CN110824846B - 一种烘烤装置及一种显示面板的制作方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种烘烤装置及一种显示面板的制作方法，烘烤装置用于对显示面板进行烘烤，以去除显示面板中的有机溶剂，该烘烤装置包括：烤箱、管道、加热装置和排气扇，烤箱用于放置显示面板，烤箱开设有通风口，管道与通风口连通，加热装置与管道连接，加热装置用于加热管道，排气扇朝向通风口，排气扇用于将烤箱中的气体从管道中排出。本发明的烘烤装置能够减小有机溶剂在管道内壁凝结，增大设备的使用年限。

Description

一种烘烤装置及一种显示面板的制作方法
技术领域
本发明涉及光刻工艺的技术领域，特别是涉及一种烘烤装置及一种显示面板的制作方法。
背景技术
光刻工艺中会用到烘烤装置对光阻进行烘烤，以除去光阻中有机溶剂之目的，蒸发出来的有机溶剂再通过排气抽走。目前烘烤装置的排气管道由于处于室温环境，排出来热的有机溶剂容易在管道内壁凝结，时间久了(一般量产2年后)会使排气管道孔径变小，严重影响排气效果。排气效果降低，有机溶剂无法及时排走，会在烘房中停留、二次凝结，造成烘房室内环境污染，产品异常等危害。
发明内容
本发明提供了一种烘烤装置及一种显示面板的制作方法，以解决现有技术中有机溶剂凝结在管道内壁的问题。
为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种烘烤装置，该烘烤装置用于对显示面板进行烘烤，以去除显示面板中的有机溶剂，该烘烤装置包括：烤箱、管道、加热装置和排气扇，烤箱用于放置显示面板，烤箱开设有通风口，管道与通风口连通，加热装置与管道连接，加热装置用于加热管道，排气扇朝向通风口，排气扇用于将烤箱中的气体从管道中排出。
可选的，加热装置包括电阻丝，电阻丝设置在管道内，电阻丝用于加热管道内的气体。
可选的，加热装置包括电阻丝，电阻丝设置在管道的外壁上，电阻丝用于加热管道。
可选的，加热装置还包括导热硅胶件，电阻丝与导热硅胶件连接，导热硅胶件与管道连接。
可选的，管道包括第一管和第二管，第一管嵌套于第二管中，排气扇用于将烤箱中的气体从第一管和第二管中排出。
可选的，加热装置包括电阻丝，电阻丝设置在第一管和第二管之间，电阻丝用于加热第一管和第二管之间的气体。
可选的，加热装置包括电阻丝，电阻丝设置在第一管内，电阻丝用于加热第一管内的气体。
可选的，加热装置还包括导热硅胶件，电阻丝与导热硅胶件连接，导热硅胶件与第一管连接。
制作方法包括在玻璃基板上涂布形成光阻层，烘烤装置对光阻层进行烘烤，电性导通排气扇和加热装置，以将烤箱中的气体从被加热的管道中排出。
烘烤装置还包括温控器和处理器，处理器分别与加热装置和温控器电性连接，制作方法还包括温控器检测管道的温度，并生成第一控制信号，处理器响应于第一控制信号，以控制加热装置的通电状态。
本发明的有益效果为：烘烤装置包括：烤箱、管道、加热装置和排气扇，烤箱用于放置显示面板，烤箱开设有通风口，管道与通风口连通，加热装置与管道连接，加热装置用于加热管道，排气扇朝向通风口，排气扇用于将烤箱中的气体从管道中排出。本发明的烘烤装置能够减小有机溶剂在管道内壁凝结，增大设备的使用年限。
附图说明
图1是本发明提供的烘烤装置的一实施例的结构示意图；
图2是本发明提供的烘烤装置的另一实施例的结构示意图；
图3是本发明提供的烘烤装置的管道的截面示意图；
图4是本发明提供的显示面板的制作方法的一实施例的流程示意图；
图5是本发明提供的显示面板的制作方法的另一实施例的流程示意图；
图6是本发明提供的烘烤装置的一实施例的工作原理示意图。
具体实施方式
下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本发明的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
请参阅图1，图1是本发明提供的烘烤装置100的一实施例的结构示意图。
本发明首先提供一种烘烤装置100,烘烤装置100用于对显示面板进行烘烤，具体地，显示面板在制作的多个步骤中，需要对显示面板进行加热，以去除有机溶剂，例如，在制作光阻时，首先将光阻溶液涂覆于基板上，然后通过烘烤装置100将光阻溶液中的有机溶液蒸发出去形成光阻层；在喷墨打印显示面板中的有机发光二极管时，首先将墨水逐滴滴入像素定义层的凹槽中，然后通过烘烤装置100将墨水中的有机溶液蒸发出去形成有机发光二极管。但是目前处于气态的有机溶剂可能会再次在接触到显示面板时液化，从而造成不同有机溶剂的混杂，而使显示面板出现不良率。
烘烤装置100用于对显示面板的光阻层200进行烘烤，以去除光阻层200中的有机溶剂，烘烤装置100包括烤箱110、管道120、加热装置130和排气扇140，烤箱110用于放置显示面板，以对显示面板进行烘烤，烤箱110开设有通风口，管道120与通风口连通，加热装置130与管道120连接，加热装置130用于加热管道120，排气扇140朝向通风口，排气扇140用于将烤箱110中的气体从管道120中排出，烤箱110用于对显示面板的光阻层200进行烘烤，烘烤产生的有机溶剂通过管道120，加热装置130用于加热管道120，防止经过管道120的有机溶剂液化在管道120的内壁上，排气扇140将有机溶剂通过通风口排出。
在一实施例中，加热装置130包括电阻丝131，可选的，电阻丝131可以设置在管道120内，电阻丝131用于加热管道120内的气体，当烘烤装置100对显示面板的光阻层200进行烘烤时，电阻丝131提前对管道120进行预热，使得管道120内具备一定的温度，这时由于管道120内具备一定的温度，有机溶剂通过时不会产生液化从而在管道120内壁凝结，使得管道120不会由于有机溶剂液化堆积在管道120内壁造成管道120内壁孔径变小，造成的排泄不畅，可以在长时间使用时仍然可以保持良好的排气效果。
在另一实施例中，加热装置130包括电阻丝131，可选的，电阻丝131可以设置在管道120的外壁上，电阻丝131用于加热管道120，当烘烤装置100对显示面板的光阻层200进行烘烤时，电阻丝131提前对管道120外壁进行预热，通过热传递的形式使得管道120内具备一定的温度，这时由于管道120内具备一定的温度，有机溶剂通过管道120时不会液化，从而避免处于气态下的有机溶剂在管道120内壁凝结，进而使得管道120不会由于有机溶剂液化堆积在管道120内壁造成管道120内壁孔径变小，造成的排泄不畅，可以在长时间使用时仍然可以保持良好的排气效果。
请参阅图2，图2是本发明提供的烘烤装置100的另一实施例的结构示意图。
加热装置130还包括导热硅胶件132，电阻丝131与导热硅胶件132连接，导热硅胶件132与管道120连接，导热硅胶件132可以设置在管道120的内部，导热硅胶件132也可以设置在管道120的外壁上，电阻丝131加热通过热传递使得导热硅胶件132具备温度对管道120进行加热，这样可以避免电阻丝131直接接触管道120，间接性的对管道120进行加热使得管道120的温度上升较慢，便于控制温度，可以使得管道120内的温度不会产生骤增或者骤降。
可选的，在管道120内温度过低时，电阻丝131对导热硅胶件132进行加热，当温度上升到标定温度的下限时，电阻丝131可以停止加热，这时由于导热硅胶件132还具备一定的温度，可以对管道120起到一个很好的保温作用，在温度不足时，电阻丝131再继续加热。
可选的，在管道120内温度过高时，电阻丝131对导热硅胶件132停止加热，当温度快要超过标定温度或者已经达到标定温度的上限时，停止电阻丝131加热，这时由于导热硅胶件132还有温度，可以保持管道120内一端时间的温度，可以避免由于电阻丝131停止加热而使得管道120内温度的骤降，在管道120内温度下降时，电阻丝131再工作对导热硅胶套进行加热。
请参阅图1、图3，图3是本发明提供的烘烤装置100的管道120的截面示意图。
管道120包括第一管121和第二管122，第一管121嵌套于第二管122中，排气扇140用于将烤箱110中的气体从第一管121和第二管122中排出，第一管121用于允许掺杂有机溶剂的气体通过，第二管122也用于允许掺杂有机溶剂的气体通过，第二管122内的有机溶剂在遇到第一管121的外壁时液化放热，从而对第一管进行加热，进而防止第一管121内的气态有机溶剂液化于第一管121的内壁上。
另外，由于具备第二管122，可以对第一管121进行保温，使得第一管121中的温度不会下降的那么快，可以减少有机溶剂液化在管道120内壁凝结而造成的管道120孔径变小。
在一实施例中，加热装置130包括电阻丝131，电阻丝131设置在第一管121和第二管122之间，电阻丝131用于加热第一管121和第二管122之间的气体，在第一管121和第二管122之间还可以有许多间隔件123，当第二管122为柔性的第二管122时，间隔件123可以有效的对第一管121和第二管122进行隔开，确保第一管121和第二管122之间的距离不变。
在另一实施例中，加热装置130包括电阻丝131，电阻丝131设置在第一管121内，电阻丝131用于加热第一管121内的气体，烘烤装置100对显示面板的光阻层200进行烘烤时，电阻丝131提前对管道120进行预热，使得管道120内具备一定的温度，这时由于管道120内具备一定的温度，有机溶剂通过时不会产生液化从而在管道120内壁凝结，使得管道120不会由于有机溶剂液化堆积在管道120内壁造成管道120内壁孔径变小，造成的排泄不畅，可以在长时间使用时仍然可以保持良好的排气效果。
可选地，加热装置130还包括导热硅胶件132，电阻丝131与导热硅胶件132连接，导热硅胶件132与第一管121连接，导热硅胶件132可以与第一管121的内壁连接，导热硅胶件132也可以与第一管121的外壁连接，电阻丝131加热通过热传递使得导热硅胶件132具备温度对管道120进行加热，这样可以避免电阻丝131直接接触管道120，间接性的对管道120进行加热使得管道120的温度上升较慢，便于控制温度，可以使得管道120内的温度不会产生骤增或者骤降。
请参阅图1和图4，图4是本发明提供的显示面板的制作方法的一实施例的流程示意图。
M101：在玻璃基板上涂布形成光阻层200。
M102：烘烤装置100对光阻层200进行烘烤。
烘烤装置100用于对显示面板的光阻层200进行烘烤，以去除光阻层200中的有机溶剂。烘烤装置100包括烤箱110、管道120、加热装置130和排气扇140，烤箱110用于放置显示面板，以对显示面板进行烘烤，烤箱110开设有通风口，管道120与通风口连通，加热装置130与管道120连接。
M103：电性导通排气扇140和加热装置130，以将烤箱110中的气体从被加热的管道120中排出。
电性导通排气扇140和加热装置130，加热装置130用于加热管道120，排气扇140朝向通风口，排气扇140用于将烤箱110中的气体从管道120中排出。烘烤产生的有机溶剂通过管道120，加热装置130用于加热管道120，防止经过管道120的有机溶剂液化在管道120的内壁上，排气扇140将有机溶剂通过通风口排出。
具体地，加热装置130可以包括电阻丝131，电阻丝131可以设置在管道120内，电阻丝131用于加热管道120内的气体，当烘烤装置100对显示面板的光阻层200进行烘烤时，电阻丝131提前对管道120进行预热，使得管道120内具备一定的温度，这时由于管道120内具备一定的温度，有机溶剂通过时不会产生液化从而在管道120内壁凝结。
电阻丝还可以设置在管道120的外壁上，电阻丝131用于加热管道120，当烘烤装置100对显示面板的光阻层200进行烘烤时，电阻丝131提前对管道120外壁进行预热，通过热传递的形式使得管道120内具备一定的温度，这时由于管道120内具备一定的温度，有机溶剂通过管道120时不会液化，从而避免处于气态下的有机溶剂在管道120内壁凝结。
本发明的显示面板的制作方法还可以在上述任一实施例的烘烤装置100中进行烘烤。
请参阅图1、图5和图6，图5是本发明提供的显示面板的制作方法的另一实施例的流程示意图，图6是本发明提供的烘烤装置100的一实施例的工作原理示意图。
M201：在玻璃基板上涂布形成光阻层200。
M202：烘烤装置100对光阻层200进行烘烤。
烘烤装置100用于对显示面板的光阻层200进行烘烤，以去除光阻层200中的有机溶剂。烘烤装置100包括烤箱110、管道120、加热装置130和排气扇140，烤箱110用于放置显示面板，以对显示面板进行烘烤，烤箱110开设有通风口，管道120与通风口连通，加热装置130与管道120连接。
M203：电性导通排气扇140和加热装置130，以将烤箱110中的气体从被加热的管道120中排出。
电性导通排气扇140和加热装置130，加热装置130用于加热管道120，排气扇140朝向通风口，排气扇140用于将烤箱110中的气体从管道120中排出。烘烤产生的有机溶剂通过管道120，加热装置130用于加热管道120，防止经过管道120的有机溶剂液化在管道120的内壁上，排气扇140将有机溶剂通过通风口排出。
具体地，加热装置130可以包括电阻丝131，电阻丝131可以设置在管道120内，电阻丝131用于加热管道120内的气体，当烘烤装置100对显示面板的光阻层200进行烘烤时，电阻丝131提前对管道120进行预热，使得管道120内具备一定的温度，这时由于管道120内具备一定的温度，有机溶剂通过时不会产生液化从而在管道120内壁凝结。
电阻丝还可以设置在管道120的外壁上，电阻丝131用于加热管道120，当烘烤装置100对显示面板的光阻层200进行烘烤时，电阻丝131提前对管道120外壁进行预热，通过热传递的形式使得管道120内具备一定的温度，这时由于管道120内具备一定的温度，有机溶剂通过管道120时不会液化，从而避免处于气态下的有机溶剂在管道120内壁凝结。
本发明的显示面板的制作方法还可以在上述任一实施例的烘烤装置100中进行烘烤。
M204：温控器160检测管道的温度，并生成第一控制信号。
M205：处理器150响应于第一控制信号，以控制加热装置130的通电状态。
烘烤装置100还包括温控器160和处理器150，处理器150分别与加热装置130和温控器160电性连接。
温控器160检测管道的温度，并生成第一控制信号，第一控制信号包括温度过高超过上限的信号还可包括温度过低产生的未达下限的信号。
可选的，在管道120内温度过低时，电阻丝131对管道120进行加热，当温度上升到标定温度的下限时，电阻丝131可以停止加热，在温度不足时，电阻丝131再继续加热。
可选的，在管道120内温度过高时，电阻丝131对管道120停止加热，当温度快要超过标定温度或者已经达到标定温度的上限时，停止电阻丝131加热，在管道120内温度下降时，电阻丝131再工作对管道120进行加热。
例如，当电阻丝131对管道进行加热时，这时，温控器160检测到温度从而产生第一控制信号，这时处理器150响应于第一控制信号，判断信号的种类生成不同的处理办法，当温度不足时电阻丝131实施加热，当温度充足时电阻丝131停止加热，让管道120内的温度始终保持在标定的区间。
以上仅为本发明的实施方式，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (6)

1.一种烘烤装置，所述烘烤装置用于对显示面板进行烘烤，以去除所述显示面板中的有机溶剂，其特征在于，所述烘烤装置包括：烤箱、管道、加热装置和排气扇，所述烤箱用于放置所述显示面板，所述烤箱开设有通风口，所述管道与所述通风口连通，所述加热装置与所述管道连接，所述加热装置用于加热所述管道，所述排气扇朝向所述通风口，所述排气扇用于将所述烤箱中的气体从所述管道中排出；
其中，所述管道包括第一管和第二管，所述第一管和所述第二管均用于允许所述烤箱中的气体通过，所述第一管嵌套于所述第二管中，使得通过所述第二管的气体对所述第一管进行加热，所述排气扇用于将所述烤箱中的气体从所述第一管和所述第二管中排出。
2.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述加热装置包括电阻丝，所述电阻丝设置在所述第一管和所述第二管之间，所述电阻丝用于加热所述第一管和所述第二管之间的气体。
3.根据权利要求2所述的烘烤装置，其特征在于，所述加热装置包括电阻丝，所述电阻丝设置在所述第一管内，所述电阻丝用于加热所述第一管内的气体。
4.根据权利要求2或者3所述的烘烤装置，其特征在于，所述加热装置还包括导热硅胶件，所述电阻丝与所述导热硅胶件连接，所述导热硅胶件与所述第一管连接。
5.一种显示面板的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：
在玻璃基板上涂布形成光阻层；
在权利要求1至4任一项所述的烘烤装置中对所述光阻层进行烘烤；
电性导通排气扇和加热装置，以将烤箱中的气体从被加热的管道中排出。
6.根据权利要求5所述的制作方法，其特征在于，所述烘烤装置还包括温控器和处理器，所述处理器分别与所述加热装置和所述温控器电性连接；所述制作方法还包括：
所述温控器检测所述管道的温度，并生成第一控制信号；
所述处理器响应于所述第一控制信号，以控制所述加热装置的通电状态。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102950084A (zh) * 2012-11-08 2013-03-06 广东生益科技股份有限公司 减少上胶机热风中有机物析出的方法
CN109597227A (zh) * 2018-12-26 2019-04-09 惠科股份有限公司 一种显示面板及其制造方法
CN209147626U (zh) * 2018-11-14 2019-07-23 吉安天晟新材料有限公司 一种基于多重防护的加工用烘干生产线
CN209469938U (zh) * 2018-12-28 2019-10-08 廊坊国锐电伴热有限公司 一种用于管道防冻的电伴热装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4130380B2 (ja) * 2003-04-25 2008-08-06 東京エレクトロン株式会社 熱処理方法及び熱処理装置
JP4730520B2 (ja) * 2005-04-20 2011-07-20 住友電気工業株式会社 ベーキング方法
CN201493999U (zh) * 2009-09-23 2010-06-02 中国科学院金属研究所 一种制膜箱
KR20170109187A (ko) * 2016-03-18 2017-09-28 삼성디스플레이 주식회사 휘발성 유기화합물 제거 장치 및 휘발성 유기화합물 제거 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102950084A (zh) * 2012-11-08 2013-03-06 广东生益科技股份有限公司 减少上胶机热风中有机物析出的方法
CN209147626U (zh) * 2018-11-14 2019-07-23 吉安天晟新材料有限公司 一种基于多重防护的加工用烘干生产线
CN109597227A (zh) * 2018-12-26 2019-04-09 惠科股份有限公司 一种显示面板及其制造方法
CN209469938U (zh) * 2018-12-28 2019-10-08 廊坊国锐电伴热有限公司 一种用于管道防冻的电伴热装置

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