CN110850126A - 检测系统、探针装置及面板检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了检测系统、探针装置及面板检测方法。一种探针装置、包含有该探针装置的检测系统及利用该探针装置对面板的晶体管进行漏电流检测的面板检测方法。探针装置包含有多个第一探针及至少一个第二探针，第一探针及第二探对应通过第一电连接线及第二电连接线电性连接检测系统的检测设备。当多个第一探针接触面板的晶体管，以进行漏电流检测时，第二探针不与面板相接触。检测设备将可依据第一探针的量测结果及第二探针的量测结果，对应产生一结果信息。相关人员或是计算机设备，将可依据结果信息，而更精确地得知第一探针的量测结果。

Description

检测系统、探针装置及面板检测方法

技术领域

本发明涉及一种检测系统、探针装置及检测方法，特别是一种适用于晶体管的漏电流检测的检测系统、探针装置及面板检测方法。

背景技术

随着显示面板的晶体管的尺寸越来越小，晶体管的漏电流的数值也越来越小，而以现有的相关检测设备，对尺寸相对较小的晶体管进行漏电流检测时，漏电流的信号往往会混杂于环境噪声中，而不易被分辨；换言之，相关计算机设备或是人员，并无法从探针所量测出包含有环境噪声的检测信号中，分离出正确的漏电流信号。然，显示面板的晶体管的数量庞大，纵使单一个晶体管仅产生微量的漏电流，但所有晶体管产生的漏电流加总时，将会对显示面板造成明显的影响。是以，对于相关检测厂商而言，如何有效地检测出尺寸相对较小的晶体管的漏电流信号，成为了急需解决的问题之一。

前述环境噪声之来源有设备之动力源(马达)或环境负压所需之真空马达等等诸多自动化设备之必要组件，其因驱动控制而产生电力变化，因而对检测线材诱发出会干扰检测结果之环境噪声；再者，待测物上不同位置之环境噪声不同，假若单纯以某一个量化值来代表待测物上不同位置之环境噪声，则其量测结果不够客观及正确。

也就是说，现有的显示面板的晶体管漏电流检测设备，无法正确地量测出晶体管的漏电流，而相关人员在无法量测晶体管的漏电流的情况下，将无法对显示面板的相关构件进行改良设计，以控制各晶体管所产生的漏电流的情况。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种检测系统、探针装置及面板检测方法，通过第二探针的设置，检测设备将可由第二探针所量测的环境信号，而更有效地解析第一探针量测待测件的检测结果。

为了实现上述目的，本发明提供一种检测系统，其用以对一待测件进行一检测作业，该检测系统包含：一检测设备，其包含有至少一处理装置；一探针装置，其电性连接该检测设备，该探针装置包含：一本体；多个第一探针，其设置于该本体，多个该第一探针的部分外露于该本体，多个该第一探针通过多个第一电连接线电性连接至该检测设备；至少一个第二探针，其设置于该本体，该第二探针通过一第二电连接线电性连接至该检测设备；其中，多个该第一探针接触该待测件的多个待测位置，以与该待测件电性连接，而进行该检测作业时，该第二探针不与该待测件电性连接，该处理装置能依据多个该第一探针所量测的结果及该第二探针所量测的结果，产生一结果信息。

优选地，各个该第一电连接线与该第二电连接线选用相同材质，且各个该第一电连接线与该第二电连接线具有相同的布线路径；该第二探针的部分外露于该本体。

优选地，该处理装置能依据该第二探针所量测的结果，对应消除该第一探针所量测的结果中存在的部分噪声，以产生该结果信息。

优选地，该待测件为一面板，该面板包含有多个晶体管，多个该第一探针用以检测该面板的各个该晶体管。

优选地，该第二探针的部分外露于该本体，该第二探针外露于该本体的长度，不大于各个该第一探针外露于该本体的长度；或者该第一探针外露于该本体的长度与该第二探针外露于该本体的长度相同，而外露于该本体的第一探针相对于该本体的角度，与外露于该本体的第二探针相对于该本体的角度不同。

为了实现上述目的，本发明还提供一种探针装置，其电性连接一检测设备，该探针装置用以对一待测件进行一检测作业，该探针装置包含：一本体；多个第一探针，其设置于该本体，多个该第一探针的部分外露于该本体，多个该第一探针通过多个第一电连接线电性连接至该检测设备；至少一个第二探针，其设置于该本体，该第二探针通过一第二电连接线电性连接至该检测设备；其中，当多个该第一探针接触该待测件，以电性连接该待测件，而对该待测件进行该检测作业时，该第二探针不与该待测件电性连接。

优选地，各个该第一电连接线与该第二电连接线选用相同材质，且各个该第一电连接线与该第二电连接线具有相同的布线路径；该第二探针的部分外露于该本体。

优选地，该待测件为一面板，多个该第一探针用以检测该面板的晶体管。

为了发明上述目的，本发明更提供一种面板检测方法，其用以检测一面板的至少一个晶体管的漏电流，该面板检测方法包含：一接触步骤：控制一探针装置移动至该面板的其中一个该晶体管的位置，并使该探针装置的多个第一探针对应接触于该晶体管的多个预定脚位；当多个该第一探针对应接触于该晶体管的多个该预定脚位时，该探针装置的至少一个第二探针不与该面板电性连接；一检测步骤：利用多个该第一探针，对该晶体管进行一多个漏电流检测作业；一解析步骤：利用一处理装置，依据该第二探针于多个该第一探针进行该漏电流检测作业时所量测得到的一环境信号，与多个该第一探针对该晶体管进行该漏电流检测作业所得到的一检测信号进行运算，以产生一结果信息。

优选地，该探针装置电性连接至一检测设备，该探针装置的各个该第一探针通过一第一电连接线连接至该检侧设备，该探针装置的该第二探针通过一第二电连接线连接至该检测设备，各个该第一电连接线与该第二电连接线选用相同材质，且各个该第一电连接线与该第二电连接线具有相同的布线路径。

本发明的有益效果可以在于：通过不会与待测件(面板)相接触的第二探针的设置，将可在第一探针对待测件进行检测作业时，收集到环境信号，从而可以利用环境信号与第一探针量测待测件所得的检测信号，以对应产生一结果信息，而相关人员或计算机设备，将可通过该结果信息，更精确地得知第一探针量测该待测件的结果。

附图说明

图1为本发明的检测系统的示意图。

图2为本发明的检测系统的方块示意图。

图3为本发明的探针装置接触于待测件的示意图。

图4为本发明的探针装置的另一实施例的示意图。

图5为本发明的面板检测方法的流程示意图。

具体实施方式

请一并参阅图1至图3，图1为本发明的检测系统的示意图，图2为本发明的检测系统的方块示意图，图3为本发明的探针装置的示意图。如图所示，检测系统100包含一检测设备10及一探针装置20。探针装置20电性连接检测设备10，探针装置20用以量测待测件D(例如显示面板的晶体管)的电气特性。检测设备10包含有一处理装置11，处理装置11能接收探针装置20所传递的量测结果信号，并据以进行分析，从而对应产生一结果信息111。在具体应用中，检测设备10可以是包含有显示屏幕，而检测设备10可以是以数据、图式等方式，将结果信息111呈现于显示屏幕，以供相关人员观看。当然，检测设备10也可以是将相关结果信息111，传递至远程服务器，而相关人员可以是通过远程服务器取得结果信息111。该检测设备10例如是计算机系统等，其可提供测试所需之信号或接收探针装置20所传来之信号，于此不加以限制。

探针装置20包含有一本体21、多个第一探针22及一第二探针23。多个第一探针22设置于本体21，多个第一探针22的部分外露于本体21，多个第一探针22通过多个第一电连接线24电性连接至检测设备10。第二探针23设置于本体21，第二探针23通过一第二电连接线25电性连接至检测设备10。其中，各个第一电连接线24与第二电连接线25选用相同材质；各个第一电连接线24与第二电连接线25具有相同的布线路径，也就是说，各个第一电性连接线24及第二电连接线25连接至检测设备10的长度、姿态(例如电连接线的弯曲状态)等皆大致相同。关于第一探针22的数量及其尺寸，可以是依据需求加以变化，于此不加以限制；但须强调的是，本实施例所指的探针装置20特别是用以检测显示面板的晶体管的探针。

由于该第一探针22通过第一电连接线24而电性连接该检测设备10；该第二探针23通过第二电连接线25而电性连接该检测设备10，该第二探针23的部分外露于本体21，且该第一电连接线24与第二电连接线25具有大致相同之长度、姿态，因此，当第一探针22在对待测件D上不同位置进行量测时，该第二探针23亦能实时测得对应该位置上之环境信号。

又，前述第一电连接线24与第二电连接线25设于同一缆线轨道(cable track)而具有相同的布线路径。

如图3所示，于本实施例中，是以探针装置20仅包含有单一个第二探针23，且第二探针23是对应设置于邻近于本体21的外围处，但，第二探针23的数量及其相对于多个第一探针22的设置位置，不以图中所示为限；在不同的应用中，本体21也可以是设置有2个以上的第二探针23，且第二探针23也可以是对应位于多个第一探针22中。

图3显示为探针装置20对待测件D(例如面板的晶体管)进行检测的示意图。当探针装置20对待测件D进行检测时，多个第一探针22将对应接触于待测件D的多个待测位置，而第二探针23将不会接触于待测件D。

在具体的应用中，第一探针22及第二探针23的外型及其相对外露于本体21的长度，可以是依据需求设计，于此不加以限制，甚至第二探针23仅架设于本体21而未外露于本体21，而只要第二探针23在各个第一探针22接触于待测件D的待测位置时，第二探针23不会接触待测件，无论第一探针22及第二探针23为何种外型、长度，皆应属于本发明的实施范围中。

请一并参阅图3及图4，其显示为第一探针22及第二探针23与本体21相连接，且第一探针22接触于待测件D的待检测位置时的不同实施例的示意图。如图3所示，在其中一实施例中，第二探针23外露于本体21外的长度，可以是小于第一探针22外露于本体21外的长度，而当第一探针22与待测件D的待检测位置相接触时，第二探针23将不会与待测件D相接触。如图4所示，在另一实施例中，第二探针23及第一探针22外露于本体21外的长度可以是大致相同，但第二探针23相对于本体21的连接角度，是大于第一探针22连接于本体21的角度，而当第一探针22与待测件D的待测位置相接触时，第二探针23是不会接触于待测件D。当然，如何在第一探针22与待测件D相接触时，使第二探针23不接触于待测件D的方式，可以是依据需求变化，不局限于上述两种实施例的方式。

请复参图1至图3，当多个第一探针22接触于待测件D的多个待测位置，以进行相关检测时，各第一探针22对待测件D进行检测所对应产生的电信号，将通过相对应的第一电连接线24传递至检测设备10。相对地，第一探针22接触于待测件D时，检测设备10亦可通过第一电连接线24及第一探针22以传递相关的电信号至待测件D。

本发明的检测系统100及探针装置20可以是用来检测显示面板的多个晶体管的漏电流。探针装置20在对面板的各个晶体管进行漏电流检测时，可以是三个第一探针22对应接触单一个晶体管的三个接脚，处理装置11可以是先通过相对应的两个第一电连接线24及相对应两个第一探针22传递电信号至晶体管的其中两个接脚，再通过另一个第一探针22及相对应的第一电连接线24量测晶体管的漏电流。

检测设备10的处理装置11能同时接收来自各个第一探针22通过第一电连接线24所传递的信号及第二探针23通过第二电连接线25所传递的信号，而处理装置11能依据第二探针23所量测的一环境信号231，及各第一探针22所量测的一检测信号221，对应解析出检测信号221中，实际量测到的漏电流信号。也就是说，第二探针23所量测的环境信号231，将可作为处理装置11解析第一探针22所量测的检测信号221中的噪声信号的参考信息，而处理装置11将可据以由第一探针22所量测的检测信号221中分离出真正地漏电流信息。

在具体应用中，处理装置11依据多个第一探针22及第二探针23所量测的结果，对应产生的结果信息111，可以是包含有已经分离出真正的漏电流信息的信息。也就是说，处理装置11可以是依据第二探针23所量测的环境信号231，据以消除第一探针22所量测的检测信号221中所存在的部分噪声，从而产生结果信息111。

请参阅图5，为本发明的面板检测方法的流程示意图。本发明的面板检测方法用以检测一面板上的多个晶体管的漏电流，面板检测方法包含以下步骤：

一接触步骤S1：控制一探针装置移动至面板的其中一个晶体管的位置，并使探针装置的多个第一探针对应接触于该晶体管的多个预定脚位；当多个第一探针对应接触于多个该预定脚位时，探针装置的至少一个第二探针不与面板相接触；

一检测步骤S2：利用多个第一探针，对多个晶体管进行一漏电流检测作业；

一解析步骤S3：利用一处理装置，依据第二探针于多个第一探针进行漏电流检测作业时所量测得到的一环境信号，与多个第一探针对该晶体管进行漏电流检测作业所得到的一检测信号进行运算，以产生一结果信息。

在上述流程步骤中该探针装置、第一探针、第二探针及处理装置的具体实施方式，可以是与前述实施例相同，但不以其为限。在接触步骤S1中，可以是多个第一探针同时接触多个晶体管的多个预定脚位，也可以是多个第一探针仅接触一个晶体管的多个预定脚位，于此不加以限制。换言之，在接触步骤S1中，探针装置可以是仅接触单一个晶体管的多个预定脚位，或者可以是同时接触两个以上的晶体管的多个预定脚位。

在不同的应用中，探针装置可以是包含有两个以上的第二探针，且各个第二探针在该接触步骤S1中，皆不会与面板相接触。探针装置的第一探针与第二探针的数量、外型、彼此间的排列方式等，可以是依据需求变化，于此不加以限制。

在具体应用中，探针装置电性连接至一检测设备，探针装置的各个第一探针通过一第一电连接线连接至检侧设备，探针装置的第二探针通过一第二电连接线连接至检测设备，各个第一电连接线与第二电连接线选用相同材质，且各个第一电连接线与第二电连接线具有相同的布线路径。

在检测步骤S2中，探针装置可以是配合检测设备，同时对多个晶体管进行漏电流检测，但不以此为限。在特殊的应用中，探针装置可以是配合检测设备，而对多个晶体管逐一地进行漏电流检测。

在解析步骤S3中，处理装置可以是整合于检测设备中，处理装置例如可以是计算机设备、处理器等，于此不加以限制。该解析步骤S3在具体的实施中，处理装置可以是以第二探针所量测的环境信号为参考信息，对应解析多个第一探针对单一个晶体管进行漏电流检测所得的检测信号，从而去除该检测信号中至少一部的噪声，据以更精确地解析出各个晶体管的漏电流。

又，前述之各实施例中，该探针装置20可选择设置于一移动机构(图未显示)，而该移动机构可为一多轴机械手臂或龙门机构，而可令该探针装置20相对待测件D移动。综上所述，本发明的面板检测方法，通过第二探针所产生的环境信号，将于检测信号中，更精确地解析出各晶体管的漏电流值。

以上所述仅为本发明的较佳可行实施例，非因此局限本发明的专利范围，故举凡运用本发明说明书及图式内容所做的等效技术变化，均包含于本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种检测系统，其特征在于，所述检测系统用以对一待测件进行一检测作业，所述检测系统包含：

一检测设备，包含有至少一处理装置；

一探针装置，电性连接所述检测设备，所述探针装置包含：

一本体；

多个第一探针，设置于所述本体，所述第一探针的一部分外露于所述本体，多个所述第一探针通过多个第一电连接线电性连接至所述检测设备；

至少一个第二探针，设置于所述本体，所述第二探针通过一第二电连接线电性连接至所述检测设备；

其中，多个所述第一探针接触所述待测件的多个待测位置，以与所述待测件电性连接，进行所述检测作业时，所述第二探针不与所述待测件电性连接，所述处理装置能依据多个所述第一探针所量测的结果及所述第二探针所量测的结果，产生一结果信息。

2.依据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，各个所述第一电连接线与所述第二电连接线选用相同材质，且各个所述第一电连接线与所述第二电连接线具有相同的布线路径；所述第二探针的一部分外露于所述本体。

3.依据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述处理装置能依据所述第二探针所量测的结果，对应消除所述第一探针所量测的结果中存在的部分噪声，以产生所述结果信息。

4.依据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述待测件为一面板，所述面板包含有多个晶体管，多个所述第一探针用以检测所述面板的各个所述晶体管。

5.依据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述第二探针的一部分外露于所述本体，所述第二探针外露于所述本体的长度不大于各个所述第一探针外露于所述本体的长度；或者所述第一探针外露于所述本体的长度与所述第二探针外露于所述本体的长度相同，外露于所述本体的第一探针相对于所述本体的角度，与外露于所述本体的第二探针相对于所述本体的角度不同。

6.一种探针装置，其特征在于，所述探针装置电性连接一检测设备，所述探针装置用以对一待测件进行一检测作业，所述探针装置包含：

一本体；

多个第一探针，设置于所述本体，多个所述第一探针的一部分外露于所述本体，多个所述第一探针通过多个第一电连接线电性连接至所述检测设备；

至少一个第二探针，设置于所述本体，所述第二探针通过一第二电连接线电性连接至所述检测设备；

其中，当多个所述第一探针接触所述待测件，以电性连接所述待测件，对所述待测件进行所述检测作业时，所述第二探针不与所述待测件电性连接。

7.依据权利要求6所述的探针装置，其特征在于，各个所述第一电连接线与所述第二电连接线选用相同材质，且各个所述第一电连接线与所述第二电连接线具有相同的布线路径；所述第二探针的一部分外露于所述本体。

8.依据权利要求6所述的探针装置，其特征在于，所述待测件为一面板，多个所述第一探针用以检测所述面板的晶体管。

9.一种面板检测方法，其特征在于，所述面板检测方法用以检测一面板的至少一个晶体管的漏电流，所述面板检测方法包含：

一接触步骤：控制一探针装置移动至所述面板的其中一个所述晶体管的位置，并使所述探针装置的多个第一探针对应接触于所述晶体管的多个预定脚位；当多个所述第一探针对应接触于所述晶体管的多个所述预定脚位时，所述探针装置的至少一个第二探针不与所述面板电性连接；

一检测步骤：利用多个所述第一探针，对所述晶体管进行多个漏电流检测作业；

一解析步骤：利用一处理装置，依据所述第二探针在多个所述第一探针进行所述漏电流检测作业时所量测得到的一环境信号，与多个所述第一探针对所述晶体管进行所述漏电流检测作业所得到的一检测信号进行运算，以产生一结果信息。

10.依据权利要求9所述的面板检测方法，其特征在于，所述探针装置电性连接至一检测设备，所述探针装置的各个所述第一探针通过一第一电连接线连接至所述检侧设备，所述探针装置的所述第二探针通过一第二电连接线连接至所述检测设备，各个所述第一电连接线与所述第二电连接线选用相同材质，且各个所述第一电连接线与所述第二电连接线具有相同的布线路径。

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