CN111077738A - 一种光刻机滚筒的智能配重调整系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种光刻机滚筒的智能配重调整系统，通过在滑块内设PCB板、驱动组件，所述PCB板上设有MCU、振动传感器；当振动传感器检测到振动时，将振动信号传递给MCU，MCU经过处理，并控制驱动组件作出对应运动，在此过程中，振动传感器不停地把振动信号传递给MCU,MCU根据振动是增强还是减弱来确定滑块的行动方向，直到找到振动最弱的位置，这就是最佳配重位置，然后控制驱动组件停止，让滑块停留在这个位置，这就完成了滚筒配重的自动调节。相对于现技术，本申请中的滑块可以独立驱动，无需外力加入，随时随地实现配重调整，满足光刻机的实时配重调整需求，极大地提高了配重调整的准确性。

Description

一种光刻机滚筒的智能配重调整系统
技术领域
本发明涉及配重调整系统领域，尤指一种光刻机滚筒的智能配重调整系统。
背景技术
因为一台光刻机在制版的过程中，有变动不同的大小幅面及厚度和不同基质的PS板；而在制版中引起的滚筒在高转动的不平衡，故需要对滚筒进行配重工作；但现技术中的配重调整只能在光刻进行前预先调整好，光刻开始后就不能再调整了。如果预先调整的不准或滑块位置发生变化，光刻启动后就无法弥补；而且配重只能根据振动传感器粗略估计位置，难以给出精准的配重位置。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供一种光刻机滚筒的智能配重调整系统，滑块可以独立驱动，无需外力加入，同时滑块具有独立性，随时随地实现配重调整，满足光刻机的实时配重调整需求，而且滑块的配重调整动作全程有振动信号作为反馈参照，形成一个闭环系统，极大地提高了配重调整的准确性。
为实现上述目的，本发明采用的技术方案是提供一种光刻机滚筒的智能配重调整系统，包括滚筒本体，其中所述滚筒本体的两端分别设有相互对称的滑槽，且所述滑槽为与滚筒本体中心同心的圆环槽，所述滑槽内配装有若干个滑块，其中所述滑块内设有PCB板、驱动组件，所述PCB板上设有MCU、振动传感器，其中所述振动传感器的输出端与MCU的输入端连接，所述MCU的输出端与驱动组件的输入端连接；其中滑块内的驱动组件带动滑块沿滑槽方向移动，当振动传感器检测到振动频率以及振动幅度到达设定值，MCU则控制驱动组件停止工作。
进一步，所述驱动组件包括电机、与滑槽两内侧壁贴紧的同步轮，所述电机的输出轴延伸至滑块外并与同步轮驱动连接，并通过驱动同步轮带动滑块沿滑槽方向移动。
进一步，所述PCB板还设有电机驱动电路，其中所述MCU的输出端与电机驱动电路的输入端连接，所述电机驱动电路的输出端与电机的输入端连接。
进一步，所述同步轮为齿轮，所述滑槽的内侧壁环设有一圈与齿轮对应的齿盘，所述齿轮与齿盘啮合。
进一步，所述滑块内还设有电池，所述MCU、振动传感器、电机、电机驱动电路均与电池连接。
本发明的有益效果在于：本申请为了解决上述的技术问题，通过在滑块内设PCB板、驱动组件，所述PCB板上设有MCU、振动传感器；当振动传感器检测到振动时，将振动信号传递给MCU，MCU经过处理，并控制驱动组件作出向前，向后，或停止的运动，在此过程中，振动传感器不停地把振动信号传递给MCU,MCU根据振动是增强还是减弱来确定滑块的行动方向，直到找到振动最弱的位置，这就是最佳配重位置，然后控制驱动组件停止，让滑块停留在这个位置，这就完成了滚筒配重的自动调节。故相对于现技术，本申请中的滑块可以独立驱动，无需外力加入，同时滑块具有独立性，随时随地实现配重调整，满足光刻机的实时配重调整需求。而且滑块的配重调整动作全程有振动信号作为反馈参照，形成一个闭环系统，极大地提高了配重调整的准确性。
附图说明
图1是具体实施例整体结构示意图。
图2是具体实施例滑块的结构示意图。
图3是具体实施例的结构框图。
附图标号说明：1.滚筒本体；11.滑槽；111.齿盘；2.滑块；21.PCB板；22.电机；23.齿轮；24.电池；25.从动轮；211.振动传感器；212.MCU；213.电机驱动电路。
具体实施方式
下面结合具体实施例和说明书附图对本发明予以详细说明。
请参阅图1-3所示，本发明关于一种光刻机滚筒的智能配重调整系统，包括滚筒本体1，其中所述滚筒本体1的两端分别设有相互对称的滑槽11，且所述滑槽11为与滚筒本体1中心同心的圆环槽，所述滑槽11内配装有若干个滑块2，其中所述滑块2内设有PCB板21、驱动组件，所述PCB板21上设有MCU212、振动传感器211，其中所述振动传感器211的输出端与MCU 212的输入端连接，所述MCU 212的输出端与驱动组件的输入端连接；其中滑块2内的驱动组件带动滑块2沿滑槽11方向移动，当振动传感器211检测到振动频率以及振动幅度到达设定值，MCU 212则控制驱动组件停止工作。
本申请为了解决上述的技术问题，通过在滑块2内设PCB板21、驱动组件，所述PCB板21上设有MCU 212、振动传感器211；当振动传感器211检测到振动时，将振动信号传递给MCU 212，MCU 212经过处理，并控制驱动组件作出向前，向后，或停止的运动，在此过程中，振动传感器211不停地把振动信号传递给MCU 212,MCU 212根据振动是增强还是减弱来确定滑块2的行动方向，直到找到振动最弱的位置，这就是最佳配重位置，然后控制驱动组件停止，让滑块2停留在这个位置，这就完成了滚筒配重的自动调节。故相对于现技术，本申请中的滑块2可以独立驱动，无需外力加入，同时滑块2具有独立性，随时随地实现配重调整，满足光刻机的实时配重调整需求。而且滑块2的配重调整动作全程有振动信号作为反馈参照，形成一个闭环系统，极大地提高了配重调整的准确性。
请参阅图1-2所示，进一步，所述驱动组件包括电机22、与滑槽11两内侧壁贴紧的同步轮，所述电机22的输出轴延伸至滑块2外并与同步轮驱动连接，并通过驱动同步轮带动滑块2沿滑槽11方向移动。在本具体实施例中是通过采用电机22驱动同步轮，而所述的同步轮是与滑槽11两内侧壁贴紧；故通过驱动同步轮带动滑块2沿滑槽11方向移动，不需要外部干预就可实现滚筒的自动调节；而且在本具体实施方式中，所述同步轮设置在滑块2的一端，滑块2的另一端还设有从动轮25；由于针对尺寸比较小的滑块2可能就使用一个同步轮就可以实现滑块2在滑槽11内移动，但对于尺寸比较大的滑块2，在本具体实施例中就加装了从动轮25，可包括滑块2在滑槽11内的正常移动；而且在本具体实施例中，所述从动轮25、同步轮均为齿轮23，所述滑槽11的内侧壁环设有一圈与齿轮23对应的齿盘111，其中所述齿轮23通过与齿盘111啮合实现固定，同步轮、从动轮25优选为齿轮23，齿轮23与齿盘111的配合可保证滑块2的移动行程不会发生偏移，同时当滚筒旋转的时候，齿轮23与齿盘111的配合也使得滑块2的移动更加准确调整精度更高；但需要注意的是，上述实施方式仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，并非对本发明的范围进行限定，用户还可以采用其他的驱动方式，使得内置在滑块2内的驱动组件来驱动滑块2在滑槽11内移动。
请参阅图3所示，进一步，所述PCB板21还设有电机驱动电路213，其中所述MCU 212的输出端与电机驱动电路213的输入端连接，所述电机驱动电路213的输出端与电机22的输入端连接。当振动传感器211检测到振动时，将振动信号传递给MCU 212，MCU 212经过软件处理，向电机驱动电路213输出向前，或向后，或停止的控制命令，电机22在根据指令作向前，向后，或停止的运动。
请参阅图2-3所示，进一步，所所述滑块2内还设有电池24，所述MCU 212、振动传感器211、电机22、电机驱动电路213均与电池24连接。因为滑块2自带可充电电池24，所以与外边没有电缆连接，不会影响滚筒的运动；同时滑块2是靠自带齿轮23驱动来移动位置的，不需要外部参与，所以配重滑块2成为了一个独立的系统；再有因为滑块2是在滚筒上的，滚筒会带动滑块2运动，在滑块2自己不转动齿轮23时，二者相对来说是静止的，不管滚筒是静止还是滚动，滑块2都能实现配重位置的自带调整，即使光刻机正在高速的光刻中，配重滑块2也会自动实时判断和调整配重。MCU 212还可以是否有振动来判断光刻机的工作状态，是工作中？还是停机中？以此根据调整滑块2电路的供电：当光刻机工作时，滑块2电路也同步处于工作状态；光刻机停止时，滑块2电路也同步处于停止的低功耗状态，以此来延长电池24工作时间。
综上所述，本申请中的滑块2自己驱动，无需外力加入；滑块2的配重调整动作全程有振动信号作为反馈参照，形成一个闭环系统，极大地提高了配重调整的准确性；滑块2具有独立性，随时随地实现配重调整，满足光刻机的实时配重调整需求。配重调整具有实时性，调整精度更高，配重调整有独立性，减轻光刻机全系统负担。
以上实施方式仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，并非对本发明的范围进行限定，在不脱离本发明设计精神的前提下，本领域普通工程技术人员对本发明的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。

Claims (5)

1.一种光刻机滚筒的智能配重调整系统，其特征在于：包括滚筒本体，其中所述滚筒本体的两端分别设有相互对称的滑槽，且所述滑槽为与滚筒本体中心同心的圆环槽，所述滑槽内配装有若干个滑块，其中所述滑块内设有PCB板、驱动组件，所述PCB板上设有MCU、振动传感器，其中所述振动传感器的输出端与MCU的输入端连接，所述MCU的输出端与驱动组件的输入端连接；其中滑块内的驱动组件带动滑块沿滑槽方向移动。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机滚筒的智能配重调整系统的调节系统，其特征在于：所述驱动组件包括电机、与滑槽两内侧壁贴紧的同步轮，所述电机的输出轴延伸至滑块外并与同步轮驱动连接，并通过驱动同步轮带动滑块沿滑槽方向移动。
3.根据权利要求2所述的一种光刻机滚筒的智能配重调整系统的调节系统，其特征在于：所述PCB板还设有电机驱动电路，其中所述MCU的输出端与电机驱动电路的输入端连接，所述电机驱动电路的输出端与电机的输入端连接。
4.根据权利要求2所述的一种光刻机滚筒的智能配重调整系统的调节系统，其特征在于：所述同步轮为齿轮，所述滑槽的内侧壁环设有一圈与齿轮对应的齿盘，所述齿轮与齿盘啮合。
5.根据权利要求3所述的一种光刻机滚筒的智能配重调整系统的调节系统，其特征在于：所述滑块内还设有电池，所述MCU、振动传感器、电机、电机驱动电路均与电池连接。
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