CN110965038A - 一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置 - Google Patents
一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110965038A CN110965038A CN201911367558.2A CN201911367558A CN110965038A CN 110965038 A CN110965038 A CN 110965038A CN 201911367558 A CN201911367558 A CN 201911367558A CN 110965038 A CN110965038 A CN 110965038A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- rotating shaft
- driven
- gear
- driving
- bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 238000005289 physical deposition Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 95
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 31
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 22
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 20
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 20
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims description 7
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims description 7
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 claims description 3
- JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N benzene-1,4-diol;bis(4-fluorophenyl)methanone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1.C1=CC(F)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(F)C=C1 JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 3
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 claims description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 5
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910000997 High-speed steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000000844 anti-bacterial effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000005234 chemical deposition Methods 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000012567 medical material Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
- C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明公开了一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置，包括基座及主转轴，所述主转轴上固定设置有承载架，所述承载架上设置有可径向转动的主动转轴，承载架一端设置有可径向转动的第一被动转轴，承载架另一端设置有可径向转动的第二被动转轴，所述主动转轴外端与基座之间设置有第一齿轮传动组件，主动转轴与第一被动转轴之间设置有第二齿轮传动组件，主动转轴与第二被动转轴)之间设置有第三齿轮传动组件，所述第一被动转轴及第二被动转轴用于夹持需要进行表面物理沉积涂层加工的细棒材的两端。该种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置具有结构简单、性能稳定可靠、实施成本低、实施容易、加工质量好、细棒材表面涂层一致性高等优点。
Description
技术领域
本发明涉及一种表面改性领域用辅助设备，特别是一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置。
背景技术
物理气相沉积是在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使物质与气体都发生电力，借助电池的加速左右，使被蒸发物质或反应产物沉积在工件表面上的表面改性加工工艺。物理气相沉积技术主要包括真空蒸发、溅射和离子镀三种，通过物理气相沉积这一改性手段可以有效地提高工件表面的某些性能，包括强度、硬度、耐磨性、耐蚀性、生物相容性等。
物理气相沉积技术出现于上个世纪七十年代，其制备的薄膜具有结合力好、涂层致密、厚度可控等等优点，其在高速钢刀具表面制备的硬质涂层取得极大的成功，进而推动了该种工艺的推广应用。相对于化学沉积，物理气相沉积具有工件加热温度较低的特点，对工件基体的影响较小。此外，物理气相沉积所制备的薄膜其内部应力为压应力，对于结构复杂或者圆形结构的样品，其具有更多优势。近些年，随着医用材料及器械的快速发展，利用物理气相沉积对医疗器械表面进行改性的研究和应用越来越多，其可以很好地提高医疗器械表面的性能，如耐磨性能、耐蚀性能、抗菌性能、生物相容性能。但是在针对具体医疗器械加工的过程中，仍然存在一些问题。比如在针对细长柱状结构的工件进行涂层沉积时，如何保证工件表面每处都能获得厚度均匀的涂层是个难题。虽然有研究通过柱状工件自转的方式沉积涂层，但是对于靶材位置固定的物理气相沉积设备，其很难保证圆柱状表面涂层的均匀性。
综上，采用现有技术针对细棒材表面物理沉积涂层的加工存在结构复杂、实施成本高、使用灵活性差、工作效率低下等技术缺陷，所述种种缺陷严重限制了本领域进一步向前发展和推广应用。
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种新的技术方案以解决现存的技术缺陷。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本发明提供一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置，解决了现有技术存在的结构复杂、实施成本高、加工效率低下、细棒材表面涂层一致性差、加工质量低下等技术缺陷。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置，包括基座及主转轴，所述主转轴上固定设置有承载架，所述承载架上设置有可径向转动的主动转轴，承载架一端设置有可径向转动的第一被动转轴，承载架另一端设置有可径向转动的第二被动转轴，所述主动转轴外端与基座之间设置有第一齿轮传动组件，主动转轴与第一被动转轴之间设置有第二齿轮传动组件，主动转轴与第二被动转轴)之间设置有第三齿轮传动组件，所述第一被动转轴及第二被动转轴用于夹持需要进行表面物理沉积涂层加工的细棒材的两端。
作为上述技术方案的改进，所述第一被动转轴通过第一被动转轴轴承安装在承载架上，所述承载架上开设有用于安装所述第一被动转轴轴承的第一被动转轴轴承阶梯安装位，所述第一被动转轴轴承安装在所述第一被动转轴轴承阶梯安装位后，第一被动转轴轴承的外圈固定于第一被动转轴轴承阶梯安装位中，第一被动转轴轴承内圈与第一被动转轴侧壁固定连接，所述承载架侧部设置有用于固定第一被动转轴轴承的第一被动转轴轴承压板，所述第一被动转轴轴承压板通过第一被动转轴轴承压板螺栓固定在承载架侧部，第一动转轴轴承压板的内沿压紧在第一被动转轴轴承的外圈并将第一被动转轴轴承限位在第一被动转轴轴承阶梯安装位中；
作为上述技术方案的进一步改进，所述二被动转轴通过二被动转轴轴承安装在承载架上，所述承载架上开设有用于安装所述二被动转轴轴承的二被动转轴轴承阶梯安装位，所述二被动转轴轴承安装在所述二被动转轴轴承阶梯安装位后，第二被动转轴轴承的外圈固定于二被动转轴轴承阶梯安装位中，二被动转轴轴承内圈与第二被动转轴侧壁固定连接，所述承载架侧部设置有用于固定二被动转轴轴承的二被动转轴轴承压板，所述二被动转轴轴承压板通过二被动转轴轴承压板螺栓固定在承载架侧部，二动转轴轴承压板的内沿压紧在二被动转轴轴承的外圈并将二被动转轴轴承限位在二被动转轴轴承阶梯安装位中。
作为上述技术方案的进一步改进，所述主动转轴通过第一主动转轴轴承及第二主动转轴轴承安装在承载架上，所述承载架上开设有第一主动转轴轴承安装孔及第二主动转轴轴承安装孔，所述第一主动转轴轴承及第二主动转轴轴承分别安装在第一主动转轴轴承安装孔及第二主动转轴轴承安装孔中，第一主动转轴轴承的外圈固定于第一主动转轴轴承安装孔的内壁，第二主动转轴轴承的外圈固定于第二主动转轴轴承安装孔的内壁，所述第一主动转轴轴承及第二主动转轴轴承的内圈均固定于所述主动转轴的外壁。
作为上述技术方案的进一步改进，所述第一齿轮传动组件包括固定安装在主动转轴一端的中间齿轮及固定在基座上并与所述中间齿轮相互啮合的底部齿盘。
作为上述技术方案的进一步改进，所述中间齿轮通过第一中间齿轮锁定件安装在第主动转轴外端，中间齿轮外侧依次设置有中间齿轮垫片及中间齿轮固定螺母；所述中间齿轮及底部齿盘均为锥齿轮，所述底部齿盘具有齿盘内延伸部，所述齿盘内延伸部通过齿盘固定螺栓固定安装在基座上表面。
作为上述技术方案的进一步改进，所述第二齿轮传动组件包括固定安装在主动转轴一端的第一主动传动齿轮及固定在第一被动转轴上的第一从动传动齿轮，所述第一主动传动齿轮与第一从动传动齿轮相互啮合；所述第三齿轮传动组件包括固定安装在主动转轴另一端的第二主动传动齿轮及固定在第二被动转轴上的第二从动传动齿轮，所述第二主动传动齿轮与第二从动传动齿轮相互啮合。
作为上述技术方案的进一步改进，所述第一主动传动齿轮通过第一主动传动齿轮键固定在主动转轴上，所述第一从动传动齿轮通过第一从动传动齿轮键固定在第一被动转轴上，所述第二主动传动齿轮通过第二主动传动齿轮键固定在主动转轴另一端，所述第二从动传动齿轮通过第二从动传动齿轮键固定在第二被动转轴上。
作为上述技术方案的进一步改进，所述第一被动转轴上依次设置有将第一从动传动齿轮固定在第一被动转轴上的第一被动齿轮垫片及第一被动齿轮固定螺母，所述第二被动转轴上依次设置有将第二从动传动齿轮固定在第二被动转轴上的第二被动齿轮垫片及第二被动齿轮固定螺母，所述主动转轴一端端部设置有将第二主动传动齿轮固定在主动转轴上的第二主动齿轮垫片及第二主动齿轮固定螺母，所述第一主动传动齿轮与第一从动传动齿轮为相互啮合的锥齿轮，所述第二主动传动齿轮与第二从动传动齿轮为相互啮合的锥齿轮。
作为上述技术方案的进一步改进，所述主动转轴上套设有第一主动定位隔环第二主动定位隔环及第三主动定位隔环，所述第一被动转轴上套设有第一被动定位隔环，所述第二被动转轴上套设有第二被动定位隔环；
作为上述技术方案的进一步改进，所述基座中间位置具有基座中间通孔，所述主转轴从基座的基座中间通孔穿过，主转轴上端部具有主转轴连接部，所述承载架底部中间位置具有承载架固定凹位，所述主转轴连接部插入到所述承载架固定凹位中，承载架通过承载架固定螺栓固定在连接到主转轴连接部中。
作为上述技术方案的进一步改进，所述第一被动转轴及第二被动转轴内端均开设有用于定位细棒材端部的棒材固定孔，第一被动转轴及第二被动转轴侧部开设有与所述棒材固定孔连通的棒材锁紧螺孔，所述棒材锁紧螺孔中设置有用于将细棒材固定在棒材固定孔中的棒材锁紧螺钉，所述棒材固定孔为截面呈V形的深孔，所述棒材锁紧螺钉为由PEEK材料制作而成的塑料螺钉。
作为上述技术方案的另一种改进，所述第一被动转轴与第二被动转轴共同组成用于转动细棒材的棒材转动轴组件，所述棒材转动轴组件具有多组，所述第一被动转轴及第二被动转轴均具有多根，所述第二齿轮传动组件及第三齿轮传动组件均包括一个主动齿轮、一个直接被动齿轮及若干间接被动齿轮，所述直接被动齿轮与主动齿轮啮合，所述间接动齿轮与直接被动齿轮直接或间接啮合并依次传动，第二齿轮传动组件及第三齿轮传动组件中的直接被动齿轮及间接被动齿轮的数量总和匹配棒材转动轴组件的数量并分别驱动一组棒材转动轴组件转动。
本发明的有益效果是：一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置，该种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置通过主转轴带动承载架转动，通过第一齿轮传动组件带动主动转轴转动，主动转轴通过第二齿轮传动组件及第三齿轮传动组件分别带动第一被动转轴及第二被动转轴转动，第一被动转轴及第二被动转轴带动需要进行加工的细棒材转动，从而使得细棒材在进行表面物理沉积涂层实现自转及公转，能有效提升细棒材表面物理沉积涂层加工的质量，有利于提高细棒材表面涂层的一致性；另外，整个装置的结构简单，在实施时可极大降低实施成本。
综上，该种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置解决了现有技术存在的结构复杂、实施成本高、加工效率低下、细棒材表面涂层一致性差、加工质量低下等技术缺陷。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的装配示意图；
图2是本发明中基座与底部齿盘的装配示意图；
图3是本发明中基座与底部齿盘的装配剖切示意图；
图4是本发明中第一被动转轴与细棒材在配合示意图；
图5是本发明在具有多组棒材转动轴组件状态下第二齿轮传动组件及第三齿轮传动组件的配合结构示意图。
具体实施方式
以下将结合实施例和附图对本发明的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本发明的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本发明的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本发明的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本发明保护的范围。另外，专利中涉及到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。本发明创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合，参照图1-5。
一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置，包括基座1及主转轴11，所述主转轴1上固定设置有承载架2，所述承载架2上设置有可径向转动的主动转轴4，承载架2一端设置有可径向转动的第一被动转轴31，承载架2另一端设置有可径向转动的第二被动转轴32，所述主动转轴4外端与基座1之间设置有第一齿轮传动组件，主动转轴4与第一被动转轴31之间设置有第二齿轮传动组件，主动转轴4与第二被动转轴32之间设置有第三齿轮传动组件，所述第一被动转轴31及第二被动转轴32用于夹持需要进行表面物理沉积涂层加工的细棒材9的两端。
优选地，所述第一被动转轴31通过第一被动转轴轴承311安装在承载架2上，所述承载架2上开设有用于安装所述第一被动转轴轴承311的第一被动转轴轴承阶梯安装位312，所述第一被动转轴轴承311安装在所述第一被动转轴轴承阶梯安装位312后，第一被动转轴轴承311的外圈固定于第一被动转轴轴承阶梯安装位312中，第一被动转轴轴承311内圈与第一被动转轴31侧壁固定连接，所述承载架2侧部设置有用于固定第一被动转轴轴承311的第一被动转轴轴承压板313，所述第一被动转轴轴承压板313通过第一被动转轴轴承压板螺栓314固定在承载架2侧部，第一动转轴轴承压板313的内沿压紧在第一被动转轴轴承311的外圈并将第一被动转轴轴承311限位在第一被动转轴轴承阶梯安装位312中；
优选地，所述二被动转轴32通过二被动转轴轴承321安装在承载架2上，所述承载架2上开设有用于安装所述二被动转轴轴承321的二被动转轴轴承阶梯安装位322，所述二被动转轴轴承321安装在所述二被动转轴轴承阶梯安装位322后，第二被动转轴轴承321的外圈固定于二被动转轴轴承阶梯安装位322中，二被动转轴轴承321内圈与第二被动转轴32侧壁固定连接，所述承载架2侧部设置有用于固定二被动转轴轴承321的二被动转轴轴承压板323，所述二被动转轴轴承压板323通过二被动转轴轴承压板螺栓324固定在承载架2侧部，二动转轴轴承压板323的内沿压紧在二被动转轴轴承321的外圈并将二被动转轴轴承321限位在二被动转轴轴承阶梯安装位322中。
优选地，所述主动转轴4通过第一主动转轴轴承41及第二主动转轴轴承42安装在承载架2上，所述承载架2上开设有第一主动转轴轴承安装孔21及第二主动转轴轴承安装孔22，所述第一主动转轴轴承41及第二主动转轴轴承42分别安装在第一主动转轴轴承安装孔21及第二主动转轴轴承安装孔22中，第一主动转轴轴承41的外圈固定于第一主动转轴轴承安装孔21的内壁，第二主动转轴轴承42的外圈固定于第二主动转轴轴承安装孔22的内壁，所述第一主动转轴轴承41及第二主动转轴轴承42的内圈均固定于所述主动转轴4的外壁。
优选地，所述第一齿轮传动组件包括固定安装在主动转轴4一端的中间齿轮61及固定在基座1上并与所述中间齿轮61相互啮合的底部齿盘62。
优选地，所述中间齿轮61通过第一中间齿轮锁定件611安装在第主动转轴4外端，中间齿轮61外侧依次设置有中间齿轮垫片612及中间齿轮固定螺母613；所述中间齿轮61及底部齿盘62均为锥齿轮，所述底部齿盘62具有齿盘内延伸部621，所述齿盘内延伸部621通过齿盘固定螺栓622固定安装在基座1上表面，所述基座1上开设有匹配所述齿盘固定螺栓632的螺栓安装槽，所述螺栓安装槽具有可对底部齿盘63进行位置微调的间隙空间。
优选地，所述第二齿轮传动组件包括固定安装在主动转轴4一端的第一主动传动齿轮71及固定在第一被动转轴31上的第一从动传动齿轮72，所述第一主动传动齿轮71与第一从动传动齿轮72相互啮合；所述第三齿轮传动组件包括固定安装在主动转轴4另一端的第二主动传动齿轮81及固定在第二被动转轴32上的第二从动传动齿轮82，所述第二主动传动齿轮81与第二从动传动齿轮82相互啮合。
优选地，所述第一主动传动齿轮71通过第一主动传动齿轮键711固定在主动转轴4上，所述第一从动传动齿轮72通过第一从动传动齿轮键721固定在第一被动转轴31上，所述第二主动传动齿轮81通过第二主动传动齿轮键811固定在主动转轴4另一端，所述第二从动传动齿轮82通过第二从动传动齿轮键821固定在第二被动转轴32上。
所述第一被动转轴31上依次设置有将第一从动传动齿轮72固定在第一被动转轴31上的第一被动齿轮垫片722及第一被动齿轮固定螺母723，所述第二被动转轴32上依次设置有将第二从动传动齿轮82固定在第二被动转轴32上的第二被动齿轮垫片822及第二被动齿轮固定螺母823，所述主动转轴4一端端部设置有将第二主动传动齿轮81固定在主动转轴4上的第二主动齿轮垫片812及第二主动齿轮固定螺母813，所述第一主动传动齿轮71与第一从动传动齿轮72为相互啮合的锥齿轮，所述第二主动传动齿轮81与第二从动传动齿轮82为相互啮合的锥齿轮。
优选地，所述主动转轴4上套设有第一主动定位隔环51第二主动定位隔环52及第三主动定位隔环53，所述第一被动转轴31上套设有第一被动定位隔环54，所述第二被动转轴32上套设有第二被动定位隔环55；
所述基座1中间位置具有基座中间通孔，所述主转轴11从基座1的基座中间通孔穿过，主转轴11上端部具有主转轴连接部12，所述承载架2底部中间位置具有承载架固定凹位，所述主转轴连接部12插入到所述承载架固定凹位中，承载架2通过承载架固定螺栓20固定在连接到主转轴连接部12中。
优选地，所述第一被动转轴31及第二被动转轴32内端均开设有用于定位细棒材9端部的棒材固定孔91，第一被动转轴31及第二被动转轴32侧部开设有与所述棒材固定孔91连通的棒材锁紧螺孔，所述棒材锁紧螺孔中设置有用于将细棒材9固定在棒材固定孔91中的棒材锁紧螺钉92，所述棒材固定孔91为截面呈V形的深孔，所述棒材锁紧螺钉92为由PEEK材料制作而成的塑料螺钉。
在具体实施本发明时，通过第一主动定位隔环51第二主动定位隔环52、第三主动定位隔环53、第四主动定位隔环54及第五主动定位隔环55控制各个齿轮的安装位置，再配合所述主转轴11可控制细棒材9的旋转速度及转动速度，调节方便，应用灵活性高。
具体地，所述第一被动转轴31及第二被动转轴32的转动速度为1～200r/min。
实施例1：
对某医疗器械用纯钛材质的细棒材9表面磁控溅射沉积厚度为8μm的TiN涂层，细棒材9材质为TA4纯钛，直径为5mm。首先，将装配好的细棒材9表面物理沉积涂层用夹持旋转装置安装到磁控溅射装备真空腔体中，将经过清洗处理的TA4纯钛细棒材固定在被动转轴(第一被动转轴31与第二被动转轴32之间)的夹持位置，并紧固所述细棒材锁紧螺钉92。开启主转轴电源，使整个装置开始运转，调控主转轴11速度使细棒材9的自转速度和公转速度，使之处理合理范围内，关闭主转轴电源。然后，关闭真空腔室门，抽真空使本底真空度高于3×10–4Pa后，通入高纯氮气，使腔体气体压强保持在3×10-2Pa，开启主转轴电源，使夹持旋转装置开始运动，开启沉积电源，开始TiN涂层的沉积。待沉积完毕后，断开主转轴电源、沉积电源和真空电源，通入气体，打开腔体，将TA4纯钛细棒材从装置中卸下取出。
具体参照图5，在另一种实施方式中，所述第一被动转轴31与第二被动转轴32共同组成用于转动细棒材9的棒材转动轴组件，所述棒材转动轴组件具有多组，所述第一被动转轴31及第二被动转轴32均具有多根，所述第二齿轮传动组件及第三齿轮传动组件均包括一个主动齿轮701、一个直接被动齿轮702及若干间接被动齿轮703，所述直接被动齿轮702与主动齿轮701啮合，所述间接动齿轮703与直接被动齿轮702直接或间接啮合并依次传动，第二齿轮传动组件及第三齿轮传动组件中的直接被动齿轮702及间接被动齿轮703的数量总和匹配棒材转动轴组件的数量并分别驱动一组棒材转动轴组件转动。通过设置多组板材转动轴组件可以同时对多根板材进行加工，提升生产效率。
以上是对本发明的较佳实施进行了具体说明，但本发明创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
Claims (10)
1.一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置，其特征在于：包括基座(1)及主转轴(11)，所述主转轴(1)上固定设置有承载架(2)，所述承载架(2)上设置有可径向转动的主动转轴(4)，承载架(2)一端设置有可径向转动的第一被动转轴(31)，承载架(2)另一端设置有可径向转动的第二被动转轴(32)，所述主动转轴(4)外端与基座(1)之间设置有第一齿轮传动组件，主动转轴(4)与第一被动转轴(31)之间设置有第二齿轮传动组件，主动转轴(4)与第二被动转轴(32)之间设置有第三齿轮传动组件，所述第一被动转轴(31)及第二被动转轴(32)用于夹持需要进行表面物理沉积涂层加工的细棒材(9)的两端。
2.根据权利要求1所述的一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置，其特征在于：所述第一被动转轴(31)通过第一被动转轴轴承(311)安装在承载架(2)上，所述承载架(2)上开设有用于安装所述第一被动转轴轴承(311)的第一被动转轴轴承阶梯安装位(312)，所述第一被动转轴轴承(311)安装在所述第一被动转轴轴承阶梯安装位(312)后，第一被动转轴轴承(311)的外圈固定于第一被动转轴轴承阶梯安装位(312)中，第一被动转轴轴承(311)内圈与第一被动转轴(31)侧壁固定连接，所述承载架(2)侧部设置有用于固定第一被动转轴轴承(311)的第一被动转轴轴承压板(313)，所述第一被动转轴轴承压板(313)通过第一被动转轴轴承压板螺栓(314)固定在承载架(2)侧部，第一动转轴轴承压板(313)的内沿压紧在第一被动转轴轴承(311)的外圈并将第一被动转轴轴承(311)限位在第一被动转轴轴承阶梯安装位(312)中；
所述二被动转轴(32)通过二被动转轴轴承(321)安装在承载架(2)上，所述承载架(2)上开设有用于安装所述二被动转轴轴承(321)的二被动转轴轴承阶梯安装位(322)，所述二被动转轴轴承(321)安装在所述二被动转轴轴承阶梯安装位(322)后，第二被动转轴轴承(321)的外圈固定于二被动转轴轴承阶梯安装位(322)中，二被动转轴轴承(321)内圈与第二被动转轴(32)侧壁固定连接，所述承载架(2)侧部设置有用于固定二被动转轴轴承(321)的二被动转轴轴承压板(323)，所述二被动转轴轴承压板(323)通过二被动转轴轴承压板螺栓(324)固定在承载架(2)侧部，二动转轴轴承压板(323)的内沿压紧在二被动转轴轴承(321)的外圈并将二被动转轴轴承(321)限位在二被动转轴轴承阶梯安装位(322)中。
3.根据权利要求1所述的一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置，其特征在于：所述主动转轴(4)通过第一主动转轴轴承(41)及第二主动转轴轴承(42)安装在承载架(2)上，所述承载架(2)上开设有第一主动转轴轴承安装孔(21)及第二主动转轴轴承安装孔(22)，所述第一主动转轴轴承(41)及第二主动转轴轴承(42)分别安装在第一主动转轴轴承安装孔(21)及第二主动转轴轴承安装孔(22)中，第一主动转轴轴承(41)的外圈固定于第一主动转轴轴承安装孔(21)的内壁，第二主动转轴轴承(42)的外圈固定于第二主动转轴轴承安装孔(22)的内壁，所述第一主动转轴轴承(41)及第二主动转轴轴承(42)的内圈均固定于所述主动转轴(4)的外壁。
4.根据权利要求1所述的一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置，其特征在于：所述第一齿轮传动组件包括固定安装在主动转轴(4)一端的中间齿轮(61)及固定在基座(1)上并与所述中间齿轮(61)相互啮合的底部齿盘(62)。
5.根据权利要求4所述的一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置，其特征在于：所述中间齿轮(61)通过第一中间齿轮锁定件(611)安装在第主动转轴(4)外端，中间齿轮(61)外侧依次设置有中间齿轮垫片(612)及中间齿轮固定螺母(613)；所述中间齿轮(61)及底部齿盘(62)均为锥齿轮，所述底部齿盘(62)具有齿盘内延伸部(621)，所述齿盘内延伸部(621)通过齿盘固定螺栓(622)固定安装在基座(1)上表面。
6.根据权利要求1所述的一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置，其特征在于：所述第二齿轮传动组件包括固定安装在主动转轴(4)一端的第一主动传动齿轮(71)及固定在第一被动转轴(31)上的第一从动传动齿轮(72)，所述第一主动传动齿轮(71)与第一从动传动齿轮(72)相互啮合；所述第三齿轮传动组件包括固定安装在主动转轴(4)另一端的第二主动传动齿轮(81)及固定在第二被动转轴(32)上的第二从动传动齿轮(82)，所述第二主动传动齿轮(81)与第二从动传动齿轮(82)相互啮合。
7.根据权利要求6所述的一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置，其特征在于：所述第一主动传动齿轮(71)通过第一主动传动齿轮键(711)固定在主动转轴(4)上，所述第一从动传动齿轮(72)通过第一从动传动齿轮键(721)固定在第一被动转轴(31)上，所述第二主动传动齿轮(81)通过第二主动传动齿轮键(811)固定在主动转轴(4)另一端，所述第二从动传动齿轮(82)通过第二从动传动齿轮键(821)固定在第二被动转轴(32)上。
所述第一被动转轴(31)上依次设置有将第一从动传动齿轮(72)固定在第一被动转轴(31)上的第一被动齿轮垫片(722)及第一被动齿轮固定螺母(723)，所述第二被动转轴(32)上依次设置有将第二从动传动齿轮(82)固定在第二被动转轴(32)上的第二被动齿轮垫片(822)及第二被动齿轮固定螺母(823)，所述主动转轴(4)一端端部设置有将第二主动传动齿轮(81)固定在主动转轴(4)上的第二主动齿轮垫片(812)及第二主动齿轮固定螺母(813)，所述第一主动传动齿轮(71)与第一从动传动齿轮(72)为相互啮合的锥齿轮，所述第二主动传动齿轮(81)与第二从动传动齿轮(82)为相互啮合的锥齿轮。
8.根据权利要求1所述的一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置，其特征在于：所述主动转轴(4)上套设有第一主动定位隔环(51)第二主动定位隔环(52)及第三主动定位隔环(53)，所述第一被动转轴(31)上套设有第一被动定位隔环(54)，所述第二被动转轴(32)上套设有第二被动定位隔环(55)；
所述基座(1)中间位置具有基座中间通孔，所述主转轴(11)从基座(1)的基座中间通孔穿过，主转轴(11)上端部具有主转轴连接部(12)，所述承载架(2)底部中间位置具有承载架固定凹位，所述主转轴连接部(12)插入到所述承载架固定凹位中，承载架(2)通过承载架固定螺栓(20)固定在连接到主转轴连接部(12)中。
9.根据权利要求1所述的一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置，其特征在于：所述第一被动转轴(31)及第二被动转轴(32)内端均开设有用于定位细棒材(9)端部的棒材固定孔(91)，第一被动转轴(31)及第二被动转轴(32)侧部开设有与所述棒材固定孔(91)连通的棒材锁紧螺孔，所述棒材锁紧螺孔中设置有用于将细棒材(9)固定在棒材固定孔(91)中的棒材锁紧螺钉(92)，所述棒材固定孔(91)为截面呈V形的深孔，所述棒材锁紧螺钉(92)为由PEEK材料制作而成的塑料螺钉。
10.根据权利要求1所述的一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置，其特征在于：所述第一被动转轴(31)与第二被动转轴(32)共同组成用于转动细棒材(9)的棒材转动轴组件，所述棒材转动轴组件具有多组，所述第一被动转轴(31)及第二被动转轴(32)均具有多根，所述第二齿轮传动组件及第三齿轮传动组件均包括一个主动齿轮(701)、一个直接被动齿轮(702)及若干间接被动齿轮(703)，所述直接被动齿轮(702)与主动齿轮(701)啮合，所述间接动齿轮(703)与直接被动齿轮(702)直接或间接啮合并依次传动，第二齿轮传动组件及第三齿轮传动组件中的直接被动齿轮(702)及间接被动齿轮(703)的数量总和匹配棒材转动轴组件的数量并分别驱动一组棒材转动轴组件转动。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201911367558.2A CN110965038A (zh) | 2019-12-26 | 2019-12-26 | 一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201911367558.2A CN110965038A (zh) | 2019-12-26 | 2019-12-26 | 一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110965038A true CN110965038A (zh) | 2020-04-07 |
Family
ID=70036697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201911367558.2A Pending CN110965038A (zh) | 2019-12-26 | 2019-12-26 | 一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110965038A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113235061A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-08-10 | 南昌大学第一附属医院 | 一种医用螺钉的钽金属涂层的制备工艺 |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1588574A (en) * | 1977-04-28 | 1981-04-23 | Yoshida Kogyo Kk | Hanging device for bar materials |
| CN2061568U (zh) * | 1990-01-25 | 1990-09-05 | 北京有色金属研究总院 | 物理气相沉积用杆状基体夹持装置 |
| EP0936281A1 (en) * | 1998-02-10 | 1999-08-18 | Sarcos, Inc. | Method and apparatus for three-dimensional processing of filamentary substrates |
| CN101649455A (zh) * | 2009-08-25 | 2010-02-17 | 陈中强 | 激光宽带熔覆加工小轴工件连续作业的工装装置 |
| CN101928920A (zh) * | 2010-08-25 | 2010-12-29 | 北京航空航天大学 | 一种多层复合丝旋转制备装置及制备方法 |
| US20110259740A1 (en) * | 2010-04-22 | 2011-10-27 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Sputtering apparatus |
| CN206607311U (zh) * | 2017-04-10 | 2017-11-03 | 天津职业技术师范大学 | 一种真空镀膜机中的圆柱柄刀具涂层夹具装置 |
| CN108486542A (zh) * | 2018-05-18 | 2018-09-04 | 辽宁科技大学 | 一种应用于磁控溅射的新型工件转架装置 |
| CN208844186U (zh) * | 2018-08-24 | 2019-05-10 | 安徽纯源镀膜科技有限公司 | 一种真空镀膜设备的产品装夹装置 |
| CN211595783U (zh) * | 2019-12-26 | 2020-09-29 | 北京大学深圳研究院 | 一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置 |
-
2019
- 2019-12-26 CN CN201911367558.2A patent/CN110965038A/zh active Pending
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1588574A (en) * | 1977-04-28 | 1981-04-23 | Yoshida Kogyo Kk | Hanging device for bar materials |
| CN2061568U (zh) * | 1990-01-25 | 1990-09-05 | 北京有色金属研究总院 | 物理气相沉积用杆状基体夹持装置 |
| EP0936281A1 (en) * | 1998-02-10 | 1999-08-18 | Sarcos, Inc. | Method and apparatus for three-dimensional processing of filamentary substrates |
| CN101649455A (zh) * | 2009-08-25 | 2010-02-17 | 陈中强 | 激光宽带熔覆加工小轴工件连续作业的工装装置 |
| US20110259740A1 (en) * | 2010-04-22 | 2011-10-27 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Sputtering apparatus |
| CN101928920A (zh) * | 2010-08-25 | 2010-12-29 | 北京航空航天大学 | 一种多层复合丝旋转制备装置及制备方法 |
| CN206607311U (zh) * | 2017-04-10 | 2017-11-03 | 天津职业技术师范大学 | 一种真空镀膜机中的圆柱柄刀具涂层夹具装置 |
| CN108486542A (zh) * | 2018-05-18 | 2018-09-04 | 辽宁科技大学 | 一种应用于磁控溅射的新型工件转架装置 |
| CN208844186U (zh) * | 2018-08-24 | 2019-05-10 | 安徽纯源镀膜科技有限公司 | 一种真空镀膜设备的产品装夹装置 |
| CN211595783U (zh) * | 2019-12-26 | 2020-09-29 | 北京大学深圳研究院 | 一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113235061A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-08-10 | 南昌大学第一附属医院 | 一种医用螺钉的钽金属涂层的制备工艺 |
| CN113235061B (zh) * | 2021-05-18 | 2022-08-05 | 南昌大学第一附属医院 | 一种医用螺钉的钽金属涂层的制备工艺 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5482602A (en) | Broad-beam ion deposition coating methods for depositing diamond-like-carbon coatings on dynamic surfaces | |
| WO1995012693A9 (en) | Method for producing diamond-like carbon layers | |
| CN101818326B (zh) | 溅镀装置 | |
| WO1998058100A1 (de) | Verfahren und einrichtung zum vakuumbeschichten eines substrates | |
| CN211595783U (zh) | 一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置 | |
| CN110965038A (zh) | 一种细棒材表面物理沉积涂层用夹持旋转装置 | |
| CN104328380A (zh) | 轴承滚柱非平衡磁控溅射离子镀装置及方法 | |
| CN108950509B (zh) | 一种行星式三级齿轮传动刀片夹具装置 | |
| CN215103524U (zh) | 一种应用在真空工具镀膜设备上的三维转盘结构 | |
| EP2348139B1 (de) | Substratteller und Beschichtungsanlage zum Beschichten von Substraten | |
| CN113774315A (zh) | 一种航空重载齿轮及其制备方法 | |
| US20020062791A1 (en) | Table | |
| CN110527966B (zh) | 一种用于长管镀膜的卧式磁控溅射设备 | |
| JPH04218664A (ja) | 薄膜形成方法および薄膜形成装置 | |
| CN211311574U (zh) | 一种空心圆柱形被镀件外表面镀膜的旋转装置 | |
| DE112019007736T5 (de) | Beschichtetes Schneidwerkzeug zum Bearbeiten von Titanlegierungen und Superlegierungen und Herstellungsverfahren hierfür | |
| CN211595785U (zh) | 一种柱状件表面涂层物理气相沉积用轴向转动夹持机构 | |
| CN110923652A (zh) | 一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置 | |
| CN108950550B (zh) | 航天火工分离用MoS2/GIC多层复合固体润滑涂层及制法 | |
| CN220393886U (zh) | 样品滚筒能旋转、行走、灵活止动的工装装置 | |
| CN203999795U (zh) | 轴承滚柱非平衡磁控溅射离子镀装置 | |
| KR100268216B1 (ko) | 대구경중공음극방전건을이용한이온플레이팅장치및그방법 | |
| CN220166267U (zh) | 一种用于离子镀膜机的产品放置工装 | |
| CN2841677Y (zh) | 物理气相沉积蒸镀机的被镀物固持装置 | |
| CN219032346U (zh) | 网板工装 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |