CN110739327B - 阵列基板及其制造方法、显示装置 - Google Patents

Abstract

公开了一种阵列基板及其制造方法、显示装置，该阵列基板包括衬底基板、多个感测元件和多个开关器件。感测元件设置在衬底基板的第一侧，每个感测元件被配置成至少将光信号和声波信号中的一个转换为电信号。开关器件设置在与衬底基板的第一侧相对的第二侧，并包括第一开关元件，第一开关元件与每个感测元件电连接以传输电信号。基于该阵列基板，可以实现基于该感测元件的指纹识别功能集成于显示设备内，实现指纹识别功能和显示设备的真正融合。此外，感测元件和开关器件分别制作在衬底基板的不同侧，这样可以降低或避免制作工艺中开关器件制作过程和感测元件制作过程的彼此干扰。

Description

阵列基板及其制造方法、显示装置

技术领域

本公开的实施例涉及一种阵列基板及其制造方法、显示装置。

背景技术

人的皮肤纹路（例如，指纹）在图案、断点和交叉点上各不相同，呈现唯一性和稳定性。依靠这种唯一性和稳定性，可以实现指纹识别。

诸如液晶显示器或电致有机发光二极管显示器之类的显示设备已经普遍应用于人们的工作、学习和生活，并且人们期待这些显示设备能够具有越来越丰富的功能。虽然指纹识别技术已经被研究和得到应用，但是，目前尚未实现指纹识别功能和显示设备的真正融合。

发明内容

本公开的实施例提供了一种阵列基板及其制作方法、以及包括该阵列基板的显示装置。阵列基板包括：衬底基板；设置在所述衬底基板的第一侧的多个感测元件，每个感测元件被配置成至少将光信号和声波信号中的一个转换为电信号；以及多个开关器件，设置在与所述衬底基板的第一侧相对的第二侧。开关器件包括第一开关元件，每个第一开关元件与每个感测元件电连接以传输所述电信号。

在一些实施例中，每个感测元件包括第一电极、第二电极和传感层，传感层设置在所述第一电极和所述第二电极之间，第一电极与所述第一开关元件电连接，第二电极用于接收参考电位。

在一些实施例中，传感层包括光敏材料或声敏材料。

在一些实施例中，衬底基板包括多个过孔，每个感测元件的第一电极经由一个过孔与第一开关元件电连接，每个过孔的直径以及相邻过孔之间的间距均不大于手指指纹的纹线距离。

在一些实施例中，阵列基板包括显示区域，显示区域包括第一区域和位于第一区域外围的第二区域，感测元件和第一开关元件位于第一区域内。

在一些实施例中，开关器件包括第二开关元件，第一开关元件和第二开关元件均包括薄膜晶体管，所述感测元件的第一电极电连接至第一开关元件的源极或漏极。第一开关元件和第二开关元件中的每个的栅极用于在第一时间段接收第一控制信号以驱动显示区域内的像素，第一开关元件的栅极还用于在第二时间段接收第二控制信号以实现所述电信号的传输。

在一些实施例中，阵列基板还包括与感测元件的第一电极电连接的金属引线，金属引线用于与独立于阵列基板的能量存储元件电连接。

在一些实施例中，阵列基板还包括位于衬底基板的第二侧、与开关器件电连接的电致有机发光元件。传感层在所述衬底基板上的正投影与第一开关元件和电致有机发光元件的非透光区域在所述衬底基板上的正投影不重叠。

在一些实施例中，传感层在所述衬底基板上的正投影与第一开关元件在衬底基板上的正投影至少部分重叠。

本公开的另外的实施例提供了一种显示装置，包括如前述实施例中任一实施所述的阵列基板。

在一些实施例中，感测元件是用于将声波信号转换为电信号的声波传感器，显示装置还包括用于产生声波的声波发生器。

在一些实施例中，显示装置包括电池，感测元件还电连接至所述电池。

本公开的又一实施例提供了一种阵列基板的制造方法，包括：提供衬底基板；在所述衬底基板的第一侧上形成多个感测元件，每个感测元件被配置成至少将光信号和声波信号中的一个转换为电信号；在与所述衬底基板的第一侧相对的第二侧上形成多个开关器件，开关器件包括第一开关元件，每个第一开关元件与每个感测元件电连接以传输所述电信号。

在一些实施例中，每个感测元件包括第一电极、第二电极、和位于第一电极和第二电极之间的传感层，阵列基板的制造方法还包括：在衬底基板中形成多个过孔，每个感测元件的第一电极经由一个过孔与所述第一开关元件电连接。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对描述这些实施例所需的附图作简单地介绍，下面描述中的附图仅仅涉及本公开的一些实施例，而非对本申请的保护范围构成限制。

图1示意性地示出了根据本公开实施例提供的阵列基板的部分结构框图；

图2为本公开一个实施例提供的阵列基板的局部剖面示意图；

图3为本公开一个实施例提供的阵列基板的平面示意图；

图4为沿着图3中的B-B'线得到的剖面示意图；

图5为本公开另一实施例提供的阵列基板的局部剖面示意图；

图6为本公开一个实施例提供的显示装置的部分结构示意图；

图7A-7G用于示意性地说明根据本公开又一实施例提供的阵列基板制造方法的过程。

具体实施方式

为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域的普通技术人员所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并不局限于物理的或者机械的连接，而是可以包括电连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

如前所述，依靠每个人的指纹特征的唯一性和稳定性，可以实现指纹识别。例如，可以通过将现场采集到的用户指纹和预先保存的指纹进行比较，从而可以验证用户的真实身份。指纹识别技术通常利用光敏感测元件，光敏感测元件可以接收由用户手指所反射的光，并将反射光转换为电信号。由于不同用户手指指纹特征的唯一性，由不同用户的手指反射而得到的反射光将具有不同的特性，相应地，光敏感测元件所得到的电信号也不同。用于指纹识别的处理器可以接收并分析这些电信号，进而实现指纹识别。

根据本公开的实施例提供的阵列基板包括衬底基板、多个感测元件和多个开关器件。多个感测元件设置在衬底基板的第一侧，每个感测元件被配置成至少将光信号和声波信号中的一个转换为电信号，所述开关器件设置在与衬底基板的第一侧相对的第二侧，开关器件包括第一开关元件，每个第一开关元件与每个感测元件电连接以传输电信号。

能够理解到的是，上述的感测元件包括但不限于光电转换元件（例如，光敏传感器）或声电转换元件（例如，声波传感器），第一开关元件可以传输感测元件所产生的电信号，这些电信号可以被提供至处理器或控制器进行计算和分析，以实现指纹识别。由于感测元件和开关器件均附接至衬底基板，作为阵列基板的结构的一部分，所以，基于这样的阵列基板而实施的显示设备可以实现将指纹识别功能集成于显示设备内，实现指纹识别功能和显示设备的真正融合。此外，感测元件和开关器件分别制作在衬底基板的不同侧，这样可以降低或避免制作工艺中开关器件制作过程和感测元件制作过程的彼此干扰。

下面通过具体的示例对本公开提出的阵列基板进行说明。为了简洁起见，省略了对已知功能和部件的详细说明。当任一部件在多个附图中出现时，该部件在每个附图中由相同的参考标号表示。

图1为根据本公开实施例提供的阵列基板100的局部示意图（截面图）。阵列基板100可以是具有背光源的液晶显示设备的阵列基板，也可以是不具有背光源的主动发光显示设备（例如，电致有机发光二极管显示设备）的阵列基板，本实施例对阵列基板100的应用场合不做限制。如图1所示，该阵列基板100包括衬底基板101、设置在衬底基板的第一侧S1的多个感测元件102、以及设置在衬底基板的第二侧S2的多个开关器件。每个感测元件102被配置成至少将光信号和声波信号中的一个转换为电信号，开关器件包括第一开关元件104，每个第一开关元件104与一个感测元件102电连接以传输感测元件102产生的电信号。图1以线条示意性地示出了第一开关元件104和感测元件102之间的电连接，但是，这种电连接可以以本领域技术人员能够实现的任何方式来实施，本公开对此不作限制。

衬底基板101可以是玻璃基板、石英基板、塑料基板或其它任何适合材料的基板，本公开对衬底基板101的材料不做具体限制。例如，衬底基板101可以是透明基板。在一个示例中，衬底基板101还可以是柔性衬底基板。开关器件和第一开关元件104包括但不限于诸如薄膜晶体管、场效应晶体管之类的开关元件，本公开对开关器件的具体类型不做具体限定。

图2示意性地示出了根据本公开的一个实施例的阵列基板200中的感测元件和开关器件的结构的示例。如图2所示，在阵列基板200中，感测元件102设置在衬底基板101的第一侧S1。感测元件102包括第一电极1021、第二电极1022和传感层1023，传感层1023设置在第一电极1021和第二电极1022之间。第一电极1021与第一开关元件104电连接，第二电极1022用于接收参考电位。在一个示例中，第一电极1021和第二电极1022由透明导电材料制成，透明导电材料的示例包括但不限于氧化铟锡（ITO）。如前所述，每个感测元件102被配置成至少将光信号和声波信号中的一个转换为电信号，相应地，传感层1023的材料可包括能够接收光信号并产生电信号的光敏材料，或者，传感层1023的材料包括诸如铟锌氧化物（IZO）之类的声敏材料，以将声波信号转换为电信号。

当传感层1023包括光敏材料时，感测元件102实际上是一个光电转换元件。在指纹识别阶段，由手指所反射的光（该光例如来自于阵列基板所在显示设备的背光源）入射到感测元件102，传感层1023可以接收该反射光并将基于该反射光产生电信号。由于每个人的手指指纹具有独特的纹路特征，不同用户的手指反射得到的反射光具有不同的特性，所以感测元件102响应于不同的反射光也产生不同的电信号。感测元件102产生的电信号经由第一开关元件104可传输至处理器或控制器，以对电信号进行分析计算，从而获得指纹信息。替代性地，在传感层1023包括声敏材料的示例中，感测元件102实际上将声音信号转换为电信号，例如感测元件102是一个超声传感器。此时，在应用该阵列基板的显示设备中可设置超声发生器，以在用户手指接近或触摸显示设备时向用户手指发出超声波。超声波遇到用户手指时形成反射声波，包括声敏材料的传感层可接收反射声波而产生电信号。同样地，由于用户个体手指指纹特征的唯一性，从不同用于手指反射得到的反射声波的频率是不同的，由此感测元件可以基于不同用户的手指所反射的声波而产生不同的电信号。类似地，可以利用该电信号实现用户指纹信息的分析和识别。

在图2的示例中，感测元件102还可以包括介质层1024和连接线1025等结构。介质层1024可以覆盖感测元件102以对其进行保护，第二电极1022例如可以通过连接线1025连接至参考电位。感测元件102的第一电极1021经由衬底基板中的过孔106连接至第一开关元件104。在该示例中，第一开关元件104是薄膜晶体管，其包括栅极1041、栅绝缘层1042、有源层1043、源极1044、漏极1045。

图2的示例仅示出了单个的感测元件102和经由过孔106与其连接的第一开关元件104。然而，能够理解的是，在实践中，阵列基板可包括多个感测元件102以及多个第一开关元件104，相应地，阵列基板中形成有多个过孔106，每个感测元件的第一电极经由一个过孔106与第一开关元件电连接。在一些实施例中，每个过孔的直径以及相邻过孔之间的间距均不大于手指指纹的纹线距离。指纹图像包括脊线和谷线，纹线距离指的是脊线和与该脊线相邻的谷线之间的间距。例如，普通人的手指指纹的纹线距离通常约为100μm~300μm，每个过孔106的直径尺寸约为10μm~100μm，相邻两个过孔之间的间距约为100μm~200μm，这样，有利于实现较高的指纹识别精度。

根据本公开的一个实施例提供的阵列基板，其包括显示区域，显示区域包括第一区域和位于第一区域外围的第二区域，感测元件和第一开关元件位于所述第一区域内。图3示意性地示出了阵列基板的显示区域A、第一区域A1和位于地第一区域A1外围的第二区域A2。在该示例中，第一区域A1可被用作指纹识别区域，当用户手指接近或触摸第一区域A1时，可以实现对用户手指的指纹识别。

图4是图3沿着其中的B-B’线而得到的的剖面结构示意图。如图4所示，设置在衬底基板的第二侧上的开关器件还包括第二开关元件105，第一开关元件104和第二开关元件105均可包括薄膜晶体管。第一开关元件104包括栅极1041、栅绝缘层1042、有源层1043、源极1044、漏极1045等结构，第二开关元件105包括栅极1051、栅绝缘层1052、有源层1053、源极1054、漏极1055等结构。感测元件的第一电极1021电连接至第一开关元件104的源极1044或漏极1045。参考图3和图4，感测元件102和第一开关元件104设置在第一区域A1内，第二开关元件105设置在第二区域A2内。由于感测元件102附接至衬底基板101，且设置在阵列基板300的显示区域A内，所以不必在应用该阵列基板的显示装置的其它部件（例如，边框或外壳）上另外设置用于指纹识别的传感器，有利于显示装置的窄边框设计或全屏显示。

在该实施例中，第一开关元件104和第二开关元件105中的每个的栅极用于在第一时间段接收第一控制信号以驱动显示区域内的像素，第一开关元件104的栅极还用于在第二时间段接收第二控制信号以实现所述电信号的传输。也就是说，在第一时间段，第一开关元件104和第二开关元件105响应于第一控制信号而导通或断开，驱动显示区域A内的像素实现图像显示。在第二时间段，第一开关元件104响应于第二控制信号而导通或断开，将感测元件产生的电信号传输至控制器或处理器（图中未示出），以对电信号进行计算和分析，从而实现指纹识别的功能。在一些实施例中，在第二时间段，可以控制第二区域A2的第二开关元件处于关断状态，或者停止向第二开关元件施加第一控制信号，以降低显示装置的能量消耗。上述的第一控制信号也被称为用于实现图像显示的图像显示扫描信号，第二控制信号也被称为用于指纹识别的指纹识别扫描信号。

基于图4所示的实施例，第一开关元件104实际上具有双重功能。在第一时间段（例如，显示阶段）内，第一开关元件104和第二开关元件105响应于第一控制信号而动作，以实现正常的图像显示。在第二时间段（例如，指纹识别阶段），第一开关元件响应于第二控制信号而动作，以传输感测元件所产生的用于指纹识别的电信号。因此，第一开关元件104在第一时间段充当用于图像显示的像素开关，在第二时间段充当用于传输感测元件的电信号的信号传输开关。由此，该实施例避免了为阵列基板或显示装置提供专门用于传输指纹识别信号的指纹识别信号传输开关，大大减少了具备指纹识别功能的阵列基板和显示装置所使用的开关器件的数量，简化了阵列基板的电路结构，并可有效地降低阵列基板和显示装置的厚度。

在图4的示例中，感测元件102的第一电极1021与第一开关元件104的源极1044电连接，替代性地，感测元件102的第一电极1021也可以与第一开关元件104的漏极1045电连接。本公开并不限制感测元件102与第一开关元件104的具体电连接方式，只要第一开关元件104能够传输感测元件102的电信号即可。

本申请的发明人认识到，在通常的显示设备中，光源所发出的光并没有被有效地利用。例如，对于液晶显示设备，从背光源到显示设备的出光表面的光路中存在阻挡来自于背光源的光的传播的结构；在有机发光二极管显示设备中，朝显示设备的、与出光面相对的背面的发射的光也没有被有效地利用。因此，根据本公开的另一实施例，阵列基板还包括与感测元件的第一电极电连接的金属引线，金属引线用于与独立于阵列基板的能量存储元件电连接。能量存储元件包括但不限于应用该阵列基板的显示设备中的电池。由此，感测元件可以接收到一部分没有被有效利用的光而将其转换为电信号，这些电信号可以经由金属引线传输至能量存储元件而存储，从而提升显示设备的光利用率。下面通过一些示例对此作出进一步的说明。

图5示出了根据本公开的另一实施例提供的阵列基板400的局部剖面结构示意图，该阵列基板400包括上述实施例描述的感测元件102，该感测元件102在本实施例具体实现为光电传感器。在本实施例中，阵列基板400为用于电致有机发光二极管（例如，OLED）显示设备的阵列基板。

如图5所示，该阵列基板400包括电致有机发光元件108，该电致有机发光元件108设置在衬底基板101的第二侧S2且与第一开关元件104电连接。电致有机发光元件108包括阴极1081、阳极1082以及位于阴极1081和阳极1082之间的有机发光层等结构。在该示例中，电致有机发光元件108的阳极1082与第一开关元件104的漏极1045电连接。替代性地，电致有机发光元件108的阳极1082可以与第一开关元件104的源极1044电连接。

在图5的示例中，传感层1023在衬底基板101上的正投影与第一开关元件104和电致有机发光元件108的非透光区域在衬底基板101上的正投影不重叠，这使得传感层1023有效地接收到从电致有机发光元件108朝下方或侧向传播的光，提高对电致有机发光元件108发出的光的利用率。这里提到的“第一开关元件104和电致有机发光元件108的非透光区域”指的是第一开关元件104和电致有机发光元件108具有遮光性质的结构，例如，第一开关元件的栅极1041、源极1044、漏极1045，电致有机发光元件108的阴极1081或阳极1082等。如图5所示，该阵列基板400还包括与感测元件102的第一电极1021电连接的金属引线107，该金属引线107可电连接至独立于阵列基板400的能量存储元件（例如，电池，图中未示出）。

能够理解到的是，以上体现的提升光利用率的原理不仅仅适用于电致有机发光二极管显示设备，还可以适用于包括背光源的液晶显示设备。在液晶显示设备中，背光源通常设置在衬底基板远离薄膜晶体管的一侧。入射到薄膜晶体管的栅极、源极和漏极等遮光金属层的光通常无法得到有效的利用，从而导致能量的浪费。

再次参照图2，根据本公开的一个实施例，该阵列基板200为用于液晶显示设备的阵列基板，感测元件102的传感层1023在衬底基板101上的正投影与第一开关元件104在衬底基板101上的正投影至少部分重叠。在显示设备工作时，独立于阵列基板200的背光源通常从阵列基板200的下方发射光线。由于感测元件102的传感层1023在衬底基板101上的正投影与第一开关元件104在衬底基板101上的正投影至少部分重叠，所以至少可以让原本由第一开关元件104遮挡的一部分背光入射到感测元件，并将其转换为电能加以存储和利用，另一方面，这也可降低感测元件102对实现图像显示所需的背光的传播的影响。在一些实施例中，感测元件102的传感层1023在衬底基板101上的正投影位于第一开关元件104在衬底基板101上的正投影内。如此，可最大程度降低感测元件102对实现图像显示所需的背光的传播的影响。

本公开的另外的实施例提供一种显示装置，该显示装置包括上述任一实施例描述的阵列基板。该显示装置例如可以为手机、平板电脑、笔记本电脑、摄像机、导航仪等任何具有显示功能的产品或者部件。

显示装置的阵列基板包括感测元件，在一个实施例中，该感测元件是用于将声波信号转换为电信号的声波传感器，此时，显示装置还包括用于产生声波的声波发生器。图6示意性地示出了示例性的显示装置500的部分结构。如图6所示，显示装置500包括感测元件102和声波发生器501，感测元件102是布置于阵列基板上的声波传感器，声波发生器501可以设置在显示装置的其它合适的结构上，例如，声波发生器501可以附着于显示装置的背板、框架、壳体等任何其它合适的部件。声波发生器501例如可以是超声波发生器。当用户手指触摸或接近显示装置的表面时，声波发生器501可以朝手指发送声波信号，声波遇到用户手指时产生反射声波，声波传感器102可接收反射声波而产生电信号。由于用户个体手指指纹特征的唯一性，从不同用于手指反射得到的反射声波的频率是不同的，由此感测元件可以基于从不同用户的手指反射的声波而产生不同的电信号，从而可以利用该电信号实现用户指纹信息的分析和识别。

在另一实施例中，显示装置还包括电池，感测元件102电连接至该电池。如前所述，感测元件可以接收显示装置中一部分没有被有效利用的光而将其转换为电信号，感测元件电连接至电池，所以，在显示装置运行时，上述电信号可以传输至电池，即，对电池进行充电。如此，可提升显示装置的光利用效率。

基于同一发明构思，本公开的另外的实施例提供一种阵列基板的制造方法，该制造方法可用于制作上述实施例描述的阵列基板，并包括如下步骤：提供衬底基板；在衬底基板的第一侧上形成多个感测元件，每个感测元件被配置成至少将光信号和声波信号中的一个转换为电信号；在与衬底基板的第一侧相对的第二侧上形成多个开关器件。所述多个开关器件包括第一开关元件，每个第一开关元件与每个感测元件电连接以传输所述电信号。

在一些实施例中，每个感测元件包括第一电极、第二电极、和位于第一电极和第二电极之间的传感层，阵列基板的制造方法还包括：在衬底基板中形成多个过孔，每个感测元件的第一电极经由一个所述过孔与第一开关元件电连接。下面结合图7A-图7G示意性地说明阵列基板制造方法的示例。

如图7A所示，首先提供衬底基板101，该衬底基板101例如可以是玻璃基板、石英基板、塑料基板或其它适合材料的基板。在一个示例中，衬底基板101还可以是柔性衬底基板。如图7A所示，在衬底基板101中形成多个过孔（图7A中仅示出了一个过孔106），每个过孔106的直径以及相邻过孔之间的间距均不大于手指指纹的纹线距离。在一个示例中，每个过孔106的直径尺寸约为10μm~100μm，相邻两个过孔之间的间距约为100μm~200μm。此外，可以在形成有多个过孔106的衬底基板101的第一侧S1上例如可以通过化学气相沉积或者物理气相沉积等方法沉积金属薄膜，通过光刻工艺对该金属薄膜进行构图，以在衬底基板101的第一侧S1上形成第一电极1021。过孔106内可填充有第一电极1021的材料。

如图7B所示，在形成有第一电极1021的衬底基板101上沉积传感层薄膜并通过对该传感层薄膜进行构图以形成传感层1023。传感层1023包括光敏材料，例如，氢较高的非晶硅。替代性地，传感层包括声敏材料。在该实施例中，由于在制作传感层时尚未制作用于传输感测元件产生的电信号的开关器件，所以制造传感层1023所涉及的工艺不会对后续的开关器件的制作过程造成不利影响，由此可避免影响开关器件的性能。

接下来，如图7C所示，在形成有传感层1023的衬底基板101上形成第二电极1022。形成第一电极1021和第二电极1022的材料包括透明导电材料，例如氧化铟锡（ITO）、氧化锡（ZnO）等任意适合的材料。

在一些实施例中，如图7D和7E所示，在衬底基板101的第一侧S1上形成介质层1024和连接线1025，介质层1024基本上覆盖第一电极、第二电极和传感层，以起到隔离和保护感测元件的作用。第二电极1022可以经由连接线1025连接至参考电位。

在一些实施例中，如图7F所示，在衬底基板101的第一侧S1上形成感测元件102之后，将形成有感测元件102的衬底基板101翻转，以在衬底基板的第二侧S2上制作用于传输电信号的开关器件。

如图7G所示，在衬底基板101的第二侧S2上形成第一开关元件104，该第一开关元件104例如可以是薄膜晶体管。第一开关元件104的制造工艺可参照常规薄膜晶体管的制造工艺，在此不再赘述。形成的第一开关元件104和感测元件102例如可以位于阵列基板的显示区域内。

根据本实施例提供的阵列基板的制造方法，感测元件102和用于传输感测元件产生的电信号的开关器件分别制作在衬底基板101彼此相对的两侧。例如，在一些实施例中，先在衬底基板的第一侧制作感测元件102，然后在衬底基板的第二侧制作第一开关元件104。这样，一方面，由于在衬底基板的第一侧上制作感测元件时第一开关元件104还未形成，因此，制作感测元件102所需的复杂工艺条件不会影响到第一开关元件104。另一方面，在衬底基板的第二侧上制作第一开关元件104时所涉及的刻蚀工艺也不会对位于衬底基板的第一侧上已经形成的感测元件产生不利影响。

以上所述，仅为本公开提供的一些示例性实施例，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。在不冲突的情况下，本公开的各个实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例。因此，本申请的保护范围应以所述权利要求的范围为准。

Claims (11)

1.一种阵列基板，包括：

衬底基板；

设置在所述衬底基板的第一侧的多个感测元件，每个感测元件被配置成至少将光信号和声波信号中的一个转换为电信号；

多个开关器件，设置在与所述衬底基板的第一侧相对的第二侧，

其中所述多个开关器件包括第一开关元件，每个第一开关元件与每个感测元件电连接以传输所述电信号，

其中每个感测元件包括第一电极、第二电极和传感层，所述传感层设置在所述第一电极和所述第二电极之间，所述第一电极与所述第一开关元件电连接，所述第二电极用于接收参考电位，

其中所述衬底基板包括多个过孔，每个感测元件的第一电极经由一个所述过孔与所述第一开关元件电连接，

其中所述阵列基板包括显示区域，所述显示区域包括第一区域和位于第一区域外围的第二区域，所述感测元件和所述第一开关元件位于所述第一区域内，所述多个开关器件包括第二开关元件，第一开关元件和第二开关元件均包括薄膜晶体管，其中所述感测元件的第一电极电连接至第一开关元件的源极或漏极，

其中所述第一开关元件和第二开关元件中的每个的栅极用于在第一时间段接收第一控制信号以驱动显示区域内的像素，所述第一开关元件的栅极还用于在第二时间段接收第二控制信号以实现所述电信号的传输。

2.如权利要求1所述的阵列基板，其中每个过孔的直径以及相邻过孔之间的间距均不大于手指指纹的纹线距离。

3.如权利要求1所述的阵列基板，其中所述阵列基板还包括与所述感测元件的第一电极电连接的金属引线，所述金属引线用于与独立于所述阵列基板的能量存储元件电连接。

4.如权利要求3所述的阵列基板，其中所述阵列基板还包括位于所述衬底基板的第二侧、与所述开关器件电连接的电致有机发光元件，

其中所述传感层在所述衬底基板上的正投影与所述第一开关元件和所述电致有机发光元件的非透光区域在所述衬底基板上的正投影不重叠。

5.如权利要求3所述的阵列基板，其中所述传感层在所述衬底基板上的正投影与所述第一开关元件在所述衬底基板上的正投影至少部分重叠。

6.如权利要求1所述的阵列基板，其中，所述传感层包括光敏材料或声敏材料。

7.一种显示装置，包括如权利要求1-6任一所述的阵列基板。

8.如权利要求7所述的显示装置，其中所述感测元件是用于将声波信号转换为电信号的声波传感器，其中所述显示装置还包括用于产生声波的声波发生器。

9.如权利要求7所述的显示装置，其中所述显示装置包括电池，其中所述感测元件还电连接至所述电池。

10.一种制造如权利要求1所述的阵列基板的方法，包括：

提供衬底基板；

在所述衬底基板的第一侧上形成多个感测元件，每个感测元件被配置成至少将光信号和声波信号中的一个转换为电信号 ；

在与所述衬底基板的第一侧相对的第二侧上形成多个开关器件；

其中所述多个开关器件包括第一开关元件，每个第一开关元件与每个感测元件电连接以传输所述电信号。

11.如权利要求10所述的方法，其中每个感测元件包括第一电极、第二电极、和位于第一电极和第二电极之间的传感层，其中所述方法还包括：

在所述衬底基板中形成多个过孔，每个感测元件的第一电极经由一个所述过孔与所述第一开关元件电连接。

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