CN110757782A - 一种真空贴合设备 - Google Patents

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CN110757782A CN201911157834.2A CN201911157834A CN110757782A CN 110757782 A CN110757782 A CN 110757782A CN 201911157834 A CN201911157834 A CN 201911157834A CN 110757782 A CN110757782 A CN 110757782A
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cavity
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vacuum
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吴限
陈东
敬锟
王恒钰
莫曜熙
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Shenzhen JT Automation Equipment Co Ltd
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    • B29L2031/3425Printed circuits

Abstract

本发明公开了一种真空贴合设备,利用上腔体与下腔体形成的密闭腔体,通过真空泵将密闭腔体内的大部分空气抽出,以降低在贴合过程中产生气泡的概率;通过仿形弹性件将屏体撑起呈瓦型弧面状,使屏体在贴合的过程中,从中部向两侧或四周挤压贴合,从而可进一步方式气泡的产生;通过视觉系统与对位系统以及各个驱动装置可实现自动贴,且由于仿形弹性件可一次性将屏体挤压贴合至曲面玻璃,因此,相对于滚轮反复碾压的贴合方式,可大大提高贴合的效率,另外,仿形弹性件具有任意变形的特点,可根据曲面玻璃的形状和弯曲度将屏体完全压紧贴合在曲面玻璃上,特别是曲面玻璃的弯曲部分,大大提高了适用范围,且可保证贴合效果与质量。

Description

一种真空贴合设备
技术领域
本发明涉及屏体贴合技术领域,更具体地说,涉及一种真空贴合设备。
背景技术
在电路板的制造与使用过程中,为保护其上面的纹理,用聚酰亚胺膜等覆盖膜在其表面进行预贴附;或为了封装半导体集成电路实装中的引线框;或为形成印刷线路板制造工艺中的感光层,会把用作抗蚀阻剂的干膜抗蚀剂或感光膜在线路板表面预贴附后进行贴合。
现有技术中,一般使用滚轮进行贴合,使用滚轮将覆盖层在线路板上进行贴合的方式,因滚轮的结构特点,在速度与生产层面均十分优秀。但是在进行数个叠加的线路板的贴合时,因线路板上存在纹理,表面并非平整,存在段差。若使用滚轮贴合,覆盖膜会紧贴在突出部分,无法顺利完成贴合,易导柱产品不良。
另外,使用滚轮虽然可以贴合异形屏,但是若硬屏边缘弯曲角度达到垂直角90度时,存在无法做到硬屏的弯曲部分与软屏完全贴合的致命缺陷。这是因为,硬屏与软屏贴合时,压合力无法传达到硬屏的曲面部分,导柱屏体边缘有开口,产生气泡层,影响设备的显示功能。且由于滚轮直径小,单次贴合面积小,导柱贴合耗时长,产能低。
因此,如何解决滚轮贴合中存在的适用范围小且贴合效率低的问题,是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的是提供一种真空贴合设备,该真空贴合设备具有适用范围广、贴合效率高且贴合质量好的特点。
为了实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种真空贴合设备,包括下端开口的上腔体、上端开口的下腔体以及通过排管连通于所述上腔体或所述下腔体的真空泵,所述排管上设有用于控制开闭的真空阀;
所述上腔体内设有上腔治具,所述上腔治具的下端面设有用于安装曲面玻璃并与曲面玻璃贴合的安置槽,所述下腔体的底部设有仿形弹性件,所述仿形弹性件的上表面为正对所述安置槽的瓦型弧面,所述下腔体的上部设有用于夹持承载膜的夹具装置,所述上腔体上还设有用于驱动所述上腔体向所述下腔体移动以使所述上腔体密封连接于所述下腔体的第一驱动装置,所述仿形弹性件上连接有用于驱动所述仿形弹性件升降移动的第二驱动装置,以使所述仿形弹性件将屏体压紧贴合于曲面玻璃;
还包括用于获取承载膜上的屏体的位置信息的视觉系统以及信号连接于所述视觉系统的对位系统,所述对位系统连接于所述夹具装置并用于根据所述位置信息控制所述夹具装置移动以使屏体正对安置槽。
优选的,所述第二驱动装置设于所述下腔体的下方,所述第二驱动装置与所述仿形弹性件通过导柱驱动连接,所述导柱穿设于所述下腔体的底部,所述导柱的上端连接于所述仿形弹性件,所述导柱的下端连接于所述第二驱动装置,且所述导柱的外侧套设有用于密封的波纹管。
优选的,所述第二驱动装置包括电机、减速器、丝杠以及连接于丝杠的螺母,所述电机通过减速器连接于所述丝杠,所述螺母转动连接与所述丝杠,所述螺母的外侧套设有随所述螺母上下移动的套板,所述导柱的下端固定连接于所述套板的上端,所述套板的两侧还设有滑轨,以使所述套板沿所述滑轨上下移动。
优选的,还包括支架,所述支架上设有用于固定所述上腔体的固定部,所述固定部的两端设于所述支架两侧的导轨上,所述第一驱动装置连接于所述固定部并用于驱动所述固定部沿所述导轨移动。
优选的,所述下腔体的下端设有用于支撑所述下腔体的支撑杆,所述支撑杆包括固定杆以及套设于所述固定杆上的套杆,所述套杆与所述固定杆之间还设有缓冲弹簧。
优选的,所述视觉系统为CCD视觉机构,所述对位系统为UVW调整平台,所述UVW调整平台设于所述下腔体的下方,所述UVW调整平台通过连杆连接于所述夹具装置,所述下腔体的下端设有直径大于所述连杆的通孔,所述连接穿设于所述通孔并分别连接于所述夹具装置与所述UVW调整平台,所述通孔处还设有用于密封的波纹管。
优选的,所述上腔治具内设有负压腔,所述负压腔与所述安置槽通过真空孔连通,以将曲面玻璃吸附于所述安置槽。
优选的,所述上腔体内设有用于检测气压的测压元件。
优选的,所述夹具装置包括设于所述仿形弹性件左侧的左侧夹板以及设于所述仿形弹性件右侧的右侧夹板,所述左侧夹板与所述右侧夹板分别用于从承载膜的左侧与右侧夹持承载膜,还包括用于驱动所述左侧夹板与所述右侧夹板分合移动的分合驱动装置、以及用于驱动所述左侧夹板与右侧夹板升降移动的升降驱动装置。
优选的,还包括用于向所述夹具装置输送贴有屏体的承载膜的上料装置,以及用于将完成贴合的曲面玻璃输送走的下料装置。
本发明所提供的真空贴合设备,利用上腔体与下腔体形成的密闭腔体,通过真空泵将密闭腔体内的大部分空气抽出,以降低在贴合过程中产生气泡的概率;通过仿形弹性件将屏体撑起呈瓦型弧面状,使屏体在贴合的过程中,从中部向两侧或四周挤压贴合,从而可进一步方式气泡的产生;通过视觉系统与对位系统以及各个驱动装置可实现自动贴,且由于仿形弹性件可一次性将屏体挤压贴合至曲面玻璃,因此,相对于滚轮反复碾压的贴合方式,可大大提高贴合的效率,且仿形弹性件具有任意变形的特点,可根据曲面玻璃的形状和弯曲度将屏体完全压紧贴合在曲面玻璃上,特别是曲面玻璃的弯曲部分,可贴合任意曲面的玻璃,大大提高了适用范围,且可保证贴合效果与质量。另外,本发明通过下腔加压的方式对对象物进行贴合,即将贴合的加压组价安装在下腔体,以便为上腔体减重,解决了上腔贴合模式头重脚轻的问题,使设备在物理结构上稳定性更高,且方便微调节。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为本发明所提供真空贴合设备具体实施例的示意图;
图2为上腔体以及支架的结构示意图;
图3为仿形弹性件撑起承载膜至安置槽下方的示意图;
图4为图3中A部分的局部放大图;
图5为下腔体以及其下方组件的截面示意图;
图6为夹具装置的分合驱动装置以及升降驱动装置的示意图;
图7为仿形弹性件未撑起承载膜的示意图;
图8为仿形弹性体撑起承载膜并将承载膜上的屏体压至安置槽的示意图。
其中,1-上腔体、101-测压元件、102-上腔治具、103-安置槽、2-下腔体、3-固定部、4-支架、5-第一驱动装置、6-电机、7-排管、8-承载膜、9-屏体、10-连杆、11-导柱、12-波纹管、13-套杆、14-缓冲弹簧、15-UVW调整平台、16-固定杆、17-减速器、18-联轴器、19-丝杆、20-滑轨、21-螺母、22-套板、23-升降驱动装置、24-分合驱动装置、25-仿形弹性件、26-夹具装置、261-左侧夹板、262-右侧夹板。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
本发明的核心是提供一种真空贴合设备,该真空贴合设备具有适用范围广、贴合效率高且贴合质量好的特点。
请参考图1至图8,图1为本发明所提供真空贴合设备具体实施例的示意图;图2为上腔体以及支架的结构示意图;图3为仿形弹性件撑起承载膜至安置槽下方的示意图;图4为图3中A部分的局部放大图;图5为下腔体以及其下方组件的截面示意图;图6为夹具装置的分合驱动装置以及升降驱动装置的示意图;图7为仿形弹性件未撑起承载膜的示意图;图8为仿形弹性体撑起承载膜并将承载膜上的屏体压至安置槽的示意图。图中,粗箭头表示仿形弹性件的挤压方向。
本发明所提供的真空贴合设备,其特征在于,包括下端开口的上腔体1、上端开口的下腔体2以及通过排管7连通于上腔体1或下腔体2的真空泵,排管7上设有用于控制开闭的真空阀;
上腔体1内设有上腔治具102,上腔治具102的下端面设有用于安装曲面玻璃并与曲面玻璃贴合的安置槽103,下腔体2的底部设有仿形弹性件25,仿形弹性件25的上表面为正对安置槽103的瓦型弧面,下腔体2的上部设有用于夹持承载膜8的夹具装置26,上腔体1上还设有用于驱动上腔体1向下腔体2移动以使上腔体1密封连接于下腔体2的第一驱动装置5,仿形弹性件25上连接有用于驱动仿形弹性件25升降移动的第二驱动装置,以使仿形弹性件25将屏体9压紧贴合于曲面玻璃;
还包括用于获取承载膜8上的屏体9的位置信息的视觉系统以及信号连接于视觉系统的对位系统,对位系统连接于夹具装置26并用于根据位置信息控制夹具装置26移动以使屏体9正对安置槽103。
其中,上腔体1可为下端开口的方形盒结构,下腔体2可为下端开口的方形盒结构,上腔体1与下腔体2的开口相对设置,以便能够扣合形成密闭腔体。上腔体1或下腔体2上通过排管7连接有真空泵,当上腔体1与下腔体2扣合形成密闭腔体时,可通过真空泵将密闭腔体中的空气抽出,以便进行后续的贴合。
上腔体1内设有上腔治具102,上腔治具102的下端面设有用于安装曲面玻璃的安置槽103,且安置槽103与曲面玻璃具有相同的曲面相同,以保证曲面玻璃安装在安置槽103中时,曲面玻璃能够与安置槽103完全贴合。下腔体2的底部设有仿形弹性件25,该仿形弹性件25可为硅胶或橡胶等具有弹性的材料,仿形硅胶件的上表面为瓦型弧面,且该瓦型弧面正对上腔治具102的安置槽103,以便通过仿形弹性件25将屏体9压紧贴合在安装在安置槽103内的曲面玻璃上。下腔体2的上部设有用于夹持承载膜8的夹具装置26,承载膜8为具有弹性的薄膜,且承载膜8的上表面贴有屏体9,
第一驱动装置5用于驱动上腔体1向下腔体2的方向移动,以使上腔体1与下腔体2密封连接后形成密闭腔室,第二驱动装置用于驱动仿形弹性件25升降移动,以便将夹持于夹具装置26上的承载膜8上的屏体9向上顶起,以使屏体9形成与仿形弹性件25的上表面相适应的结构,使屏体9呈瓦型弧面,然后将屏体9逐步压紧贴合于安置槽103上的曲面玻璃上。
还包括用于获取承载膜8上的屏体9位置信息的视觉系统,以及连接于视觉系统的对位系统,且对位系统与夹具装置26连接,视觉系统用于获取屏体9相对于安置槽103的位置信息,并将获取的位置信息传送给对位系统,以便通过驱动系统带动夹具装置26移动,以使屏体9处于安置槽103的正下方,由于下腔体2的仿形弹性件25的上表面的瓦型弧面与安置槽103正对,因此,当屏体9调整至安置槽103的正下方时,安置槽103、屏体9以及仿形弹性件25将正对于一条线,以便后续进行贴合操作。
本发明所提供的真空贴合装置,在使用的过程中,可先将贴有屏体9的承载膜8夹持于下腔体2的夹具装置26上,并使屏体9处于承载膜8的上表面,然后启动视觉系统与对位系统以将屏体9调整至安置槽103的正下方,启动第一驱动装置5使上腔体1与下腔体2密封扣合以形成密闭腔体,打开排管7上真空阀,启动真空泵,以将密闭腔体内的空气抽出,从而可防止在贴合的过程中产生气泡,启动第二驱动装置使仿形弹性件25向上移动,在以将承载膜8以及承载膜8上的屏体9顶起,由于仿形弹性件25的上表面为瓦型弧面,因此,仿形弹性件25会将屏体9也撑起呈瓦型弧面的结构,以使呈瓦型弧面的屏体9的中部会先于曲面玻璃的中部贴合,从而在仿形弹性件25的推动下,屏体9有中部向四周贴合于曲面玻璃,从而可进一步防止气泡的产生,且由于仿形弹性件25具有任意变形的特点,仿形弹性件25可根据曲面玻璃将屏体9完全压紧贴合在曲面玻璃上,特别是在曲面玻璃的弯曲部分,在仿形弹性件25的变形挤压下,可保证屏体9与曲面玻璃的贴合效果。
因此,本发明所提供的真空贴合设备,利用上腔体1与下腔体2形成的密闭腔体,通过真空泵将密闭腔体内的大部分空气抽出,以降低在贴合过程中产生气泡的概率;通过仿形弹性件25将屏体9撑起呈瓦型弧面状,使屏体9在贴合的过程中,从中部向两侧或四周挤压贴合,从而可进一步方式气泡的产生;通过视觉系统与对位系统以及各个驱动装置可实现自动贴,且由于仿形弹性件25可一次性将屏体9挤压贴合至曲面玻璃,因此,相对于滚轮反复碾压的贴合方式,可大大提高贴合的效率,且仿形弹性件25具有任意变形的特点,可根据曲面玻璃的形状和弯曲度将屏体9完全压紧贴合在曲面玻璃上,特别是曲面玻璃的弯曲部分,可保证贴合效果与质量。另外,本发明通过下腔加压的方式对对象物进行贴合,即将贴合的加压组价安装在下腔体2,以便为上腔体减重,解决了上腔贴合模式头重脚轻的问题,使设备在物理结构上稳定性更高,且方便微调节。
在上述实施例的基础之上,考虑到第二驱动装置的具体设置方式,优选的,第二驱动装置设于下腔体2的下方,第二驱动装置与仿形弹性件25通过导柱11驱动连接,导柱11穿设于下腔体2的底部,导柱11的上端连接于仿形弹性件25,导柱11的下端连接于第二驱动装置,且导柱11的外侧套设有用于密封的波纹管12。即本实施例中,将第二驱动装置设置在下腔体2的下方,且第二驱动装置通过导柱11驱动仿形弹性件25上下移动。由于导柱11需要穿设于下腔体2的底部,因此,通过在导柱11上套设与下腔体2密封连接的波纹管12来实现对下腔体2的密封,且不会影响导柱11的移动。
在上述实施例的基础之上,考虑到第二驱动装置的具体设置方式,优选的,第二驱动装置包括电机166、减速器17、丝杠以及连接于丝杠的螺母21,电机166通过减速器17连接于丝杠,其中,减速器17有丝杆19可通过联轴器18连接,螺母21转动连接与丝杠,螺母21的外侧套设有随螺母21上下移动的套板22,导柱11的下端固定连接于套板22的上端,套板22的两侧还设有滑轨20,以使套板22沿滑轨20上下移动。
本实施例中,通过电机166的正反转带动丝杠的正反转,以便使丝杠上的螺栓连接于螺母21的套板22沿着丝杠上下移动,导柱11连接于套板22,以通过电机166的正反转驱动导柱11上下移动,最终实现对仿形弹性件25的上下移动。
在上述实施例的基础之上,考虑到第一驱动装置5驱动上腔体1移动的具体设置方式,优选的,还包括支架4,支架4上设有用于固定上腔体1的固定部3,固定部3的两端设于支架4两侧的导轨上,第一驱动装置5连接于固定部3并用于驱动固定部3沿导轨移动。优选的,第一驱动装置5可为包括伺服马达,支架4包括设于上腔体1两侧的两个侧架,通过伺服马达驱动固定部3的左右两部分沿两侧的侧架同步滑动。
在上述实施例的基础之上,优选的,下腔体2的下端设有用于支撑下腔体2的支撑杆,支撑杆包括固定杆16以及套设于固定杆16上的套杆13,套杆13与固定杆16之间还设有缓冲弹簧14。本实施例中,考虑到第一驱动装置5在驱动上腔体1与下腔体2密封接触时,会与下腔体2产生碰撞,因此,在下腔体2的下端设置缓冲装置,一起到缓冲作用,且弹簧可将下腔体2压紧在上腔体1上,从而确保二者密封的可靠性。
在上述实施例的基础之上,考虑到视觉系统与对位系统的具体设置方式,优选的,视觉系统为CCD视觉机构,对位系统为UVW调整平台15,UVW调整平台15设于下腔体2的下方,UVW调整平台15通过连杆10连接于夹具装置26,下腔体2的下端设有直径大于连杆10的通孔,连接穿设于通孔并分别连接于夹具装置与UVW调整平台15,通孔处还设有用于密封的波纹管12。
在上述实施例的基础之上,考虑到将曲面玻璃固定在安置槽103内的具体方式的选择,优选的,上腔治具102内设有负压腔,负压腔与安置槽103通过真空孔连通,以将曲面玻璃吸附于安置槽103。另外,上腔体1内设有用于检测气压的测压元件2。以便当上腔体1与下腔体2密封连接形成密闭腔室后,可通过测压元件2实施监测密封腔室内的压力。
在上述任意实施例的基础之上,优选的,夹具装置26包括设于仿形弹性件25左侧的左侧夹板261以及设于仿形弹性件25右侧的右侧夹板262,左侧夹板261与右侧夹板262分别用于从承载膜8的左侧与右侧夹持承载膜8,还包括用于驱动左侧夹板与右侧夹板装置26分合移动的分合驱动装置24、以及用于驱动左侧夹板与右侧夹板升降移动的升降驱动装置23。
本实施例中,夹具装置26由左侧夹板261与右侧夹板262构成,以使左侧夹板261与右侧夹板262分别从承载膜8的左侧与右侧将承载膜8夹持固定住,当然,还可以设置前侧夹板与后侧夹板,以便将承载膜8的前后左右都夹持固定住,保证夹持固定的稳定性。另外,还包括用于驱动左侧夹板与右侧夹板分合移动的分合驱动装置24,以便在仿形弹性件25将承载膜8撑起时,分合驱动装置24能够驱动左侧夹板261与右侧夹板262向仿形弹性件25移动,以将承载膜8向仿形弹性件25的为内侧拉拢,以将屏体9的两侧压紧于仿形弹性件25,还可通过升降驱动装置23驱动左侧夹板261与右侧夹板262相对仿形弹性件25上下移动,即在仿形弹性件25向上移动的过程中,升降驱动装置23可带动左侧夹板261与右侧夹板262相对其向下移动,从而可缩短仿形弹性件25移动的距离。其中,分合驱动装置24与升降驱动装置23也可设置下腔体2的下方,并通过连杆10驱动连接,且也可通过在连杆10外波纹管12套设波纹管12来密封下腔体2。
在上述实施例的基础之上,为进一步提高本发明所提供的真空贴合设备的自动作业程度,优选的,还包括用于向夹具装置26输送贴有屏体9的承载膜8的上料装置,以及用于将完成贴合的曲面玻璃输送走的下料装置。其中,上料装置应当与夹具装置26配合,以实现自动将贴有屏体9的承载膜8输送至夹具,实现自动上料,下料装置应当与上腔治具102配合,以将完成贴合的曲面玻璃输送走。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述,每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处,各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
以上对本发明所提供屏体贴合设备进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以对本发明进行若干改进和修饰,这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。

Claims (10)

1.一种真空贴合设备,其特征在于,包括下端开口的上腔体(1)、上端开口的下腔体(2)以及通过排管(7)连通于所述上腔体(1)或所述下腔体(2)的真空泵,所述排管(7)上设有用于控制开闭的真空阀;
所述上腔体(1)内设有上腔治具(102),所述上腔治具(102)的下端面设有用于安装曲面玻璃并与曲面玻璃贴合的安置槽(103),所述下腔体(2)的底部设有仿形弹性件(25),所述仿形弹性件(25)的上表面为正对所述安置槽(103)的瓦型弧面,所述下腔体(2)的上部设有用于夹持承载膜(8)的夹具装置(26),所述上腔体(1)上还设有用于驱动所述上腔体(1)向所述下腔体(2)移动以使所述上腔体(1)密封连接于所述下腔体(2)的第一驱动装置(5),所述仿形弹性件(25)上连接有用于驱动所述仿形弹性件(25)升降移动的第二驱动装置,以使所述仿形弹性件(25)将屏体(9)压紧贴合于曲面玻璃;
还包括用于获取承载膜(8)上的屏体(9)的位置信息的视觉系统以及信号连接于所述视觉系统的对位系统,所述对位系统连接于所述夹具装置(26)并用于根据所述位置信息控制所述夹具装置(26)移动以使屏体(9)正对所述安置槽(103)。
2.根据权利要求1所述的真空贴合设备,其特征在于,所述第二驱动装置设于所述下腔体(2)的下方,所述第二驱动装置与所述仿形弹性件(25)通过导柱(11)驱动连接,所述导柱(11)穿设于所述下腔体(2)的底部,所述导柱(11)的上端连接于所述仿形弹性件(25),所述导柱(11)的下端连接于所述第二驱动装置,且所述导柱(11)的外侧套设有用于密封的波纹管(12)。
3.根据权利要求2所述的真空贴合设备,其特征在于,所述第二驱动装置包括电机(16)(6)、减速器(17)、丝杠以及连接于丝杠的螺母(21),所述电机(16)(6)通过减速器(17)连接于所述丝杠,所述螺母(21)转动连接与所述丝杠,所述螺母(21)的外侧套设有随所述螺母(21)上下移动的套板(22),所述导柱(11)的下端固定连接于所述套板(22)的上端,所述套板(22)的两侧还设有滑轨(20),以使所述套板(22)沿所述滑轨(20)上下移动。
4.根据权利要求1所述的真空贴合设备,其特征在于,还包括支架(4),所述支架(4)上设有用于固定所述上腔体(1)的固定部(3),所述固定部(3)的两端设于所述支架(4)两侧的导轨上,所述第一驱动装置(5)连接于所述固定部(3)并用于驱动所述固定部(3)沿所述导轨移动。
5.根据权利要求4所述的真空贴合设备,其特征在于,所述下腔体(2)的下端设有用于支撑所述下腔体(2)的支撑杆,所述支撑杆包括固定杆(16)以及套设于所述固定杆(16)上的套杆(13),所述套杆(13)与所述固定杆(16)之间还设有缓冲弹簧(14)。
6.根据权利要求1所述的真空贴合设备,其特征在于,所述视觉系统为CCD视觉机构,所述对位系统为UVW调整平台(15),所述UVW调整平台(15)设于所述下腔体(2)的下方,所述UVW调整平台(15)通过连杆(10)连接于所述夹具装置(26),所述下腔体(2)的下端设有直径大于所述连杆(10)的通孔,所述连接穿设于所述通孔并分别连接于所述夹具装置(26)与所述UVW调整平台(15),所述通孔处还设有用于密封的波纹管(12)。
7.根据权利要求6所述的真空贴合设备,其特征在于,所述上腔治具(102)内设有负压腔,所述负压腔与所述安置槽(103)通过真空孔连通,以将曲面玻璃吸附于所述安置槽(103)。
8.根据权利要求7所述的真空贴合设备,其特征在于,所述上腔体(1)内设有用于检测气压的测压元件(2)。
9.根据权利要求1至8任一项所述的真空贴合设备,其特征在于,所述夹具装置(26)包括设于所述仿形弹性件(25)左侧的左侧夹板(261)以及设于所述仿形弹性件(25)右侧的右侧夹板(262),所述左侧夹板(261)与所述右侧夹板(262)分别用于从承载膜(8)的左侧与右侧夹持承载膜(8),还包括用于驱动所述左侧夹板(261)与所述右侧夹板(262)分合移动的分合驱动装置(24)、以及用于驱动所述左侧夹板(261)与右侧夹板(262)升降移动的升降驱动装置(23)。
10.根据权利要求9所述的真空贴合设备,其特征在于,还包括用于向所述夹具装置(26)输送贴有屏体(9)的承载膜(8)的上料装置,以及用于将完成贴合的曲面玻璃输送走的下料装置。
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