JP2004225074A

JP2004225074A - 線材の連続蒸着装置

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Publication number: JP2004225074A
Application number: JP2003011627A
Authority: JP
Inventors: Haruhiko Kawaguchi; 川口晴彦
Original assignee: ROCK GIKEN KOGYO CO Ltd
Current assignee: ROCK GIKEN KOGYO CO Ltd
Priority date: 2003-01-20
Filing date: 2003-01-20
Publication date: 2004-08-12

Abstract

【課題】１対のプーリ部の間を複数回往復する線材に蒸着膜を連続的に形成する蒸着装置において、線材の弛みと捩れを防止すること。
【解決手段】線材４０は、供給スプール１２１ａから供給され、プーリ部２０ａ，２０ｂの間を複数回往復し、その往復の間に蒸着されて巻取りスプール１２１ｂに巻き取られる。フリープーリ２１１〜２１ｎは、線材４０の１巻回毎に独立して回転する。蒸着時の加熱により線材４０が伸張し、巻回毎の伸張量が異なっても、各フリープーリは、その伸長量に対応して回転速度が変わるから、線材４０の張力は均一になり、線材４０が弛むことはない。また線材４０は、行きと帰りで経路が異なるが、各フリープーリは、回転軸２２に対して傾くことができるから、捩れることがない。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビーム蒸着法等の物理的蒸着法により、線材に蒸着膜を形成する線材の連続蒸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来一対のロール部の間に線材を複数回巻回して、線材に連続的に蒸着膜を形成する蒸着装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
従来の線材の連続蒸着装置を図６、図７により説明する。
【０００３】
まず図６について説明する。
一対のロール部５０ａ，５０ｂの間に線材６０を複数回巻回してある。またロール部５０ａ，５０ｂの間には、蒸着源（或いはターゲット）５３を配置してある。線材６０は、供給スプール（図示せず）から供給され、ロール部５０ａ，５０ｂの間を複数回往復して順次移動し、巻取りスプール（図示せず）に巻き取られる。線材６０は、ロール部５０ａ，５０ｂの間を複数回往復して移動する間に、蒸着源５３から飛散する蒸着材料によって蒸着膜が順次形成され積層される。
ロール部５０ａ，５０ｂは、同じ構成で、夫々複数個（４個）のロール５１１〜５１４と回転軸５２からなる。線材６０は、ロール部５０ａ、５０ｂの対向する１個のロール（例えば両ロール部のロール５１１）に複数回（３回）巻回してある。
【０００４】
図７は、図６のロールと線材の拡大図で、図７（ａ）は、ロールの形状と線材の往復経路を示し、図７（ｂ）は、蒸着膜を形成した線材の斜視図を示し、図７（ｃ）、（ｄ）は、図７（ｂ）のＹ１−Ｙ１部分とＹ２−Ｙ２部分の矢印方向の断面図を示す。
ロール部５０ａ，５０ｂの各ロール（ロール５１１のみ示す）には、図７（ａ）のように、線材６０を案内するリング状の溝５１ｋ１〜５１ｋ３を複数個（３個）形成してある。溝５１ｋ１〜５１ｋ３は、曲面をなしている。線材６０は、ロール部５０ａからロール部５０ｂへ進み、ロール部５０ｂからロール部５０ａへ戻る。この際、線材６０は、ロール部５０ａからロール部５０ｂへ進むとき、両ロール部のロール５１１の１番目の溝５１ｋ１を通るが、ロール部５０ｂからロール部５０ａへ戻ったとき、ロール部５０ａのロール５１１の２番目の溝５１ｋ２へ移る。そして次に戻ったときは、３番目の溝５１ｋ３へ移る。
【０００５】
このように線材６０は、１巻回（１往復）毎に隣の溝５１ｋ１〜５１ｋ３へ移るため、行きと帰りで異なる経路を通る。即ち線材６０は、図７（ａ）において、行きと帰りの経路に開きがあり、回転軸５２の長手方向へ位置がずれる。その結果線材６０は、溝５１ｋ１〜５１ｋ３の中心（底部）から外れて溝の一方の側面に片寄って接触するため、捩れが生じる。線材６０は、捩れた状態で蒸着されるため、蒸着膜は、図７（ｂ），（ｃ），（ｄ）ように捩れた位置に形成される。即ち線材６０の基材６１に形成される蒸着膜６２は、基材６１の中心線を回る方向に捩れた位置に形成されるため、図７（ｃ）、（ｄ）のように基材６１の円周上の位置がずれてしまう。
【０００６】
またロール５１１は、線材６０を複数回（３回）巻回した状態で回転するから、ロール５１１に巻回された線材６０の各巻回の移動量は同じになり、その移動量は、巻回毎に変えることができない。したがって蒸着時等の加熱により線材６０が伸張し、その伸張量が巻回毎に異なる場合でも、線材６０の各巻回の移動量は同じになる。その結果線材６０の各巻回の伸張量の違いにより１部の巻回（例えば伸長量の大きい巻回）に弛みが生じる。その弛みにより線材６０に形成された蒸着膜６２の膜厚は、不均一になる。
【０００７】
図６、図７は、断面が円形の線材を例に説明したが、超伝導用線材のように断面が四角形のテープ状線材の場合には、線材の捩れは一層大きくなる。超伝導用線材は、長さ数十メートルのテープ状基材に中間層を蒸着により形成するが、基材に捩れが生じると、蒸着工程の途中から蒸着面が変わったり、或いは蒸着面とイオンビームの角度が変わったりするため、中間層の膜厚が不均一になり、かつ中間層の配向性が悪くなる等の問題が生じる。
【０００８】
【特許文献１】
特開平６−１３６５３８号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本願発明は、前記した従来の線材の連続蒸着装置における線材の弛み、捩れを防止して、線材の全長にわたって蒸着膜を所定の位置に形成することができ、かつ膜厚が均一で、配向性の優れた蒸着膜を形成することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の線材の連続蒸着装置は、線材を複数回巻回する１対のプーリ部及び蒸着源を備え、その線材がその１対のプーリ部の間を移動する間に前記線材に蒸着膜を形成する線材の連続蒸着装置において、前記各プーリ部は、回転軸とその回転軸に回転自在に取り付けた複数のフリープーリとからなり、その各フリープーリは前記線材の１巻回毎に独立していることを特徴とする。
請求項２に記載の線材の連続蒸着装置は、線材を複数回巻回する１対のプーリ部及び蒸着源を備え、その線材がその１対のプーリ部の間を移動する間に前記線材に蒸着膜を形成する線材の連続蒸着装置において、前記各プーリ部は、回転軸とその回転軸に回転自在に取り付けた複数のフリープーリとからなり、その各フリープーリは前記線材の１巻回毎に独立し、前記回転軸の回転力を軸受のシール部材を介して前記各フリープーリへ伝達することを特徴とする。
請求項３に記載の線材の連続蒸着装置は、線材を複数回巻回する１対のプーリ部、蒸着源、及びその１対のプーリ部の間にその線材が接触するように設けた線材予熱ヒータ又は線材冷却装置を備え、前記線材が前記１対のプーリ部の間を移動する間に前記線材に蒸着膜を形成する線材の連続蒸着装置において、前記各プーリ部は、回転軸とその回転軸に回転自在に取り付けた複数のフリープーリとからなり、その各フリープーリは前記線材の１巻回毎に独立していることを特徴とする。
請求項４に記載の線材の連続蒸着装置は、線材を複数回巻回する１対のプーリ部、蒸着源、その１対のプーリ部の間にその線材が接触するように設けた線材予熱ヒータ又は線材冷却装置、及び前記１対のプーリ部の間に設けた線材搬送用のベルトを備え、前記線材が前記１対のプーリ部の間を移動する間に前記線材に蒸着膜を形成する線材の連続蒸着装置において、前記各プーリ部は、回転軸とその回転軸に回転自在に取り付けた複数のフリープーリとからなり、その各フリープーリは前記線材の１巻回毎に独立していることを特徴とする。
請求項５に記載の線材の連続蒸着装置は、線材を複数回巻回する１対のプーリ部、蒸着源、その１対のプーリ部の間にその線材が接触するように設けた線材予熱ヒータ、前記１対のプーリ部の間に設けた線材搬送用のベルト、及びそのベルト用のベルト予熱ヒータを備え、前記線材が前記１対のプーリ部の間を移動する間に前記線材に蒸着膜を形成する線材の連続蒸着装置において、前記各プーリ部は、回転軸とその回転軸に回転自在に取り付けた複数のフリープーリとからなり、その各フリープーリは前記線材の１巻回毎に独立していることを特徴とする。
請求項６に記載の線材の連続蒸着装置は、請求項１、請求項２、請求項３、請求項４又は請求項５に記載の線材の連続蒸着装置において、前記各フリープーリは、前記回転軸に対して傾くことができることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１〜図５により本願発明の実施の形態を説明する。各図に共通の部分は同じ符号を使用している。
図１、図２は、本願発明の実施の形態に係る線材の連続蒸着装置の概略を示す図で、図１は、平面図、図２は、図１のＸ３−Ｘ３部分の矢印方向の正面図である。
【００１２】
線材の連続蒸着装置は、真空蒸着室１０内に、一対の同じ構造のプーリ部２０ａ，２０ｂ、一対の同じ構造の円柱状のベルト駆動プーリ３１ａ，３１ｂ、線材搬送用の環状のスチールベルト１１、熱源を内蔵したベルト予熱ヒータ１２、熱源を内蔵した線材予熱ヒータ１３、蒸着源（或いはターゲット）２４、線材供給用スプール１２１ａ、線材巻取り用スプール１２１ｂ、線材の張力検出器１２２ａ，１２２ｂ、テープ状の線材４０を配置してある。
【００１３】
供給用スプール１２１ａ、巻取り用スプール１２１ｂは、回転軸１２３ａ，１２３ｂに固定され、回転軸１２３ａ，１２３ｂは、モータ１２４ａ，１２４ｂによって駆動される。モータ１２４ａ，１２４ｂは、制御部（図示せず）の制御により回転方向が反転し、巻取り用スプール１２１ｂは供給用に、供給用スプール１２１ａは巻取り用に使用することもできる。ここで１２５ａ，１２５ｂは、回転軸１２３ａ，１２３ｂを支持する気密軸受である。
【００１４】
線材４０の基材（後述する）は、供給用スプール１２１ａから供給され、蒸着膜が形成されて、巻取り用スプール１２１ｂに巻き取られる。この際、張力検出器１２２ａ，１２２ｂは、線材４０の張力を検出し、その検出値をモータ１２４ａ，１２４ｂの制御部（図示せず）へ送る。その制御部は、線材４０の張力が所定の範囲に維持されるように、モータ１２４ａ，１２４ｂを制御する。
【００１５】
プーリ部２０ａ，２０ｂは、ｎ個のフリープーリ２１１〜２１ｎからなる、いわゆる多連（ｎ連）構造からなる。本実施の形態は、ｎ＝１５、即ち１５連構造を採用したが、１５個以上、或いは１５個以下であってもよい。
プーリ部２０ａとプーリ部２０ｂの間には、線材４０をｎ回巻いてあるが、フリープーリ２１１〜２１ｎは、１個１個独立しており、線材４０の１往復毎に１個のフリープーリを割り当ててある。
【００１６】
各フリープーリ２１１〜２１ｎは、夫々回転軸２２に回転自在に取り付けられ、夫々独立して回転できる。また各フリープーリ２１１〜２１ｎは、夫々後述する接触シール式軸受のシール部材による摩擦結合によって回転軸２２から回転力（トルク）が伝達され、線材４０を円滑に移動する。その際、線材４０の張力が一定以上になったフリープーリは、シール部材による摩擦抵抗に抗して独自に回転できる。
回転軸２２は、減速機２２３を介してモータ２２４により回転する。モータ２２４の回転数は、フリープーリ２１１〜２１ｎの周速が線材４０の移動速度の２０〜３０％増しになるように、制御部（図示せず）によって制御する。この場合、フリープーリ２１１〜２１ｎは、後述する接触シール式軸受を介して回転軸２２の回転力が伝達されるから、プーリ部２０ａとプーリ部２０ｂの間に張られた線材４０に弛みを生じる程の回転力は伝達されない。ここで２２１は気密軸受、２２２は軸受である。
【００１７】
また線材４０は、蒸着時の加熱により伸張し、その伸張量が巻回毎に異なる場合がある。このような場合にも、フリープーリ２１１〜２１ｎは、線材４０の巻回毎に夫々独立して回転するから、各フリープーリの回転速度は、線材４０の各巻回毎の伸張量に対応して変化する。したがって線材４０の各巻回の張力は、均一になり、線材４０が弛むことはない。
【００１８】
線材４０は、線材予熱ヒータ１３に接触して移動し、その移動の間に蒸着源２４から飛散する蒸着材料によって蒸着膜が順次形成され積層される。その際線材４０は、線材予熱ヒータ１３によって蒸着に適した所定の温度に加熱され、蒸着膜の形成を適切に促進する。
【００１９】
線材４０は、線材予熱ヒータ１３に接触して移動するから、線材予熱ヒータ１３との接触抵抗があり、特に線材４０の巻回数が多い場合にはその接触抵抗が大きくなり、線材４０の円滑な移動に影響するようになる。そこで、線材搬送用の環状のスチールベルト１１を設け、そのスチールベルト１１を一対のベルト駆動スプール３１ａ，３１ｂにより回転して、線材４０の移動を補助して線材４０が円滑に移動するように構成してある。ベルト駆動スプール３１ａ，３１ｂは、回転軸３２に固定してあり、回転軸３２によって回転する。回転軸３２は、減速機３２３、クラッチ３２５を介してモータ３２４により回転する。クラッチ３２５は、スチールベルト１１の移動方向を反転するとき、制御部（図示せず）の制御によって切り換える。ここで３２１は気密軸受、３２２は軸受である。
スチールベルト１１を設けると、線材４０は、スチールベルト１１に熱を奪われるため、ベルト予熱ヒータ１２を設けてスチールベルト１１を加熱している。
【００２０】
線材４０は、線材予熱ヒータ１３に接触してスチールベルト１１とともに移動するため、仮に移動の途中で線材４０に小さな捩れが生じても、その捩れは、線材予熱ヒータ１３の接触面において平らになり、修正される。したがって線材４０の蒸着面は、蒸着源２４のイオンビームに対して常に所定の角度に保たれる。またスチールベルト１１は、線材予熱ヒータ１３を覆っているから線材予熱ヒータ１３が蒸着されるのを防止する機能も有する。
なお線材予熱ヒータ１３は、スチールベルト１１が接触する面に回転自在のローラを複数設けてもよい。その場合には、スチールベルト１１及び線材４０はより円滑に移動する。また線材４０は、加熱するよりも冷却する方がよい場合もあるが、その場合には、線材予熱ヒータ１３を線材冷却装置に置き換える。
【００２１】
図３は、図１、図２のフリープーリと線材の拡大図で、図３（ａ）は、図１のＸ１−Ｘ１部分の矢印方向の断面図、図３（ｂ）は、線材の斜視図である。
フリープーリ２１１〜２１ｎの周辺部には、線材４０の案内用の溝２１ｋをリング状に形成してある。溝２１ｋの断面は、ほぼ四角形で、その溝２１ｋにテープ状の線材４０が係合する。２３は、円筒状のスペーサーである。
供給スプールから供給される線材４０は、基材４１のみであるが、巻取りスプールに巻き取られるときは、蒸着膜４２が形成され積層されて図３（ｂ）のようになる。
【００２２】
図４は、フリープーリの傾きについて説明する図である。
ここではフリープーリ２１ｎを例に説明するが、他のフリープーリについても同様である。
フリープーリ２１ｎは、通常は図４（ａ）のように、回転軸２２或いはその中心線Ｘ２−Ｘ２に対して直角になり、溝２１ｋの上部２１ｋｕと下部２１ｋｄは、中心線Ｘ２−Ｘ２上の同じ位置にあるが、図４（ｂ）或いは図４（ｃ）のように、中心線Ｘ２−Ｘ２に対して傾くことができる。例えば図４（ｂ）において、線材４０が溝２１ｋの上部２１ｋｕに入り、下部２１ｋｄから出て斜め右方向へ進む場合、フリープーリ２１ｎは、同図のように傾き、溝２１ｋの上部２１ｋｕと下部２１ｋｄの位置は、中心線Ｘ２−Ｘ２上の左右にずれる。したがって従来のように線材４０に捩れが生じることはない。図４（ｃ）において、線材４０が溝２１ｋの上部２１ｋｕに入り、下部２１ｋｄから出て斜め左方向へ進む場合には、フリープーリ２１ｎは、図４（ｃ）のように傾く。
各フリープーリは、例えば直径２１０ｍｍで、間隔を１ｍｍに程度に設定する。
【００２３】
図５は、フリープーリの軸受について説明する図である。
ここではフリープーリ２１１，２１２を例に説明するが、他のフリープーリについても同様である
図５（ａ）は、接触シール式の深溝玉軸受を用いた例であり、図５（ｂ）は、接触シール式の自動調心軸受を用いた例である。
【００２４】
まず図５（ａ）について説明する。フリープーリ２１１，２１２は、中心に回転軸２２を通す孔部２１ｈを有し、その孔部２１ｈの内面にリング状の凹部を形成してある。そのリング状の凹部に外輪２６１を固定し、回転軸２２に内輪２６２を固定し、外輪２６１と内輪２６２の間にボール２６３を介在させてある。また外輪２６１と内輪２６２には、金属、ゴム等からなる環状のシール部材２６４を取り付けてある。シール部材２６４は、外輪２６１と内輪２６２に接触するように、例えば外輪２６１、内輪２６２の一方或いは双方に凹部を形成し、その凹部にはめ込むように取り付けてある。外輪２６１と内輪２６２は、シール部材２６４により摩擦結合されていて、回転軸２２の回転力は、内輪２６２、シール部材２６４、外輪２６１を介してフリープーリ２１１，２１２へ伝達される。フリープーリ２１１，２１２の一方或いは双方の線材の張力が所定以上になると、そのフリープーリは、シール部材２６４の摩擦抵抗に抗して独自に回転する。フリープーリ２１１，２１２は、ボール２６３を支点として図の左右に傾くことができる。２３は、円筒状のスペーサーである。
【００２５】
次に図５（ｂ）について説明する。図５（ｂ）の場合、外輪２６１は、内輪２６２と対向する面を球面（曲面）状に形成し、その外輪２６１と内輪２６２の間にボール２６３を介在させてある。外輪２６１、内輪２６２及びボール２６３は、いわゆる自動調心軸受と同様の機能を有する。フリープーリ２１１，２１２が回転軸２２の中心線の方向に移動すると、外輪２６１は内輪２６２に対して回転する方向に傾くから、フリープーリ２１１，２１２も傾く。図５（ｂ）は、ボール２６３が２個（２列）の例であるが、１個（１列）であってもよい。シール部材２６４は、図５（ａ）と同様である。２３は、円筒状のスペーサーである。
軸受は、図５（ａ）、図５（ｂ）の例に限らず他の接触シール式軸受を用いることができる。
本願発明は、図５（ａ）、図５（ｂ）のように、軸受のシール部材を回転力の伝達手段に兼用するから回転力伝達手段を別途設ける必要がない。
【００２６】
前記実施の形態は、断面が四角形のテープ状の基材に蒸着膜を形成した線材について説明したが、本願発明は、前記基材を含め蒸着膜を形成するテープ状部材を線材と呼ぶ。また線材は、断面が四角形のテープ状のものに限らず、断面が円形、楕円形等の線状のものでもよい。
また前記実施の形態は、線材予熱ヒータ或いは線材冷却装置を設けた例について説明したが、それらは、必要に応じて設ければよい。
本願発明は、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビーム蒸着法等の物理的蒸着法に適用することができる。
【００２７】
【発明の効果】
本願発明のフリープーリは、線材の１巻回毎に独立し、回転軸に回転自在に取り付けてあるから、蒸着時等の加熱により線材が伸張し、その伸張量が線材の巻回毎に異なる場合にも、各巻回の伸張量に対応して回転速度が変わる。したがって線材の張力は、常に均一になり、線材が弛むことはない。
本願発明の各フリープーリは、線材の１巻回毎に独立し、回転軸に回転自在に取り付けてあるから、回転軸に対して左右に傾くことができる。したがって線材は、一対のプーリ部の間を捩れることなく往復する。
本願発明は、前記のように線材の弛み、捩れを防止できるから、線材の所定の位置に正確に蒸着膜を形成することができ、かつ膜厚の均一な、配向性の優れた蒸着膜を形成することができる。
【００２８】
本願発明は、線材予熱ヒータ或いは線材冷却装置を設けているから、線材を蒸着に適した温度に加熱或いは冷却できる。また線材は、線材予熱ヒータ或いは線材冷却装置に接触して移動するから、線材の移動過程で小さな捩れが生じても、その捩れは、線材予熱ヒータ或いは線材冷却装置の接触面において平らになり、線材の蒸着面は、イオンビームの方向と常に所定の角度を保つことができる。したがって線材がテープ状の場合にも、線材の所期の位置に正確に蒸着膜を形成することができ、かつ膜厚の均一な、配向性の優れた蒸着膜を形成することができる。
【００２９】
本願発明は、線材搬送用のベルトを設けているから、線材を線材予熱ヒータ或いは線材冷却装置に接触させても、線材を円滑に移動させることができる。またベルト予熱ヒータによりベルトを加熱することによって、ベルトによる線材の温度低下を防止することができる。
本願発明は、軸受のシール部材を、フリープーリの回転力伝達手段に兼用しているから、その回転力伝達手段を別途設ける必要がない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の実施の形態に係る線材の連続蒸着装置の概略を示す平面図である。
【図２】本願発明の実施の形態に係る線材の連続蒸着装置の概略を示す正面図である。
【図３】本願発明の実施の形態に係るプーリ部と線材の拡大図である。
【図４】本願発明の実施の形態に係るフリープーリの傾きを説明する図である。
【図５】本願発明の実施の形態に係るフリープーリの軸受を示す図である。
【図６】従来の線材の連続蒸着装置の概略を示す平面図と正面図である。
【図７】従来のロール部と線材の拡大図である。
【符号の説明】
１０真空蒸着室
１１スチールベルト
１２ベルト予熱ヒータ
１３線材予熱ヒータ
１２１ａ，１２１ｂスプール
１２２ａ，１２２ｂ線材の張力検出器
１２３ａ，１２３ｂ回転軸
１２４ａ，１２４ｂモータ
２０ａ，２０ｂプーリ部
２１１〜２１ｎフリープーリ
２１ｋ溝
２２回転軸
２２３減速機
２２４モータ
２３スペーサー
２４蒸着源或いはターゲット
２６１外輪
２６２内輪
２６３ボール
２６４シール部材
３１ａ，３１ｂベルト駆動スプール
３２回転軸
３２３減速機
３２４モータ
３２５クラッチ
４０線材

Claims

線材を複数回巻回する１対のプーリ部及び蒸着源を備え、その線材がその１対のプーリ部の間を移動する間に前記線材に蒸着膜を形成する線材の連続蒸着装置において、前記各プーリ部は、回転軸とその回転軸に回転自在に取り付けた複数のフリープーリとからなり、その各フリープーリは前記線材の１巻回毎に独立していることを特徴とする線材の連続蒸着装置。
線材を複数回巻回する１対のプーリ部及び蒸着源を備え、その線材がその１対のプーリ部の間を移動する間に前記線材に蒸着膜を形成する線材の連続蒸着装置において、前記各プーリ部は、回転軸とその回転軸に回転自在に取り付けた複数のフリープーリとからなり、その各フリープーリは前記線材の１巻回毎に独立し、前記回転軸の回転力を軸受のシール部材を介して前記各フリープーリへ伝達することを特徴とする線材の連続蒸着装置。
線材を複数回巻回する１対のプーリ部、蒸着源、及びその１対のプーリ部の間にその線材が接触するように設けた線材予熱ヒータ又は線材冷却装置を備え、前記線材が前記１対のプーリ部の間を移動する間に前記線材に蒸着膜を形成する線材の連続蒸着装置において、前記各プーリ部は、回転軸とその回転軸に回転自在に取り付けた複数のフリープーリとからなり、その各フリープーリは前記線材の１巻回毎に独立していることを特徴とする線材の連続蒸着装置。
線材を複数回巻回する１対のプーリ部、蒸着源、その１対のプーリ部の間にその線材が接触するように設けた線材予熱ヒータ又は線材冷却装置、及び前記１対のプーリ部の間に設けた線材搬送用のベルトを備え、前記線材が前記１対のプーリ部の間を移動する間に前記線材に蒸着膜を形成する線材の連続蒸着装置において、前記各プーリ部は、回転軸とその回転軸に回転自在に取り付けた複数のフリープーリとからなり、その各フリープーリは前記線材の１巻回毎に独立していることを特徴とする線材の連続蒸着装置。
線材を複数回巻回する１対のプーリ部、蒸着源、その１対のプーリ部の間にその線材が接触するように設けた線材予熱ヒータ、前記１対のプーリ部の間に設けた線材搬送用のベルト、及びそのベルト用のベルト予熱ヒータを備え、前記線材が前記１対のプーリ部の間を移動する間に前記線材に蒸着膜を形成する線材の連続蒸着装置において、前記各プーリ部は、回転軸とその回転軸に回転自在に取り付けた複数のフリープーリとからなり、その各フリープーリは前記線材の１巻回毎に独立していることを特徴とする線材の連続蒸着装置。
請求項１、請求項２、請求項３、請求項４又は請求項５に記載の線材の連続蒸着装置において、前記各フリープーリは、前記回転軸に対して傾くことができることを特徴とする線材の連続蒸着装置。