗；降解光源发出的降解光可以将掩膜版上残存的可与降解光反映的残留物进行清洁，进而使得清洗液对掩膜版上的残留物质清洗的更为彻底
本实施例在使用时：
一、进行浸泡清洗
首先，将掩膜版插入到清洗框3内；
其次，将清洗框3放置于四个固定支座4之内进行固定；
再次，控制气缸101使其活塞杆伸长，伸长到一定的高度时(具体为便于将顶板8与卡接板102进行安装即可)，将顶板8上的卡块801插接入卡槽103内，使得气缸101支撑顶板8以及框盖5呈悬挂状态；
再次，控制气缸101使其活塞杆缩短，带动框盖5向下移动，直至与清洗框3接触并进行固定；
再次，向清洗槽2内加入清洗掩膜版所需的清洗液，直至清洗液覆盖掩膜版然后开启鼓风机11到工作状态，开启辅助清洗组件内的降解光源和超声波发生器；此时即进行浸泡清洗。相对于实施例5的技术方案，其浸泡清洗时，本技术方案因加入辅助清洗组件，其中降解光和超声波与掩膜版表面的残存物进行反应或者是震碎，再组合清洗液的清洗作用，进而加强了其清洗效果。
二、进行旋转加强清洗
此时，只需要控制气缸101使其活塞杆伸长，直至其清洗框3不与其固定支座4相接触即可；转动旋钮905，其第二伞齿轮902在转轴903的带动下转动，故与其啮合的第一伞齿轮901带动连接轴6进行转动，其连接轴6带动整个清洗框3进行转动，使得清洗框3内的掩膜版与清洗液相对运动，从而清洗液对掩膜版进行冲刷，可以增强其清洗效果。此装置对于带孔的掩膜版同样适用。相对于实施例5的技术方案，增加了辅助清洗组件的辅助作用，可对掩膜版上的残存物作用，结合清洗液的清洗作用，进一步加强了清洗液对掩膜版的清洗效果。
以上对本发明的六个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。
Claims (10)
1.一种掩膜版的清洗装置，包括固定座(1)，所述固定座(1)上固定设置有清洗槽(2)，其特征在于：所述清洗槽(2)内设置有清洗框(3)，所述清洗框(3)内设置有若干组插接槽(301)用于插设掩膜版，所述清洗框(3)底部通过固定支座(4)与清洗槽(2)卡接固定；所述清洗框(3)可拆卸安装固定有框盖(5)，所述框盖(5)中心上固定连接有连接轴(6)，所述连接轴(6)的顶部通过轴承(7)转动连接有顶板(8)，所述顶板(8)上设置有带动所述连接轴(6)转动的动力装置(9)；所述固定座(1)上还固定安装有升降装置(10)，所述升降装置(10)的顶部卡接所述顶板(8)。
2.根据权利要求1所述的一种掩膜版的清洗装置，其特征在于：所述固定支座(4)设置有四个分别设置于所述清洗框(3)的四角底部，每个所述固定支座(4)上固定设置有L形固定块(401)，所述清洗框(3)由四个所述固定块(401)进行固定。
3.根据权利要求2所述的一种掩膜版的清洗装置，其特征在于：所述升降装置(10)包括两个固定安装于所述固定座(1)上的气缸(101)，两个所述气缸(101)分别平行设置于所述清洗槽(2)的两侧，且与所述清洗槽(2)的中心在同一条直线上，且所述气缸(101)的活塞杆固定连接有卡接板(102)，所述卡接板(102)上开有卡槽(103)，所述顶板(8)的两个侧壁上均固定设置有与卡槽(103)所卡接匹配的卡块(801)，两个所述卡块(801)分别与两个卡槽(103)插接固定。
4.根据权利要求3所述的一种掩膜版的清洗装置，其特征在于：所述动力装置(9)为伺服电机，所述伺服电机固定安装于所述顶板(8)的顶部，且所述伺服电机的输出轴通过轴套与所述连接轴(6)固定连接。
5.根据权利要求3所述的一种掩膜版的清洗装置，其特征在于：所述动力装置(9)为齿轮传动装置，包括第一伞齿轮(901)和第二伞齿轮(902)，其中，所述第一伞齿轮(901)固定设置于所述连接轴(6)上，所述第二伞齿轮(902)固定安装于转轴(903)的底端上，所述转轴(903)通过第二轴承(904)与所述顶板(8)转动连接，且所述转轴(903)贯穿所述顶板(8)且其顶端固定设置有转钮(905)，且所述第一伞齿轮(901)与第二伞齿轮(902)啮合连接。
6.根据权利要求4或5所述的一种掩膜版的清洗装置，其特征在于：所述固定座(1)上还固定设置有鼓风机(11)，且所述清洗槽(2)的其中一侧侧壁上安装有曝气器(12)，所述曝气器(12)与所述鼓风机(11)通过通风管(13)进行连接。
7.根据权利要求6所述的一种掩膜版的清洗装置，其特征在于：所述固定座(1)上还固定安装有辅助清洗组件(14)，所述辅助清洗组件(14)为降解光源和超声波发生器的组合体，且所述辅助清洗组件(14)设置于所述清洗槽(2)安装有曝气器(12)相对的侧壁的一侧，且所述清洗槽(2)为透明槽。
8.根据权利要求1所述的一种掩膜版的清洗装置，其特征在于：所述清洗槽(2)的底部四角处固定设置有支撑脚(201)。
9.根据权利要求1所述的一种掩膜版的清洗装置，其特征在于：所述固定座(1)的底部四角处均安装有万向轮(15)。
10.根据权利要求1所述的一种掩膜版的清洗装置，其特征在于：所述清洗槽(2)的底部设置有出液口(202)，所述出液口(201)上设置有控制阀。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201911317910.1A CN111085494B (zh) | 2019-12-19 | 2019-12-19 | 一种掩膜版的清洗装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201911317910.1A CN111085494B (zh) | 2019-12-19 | 2019-12-19 | 一种掩膜版的清洗装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111085494A true CN111085494A (zh) | 2020-05-01 |
| CN111085494B CN111085494B (zh) | 2022-01-04 |
Family
ID=70395144
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201911317910.1A Active CN111085494B (zh) | 2019-12-19 | 2019-12-19 | 一种掩膜版的清洗装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN111085494B (zh) |
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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