CN102002679A - 真空镀膜的自转式工架机构 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种真空镀膜的自转式工架机构,包括电机输出轴的主动齿轮及与其啮合的大齿盘,在大齿盘同一圆周上设有若干只工架小齿轮副,工架小齿轮与固定大齿轮啮合,工架小齿轮副的小轴中心孔插接工架,所述大齿盘通过限位导轮与固定大齿轮内圈滑动连接,所述大齿盘通过若干支柱与公转上顶盘连接,其特征是:所述工架上设有工件自转机构。其特征是:所述工架的主轴键接有置于底盘上方的工件自转机构。有益效果:在真空镀膜的过程中,被镀工件在水平方向持续公转和自转,提高了薄膜质量的稳定性。合格率由30%提高到85%以上。
Description
技术领域
本发明属于真空镀膜设备,尤其涉及一种真空镀膜的自转式工架机构。
背景技术
目前,随着手机、化妆品、光学、光电子产业的迅速发展,出现了很多不规则形状的元件,如圆环形,圆柱形等。目前常用的的镀膜机一般只有一个垂直方向的旋转轴。其结构原理是:由电机输出轴的齿轮啮合大齿盘转动,在大齿盘圆周上设有若干工件小齿轮并与固定大齿轮啮合,带动与小齿轮同轴的工架公转,大齿盘通过限位导轮与固定大齿轮内圈转动连接。由于产品不能旋转,使工件镀层不均匀,合格率仅为30%。为了使越来越多不规则形状元件实现立体镀膜,提高合格率,表面处理行业亟待开发一种工件可以旋转,实现三维立体真空镀膜的设备。
发明内容
本发明是为了克服现有技术中的不足,提供一种真空镀膜的自转式工架机构,在真空镀膜的过程中,被镀工件在水平方向持续公转和自转,提高了薄膜质量的稳定性。
本发明为实现上述目的,通过以下技术方案实现,一种真空镀膜的自转式工架机构,包括电机输出轴的主动齿轮及与其啮合的大齿盘,在大齿盘同一圆周上设有若干只工架小齿轮副,工架小齿轮与固定大齿轮啮合,工架小齿轮副的小轴中心孔插接工架,所述大齿盘通过限位导轮与固定大齿轮内圈滑动连接,所述大齿盘通过若干支柱与公转上顶盘连接,其特征是:所述工架上设有工件自转机构。
所述工件自转机构主要由主动摩擦轮、从动摩擦轮、连杆和工件中心轴构成,所述从动摩擦轮中心设有轴承,所述工架中心轴与轴承内圈连接,所述主动摩擦轮外圆与从动摩擦轮外圆触接,所述主动摩擦轮通过轴承与底盘支承连接,所述底盘中心下部固接轴套,轴套中键接有圆轴,所述圆轴下端与工架小齿轮中心孔键接。
所述主动摩擦轮外圆设有非金属的摩擦圆环。
所述工件自转机构通过连杆连接成若干层整体工架,首层工件自转机构的底盘下部固接有三角形支撑架,工件自转机构除首层外其余各层的从动摩擦轮与工架中心轴键接,所述工架中心轴上端与公转上顶盘键接。
有益效果:在真空镀膜的过程中,被镀工件在水平方向持续公转和自转,提高了薄膜质量的稳定性。合格率由30%提高到85%以上。
附图说明
图1是本发明的结构示意图;
图2是图1中工件自转机构的结构示意图。
图中:1、主动齿轮2、大齿盘3、工架小齿轮4、固定大齿轮5、小轴6、工架6-1、公转上顶盘6-2、支柱7、限位导轮8、主动摩擦轮9、从动摩擦轮10、工架中心轴11、摩擦圆环12、连杆13、轴承14、轴套15、圆轴16、支撑架17、插杆18、工件19、底盘。
具体实施方式
以下结合较佳实施例,对依据本发明提供的具体实施方式详述如下:详见附图,一种真空镀膜的自转式工架机构,包括电机输出轴的主动齿轮1及与其啮合的大齿盘2,在大齿盘同一圆周上设有四至五只工架小齿轮副,工架小齿轮3与固定大齿轮4啮合,工架小齿轮副的小轴5中心孔插接工架6,所述大齿盘通过限位导轮7与固定大齿轮内圈滑动连接,所述大齿盘通过若干支柱6-2与公转上顶盘6-1连接,所述工架6上设有工件自转机构。所述工件自转机构主要由底盘19、主动摩擦轮8、从动摩擦轮9、连杆12和工架中心轴10构成,所述从动摩擦轮中心设有轴承13,所述工架中心轴10与轴承内圈连接,所述主动摩擦轮外圆与从动摩擦轮外圆触接,所述主动摩擦轮通过轴承13与底盘19支承连接,所述底盘中心下部固接轴套14,轴套中键接有圆轴15,所述圆轴下端与工架小齿轮3的中心孔键接。所述主动摩擦轮外圆设有非金属的摩擦圆环11,摩擦圆环采用塑料、橡胶材料,可以增加摩擦力。所述工件自转机构通过连杆12连接成二至八层整体工架,首层工件自转机构的底盘下部固接有三角形支撑架16,可以分散整体工架上工件的重量压力。工件自转机构除首层外其余各层的从动摩擦轮与工架中心轴键接,所述工架中心轴上端与公转上顶盘键接。
工作原理:
由电机输出轴的齿轮啮合大齿盘转动,在大齿盘圆周上设有若干工件小齿轮并与固定大齿轮啮合,带动与小齿轮同轴的工架公转,大齿盘通过限位导轮沿固定大齿轮内圈转动。大齿盘通过支柱与公转上顶盘固定链接成公转体。固定在大齿盘圆周上的工架小齿轮与固定大齿轮啮合,公转的大齿盘带动工架小齿轮公转时,工架小齿轮还有自转。首层工件自转机构的底盘、轴套及圆周固接成整体,圆轴下端与工架小齿轮中心孔键接,工架小齿轮转动则带动底盘整体转动, 通过轴承支承在底盘上的主动摩擦轮与固定不动的从动摩擦轮外圆摩擦触接,从动摩擦轮轴上轴承内圈与工架中心轴过盈配合,可以使首层的底盘转动,并通过各层的连杆12带动各层的主动摩擦轮围绕从动摩擦轮外圆转动,实现了插接在主动摩擦轮中心孔内的插杆17及工件18自转。
以上所述,仅是本发明的较佳实施例而已,并非对本发明的结构作任何形式上的限制。凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明的技术方案的范围内。
Claims (4)
1.一种真空镀膜的自转式工架机构,包括电机输出轴的主动齿轮及与其啮合的大齿盘,在大齿盘同一圆周上设有若干只工架小齿轮副,工架小齿轮与固定大齿轮啮合,工架小齿轮副的小轴中心孔插接工架,所述大齿盘通过限位导轮与固定大齿轮内圈滑动连接,所述大齿盘通过若干支柱与公转上顶盘连接,其特征是:所述工架上设有工件自转机构。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜的自转式工架机构,其特征是:所述工件自转机构主要由主动摩擦轮、从动摩擦轮、连杆和工件中心轴构成,所述从动摩擦轮中心设有轴承,所述工架中心轴与轴承内圈连接,所述主动摩擦轮外圆与从动摩擦轮外圆触接,所述主动摩擦轮通过轴承与底盘支承连接,所述底盘中心下部固接轴套,轴套中键接有小轴,所述小轴下端与工架小齿轮中心孔键接。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜的自转式工架机构,其特征是:所述主动摩擦轮外圆设有非金属的摩擦圆环。
4.根据权利要求2所述的真空镀膜的自转式工架机构,其特征是:所述
工件自转机构通过连杆连接成若干层整体工架,首层工件自转机构的底盘下部固接有三角形支撑架,工件自转机构除首层外其余各层的从动摩擦轮与工架中心轴键接,所述工架中心轴上端与公转上顶盘键接。
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CN105051247A (zh) * | 2013-03-19 | 2015-11-11 | 株式会社神户制钢所 | Pvd处理装置以及pvd处理方法 |
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CN110724924A (zh) * | 2019-11-28 | 2020-01-24 | 嘉兴岱源真空科技有限公司 | 钢球等离子镀膜夹具 |
CN110923652A (zh) * | 2019-12-26 | 2020-03-27 | 北京大学深圳研究院 | 一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置 |
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PB01 | Publication | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20110406 |