CN113351583B

CN113351583B - 一种掩膜版清洗装置及其清洗方法

Info

Publication number: CN113351583B
Application number: CN202110604114.7A
Authority: CN
Inventors: 钱超; 杨波
Original assignee: Jiangsu Gaoguang Semiconductor Materials Co ltd
Current assignee: Jiangsu Gaoguang Semiconductor Materials Co ltd
Priority date: 2021-05-31
Filing date: 2021-05-31
Publication date: 2023-03-10
Anticipated expiration: 2041-05-31
Also published as: CN113351583A

Abstract

本发明提供一种掩膜版清洗装置，包括挂载架，挂载架内设有离心组件，挂载架的外侧套设有清洗组件，挂载架的两端安装有抵板，离心组件包括旋转轴，旋转轴的两端分别与两个抵板转动连接，其中一个抵板上安装有驱动电机，驱动电机与旋转轴驱动连接，旋转轴上设有移动块，移动块上安装有卡合机构，通过设置的离心组件和环筒的配合，以达到利用旋转来促使掩膜版均匀多角度的受到水流的冲洗效果，并能实现自动化自清洗效果，降低人力成本，本发明通过设置的环筒内的多个区间，以达到利用层层递进的方式来进行对掩膜版的清洗，从而使得其上附着的杂质可以更好的脱离其表面，在清洗完毕后进行超声震荡烘干处理，防止水渍未干导致重新附着新的杂质。

Description

一种掩膜版清洗装置及其清洗方法

技术领域

本发明属于掩膜版技术领域，尤其是涉及一种掩膜版清洗装置及其清洗方法。

背景技术

OLED显示装置由于具有自主发光、色彩鲜艳、低功耗、广视角等优点被应用的越来越广泛。目前，制作OLED显示装置时普遍采用蒸镀技术，其中金属掩膜版(Metal Mask，简称Mask)在整个OLED显示装置生产工艺中扮演着极其重要的角色。在蒸镀过程中，蒸镀材料会沉积到Mask上，且随着蒸镀次数和时间的增加，Mask上沉积的蒸镀材料会越来越厚，进而影响金属掩膜版的尺寸精度，导致各种蒸镀不良。因此，当Mask使用一段时间后需要对其进行清洗，从而保证蒸镀效果。

发明内容

本发明的目的是针对上述问题，提供一种可通过离心力配合水流冲洗的掩膜版清洗装置及其清洗方法。

为达到上述目的，本发明采用了下列技术方案：一种掩膜版清洗装置，包括挂载架，所述挂载架内设有离心组件，所述挂载架的外侧套设有清洗组件，所述挂载架的两端安装有抵板，所述离心组件包括旋转轴，所述旋转轴的两端分别与两个所述抵板转动连接，其中一个所述抵板上安装有驱动电机，所述驱动电机与所述旋转轴驱动连接，所述旋转轴上设有移动块，所述移动块上安装有卡合机构。

进一步的，所述清洗组件包括环筒，所述环筒内部依次通过隔板被分割为超声区、液体清洗区和干燥区，所述超声区的上半部分均布有超声装置，所述液体清洗区的上半部分内壁上均布有喷孔且所述上半部分内壁内设有与所述喷孔连通的清洗液半腔，所述清洗液半腔与外侧的清洗液注入腔连通，所述清洗液注入腔分别与第一进液管、第二进液管连通，所述干燥区的上半部分内壁内设有气体半腔且内壁内侧均布有出风口，所述气体半腔与上方的气体注入腔连通，所述气体注入腔与所述进气管连通。

进一步的，所述第一进液管和所述第二进液管上设有开合阀，所述环筒的底部内设有底部液体收集腔且内壁上方设有与所述底部液体收集腔连通的回流孔，所述底部液体收集腔与下方的液体回流腔连通，所述液体回流腔与出料管连通。

进一步的，所述卡合机构包括安装架，所述安装架后侧安装有横杆，所述横杆与所述移动块固定连接，所述安装架的上方设有阳极夹槽，所述安装架的下方设有阴极夹槽，所述安装架的两侧安装有竖槽，其中一个所述竖槽与设置在所述安装架内部的气缸活塞端固定连接，所述竖槽的两侧设有卡块。

进一步的，所述移动块套设在所述旋转轴上，且所述旋转轴上设有齿槽，所述移动块内设有与所述齿槽配合使用的齿轮，所述移动块内设有所述齿轮的齿轮驱动电机。

进一步的，所述超声区、所述液体清洗区和所述干燥区的上半部分都设有激光传感器。

一种掩膜版清洗方法，包括以下步骤：

步骤(1)：将掩膜版放置在安装架内，并控制气缸活塞端将掩膜版压紧固定；

步骤(2)：在阳极夹槽和阴极夹槽上通上电压，通过电流使得掩膜版上的废料产生热量，使得废料融化掉落或者变硬变脆；

步骤(3)：控制移动块向清洗组件内移动，并打开超声装置进行超声震荡，清除融化掉落或者变硬变脆的废料；

步骤(4)：再控制移动块继续移动，打开开合阀，使用配置好的清洗溶剂通过喷孔喷向掩膜版，在清洗过程中，需要通过驱动电机来控制掩膜版的匀速转动；

步骤(5)：清洗完毕后，再控制移动块将掩膜版移动到超声区进行超声震荡清洗；

步骤(6)：再将掩膜版移动到液体清洗区进行再次清洗，同时通过驱动电机来控制掩膜版的匀速转动；

步骤(7)：通过移动块将掩膜版移动到干燥区内通过所述进气管进风后对掩膜版干燥吹风，最后将掩膜版移动到初始位置后取下。

进一步的，所述进气管与外部的进气泵连接，且进入的气体是经过干燥加热处理的。

与现有的技术相比，本掩膜版清洗装置及其清洗方法的优点在于：

1、本发明通过设置的离心组件和环筒的配合，以达到利用旋转来促使掩膜版均匀多角度的受到水流的冲洗效果，并能实现自动化自清洗效果，降低人力成本。

2、本发明通过设置的环筒内的多个区间，以达到利用层层递进的方式来进行对掩膜版的清洗，从而使得其上附着的杂质可以更好的脱离其表面，另外可在清洗完毕后进行超声震荡烘干处理，防止水渍未干导致重新附着到新的杂质。

附图说明

图1是本发明提供的一种掩膜版清洗装置的结构示意图；

图2是图1中卡合机构的结构示意图；

图3是图2中移动块的剖视图；

图4是图1中环筒的剖视图；

图5是图4的侧面透视图；

图6是图2中A处的局部放大图。

图中，1挂载架、2清洗组件、3离心组件、4环筒、5进气管、6第一进液管、7抵板、8旋转机构、9激光传感器、10清洗液半腔、11底部液体收集腔、12喷孔、13清洗液注入腔、14旋转轴、15驱动电机、16齿槽、17移动块、18齿轮、19卡合机构、20横杆、21安装架、22卡块、23气缸活塞端、24第二进液管、25出料管、26隔板、27竖槽、28开合阀、29回流孔、30超声装置、31液体回流腔、32气体注入腔、33气体半腔、34出风口，35阳极夹槽、36阴极夹槽。

具体实施方式

以下实施例仅处于说明性目的，而不是想要限制本发明的范围。

实施例

如图1-6所示，一种掩膜版清洗装置，包括挂载架1，挂载架1内设有离心组件3，挂载架1的外侧套设有清洗组件2，挂载架1的两端安装有抵板7，离心组件3包括旋转轴14，旋转轴14的两端分别与两个抵板7转动连接，其中一个抵板7上安装有驱动电机15，其中驱动电机15可以是伺服电机，驱动电机15与旋转轴14驱动连接，旋转轴14上设有移动块17，移动块17上安装有卡合机构19。

清洗组件2包括环筒4，环筒4内部依次通过隔板26被分割为超声区、液体清洗区和干燥区，超声区的上半部分均布有超声装置30，液体清洗区的上半部分内壁上均布有喷孔12且上半部分内壁内设有与喷孔12连通的清洗液半腔10，清洗液半腔10与外侧的清洗液注入腔13连通，清洗液注入腔13分别与第一进液管6、第二进液管24连通，干燥区的上半部分内壁内设有气体半腔33且内壁内侧均布有出风口34，气体半腔33与上方的气体注入腔32连通，气体注入腔32与进气管5连通，其中超声装置可以是超声波换能器。

第一进液管6和第二进液管24上设有开合阀28，环筒4的底部内设有底部液体收集腔11且内壁上方设有与底部液体收集腔11连通的回流孔29，底部液体收集腔11与下方的液体回流腔31连通，液体回流腔31与出料管25连通，可以根据掩膜版上的蒸镀废料来配置相应的有机溶剂，配置的溶剂可以通过第一进液管6和第二进液管24同时进入清洗，也可以单个溶剂依次单独进行进入清洗。

卡合机构19包括安装架21，安装架21后侧安装有横杆20，横杆20与移动块17固定连接，安装架21的上方设有阳极夹槽35，安装架21的下方设有阴极夹槽36，安装架21的两侧安装有竖槽27，其中一个竖槽27与设置在安装架21内部的气缸活塞端23固定连接，竖槽27的两侧设有卡块22。

移动块17套设在旋转轴14上，且旋转轴14上设有齿槽16，移动块17内设有与齿槽16配合使用的齿轮18，移动块17内设有齿轮18的齿轮驱动电机。

超声区、液体清洗区和干燥区的上半部分都设有激光传感器9，用于检测反馈喷液浓度。

一种掩膜版清洗方法，包括以下步骤：

步骤(7)：通过移动块将掩膜版移动到干燥区内通过所述进气管5进风后对掩膜版干燥吹风，最后将掩膜版移动到初始位置后取下。

其中所述进气管5与外部的进气泵连接，且进入的气体是经过干燥加热处理的，可以将掩膜版快速吹干，防止灰尘或者微小颗粒通过掩膜版上的液体重新粘附在掩膜版上。

本发明可以以其他的具体形式实现，而不脱离其精神和本质特征。因此，当前的实施例在所有方面都被看作是示例性的而非限定性的，本发明的范围由所附权利要求而非上述描述定义，并且，落入权利要求的含义和等同物的范围内的全部改变从而都被包括在本发明的范围之中。并且，在不同实施例中出现的不同技术特征可以进第一组合，以取得有益效果。本领域技术人员在研究附图、说明书及权利要求书的基础上，应能理解并实现所揭示的实施例的其他变化的实施例。

Claims

1.一种掩膜版清洗装置，其特征在于：包括挂载架（1），所述挂载架（1）内设有离心组件（3），所述挂载架（1）的外侧套设有清洗组件（2），所述挂载架（1）的两端安装有抵板（7），所述离心组件（3）包括旋转轴（14），所述旋转轴（14）的两端分别与两个所述抵板（7）转动连接，其中一个所述抵板（7）上安装有驱动电机（15），所述驱动电机（15）与所述旋转轴（14）驱动连接，所述旋转轴（14）上设有移动块（17），所述移动块（17）上安装有卡合机构（19）；

所述清洗组件（2）包括环筒（4），所述环筒（4）内部依次通过隔板（26）被分割为超声区、液体清洗区和干燥区；

所述卡合机构（19）包括安装架（21），所述安装架（21）后侧安装有横杆（20），所述横杆（20）与所述移动块（17）固定连接，所述安装架（21）的上方设有阳极夹槽（35），所述安装架（21）的下方设有阴极夹槽（36），所述安装架（21）的两侧安装有竖槽（27），其中一个所述竖槽（27）与设置在所述安装架（21）内部的气缸活塞端（23）固定连接，所述竖槽（27）的两侧设有卡块（22）；

所述移动块（17）套设在所述旋转轴（14）上，且所述旋转轴（14）上设有齿槽（16），所述移动块（17）内设有与所述齿槽（16）配合使用的齿轮（18），所述移动块（17）内设有所述齿轮（18）的齿轮驱动电机。

2.根据权利要求1所述的掩膜版清洗装置，其特征在于：所述超声区的上半部分均布有超声装置（30），所述液体清洗区的上半部分内壁上均布有喷孔（12）且所述上半部分内壁内设有与所述喷孔（12）连通的清洗液半腔（10），所述清洗液半腔（10）与外侧的清洗液注入腔（13）连通，所述清洗液注入腔（13）分别与第一进液管（6）、第二进液管（24）连通，所述干燥区的上半部分内壁内设有气体半腔（33）且内壁内侧均布有出风口（34），所述气体半腔（33）与上方的气体注入腔（32）连通，所述气体注入腔（32）与进气管（5）连通。

3.根据权利要求2所述的掩膜版清洗装置，其特征在于：所述第一进液管（6）和所述第二进液管（24）上设有开合阀（28），所述环筒（4）的底部内设有底部液体收集腔（11）且内壁上方设有与所述底部液体收集腔（11）连通的回流孔（29），所述底部液体收集腔（11）与下方的液体回流腔（31）连通，所述液体回流腔（31）与出料管（25）连通。

4.根据权利要求2所述的掩膜版清洗装置，其特征在于：所述超声区、所述液体清洗区和所述干燥区的上半部分都设有激光传感器（9）。

5.一种掩膜版清洗方法，根据权利要求3中所述的掩膜版清洗装置，其特征在于，包括以下步骤：

步骤（1）：将掩膜版放置在安装架内，并控制气缸活塞端将掩膜版压紧固定；

步骤（2）：在阳极夹槽和阴极夹槽上通上电压，通过电流使得掩膜版上的废料产生热量，使得废料融化掉落或者变硬变脆；

步骤（3）：控制移动块向清洗组件内移动，并打开超声装置进行超声震荡，清除融化掉落或者变硬变脆的废料；

步骤（4）：再控制移动块继续移动，打开开合阀，使用配置好的清洗溶剂通过喷孔喷向掩膜版，在清洗过程中，需要通过驱动电机来控制掩膜版的匀速转动；

步骤（5）：清洗完毕后，再控制移动块将掩膜版移动到超声区进行超声震荡清洗；

步骤（6）：再将掩膜版移动到液体清洗区进行再次清洗，同时通过驱动电机来控制掩膜版的匀速转动；

步骤（7）：通过移动块将掩膜版移动到干燥区内通过进气管（5）进风后对掩膜版干燥吹风，最后将掩膜版移动到初始位置后取下。

6.根据权利要求5所述的掩膜版清洗方法，其特征在于，所述步骤（7）中的进气管（5）与外部的进气泵连接，且进入的气体是经过干燥加热处理的。