CN219032346U - 网板工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于真空镀膜加工技术领域，尤其为网板工装，包括细长工件，还包括安装网板、伺服电机和旋转轴；两个所述安装网板间隔分布并安装在所述旋转轴上，所述旋转轴固定在所述伺服电机的输出轴上，所述安装网板包括具有中心孔的内转盘、外圈、连接杆和网状部；本实用新型的网板工装，适用于细长工件的真空镀膜加工，用于安装在真空镀膜机的真空镀膜腔室内，细长工件穿插在网状部上并跟随安装网板旋转，使得工件与派瑞林充分接触，以及涂覆均匀的效果，并且使得细长工件之间相互隔离，避免细长工件之间相互粘连的问题；网状部采用尼龙编织网，使得工件不易粘连，翻转时在网孔内部可发生翻转位移，便于与派瑞林原料充分接触。

Description

网板工装

技术领域

本实用新型属于真空镀膜加工技术领域，适用于细长工件的真空镀膜加工，用于安装在真空镀膜机的真空镀膜腔室内，具体涉及一种网板工装。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法，例如，真空镀铝、真空镀铬等；

派瑞林是一种新型敷形涂层材料，常用作镀膜材料用于对元件进行真空镀膜，Parylene用独特的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层，具有其他涂层难以比拟的性能优势，它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，裂缝里和内表面；

经检索，申请号为CN202221439703.0，授权公告号为CN217556285U的中国实用新型专利公开了“真空镀膜机”，其包括结构本体、料架、电极、镀膜原料发生装置和真空发生装置，所述结构本体具有一镀膜腔室，所述料架和电极各安装于所述镀膜腔室内，所述料架呈托盘式结构，所述料架适于承载一个工件，所述镀膜原料发生装置适于往所述镀膜腔室输送工艺气体，所述真空发生装置与所述镀膜腔室连通并用于使所述镀膜腔室形成真空环境。本实用新型的真空镀膜机具有生产灵活，且加工经济环保的优点；

然而，在应用传统真空镀膜机进行真空镀膜加工过程中，我们发现，传统设备通常直接将镀膜原料通入镀膜腔室中与工件结合，对于细长工件的镀膜加工，很难保证镀膜原料与细长工件充分结合，从而导致镀膜均匀性较差，而对于多个细长工件同时镀膜的情况，还存在工件之间相互粘连的情况；

为解决上述问题，本申请中提出一种网板工装。

在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本实用新型的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

实用新型内容

为解决现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供了一种网板工装，具有使用方便、安全性高、镀膜效率高以及镀膜充分均匀的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：网板工装，包括细长工件，还包括安装网板、伺服电机和旋转轴；

两个所述安装网板间隔分布并安装在所述旋转轴上，所述旋转轴固定在所述伺服电机的输出轴上用于通过伺服电机驱动所述旋转轴和所述安装网板旋转，所述安装网板包括具有中心孔的内转盘、外圈、连接杆和网状部，多个所述连接杆沿圆周方向等间隔固定在所述外圈与所述内转盘之间，所述网状部固定在所述内转盘的外壁、所述外圈的内壁以及两个相邻连接杆组成的空间内，所述细长工件的两端分别贯穿两个所述安装网板的网状部。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述网状部为尼龙编织网。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述连接杆以及所述网状部均沿圆周方向等间隔分布有四个。

作为本实用新型的一种优选技术方案，在所述内转盘的内壁固定有导向滑块，在所述旋转轴的外壁开设有供所述导向滑块嵌入的导向滑槽；还包括调整杆和调整螺母，在所述内转盘内开设有供所述调整杆贯穿的通孔，在所述调整杆的两端均加工有外螺纹，所述调整螺母通过螺纹旋合方式安装在所述调整杆上，且在所述内转盘的两侧均分布有调整螺母。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述导向滑块以及所述导向滑槽均沿圆周方向等间隔分布有四个。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述导向滑块的宽度等于所述导向滑槽的槽宽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型的网板工装，适用于细长工件的真空镀膜加工，用于安装在真空镀膜机的真空镀膜腔室内，细长工件穿插在网状部上并跟随安装网板旋转，使得工件与派瑞林充分接触，以及涂覆均匀的效果，并且使得细长工件之间相互隔离，避免细长工件之间相互粘连的问题；网状部采用尼龙编织网，使得工件不易粘连，翻转时在网孔内部可发生翻转位移，便于与派瑞林原料充分接触。

本申请其他附加的优点和有益效果将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中的安装网板轴测结构示意图；

图3为本实用新型图1中的A处放大结构示意图；

图中：1、细长工件；2、安装网板；21、内转盘；211、导向滑块；212、通孔；22、外圈；23、连接杆；24、网状部；3、伺服电机；4、旋转轴；41、导向滑槽；5、调整杆；6、外螺纹；7、调整螺母。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图3，本实用新型提供以下技术方案：网板工装，包括细长工件1，还包括安装网板2、伺服电机3和旋转轴4；

由附图1和附图2所示，本实施例中，两个安装网板2间隔分布并安装在旋转轴4上，旋转轴4固定在伺服电机3的输出轴上用于通过伺服电机3驱动旋转轴4和安装网板2旋转，安装网板2包括具有中心孔的内转盘21、外圈22、连接杆23和网状部24，多个连接杆23沿圆周方向等间隔固定在外圈22与内转盘21之间，网状部24固定在内转盘21的外壁、外圈22的内壁以及两个相邻连接杆23组成的空间内，细长工件1的两端分别贯穿两个安装网板2的网状部24，因此，在使用时，将装置安装在真空镀膜机的真空镀膜腔室内，使细长工件1的两端分别穿插两个安装网板2的网状部24网孔，利用网状部24支撑细长工件1，在镀膜时，启动伺服电机3驱动旋转轴4和安装网板2旋转，安装网板2带动细长工件1旋转，使得细长工件1与派瑞林原料充分接触，以及涂覆均匀的效果，并且使得细长工件1之间相互隔离，避免细长工件1之间相互粘连的问题。

由附图1和附图2所示，作为一种可选的实施例，本实施例中，网状部24为尼龙编织网，使得细长工件1不易粘连，翻转时在网孔内部可发生翻转位移，便于与派瑞林原料充分接触。

由附图1和附图2所示，作为一种可选的实施例，本实施例中，连接杆23以及网状部24均沿圆周方向等间隔分布有四个，在镀膜时，可同时安装多个细长工件1进行镀膜，并且还可保证细长工件1之间相互隔离，避免细长工件1之间相互粘连。

由附图1、附图2和附图3所示，作为一种可选的实施例，本实施例中，在内转盘21的内壁固定有导向滑块211，在旋转轴4的外壁开设有供导向滑块211嵌入的导向滑槽41；还包括调整杆5和调整螺母7，在内转盘21内开设有供调整杆5贯穿的通孔212，在调整杆5的两端均加工有外螺纹6，调整螺母7通过螺纹旋合方式安装在调整杆5上，且在内转盘21的两侧均分布有调整螺母7，因此，可针对细长工件1的实际长度对两个安装网板2的间距进行适当调整，比如，当需要调宽两个安装网板2的间距时，先旋转外侧的调整螺母7，使调整螺母7朝向外侧移动，调整到合适位置后，移动安装网板2至调整位置后的调整螺母7处，再转动内转盘21另一侧的调整螺母7，直到两侧的调整螺母7夹紧内转盘21；安装网板2在移动时，会带动导向滑块211沿着导向滑槽41移动，稳定性高，并且保证了旋转轴4驱动安装网板2转动的可靠性。

由附图1、附图2和附图3所示，作为一种可选的实施例，本实施例中，导向滑块211以及导向滑槽41均沿圆周方向等间隔分布有四个，稳定性高。

由附图1、附图2和附图3所示，作为一种可选的实施例，本实施例中，导向滑块211的宽度等于导向滑槽41的槽宽，即导向滑块211的外壁与导向滑槽41的内壁紧密贴合，提高了安装网板2的稳定性，以防安装网板2抖动。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型的网板工装，适用于细长工件1的真空镀膜加工，用于安装在真空镀膜机的真空镀膜腔室内，在使用时，将装置安装在真空镀膜机的真空镀膜腔室内，使细长工件1的两端分别穿插两个安装网板2的网状部24网孔，利用网状部24支撑细长工件1，在镀膜时，启动伺服电机3驱动旋转轴4和安装网板2旋转，安装网板2带动细长工件1旋转，使得细长工件1与派瑞林原料充分接触，以及涂覆均匀的效果，并且使得细长工件1之间相互隔离，避免细长工件1之间相互粘连的问题；

此外，网状部24为尼龙编织网，使得细长工件1不易粘连，翻转时在网孔内部可发生翻转位移，便于与派瑞林原料充分接触；

另外，本实用新型的工装还可针对细长工件1的实际长度对两个安装网板2的间距进行适当调整，比如，当需要调宽两个安装网板2的间距时，先旋转外侧的调整螺母7，使调整螺母7朝向外侧移动，调整到合适位置后，移动安装网板2至调整位置后的调整螺母7处，再转动内转盘21另一侧的调整螺母7，直到两侧的调整螺母7夹紧内转盘21，即可实现调整。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.网板工装，包括细长工件(1)，其特征在于：还包括安装网板(2)、伺服电机(3)和旋转轴(4)；

两个所述安装网板(2)间隔分布并安装在所述旋转轴(4)上，所述旋转轴(4)固定在所述伺服电机(3)的输出轴上用于通过伺服电机(3)驱动所述旋转轴(4)和所述安装网板(2)旋转，所述安装网板(2)包括具有中心孔的内转盘(21)、外圈(22)、连接杆(23)和网状部(24)，多个所述连接杆(23)沿圆周方向等间隔固定在所述外圈(22)与所述内转盘(21)之间，所述网状部(24)固定在所述内转盘(21)的外壁、所述外圈(22)的内壁以及两个相邻连接杆(23)组成的空间内，所述细长工件(1)的两端分别贯穿两个所述安装网板(2)的网状部(24)。

2.根据权利要求1所述的网板工装，其特征在于：所述网状部(24)为尼龙编织网。

3.根据权利要求1所述的网板工装，其特征在于：所述连接杆(23)以及所述网状部(24)均沿圆周方向等间隔分布有四个。

4.根据权利要求1所述的网板工装，其特征在于：在所述内转盘(21)的内壁固定有导向滑块(211)，在所述旋转轴(4)的外壁开设有供所述导向滑块(211)嵌入的导向滑槽(41)；还包括调整杆(5)和调整螺母(7)，在所述内转盘(21)内开设有供所述调整杆(5)贯穿的通孔(212)，在所述调整杆(5)的两端均加工有外螺纹(6)，所述调整螺母(7)通过螺纹旋合方式安装在所述调整杆(5)上，且在所述内转盘(21)的两侧均分布有调整螺母(7)。

5.根据权利要求4所述的网板工装，其特征在于：所述导向滑块(211)以及所述导向滑槽(41)均沿圆周方向等间隔分布有四个。

6.根据权利要求5所述的网板工装，其特征在于：所述导向滑块(211)的宽度等于所述导向滑槽(41)的槽宽。

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