CN110923652A - 一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，包括基座及主转轴，主转轴上固定设置有承载架，承载架一端设置有可径向转动的第一中间转轴及第一丝辊转轴，承载架另一端设置有可径向转动的第二中间转轴及第二丝辊转轴，第一中间转轴外端与基座之间设置有第一齿轮传动组件，第二中间转轴外端与基座之间设置有第二齿轮传动组件，第一中间转轴与第一丝辊转轴之间设置有第三齿轮传动组件，第二中间转轴与第二丝辊转轴之间设置有第四齿轮传动组件，第一丝辊转轴上设置有第一丝辊，第二丝辊转轴上设置有第二丝辊。该种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置具有结构简单、性能稳定可靠、加工效率高、加工质量好、丝材表面涂层一致性高等优点。
Description
技术领域
本发明涉及一种表面改性领域用辅助设备，特别是一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置。
背景技术
表面改性技术是利用物理沉积、化学沉积、机械喷涂等手段将特定涂层材料覆盖到零部件表面，从而使零部件表面获得涂层材料的性能，进而提高零部件的耐腐蚀、耐磨损、耐高温、耐氧化等性能的一种技术。物理气相沉积是在真空条件下，采用物理方法，将材料源表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术，主要方法有，真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜，及分子束外延等。，磁控溅射镀膜技术是物理气相沉积技术中很成熟且应用非常广泛的一种表面涂层制备技术，其具有沉积速度快、基材温升低、溅射靶材种类多等优势，所沉积的薄膜具有纯度高、损伤小、致密性好、均匀性好、附着力强、工艺重复性好等系列优点。然而，在现有技术中，针对超细丝材的表面磁控溅射沉积涂层的加工过程中存在设备结构复杂、设备成本高的问题，且难以实现丝材长时间连续涂层沉积加工，丝材表面的涂层一致性差、加工效率低下。所述种种问题严重影响了本领域进一步向前发展和推广应用。
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种新的技术方案以解决现存的技术问题。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本发明提供一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，解决了现有技术存在的结构复杂、实施成本高、加工效率低下、丝材表面涂层一致性差、加工质量低下等技术缺陷。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，包括基座及主转轴，所述主转轴上固定设置有承载架，所述承载架一端设置有可径向转动的第一中间转轴及第一丝辊转轴，承载架另一端设置有可径向转动的第二中间转轴及第二丝辊转轴，所述第一中间转轴外端与基座之间设置有第一齿轮传动组件，所述第二中间转轴外端与基座之间设置有第二齿轮传动组件，第一中间转轴与第一丝辊转轴之间设置有第三齿轮传动组件，第二中间转轴与第二丝辊转轴之间设置有第四齿轮传动组件，所述第一丝辊转轴上设置有第一丝辊，所述第二丝辊转轴上设置有第二丝辊。
作为上述技术方案的改进，所述第一中间转轴通过第一转轴轴承安装在承载架上，所述承载架上开设有用于安装所述第一转轴轴承的第一轴承阶梯安装位，所述第一转轴轴承安装在所述第一轴承阶梯安装位后，第一转轴轴承的外圈固定于第一轴承阶梯安装位中，第一转轴轴承内圈与第一中间转轴侧壁固定连接，所述承载架侧部设置有用于固定第一转轴轴承的第一轴承压板，所述第一轴承压板通过第一轴承压板螺栓固定在承载架侧部，第一轴承压板的内沿压紧在第一转轴轴承的外圈并将第一转轴轴承限位在第一轴承阶梯安装位中；
作为上述技术方案的进一步改进，所述第二中间转轴通过第二转轴轴承安装在承载架上，所述承载架上开设有用于安装所述第二转轴轴承的第二轴承阶梯安装位，所述第二转轴轴承安装在所述第二轴承阶梯安装位后，第二转轴轴承的外圈固定于第二轴承阶梯安装位中，第二转轴轴承内圈与第二中间转轴侧壁固定连接，所述承载架侧部设置有用于固定第二转轴轴承的第二轴承压板，所述第二轴承压板通过第二轴承压板螺栓固定在承载架侧部，第二轴承压板的内沿压紧在第二转轴轴承的外圈并将第二转轴轴承限位在第二轴承阶梯安装位中。
作为上述技术方案的进一步改进，所述承载架上部向内延伸有承载架第一上折板及承载架第一下折板，所述承载架第一上折板上开设有第一丝辊轴上安装孔，所述第一丝辊轴上安装孔中设置有第一丝辊轴上轴承，所述第一丝辊转轴的上端固定安装在第一丝辊轴上轴承的内圈，所述承载架第一上折板上壁设置有第一上盖板，所述第一上盖板通过第一上盖板固定螺栓固定在承载架第一上折板上壁；所述承载架第一下折板上开设有第一丝辊轴下安装孔，所述第一丝辊轴下安装孔中设置有第一丝辊轴下轴承，所述第一丝辊转轴的下端固定安装在第一丝辊轴下轴承的内圈，所述承载架第一下折板下壁设置有第一下盖板，所述第一下盖板通过第一下盖板固定螺栓固定在承载架第一下折板下壁；
作为上述技术方案的进一步改进，所述承载架上部向内延伸有承载架第二上折板及承载架第二下折板，所述承载架第二上折板上开设有第二丝辊轴上安装孔，所述第二丝辊轴上安装孔中设置有第二丝辊轴上轴承，所述第二丝辊转轴的上端固定安装在第二丝辊轴上轴承的内圈，所述承载架第二上折板上壁设置有第二上盖板，所述第二上盖板通过第二上盖板固定螺栓固定在承载架第二上折板上壁；所述承载架第二下折板上开设有第二丝辊轴下安装孔，所述第二丝辊轴下安装孔中设置有第二丝辊轴下轴承，所述第二丝辊转轴的下端固定安装在第二丝辊轴下轴承的内圈，所述承载架第二下折板下壁设置有第二下盖板，所述第二下盖板通过第二下盖板固定螺栓固定在承载架第二下折板下壁。
作为上述技术方案的进一步改进，所述第一齿轮传动组件包括固定安装在第一中间转轴外端的第一中间齿轮及固定在基座上并与所述第一中间齿轮相互啮合的第一底部齿盘；所述第二齿轮传动组件包括固定安装在第二中间转轴外端的第二中间齿轮及固定在基座上并与所述第二中间齿轮相互啮合的第二底部齿盘。
作为上述技术方案的进一步改进，所述第一中间齿轮通过第一中间齿轮锁定件安装在第一中间转轴外端，第一中间齿轮外侧依次设置有第一中间齿轮垫片及第一中间齿轮固定螺母；所述第二中间齿轮通过第二中间齿轮锁定件安装在第二中间转轴外端，第二中间齿轮外侧依次设置有第二中间齿轮垫片及第二中间齿轮固定螺母；所述第一底部齿盘及第二底部齿盘为与第一中间齿轮、第二中间齿轮均啮合的底部齿盘，所述第一中间齿轮、第二中间齿轮及底部齿盘均为锥齿轮，所述底部齿盘具有齿盘内延伸部，所述齿盘内延伸部通过齿盘固定螺栓固定安装在基座上表面。
作为上述技术方案的进一步改进，所述第三齿轮传动组件包括固定安装在第一中间转轴内端的第一主动传动齿轮及固定在第一丝辊转轴上的第一从动传动齿轮，所述第一主动传动齿轮与第一从动传动齿轮相互啮合；所述第四齿轮传动组件包括固定安装在第二中间转轴内端的第二主动传动齿轮及固定在第二丝辊转轴上的第二从动传动齿轮，所述第二主动传动齿轮与第二从动传动齿轮相互啮合。
作为上述技术方案的进一步改进，所述第一主动传动齿轮通过第一主动传动齿轮键固定在第一中间转轴内端，所述第一从动传动齿轮通过第一从动传动齿轮键固定在第一丝辊转轴上，所述第二主动传动齿轮通过第二主动传动齿轮键固定在第二中间转轴内端，所述第二从动传动齿轮通过第二从动传动齿轮键固定在第二丝辊转轴上，所述第一主动传动齿轮与第一从动传动齿轮为相互啮合的锥齿轮，所述第二主动传动齿轮与第二从动传动齿轮为相互啮合的锥齿轮。
作为上述技术方案的进一步改进，所述第一丝辊转轴及第二丝辊转轴上均开设有多个丝辊位置调节螺孔，所述第一丝辊可通过丝辊定位螺丝及丝辊位置调节螺孔调节其在第一丝辊转轴上的位置，所述第二丝辊可通过丝辊定位螺丝及丝辊位置调节螺孔调节其在第二丝辊转轴上的位置。
作为上述技术方案的进一步改进，所述第一丝辊及第二丝辊均具有一个或多个。
作为上述技术方案的进一步改进，第一丝辊及第二丝辊在工作时其转动速度范围为0.1～100r/min。
作为上述技术方案的进一步改进，第一丝辊及第二丝辊的直径为15～45mm。
作为上述技术方案的进一步改进，第一丝辊及第二丝辊的收放丝的速度范围为4.7～4700mm/min。
作为上述技术方案的进一步改进，所述基座中间位置具有基座中间通孔，所述主转轴从基座的基座中间通孔穿过，主转轴上端部具有主转轴连接部，所述承载架底部中间位置具有承载架固定凹位，所述主转轴连接部插入到所述承载架固定凹位中，承载架通过承载架固定螺栓固定在连接到主转轴连接部中。
本发明的有益效果是：本发明提供了一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，该种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置通过主转轴、第一齿轮传动组件、第二齿轮传动组件、第三齿轮传动组件及第四齿轮传动组件带动第一丝辊及第二丝辊转动，第一丝辊及第二丝辊在转动过程中可以实现丝材的放卷及收卷，并同时带动丝材公转，能够持续不断对丝材进行加工，连续性高，能有有效提升加工效率及加工质量，丝材表面涂层一致性高；另外，整个装置的结构简单，性能稳定可靠，能有有效降低实施成本。
综上，该种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置解决了现有技术存在的结构复杂、实施成本高、加工效率低下、丝材表面涂层一致性差、加工质量低下等技术缺陷。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的装配示意图；
图2是本发明中基座与底部齿盘的装配示意图；
图3是本发明中基座与底部齿盘的装配剖切示意图；
图4是本发明中第一丝辊转轴与第一丝辊的装配示意图；
图5是本本发明另一实施例中第一丝辊转轴上装配有多个第一丝辊的装配示意图。
具体实施方式
以下将结合实施例和附图对本发明的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本发明的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本发明的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本发明的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本发明保护的范围。另外，专利中涉及到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。本发明创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合，参照图1-5。
一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，包括基座1及主转轴11，所述主转轴1上固定设置有承载架2，所述承载架2一端设置有可径向转动的第一中间转轴31及第一丝辊转轴41，承载架2另一端设置有可径向转动的第二中间转轴32及第二丝辊转轴42，所述第一中间转轴31外端与基座1之间设置有第一齿轮传动组件，所述第二中间转轴32外端与基座1之间设置有第二齿轮传动组件，第一中间转轴31与第一丝辊转轴41之间设置有第三齿轮传动组件，第二中间转轴32与第二丝辊转轴42之间设置有第四齿轮传动组件，所述第一丝辊转轴41上设置有第一丝辊51，所述第二丝辊转轴42上设置有第二丝辊52。
优选地，所述第一中间转轴31通过第一转轴轴承311安装在承载架2上，所述承载架2上开设有用于安装所述第一转轴轴承311的第一轴承阶梯安装位312，所述第一转轴轴承311安装在所述第一轴承阶梯安装位312后，第一转轴轴承311的外圈固定于第一轴承阶梯安装位312中，第一转轴轴承311内圈与第一中间转轴31侧壁固定连接，所述承载架2侧部设置有用于固定第一转轴轴承311的第一轴承压板313，所述第一轴承压板313通过第一轴承压板螺栓314固定在承载架2侧部，第一轴承压板313的内沿压紧在第一转轴轴承311的外圈并将第一转轴轴承311限位在第一轴承阶梯安装位312中；
优选地，所述第二中间转轴32通过第二转轴轴承321安装在承载架2上，所述承载架2上开设有用于安装所述第二转轴轴承321的第二轴承阶梯安装位322，所述第二转轴轴承321安装在所述第二轴承阶梯安装位322后，第二转轴轴承321的外圈固定于第二轴承阶梯安装位322中，第二转轴轴承321内圈与第二中间转轴32侧壁固定连接，所述承载架2侧部设置有用于固定第二转轴轴承321的第二轴承压板323，所述第二轴承压板323通过第二轴承压板螺栓324固定在承载架2侧部，第二轴承压板323的内沿压紧在第二转轴轴承321的外圈并将第二转轴轴承321限位在第二轴承阶梯安装位322中。
优选地，所述承载架2上部向内延伸有承载架第一上折板21及承载架第一下折板23，所述承载架第一上折板21上开设有第一丝辊轴上安装孔，所述第一丝辊轴上安装孔中设置有第一丝辊轴上轴承411，所述第一丝辊转轴41的上端固定安装在第一丝辊轴上轴承411的内圈，所述承载架第一上折板21上壁设置有第一上盖板412，所述第一上盖板412通过第一上盖板固定螺栓413固定在承载架第一上折板21上壁；所述承载架第一下折板23上开设有第一丝辊轴下安装孔，所述第一丝辊轴下安装孔中设置有第一丝辊轴下轴承414，所述第一丝辊转轴41的下端固定安装在第一丝辊轴下轴承414的内圈，所述承载架第一下折板23下壁设置有第一下盖板415，所述第一下盖板415通过第一下盖板固定螺栓416固定在承载架第一下折板23下壁；
优选地，所述承载架2上部向内延伸有承载架第二上折板22及承载架第二下折板24，所述承载架第二上折板22上开设有第二丝辊轴上安装孔，所述第二丝辊轴上安装孔中设置有第二丝辊轴上轴承421，所述第二丝辊转轴42的上端固定安装在第二丝辊轴上轴承421的内圈，所述承载架第二上折板22上壁设置有第二上盖板422，所述第二上盖板422通过第二上盖板固定螺栓423固定在承载架第二上折板22上壁；所述承载架第二下折板24上开设有第二丝辊轴下安装孔，所述第二丝辊轴下安装孔中设置有第二丝辊轴下轴承424，所述第二丝辊转轴42的下端固定安装在第二丝辊轴下轴承424的内圈，所述承载架第二下折板24下壁设置有第二下盖板425，所述第二下盖板425通过第二下盖板固定螺栓426固定在承载架第二下折板24下壁。
优选地，所述第一齿轮传动组件包括固定安装在第一中间转轴31外端的第一中间齿轮61及固定在基座1上并与所述第一中间齿轮61相互啮合的第一底部齿盘；所述第二齿轮传动组件包括固定安装在第二中间转轴32外端的第二中间齿轮62及固定在基座1上并与所述第二中间齿轮62相互啮合的第二底部齿盘。
优选地，所述第一中间齿轮61通过第一中间齿轮锁定件611安装在第一中间转轴31外端，第一中间齿轮61外侧依次设置有第一中间齿轮垫片612及第一中间齿轮固定螺母613；所述第二中间齿轮62通过第二中间齿轮锁定件621安装在第二中间转轴32外端，第二中间齿轮62外侧依次设置有第二中间齿轮垫片622及第二中间齿轮固定螺母623；所述第一底部齿盘及第二底部齿盘为与第一中间齿轮61、第二中间齿轮62均啮合的底部齿盘63，所述第一中间齿轮61、第二中间齿轮62及底部齿盘63均为锥齿轮，所述底部齿盘63具有齿盘内延伸部631，所述齿盘内延伸部631通过齿盘固定螺栓632固定安装在基座1上表面，所述基座1上开设有匹配所述齿盘固定螺栓632的螺栓安装槽，所述螺栓安装槽具有可对底部齿盘63进行位置微调的间隙空间。
优选地，所述第三齿轮传动组件包括固定安装在第一中间转轴31内端的第一主动传动齿轮71及固定在第一丝辊转轴41上的第一从动传动齿轮72，所述第一主动传动齿轮71与第一从动传动齿轮72相互啮合；所述第四齿轮传动组件包括固定安装在第二中间转轴32内端的第二主动传动齿轮81及固定在第二丝辊转轴42上的第二从动传动齿轮82，所述第二主动传动齿轮81与第二从动传动齿轮82相互啮合。
优选地，所述第一主动传动齿轮71通过第一主动传动齿轮键711固定在第一中间转轴31内端，所述第一从动传动齿轮72通过第一从动传动齿轮键721固定在第一丝辊转轴41上，所述第二主动传动齿轮81通过第二主动传动齿轮键811固定在第二中间转轴32内端，所述第二从动传动齿轮82通过第二从动传动齿轮键821固定在第二丝辊转轴42上，所述第一主动传动齿轮71与第一从动传动齿轮72为相互啮合的锥齿轮，所述第二主动传动齿轮81与第二从动传动齿轮82为相互啮合的锥齿轮。
优选地，所述第一丝辊转轴41及第二丝辊转轴42上均开设有多个丝辊位置调节螺孔40，所述第一丝辊51可通过丝辊定位螺丝50及丝辊位置调节螺孔40调节其在第一丝辊转轴41上的位置，所述第二丝辊52可通过丝辊定位螺丝50及丝辊位置调节螺孔40调节其在第二丝辊转轴42上的位置。
优选地，所述第一丝辊41及第二丝辊42均具有一个或多个。
优选地，第一丝辊41及第二丝辊42在工作时其转动速度范围为0.1～100r/min。
优选地，第一丝辊41及第二丝辊42的直径为15～45mm。
优选地，第一丝辊41及第二丝辊42的收放丝的速度范围为4.7～4700mm/min。
优选地，所述基座1中间位置具有基座中间通孔，所述主转轴11从基座1的基座中间通孔穿过，主转轴11上端部具有主转轴连接部12，所述承载架2底部中间位置具有承载架固定凹位，所述主转轴连接部12插入到所述承载架固定凹位中，承载架2通过承载架固定螺栓20固定在连接到主转轴连接部12中。
在具体实施本发明时，所述主转轴11转动后带动承载架1转动，所述承载架1在转动过程中分别通过第一齿轮传动组件及第二齿轮传动组件分别带动第一中间转轴31及第二中间转轴32转动，所述第一中间转轴31及第二中间转轴32分别通过第三齿轮传动组件及第四齿轮传动组件带动第一丝辊转轴41及第四丝辊转轴42转动，所述第一丝辊转轴41及第四丝辊转轴42分别带动第一丝辊51及第二丝辊52转动，第一丝辊51及第二丝辊52中的一个用于放卷丝材，第一丝辊51及第二丝辊52中另一个用于收卷丝材，在第一丝辊51及第二丝辊52的收卷放卷作用下，丝材能够进行表面涂层磁控溅射连续加工，持续性好，可极大提升加工效率。
具体实施时，所述第一丝辊51和第二丝辊52的转动速度大致相同。
通过第一丝辊转轴41及第二丝辊转轴42上开设的丝辊位置调节螺孔40可调节第一丝辊51及第二丝辊52的安装位置，根据实际的加工需要设定丝辊的高度，另外，第一丝辊转轴41及第二丝辊转轴42上的丝辊数量也可以根据实际的加工需要调整为多个，提高加工效率，应用灵活性高。
通过第一齿轮传动组件、第二齿轮传动组件、第三齿轮传动组件及第四齿轮传动组件中各齿轮的齿比及安装位置，配合主转轴的转动速度，可调节第一丝辊51及第二丝辊52的转动速度。
实施例1：
对某医疗器械用合金丝材9表面磁控溅射沉积超薄尺度的TiN涂层，丝材为Ti6Al4V合金。首先，基本装配好的丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置安装到磁控溅射装备真空腔体中，将经过清洗处理的合金丝材9有序地缠绕在已经固定在丝辊转轴的丝辊上，然后将缠好丝材的丝辊固定在丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置的一侧，将丝材的末端固定在沉积装置另一侧的丝辊，并顺时针缠绕；开启主轴电源，使整个承载架2逆时针旋转，调控速度使丝辊的收放丝速度在合理范围内，关闭主轴电源；然后，关闭真空腔室门，抽真空使本底真空度高于3×10–4Pa后，通入高纯氮气，使腔体气体压强保持在3×10- 2Pa，开启主轴电机电源，使丝材开始运动，开启沉积电源，开始TiN涂层的沉积。待沉积完毕后，断开电机电源、沉积电源和真空电源，通入气体，打开腔体，将丝辊从装置中卸下取出。
以上是对本发明的较佳实施进行了具体说明，但本发明创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
Claims (10)
1.一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，其特征在于：包括基座(1)及主转轴(11)，所述主转轴(1)上固定设置有承载架(2)，所述承载架(2)一端设置有可径向转动的第一中间转轴(31)及第一丝辊转轴(41)，承载架(2)另一端设置有可径向转动的第二中间转轴(32)及第二丝辊转轴(42)，所述第一中间转轴(31)外端与基座(1)之间设置有第一齿轮传动组件，所述第二中间转轴(32)外端与基座(1)之间设置有第二齿轮传动组件，第一中间转轴(31)与第一丝辊转轴(41)之间设置有第三齿轮传动组件，第二中间转轴(32)与第二丝辊转轴(42)之间设置有第四齿轮传动组件，所述第一丝辊转轴(41)上设置有第一丝辊(51)，所述第二丝辊转轴(42)上设置有第二丝辊(52)。
2.根据权利要求1所述的一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，其特征在于：所述第一中间转轴(31)通过第一转轴轴承(311)安装在承载架(2)上，所述承载架(2)上开设有用于安装所述第一转轴轴承(311)的第一轴承阶梯安装位(312)，所述第一转轴轴承(311)安装在所述第一轴承阶梯安装位(312)后，第一转轴轴承(311)的外圈固定于第一轴承阶梯安装位(312)中，第一转轴轴承(311)内圈与第一中间转轴(31)侧壁固定连接，所述承载架(2)侧部设置有用于固定第一转轴轴承(311)的第一轴承压板(313)，所述第一轴承压板(313)通过第一轴承压板螺栓(314)固定在承载架(2)侧部，第一轴承压板(313)的内沿压紧在第一转轴轴承(311)的外圈并将第一转轴轴承(311)限位在第一轴承阶梯安装位(312)中；
所述第二中间转轴(32)通过第二转轴轴承(321)安装在承载架(2)上，所述承载架(2)上开设有用于安装所述第二转轴轴承(321)的第二轴承阶梯安装位(322)，所述第二转轴轴承(321)安装在所述第二轴承阶梯安装位(322)后，第二转轴轴承(321)的外圈固定于第二轴承阶梯安装位(322)中，第二转轴轴承(321)内圈与第二中间转轴(32)侧壁固定连接，所述承载架(2)侧部设置有用于固定第二转轴轴承(321)的第二轴承压板(323)，所述第二轴承压板(323)通过第二轴承压板螺栓(324)固定在承载架(2)侧部，第二轴承压板(323)的内沿压紧在第二转轴轴承(321)的外圈并将第二转轴轴承(321)限位在第二轴承阶梯安装位(322)中。
3.根据权利要求1所述的一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，其特征在于：所述承载架(2)上部向内延伸有承载架第一上折板(21)及承载架第一下折板(23)，所述承载架第一上折板(21)上开设有第一丝辊轴上安装孔，所述第一丝辊轴上安装孔中设置有第一丝辊轴上轴承(411)，所述第一丝辊转轴(41)的上端固定安装在第一丝辊轴上轴承(411)的内圈，所述承载架第一上折板(21)上壁设置有第一上盖板(412)，所述第一上盖板(412)通过第一上盖板固定螺栓(413)固定在承载架第一上折板(21)上壁；所述承载架第一下折板(23)上开设有第一丝辊轴下安装孔，所述第一丝辊轴下安装孔中设置有第一丝辊轴下轴承(414)，所述第一丝辊转轴(41)的下端固定安装在第一丝辊轴下轴承(414)的内圈，所述承载架第一下折板(23)下壁设置有第一下盖板(415)，所述第一下盖板(415)通过第一下盖板固定螺栓(416)固定在承载架第一下折板(23)下壁；
所述承载架(2)上部向内延伸有承载架第二上折板(22)及承载架第二下折板(24)，所述承载架第二上折板(22)上开设有第二丝辊轴上安装孔，所述第二丝辊轴上安装孔中设置有第二丝辊轴上轴承(421)，所述第二丝辊转轴(42)的上端固定安装在第二丝辊轴上轴承(421)的内圈，所述承载架第二上折板(22)上壁设置有第二上盖板(422)，所述第二上盖板(422)通过第二上盖板固定螺栓(423)固定在承载架第二上折板(22)上壁；所述承载架第二下折板(24)上开设有第二丝辊轴下安装孔，所述第二丝辊轴下安装孔中设置有第二丝辊轴下轴承(424)，所述第二丝辊转轴(42)的下端固定安装在第二丝辊轴下轴承(424)的内圈，所述承载架第二下折板(24)下壁设置有第二下盖板(425)，所述第二下盖板(425)通过第二下盖板固定螺栓(426)固定在承载架第二下折板(24)下壁。
4.根据权利要求1所述的一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，其特征在于：所述第一齿轮传动组件包括固定安装在第一中间转轴(31)外端的第一中间齿轮(61)及固定在基座(1)上并与所述第一中间齿轮(61)相互啮合的第一底部齿盘；所述第二齿轮传动组件包括固定安装在第二中间转轴(32)外端的第二中间齿轮(62)及固定在基座(1)上并与所述第二中间齿轮(62)相互啮合的第二底部齿盘。
5.根据权利要求4所述的一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，其特征在于：所述第一中间齿轮(61)通过第一中间齿轮锁定件(611)安装在第一中间转轴(31)外端，第一中间齿轮(61)外侧依次设置有第一中间齿轮垫片(612)及第一中间齿轮固定螺母(613)；所述第二中间齿轮(62)通过第二中间齿轮锁定件(621)安装在第二中间转轴(32)外端，第二中间齿轮(62)外侧依次设置有第二中间齿轮垫片(622)及第二中间齿轮固定螺母(623)；所述第一底部齿盘及第二底部齿盘为与第一中间齿轮(61)、第二中间齿轮(62)均啮合的底部齿盘(63)，所述第一中间齿轮(61)、第二中间齿轮(62)及底部齿盘(63)均为锥齿轮，所述底部齿盘(63)具有齿盘内延伸部(631)，所述齿盘内延伸部(631)通过齿盘固定螺栓(632)固定安装在基座(1)上表面。
6.根据权利要求1所述的一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，其特征在于：所述第三齿轮传动组件包括固定安装在第一中间转轴(31)内端的第一主动传动齿轮(71)及固定在第一丝辊转轴(41)上的第一从动传动齿轮(72)，所述第一主动传动齿轮(71)与第一从动传动齿轮(72)相互啮合；所述第四齿轮传动组件包括固定安装在第二中间转轴(32)内端的第二主动传动齿轮(81)及固定在第二丝辊转轴(42)上的第二从动传动齿轮(82)，所述第二主动传动齿轮(81)与第二从动传动齿轮(82)相互啮合。
7.根据权利要求6所述的一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，其特征在于：所述第一主动传动齿轮(71)通过第一主动传动齿轮键(711)固定在第一中间转轴(31)内端，所述第一从动传动齿轮(72)通过第一从动传动齿轮键(721)固定在第一丝辊转轴(41)上，所述第二主动传动齿轮(81)通过第二主动传动齿轮键(811)固定在第二中间转轴(32)内端，所述第二从动传动齿轮(82)通过第二从动传动齿轮键(821)固定在第二丝辊转轴(42)上，所述第一主动传动齿轮(71)与第一从动传动齿轮(72)为相互啮合的锥齿轮，所述第二主动传动齿轮(81)与第二从动传动齿轮(82)为相互啮合的锥齿轮。
8.根据权利要求1所述的一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，其特征在于：所述第一丝辊转轴(41)及第二丝辊转轴(42)上均开设有多个丝辊位置调节螺孔(40)，所述第一丝辊(51)可通过丝辊定位螺丝(50)及丝辊位置调节螺孔(40)调节其在第一丝辊转轴(41)上的位置，所述第二丝辊(52)可通过丝辊定位螺丝(50)及丝辊位置调节螺孔(40)调节其在第二丝辊转轴(42)上的位置。
9.根据权利要求1所述的一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，其特征在于：所述第一丝辊(41)及第二丝辊(42)均具有一个或多个，第一丝辊(41)及第二丝辊(42)在工作时其转动速度范围为0.1～100r/min或/且第一丝辊(41)及第二丝辊(42)的直径为15～45mm或/且第一丝辊(41)及第二丝辊(42)的收放丝的速度范围为4.7～4700mm/min。
10.根据权利要求1所述的一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，其特征在于：所述基座(1)中间位置具有基座中间通孔，所述主转轴(11)从基座(1)的基座中间通孔穿过，主转轴(11)上端部具有主转轴连接部(12)，所述承载架(2)底部中间位置具有承载架固定凹位，所述主转轴连接部(12)插入到所述承载架固定凹位中，承载架(2)通过承载架固定螺栓(20)固定在连接到主转轴连接部(12)中。
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