CN215163091U - 一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，所述镀锅轨道保护结构位于真空蒸镀机的镀锅圆环形轨道的下方，镀锅轨道保护结构和镀锅圆环形轨道均位于真空蒸镀机的腔室的上部，镀锅圆环形轨道为圆环形的水平轨道，镀锅能够沿着所述镀锅圆环形轨道进行自转和公转，所述镀锅轨道保护结构包括底面、内侧面和外侧面，所述底面为水平的圆环形薄片，内侧面与外侧面为分别垂直固定在底面的里边沿与外边沿上的圆环形薄片，镀锅圆环形轨道设置在镀锅轨道保护结构内，内侧面与外侧面之间的距离大于镀锅圆环形轨道的宽度，内侧面和外侧面的高度大于等于镀锅圆环形轨道的厚度。

Description

一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构。

背景技术

真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。

在真空蒸镀的加工工艺中，先采用粗抽泵和精抽泵对真空镀膜机的腔室内抽真空，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。

为了增大镀膜的效率，现有技术在真空镀膜机的腔室内设置有3个镀锅，3个镀锅上的工件能够同时被镀膜，为了提高镀膜的均匀性，镀锅沿着镀锅圆环形轨道同时进行公转和自转，均匀性高。但是，由于在镀膜的过程中，很多汽化的蒸镀材料会被镀膜到镀锅圆环形轨道上，当镀锅圆环形轨道上的镀膜层累积过多时，镀锅圆环形轨道上的镀膜层材料会脱离形成颗粒释放到腔体中，从而污染被镀膜工件产品，并且会对镀锅的公转造成影响。由于该镀膜层的粘附性强难以清理，需要定期或者不定期更换镀锅圆环形轨道，镀锅圆环形轨道成了易耗品，成本高，并且拆卸费时。

有鉴于此，本实用新型提供一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，保护镀锅圆环形轨道不被镀膜，降低易耗品的成本，并且安装拆卸方便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，保护镀锅圆环形轨道不被镀膜，降低易耗品的成本，并且安装拆卸方便。

本申请的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，具有底面和两个垂直固定于底面的里边沿与外边沿的内侧面和外侧面，将镀锅圆环形轨道包围在所述镀锅轨道保护结构内，防止镀锅圆环形轨道被镀膜，一方面使得镀锅的转动不被影响；另一方面易耗品由镀锅圆环形轨道变成了本申请的所述镀锅轨道保护结构，镀锅圆环形轨道的材料厚实并且工艺要求高，而本申请的所述镀锅轨道保护结构为薄片并且工艺要求低，从而显著的降低了成本，本申请采用简单的方式即实现了优异的技术效果，具有大智慧；并且本申请的所述镀锅轨道保护结构安装简单、拆卸也简单，节约了加工时间成本。本申请人在此基础上完成了本申请。

一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，所述镀锅轨道保护结构1位于真空蒸镀机的镀锅圆环形轨道2的下方，镀锅轨道保护结构1和镀锅圆环形轨道2均位于真空蒸镀机的腔室的上部，镀锅圆环形轨道2为圆环形的水平轨道，镀锅能够沿着所述镀锅圆环形轨道2进行自转和公转，所述镀锅轨道保护结构1包括底面11、内侧面12和外侧面13，所述底面11为水平的圆环形薄片，内侧面12与外侧面13为分别垂直固定在底面11的里边沿与外边沿上的圆环形薄片，镀锅圆环形轨道2设置在镀锅轨道保护结构1内，内侧面12与外侧面13之间的距离大于镀锅圆环形轨道2的宽度，内侧面12和外侧面13的高度大于等于镀锅圆环形轨道2的厚度。

在一些实施方式中，所述底面11的宽度大于镀锅圆环形轨道2的宽度，底面11位于镀锅圆环形轨道2的下方。

进一步的，底面11与镀锅圆环形轨道2之间具有间隙或者不具有间隙。优选的，底面11与镀锅圆环形轨道2之间不具有间隙。

进一步的，底面11的宽度比镀锅圆环形轨道2的宽度大2-10mm。

在一些实施方式中，内侧面12与外侧面13的高度相同或者不相同。

进一步优选的，内侧面12与外侧面13的高度相同，并且内侧面12和外侧面13的高度等于镀锅圆环形轨道2的厚度。

进一步的，内侧面12和/或外侧面13与镀锅圆环形轨道2之间具有间隙。

进一步的，内侧面12与外侧面13之间的距离比镀锅圆环形轨道2的宽度大1-20mm。优选的，内侧面12与外侧面13之间的距离比镀锅圆环形轨道2的宽度大2-10mm。

在一些实施方式中，镀锅轨道保护结构1为一个整个或者由多段拼接而成。

进一步优选的，镀锅轨道保护结构1由多段拼接而成，方便安装及拆卸，镀锅轨道保护结构1被均匀的分为多个圆弧段。

进一步的，镀锅轨道保护结构1由2-6个均匀的圆弧段拼接而成。

在一些实施方式中，镀锅轨道保护结构1和镀锅圆环形轨道2与真空蒸镀机的腔室的上方面板、侧面面板、或者底面面板固定。

进一步优选的，镀锅轨道保护结构1和镀锅圆环形轨道2与真空蒸镀机的腔室的上方面板固定，通过垂直柱穿过镀锅轨道保护结构1和镀锅圆环形轨道2将其与真空蒸镀机的腔室的上方面板固定，垂直柱有多个。优选的，垂直柱有2-12个。

进一步的，镀锅轨道保护结构1的底面11具有通孔，或者镀锅轨道保护结构1的外侧面13具有多个半圆形突出部131、并且半圆形突出部131的底部具有通孔，从而使得垂直柱能够穿过镀锅轨道保护结构1将其与真空蒸镀机的腔室的上方面板固定。

在一些实施方式中，所述镀锅轨道保护结构1的材质为铝合金或者不锈钢。

进一步的，所述镀锅轨道保护结构1的底面11、内侧面12和外侧面13的厚度为1-5mm。

附图说明

图1为本申请的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构及真空蒸镀机的腔室的结构示意图。

图2为本申请的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构及镀锅圆环形轨道2的结构示意图。

图3为本申请的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构及镀锅圆环形轨道2的爆炸图。

图4本申请的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构的结构示意图。

主要元件符号说明：

镀锅轨道保护结构1、镀锅圆环形轨道2、底面11、内侧面12、外侧面13、半圆形突出部131。

具体实施方式

描述以下实施例以辅助对本申请的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本申请的保护范围。

在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。

同时，组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

实施例1：

一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，如图1至图4所示，所述镀锅轨道保护结构1位于真空蒸镀机的镀锅圆环形轨道2的下方，镀锅轨道保护结构1和镀锅圆环形轨道2均位于真空蒸镀机的腔室的上部，镀锅圆环形轨道2为圆环形的水平轨道，镀锅能够沿着所述镀锅圆环形轨道2进行自转和公转，所述镀锅轨道保护结构1包括底面11、内侧面12和外侧面13，所述底面11为水平的圆环形薄片，内侧面12与外侧面13为分别垂直固定在底面11的里边沿与外边沿上的圆环形薄片，镀锅圆环形轨道2设置在镀锅轨道保护结构1内，内侧面12与外侧面13之间的距离大于镀锅圆环形轨道2的宽度，内侧面12和外侧面13的高度大于等于镀锅圆环形轨道2的厚度。

所述底面11的宽度大于镀锅圆环形轨道2的宽度，底面11位于镀锅圆环形轨道2的下方，底面11的宽度比镀锅圆环形轨道2的宽度大3mm。底面11与镀锅圆环形轨道2之间不具有间隙，内侧面12与外侧面13的高度相同，并且内侧面12和外侧面13的高度等于镀锅圆环形轨道2的厚度。内侧面12和外侧面13与镀锅圆环形轨道2之间具有间隙。内侧面12与外侧面13之间的距离比镀锅圆环形轨道2的宽度大5mm。镀锅轨道保护结构1由多段拼接而成，方便安装及拆卸，镀锅轨道保护结构1被均匀的分为多个圆弧段。镀锅轨道保护结构1由4个均匀的圆弧段拼接而成。镀锅轨道保护结构1和镀锅圆环形轨道2与真空蒸镀机的腔室的上方面板固定，通过垂直柱穿过镀锅轨道保护结构1和镀锅圆环形轨道2将其与真空蒸镀机的腔室的上方面板固定，垂直柱有4个。镀锅轨道保护结构1的外侧面13具有多个半圆形突出部131、并且半圆形突出部131的底部具有通孔，从而使得垂直柱能够穿过镀锅轨道保护结构1将其与真空蒸镀机的腔室的上方面板固定。所述镀锅轨道保护结构1的材质为铝合金，所述镀锅轨道保护结构1的底面11、内侧面12和外侧面13的厚度为1mm。

实施例2：

一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，如图1-图3所示，所述镀锅轨道保护结构1位于真空蒸镀机的镀锅圆环形轨道2的下方，镀锅轨道保护结构1和镀锅圆环形轨道2均位于真空蒸镀机的腔室的上部，镀锅圆环形轨道2为圆环形的水平轨道，镀锅能够沿着所述镀锅圆环形轨道2进行自转和公转，所述镀锅轨道保护结构1包括底面11、内侧面12和外侧面13，所述底面11为水平的圆环形薄片，内侧面12与外侧面13为分别垂直固定在底面11的里边沿与外边沿上的圆环形薄片，镀锅圆环形轨道2设置在镀锅轨道保护结构1内，内侧面12与外侧面13之间的距离大于镀锅圆环形轨道2的宽度，内侧面12和外侧面13的高度大于等于镀锅圆环形轨道2的厚度。

所述底面11的宽度大于镀锅圆环形轨道2的宽度，底面11位于镀锅圆环形轨道2的下方。底面11的宽度比镀锅圆环形轨道2的宽度大8mm。底面11与镀锅圆环形轨道2之间具有间隙。内侧面12与外侧面13的高度不相同。内侧面12和外侧面13的高度大于镀锅圆环形轨道2的厚度。内侧面12或外侧面13与镀锅圆环形轨道2之间具有间隙。内侧面12与外侧面13之间的距离比镀锅圆环形轨道2的宽度大8mm。镀锅轨道保护结构1为一个整个。镀锅轨道保护结构1和镀锅圆环形轨道2与真空蒸镀机的腔室的上方面板固定，通过垂直柱穿过镀锅轨道保护结构1和镀锅圆环形轨道2将其与真空蒸镀机的腔室的上方面板固定，垂直柱有6个。镀锅轨道保护结构1的底面11具有通孔，从而使得垂直柱能够穿过镀锅轨道保护结构1将其与真空蒸镀机的腔室的上方面板固定。所述镀锅轨道保护结构1的材质为不锈钢，所述镀锅轨道保护结构1的底面11、内侧面12和外侧面13的厚度为3mm。

尽管本申请已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。本申请公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本申请，本申请的实际保护范围以权利要求为准。

Claims (10)

1.一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，其特征在于，所述镀锅轨道保护结构(1)位于真空蒸镀机的镀锅圆环形轨道(2)的下方，镀锅轨道保护结构(1)和镀锅圆环形轨道(2)均位于真空蒸镀机的腔室的上部，镀锅圆环形轨道(2)为圆环形的水平轨道，镀锅能够沿着所述镀锅圆环形轨道(2)进行自转和公转，所述镀锅轨道保护结构(1)包括底面(11)、内侧面(12)和外侧面(13)，所述底面(11)为水平的圆环形薄片，内侧面(12)与外侧面(13)为分别垂直固定在底面(11)的里边沿与外边沿上的圆环形薄片，镀锅圆环形轨道(2)设置在镀锅轨道保护结构(1)内，内侧面(12)与外侧面(13)之间的距离大于镀锅圆环形轨道(2)的宽度，内侧面(12)和外侧面(13)的高度大于等于镀锅圆环形轨道(2)的厚度。

2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，其特征在于，所述底面(11)的宽度大于镀锅圆环形轨道(2)的宽度，底面(11)位于镀锅圆环形轨道(2)的下方。

3.如权利要求2所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，其特征在于，底面(11)与镀锅圆环形轨道(2)之间具有间隙或者不具有间隙。

4.如权利要求1所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，其特征在于，内侧面(12)与外侧面(13)的高度相同或者不相同。

5.如权利要求4所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，其特征在于，内侧面(12)与外侧面(13)的高度相同，并且内侧面(12)和外侧面(13)的高度等于镀锅圆环形轨道(2)的厚度。

6.如权利要求4所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，其特征在于，内侧面(12)和/或外侧面(13)与镀锅圆环形轨道(2)之间具有间隙。

7.如权利要求6所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，其特征在于，内侧面(12)与外侧面(13)之间的距离比镀锅圆环形轨道(2)的宽度大1-20mm。

8.如权利要求1所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，其特征在于，镀锅轨道保护结构(1)为一个整个或者由多段拼接而成。

9.如权利要求8所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，其特征在于，镀锅轨道保护结构(1)由多段拼接而成，镀锅轨道保护结构(1)被均匀的分为多个圆弧段。

10.如权利要求1所述的真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构，其特征在于，镀锅轨道保护结构(1)和镀锅圆环形轨道(2)与真空蒸镀机的腔室的上方面板、侧面面板、或者底面面板固定。

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