CN110676210B - 一种芯片固定装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种芯片固定装置，包括平台，平台上设置有支撑架，支撑架的形状为匚字型，支撑架开口处两端均传动连接有夹持组件，夹持组件包括驱动结构和设置在支撑架开口处的两个固定板，两个固定板相向设置的侧面均开设有卡槽，两个卡槽内分别设置有第一距离检测传感器和第二距离检测传感器，平台上开设有滑动槽，滑动槽的端部设置有电机，电机的输出端连接有丝杠，丝杠上螺纹连接有滚珠，滚珠上端连接支撑架，滚珠下端连接有滑动连接在滑动槽内的滑动块，驱动结构驱动两个固定板相向运动或者反向运动。本发明便于两个固定板对芯片进行夹持固定，可以有效防止夹持过程中使得芯片在平台上滑动磨损，便于提高芯片固定的效率的质量。

Description

一种芯片固定装置
技术领域
本发明涉及芯片制造加工技术领域，特别是指一种芯片固定装置。
背景技术
芯片在电子学中是一种把电路(主要包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上。
芯片在制造加工过程中，通常需要对芯片进行固定，便于后续芯片的加工，但是现有的固定装置是通过两个固定片相向运动对芯片进行贴附固定，便于芯片整体的固定，但是这样固定方式并不能很对好得固定住芯片，两端固定的方式对芯片的两端用力会比较大，容易损毁芯片及芯片内的性能，还使芯片固定的不够牢固，很可能轻微的晃动就使芯片掉落，这样不仅耽误实验人员的时间，可能会使正在进行的实验进行强制终止，带来不可挽回的损失，这不利于人们使用；现有的固定装置是通过两个固定片相向运动对芯片进行贴附固定，在固定装置上两个固定板对芯片的夹持过程中，容易使得芯片与放置芯片的平台之间相互滑动，容易损坏芯片；还有现有采用芯片上相对的两端均采用夹持组件，但是这样设计使得固定动作比较繁琐，既需要控制夹持组件对芯片夹持或者放开，又要对控制两个夹持组件相向运动靠近芯片或者相反运动远离芯片。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提出一种芯片固定装置，以致力于解决背景技术中的全部问题或者之一。
基于上述目的本发明提供的一种芯片固定装置，包括平台，所述平台上设置有支撑架，所述支撑架的形状为匚字型，所述支撑架开口处两端均传动连接有夹持组件，夹持组件包括驱动结构和设置在所述支撑架开口处的两个固定板，两个所述固定板相互平行设置，两个所述固定板相向设置的侧面均开设有卡槽，两个所述卡槽内分别设置有第一距离检测传感器和第二距离检测传感器，所述平台上设置有处理器，所述第一距离检测传感器和所述第二距离检测传感器均电连接所述处理器，所述平台上开设有滑动槽，所述滑动槽的端部设置有电机，所述电机电连接处理器，所述电机的输出端连接有丝杠，所述丝杠上螺纹连接有滚珠，所述滚珠上端连接所述支撑架，所述滚珠下端连接有滑动连接在所述滑动槽内的滑动块，所述驱动结构驱动两个所述固定板相向运动或者反向运动。
可选的，两个所述固定板的端部均设置有与所述支撑架滑动连接的第一滑杆，所述第一滑杆的轴线与所述固定板相互垂直，所述支撑架内设置有压制组件，所述压制组件包括两个第二连接块，每个所述第一滑杆上均对应固定连接所述第二连接块，所述第二连接块上开设有第二滑孔，所述第二滑孔内贯穿滑动连接有第二滑杆，两个所述第二滑杆相向设置的端部均连接有三角柱连接块，所述支撑架的对称轴位置处设置有第二电动伸缩推杆，所述第二电动伸缩推杆的伸缩端连接有第二移动杆，所述第二移动杆的轴线与所述第二电动伸缩推杆的轴线相互垂直，所述第二移动杆的两端轴连接有第二连接杆，两个所述三角柱连接块分别通过所述第二连接杆连接所述第二移动杆，所述固定板下端开设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有第一滑块，所述第一滑块下端连接有与所述三角柱连接块滑动连接的三角柱滑块，所述第一滑块的中部开设有第二凹槽，两个所述固定板相向设置的侧面上开设有与所述第二凹槽连通的第三凹槽，所述第二凹槽内设置有压制杆，所述压制杆得端部与所述第二凹槽侧壁铰接，所述压制杆贯穿所述第三凹槽，所述第三凹槽设置在所述卡槽上方。
可选的，每个所述卡槽下方设置有与所述固定板固定连接的第二限位块。
可选的，所述第一滑块上端通过弹性弹簧与所述滑槽内上端连接。
可选的，两个所述第二滑杆相反设置的端部均设置有第三限位块。
可选的，所述第一滑块上端开设有第一凹槽，所述弹性弹簧的下端与所述第一凹槽内下端连接。
可选的，所述驱动结构包括设置在所述支撑架上的两端处的两个第一连接块，两个所述第一连接块关于所述支撑架的对称轴对称设置，每个所述第一连接块上设置有第一滑孔，每个所述第一滑孔内贯穿滑动连接有第一滑杆，所述第一滑杆的轴线与所述支撑架的对称轴相互垂直，两个所述第一滑杆相向设置的端部均设置所述固定板，所述支撑架内中间位置固定连接有第一电动伸缩推杆，第一电动伸缩推杆的轴线与所述支撑架对称轴重合，所述第一电动伸缩推杆的伸缩端连接有第一移动杆中部，所述第一移动杆的轴线与所述第一电动伸缩推杆的轴线相互垂直，所述第一移动杆两端分别轴连接有第一连接杆，两个所述第一滑杆分别通过所述第一连接杆连接所述第一移动杆。
可选的，两个所述第一滑杆相反设置的端部均设置有第一限位块。
可选的，所述卡槽内贴附设置有橡胶垫。
从上面所述可以看出，本发明有益效果是:
1.本发明设置有第一距离检测传感器、第二距离检测传感器和固定板，将需要固定的芯片放置在两个固定板之间，然后第一距离检测传感器和第二距离检测传感器检测距离芯片的距离并将检测数据传输给处理器，当第一距离检测传感器和第二距离检测传感器检测的距离不相同，处理器控制电机启动，使得丝杠转动，带动滚珠顺着滑动槽的方向移动，便于控制调节芯片与两个固定板之间的距离，当芯片与两个固定板之间的距离相同时，电机停止运行，然后启动驱动结构，便于两个固定板对芯片进行夹持固定，可以有效防止夹持过程中使得芯片在平台上滑动磨损，便于提高芯片固定的效率的质量。
2.本发明设置有第一电动伸缩推杆、第一移动杆、第一连接杆、支撑架、第一连接块、第一滑孔、固定板和第一滑杆，便于带动两个固定板相向运动对芯片进行夹持或者反向运动对芯片进行放松控制，在两个固定板中间位置放置有芯片，芯片距离两个固定板的距离相同，启动第一电动伸缩推杆，第一电动伸缩推杆伸长带动第一移动杆向前运动，通过第一连接杆牵引带动第一滑杆相向运动，使得固定板相向运动对芯片进行夹持，当需要对芯片放松控制，使得第一电动伸缩推杆复位，第一电动伸缩推杆收缩带动第一移动杆向后运动，通过第一连接杆牵引带动第一滑杆相反运动，使得固定板相反运动对芯片进行放松。
3.本发明设置有第二电动伸缩推杆、第二移动杆、第二连接杆、第二连接块、第二滑孔、第二滑杆、三角柱连接块、滑槽、第一滑块、弹性弹簧、第一凹槽和压制杆，在第一电动伸缩推杆伸长使得两个固定板对芯片进行固定后，启动第二电动伸缩推杆，使得第二移动杆向前移动，通过连接的第二连接杆带动两个第二滑杆相反移动，两个三角柱连接块之间的间距大于第二移动杆的长度，使得俩个三角柱连接块相反运动，当三角柱连接块与三角柱滑块滑动时，俩个三角柱连接块相反运动便于带动三角柱滑块向上移动，便于带动第一滑块往滑槽深处移动，便于带动压制杆在第三凹槽的限制下向下转动便于对芯片的压制，不容易使得芯片与放置芯片的平台之间相互滑动，不容易损坏芯片。
附图说明
图1为本发明一种芯片固定装置实施例的结构示意图；
图2为本发明一种芯片固定装置实施例的固定板的内部结构示意图。
图中：平台 1，第一电动伸缩推杆 2，第一移动杆 3，第一连接杆 4，支撑架 5，第一连接块 6，第一滑孔 7，固定板 8，第一滑杆 9，第二电动伸缩推杆 10，第二移动杆 11，第二连接杆 12，第二连接块 13，第二滑孔 14，第二滑杆 15，三角柱连接块 16，滑槽 17，第一滑块 18，弹性弹簧 19，第一凹槽 20，压制杆 21，第二凹槽 22，第三凹槽 23，三角柱滑块 24，第一限位块 25，第二限位块 26。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。
需要说明的是，本发明实施例中所有使用“第一”和“第二”的表述均是为了区分两个相同名称非相同的实体或者非相同的参量，可见“第一”“第二”仅为了表述的方便，不应理解为对本发明实施例的限定，后续实施例对此不再一一说明。
一种芯片固定装置，包括平台1，所述平台1上设置有支撑架5，所述支撑架5的形状为匚字型，所述支撑架5开口处两端均传动连接有夹持组件，夹持组件包括驱动结构和设置在所述支撑架5开口处的两个固定板8，两个所述固定板8相互平行设置，两个所述固定板8相向设置的侧面均开设有卡槽，两个所述卡槽内分别设置有第一距离检测传感器和第二距离检测传感器，所述平台1上设置有处理器，所述第一距离检测传感器和所述第二距离检测传感器均电连接所述处理器，所述平台1上开设有滑动槽，所述滑动槽的端部设置有电机，所述电机电连接处理器，所述电机的输出端连接有丝杠，所述丝杠上螺纹连接有滚珠，所述滚珠上端连接所述支撑架5，所述滚珠下端连接有滑动连接在所述滑动槽内的滑动块，所述驱动结构驱动两个所述固定板8相向运动或者反向运动，将需要固定的芯片放置在两个固定板8之间，然后第一距离检测传感器和所述第二距离检测传感器检测距离芯片的距离并将检测数据传输给处理器，当第一距离检测传感器和所述第二距离检测传感器检测的距离不相同，处理器控制电机启动，使得丝杠转动，带动滚珠顺着滑动槽的方向移动，便于控制调节芯片与两个所述固定板8之间的距离，当芯片与两个所述固定板8之间的距离相同时，电机停止运行，然后启动驱动结构，便于两个固定板8对芯片进行夹持固定，可以有效防止夹持过程中使得芯片在平台上滑动磨损，便于提高芯片固定的效率的质量。
为了便于对通过固定板8夹持固定的芯片进行进一步压制，防止芯片夹持不稳定，不便于芯片后续加工工作，两个所述固定板8的端部均设置有与所述支撑架5滑动连接的第一滑杆9，所述第一滑杆9的轴线与所述固定板8相互垂直，所述支撑架5内设置有压制组件，所述压制组件包括两个第二连接块13，每个所述第一滑杆9上均对应固定连接所述第二连接块13，所述第二连接块13上开设有第二滑孔14，所述第二滑孔14内贯穿滑动连接有第二滑杆15，两个所述第二滑杆15相向设置的2端部均连接有三角柱连接块16，所述支撑架5的对称轴位置处设置有第二电动伸缩推杆10，所述第二电动伸缩推杆10的伸缩端连接有第二移动杆11，所述第二移动杆11的轴线与所述第二电动伸缩推杆10的轴线相互垂直，所述第二移动杆11的两端轴连接有第二连接杆12，两个所述三角柱连接块16分别通过所述第二连接杆12连接所述第二移动杆11，所述固定板8下端开设有滑槽17，所述滑槽17内滑动连接有第一滑块18，所述第一滑块18下端连接有与所述三角柱连接块16滑动连接的三角柱滑块24，所述第一滑块18的中部开设有第二凹槽22，两个所述固定板8相向设置的侧面上开设有与所述第二凹槽22连通的第三凹槽23，所述第二凹槽22内设置有压制杆21，所述压制杆21得端部与所述第二凹槽22侧壁铰接，所述压制杆21贯穿所述第三凹槽23，所述第三凹槽23设置在所述卡槽上方，每个所述卡槽下方设置有与所述固定板8固定连接的第二限位块26，所述第一滑块18上端通过弹性弹簧19与所述滑槽17内上端连接，两个所述第二滑杆15相反设置的端部均设置有第三限位块，所述第一滑块18上端开设有第一凹槽20，所述弹性弹簧19的下端与所述第一凹槽20内下端连接。在第一电动伸缩推杆2伸长使得两个固定板8对芯片进行固定后，启动第二电动伸缩推杆10，使得第二移动杆11向前移动，通过连接的第二连接杆12带动两个第二滑杆15相反移动，两个三角柱连接块16之间的间距大于所述第二移动杆11的长度，使得俩个三角柱连接块16相反运动，当三角柱连接块16与所述三角柱滑块24滑动时，俩个三角柱连接块16相反运动便于带动三角柱滑块24向上移动，便于带动第一滑块18往滑槽17深处移动，便于带动压制杆21在第三凹槽23的限制下向下转动便于对芯片的压制，不容易使得芯片与放置芯片的平台之间相互滑动，不容易损坏芯片。
为了便于带动两个固定板8相向运动对芯片进行夹持或者反向运动对芯片进行放松控制，所述驱动结构包括设置在所述支撑架5上的两端处的两个第一连接块6，两个所述第一连接块6关于所述支撑架5的对称轴对称设置，每个所述第一连接块6上设置有第一滑孔7，每个所述第一滑孔7内贯穿滑动连接有第一滑杆9，所述第一滑杆9的轴线与所述支撑架5的对称轴相互垂直，两个所述第一滑杆9相向设置的端部均设置所述固定板8，所述支撑架5内中间位置固定连接有第一电动伸缩推杆2，第一电动伸缩推杆2的轴线与所述支撑架5对称轴重合，所述第一电动伸缩推杆2的伸缩端连接有第一移动杆3中部，两个所述第一连接块6之间的距离小于所述第一移动杆3的长度，所述第一移动杆3的轴线与所述第一电动伸缩推杆2的轴线相互垂直，所述第一移动杆3两端分别轴连接有第一连接杆4，两个所述第一滑杆9分别通过所述第一连接杆4连接所述第一移动杆3，两个所述第一滑杆9相反设置的端部均设置有第一限位块25。在两个固定板8中间位置放置有芯片，芯片距离两个固定板8的距离相同，启动第一电动伸缩推杆2，第一电动伸缩推杆2伸长带动第一移动杆3向前运动，通过第一连接杆4牵引带动第一滑杆9相向运动，使得固定板8相向运动对芯片进行夹持，当需要对芯片放松控制，使得第一电动伸缩推杆2复位，第一电动伸缩推杆2收缩带动第一移动杆3向后运动，通过第一连接杆4牵引带动第一滑杆9相反运动，使得固定板8相反运动对芯片进行放松。
为了便于夹持固定减少对芯片的损坏，所述卡槽内贴附设置有橡胶垫。
当第一距离检测传感器和所述第二距离检测传感器检测的距离不相同，处理器控制电机启动，使得丝杠转动，带动滚珠顺着滑动槽的方向移动，便于控制调节芯片与两个所述固定板8之间的距离，当芯片与两个所述固定板8之间的距离相同时，电机停止运行，然后启动驱动结构，便于两个固定板8对芯片进行夹持固定，可以有效防止夹持过程中使得芯片在平台上滑动磨损，便于提高芯片固定的效率的质量，在两个固定板8中间位置放置有芯片，芯片距离两个固定板8的距离相同，启动第一电动伸缩推杆2，第一电动伸缩推杆2伸长带动第一移动杆3向前运动，通过第一连接杆4牵引带动第一滑杆9相向运动，使得固定板8相向运动对芯片进行夹持，当需要对芯片放松控制，使得第一电动伸缩推杆2复位，第一电动伸缩推杆2收缩带动第一移动杆3向后运动，通过第一连接杆4牵引带动第一滑杆9相反运动，使得固定板8相反运动对芯片进行放松，在第一电动伸缩推杆2伸长使得两个固定板8对芯片进行固定后，启动第二电动伸缩推杆10，使得第二移动杆11向前移动，通过连接的第二连接杆12带动两个第二滑杆15相反移动，两个三角柱连接块16之间的间距大于所述第二移动杆11的长度，使得俩个三角柱连接块16相反运动，当三角柱连接块16与所述三角柱滑块24滑动时，俩个三角柱连接块16相反运动便于带动三角柱滑块24向上移动，便于带动第一滑块18往滑槽17深处移动，便于带动压制杆21在第三凹槽23的限制下向下转动便于对芯片的压制，不容易使得芯片与放置芯片的平台之间相互滑动，不容易损坏芯片。
所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子；在本发明的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，步骤可以以任意顺序实现，并存在如上所述的本发明的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。
另外，为简化说明和讨论，并且为了不会使本发明难以理解，在所提供的附图中可以示出或可以不示出与集成电路(IC)芯片和其它部件的公知的电源/接地连接。此外，可以以框图的形式示出装置，以便避免使本发明难以理解，并且这也考虑了以下事实，即关于这些框图装置的实施方式的细节是高度取决于将要实施本发明的平台的(即，这些细节应当完全处于本领域技术人员的理解范围内)。在阐述了具体细节(例如，电路)以描述本发明的示例性实施例的情况下，对本领域技术人员来说显而易见的是，可以在没有这些具体细节的情况下或者这些具体细节有变化的情况下实施本发明。因此，这些描述应被认为是说明性的而不是限制性的。
尽管已经结合了本发明的具体实施例对本发明进行了描述，但是根据前面的描述，这些实施例的很多替换、修改和变型对本领域普通技术人员来说将是显而易见的。例如，其它存储器架构(例如，动态RAM(DRAM))可以使用所讨论的实施例。
本发明的实施例旨在涵盖落入所附权利要求的宽泛范围之内的所有这样的替换、修改和变型。因此，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种芯片固定装置，其特征在于，包括平台（1），所述平台（1）上设置有支撑架（5），所述支撑架（5）的形状为匚字型，所述支撑架（5）开口处两端均传动连接有夹持组件，夹持组件包括驱动结构和设置在所述支撑架（5）开口处的两个固定板（8），两个所述固定板（8）相互平行设置，两个所述固定板（8）相向设置的侧面均开设有卡槽，两个所述卡槽内分别设置有第一距离检测传感器和第二距离检测传感器，所述平台（1）上设置有处理器，所述第一距离检测传感器和所述第二距离检测传感器均电连接所述处理器，所述平台（1）上开设有滑动槽，所述滑动槽的端部设置有电机，所述电机电连接处理器，所述电机的输出端连接有丝杠，所述丝杠上螺纹连接有滚珠，所述滚珠上端连接所述支撑架（5），所述滚珠下端连接有滑动连接在所述滑动槽内的滑动块，所述驱动结构驱动两个所述固定板（8）相向运动或者反向运动；
两个所述固定板之间放置芯片，所述第一距离检测传感器和所述第二距离检测传感器检测距离芯片的距离并将检测数据传输给处理器，当第一距离检测传感器和第二距离检测传感器检测的距离不相同，处理器控制电机启动，使得丝杠转动，带动滚珠顺着滑动槽的方向移动，便于控制调节芯片与两个固定板之间的距离，当芯片与两个固定板之间的距离相同时，电机停止运行，然后启动驱动结构，用于两个固定板对芯片进行夹持固定。
2.根据权利要求1所述的一种芯片固定装置，其特征在于，两个所述固定板（8）的端部均设置有与所述支撑架（5）滑动连接的第一滑杆（9），所述第一滑杆（9）的轴线与所述固定板（8）相互垂直，所述支撑架（5）内设置有压制组件，所述压制组件包括两个第二连接块（13），每个所述第一滑杆（9）上均对应固定连接所述第二连接块（13），所述第二连接块（13）上开设有第二滑孔（14），所述第二滑孔（14）内贯穿滑动连接有第二滑杆（15），两个所述第二滑杆（15）相向设置的（2）端部均连接有三角柱连接块（16），所述支撑架（5）的对称轴位置处设置有第二电动伸缩推杆（10），所述第二电动伸缩推杆（10）的伸缩端连接有第二移动杆（11），所述第二移动杆（11）的轴线与所述第二电动伸缩推杆（10）的轴线相互垂直，所述第二移动杆（11）的两端轴连接有第二连接杆（12），两个所述三角柱连接块（16）分别通过所述第二连接杆（12）连接所述第二移动杆（11），所述固定板（8）下端开设有滑槽（17），所述滑槽（17）内滑动连接有第一滑块（18），所述第一滑块（18）下端连接有与所述三角柱连接块（16）滑动连接的三角柱滑块（24），所述第一滑块（18）的中部开设有第二凹槽（22），两个所述固定板（8）相向设置的侧面上开设有与所述第二凹槽（22）连通的第三凹槽（23），所述第二凹槽（22）内设置有压制杆（21），所述压制杆（21）得端部与所述第二凹槽（22）侧壁铰接，所述压制杆（21）贯穿所述第三凹槽（23），所述第三凹槽（23）设置在所述卡槽上方。
3.根据权利要求2所述的一种芯片固定装置，其特征在于，每个所述卡槽下方设置有与所述固定板（8）固定连接的第二限位块（26）。
4.根据权利要求2所述的一种芯片固定装置，其特征在于，两个所述第二滑杆（15）相反设置的端部均设置有第三限位块。
5.根据权利要求2所述的一种芯片固定装置，其特征在于，所述第一滑块（18）上端通过弹性弹簧（19）与所述滑槽（17）内上端连接。
6.根据权利要求5所述的一种芯片固定装置，其特征在于，所述第一滑块（18）上端开设有第一凹槽（20），所述弹性弹簧（19）的下端与所述第一凹槽（20）内下端连接。
7.根据权利要求1所述的一种芯片固定装置，其特征在于，所述驱动结构包括设置在所述支撑架（5）上的两端处的两个第一连接块（6），两个所述第一连接块（6）关于所述支撑架（5）的对称轴对称设置，每个所述第一连接块（6）上设置有第一滑孔（7），每个所述第一滑孔（7）内贯穿滑动连接有第一滑杆（9），所述第一滑杆（9）的轴线与所述支撑架（5）的对称轴相互垂直，两个所述第一滑杆（9）相向设置的端部均设置所述固定板（8），所述支撑架（5）内中间位置固定连接有第一电动伸缩推杆（2），第一电动伸缩推杆（2）的轴线与所述支撑架（5）对称轴重合，所述第一电动伸缩推杆（2）的伸缩端连接有第一移动杆（3）中部，所述第一移动杆（3）的轴线与所述第一电动伸缩推杆（2）的轴线相互垂直，所述第一移动杆（3）两端分别轴连接有第一连接杆（4），两个所述第一滑杆（9）分别通过所述第一连接杆（4）连接所述第一移动杆（3）。
8.根据权利要求7所述的一种芯片固定装置，其特征在于，两个所述第一滑杆（9）相反设置的端部均设置有第一限位块（25）。
9.根据权利要求1所述的一种芯片固定装置，其特征在于，所述卡槽内贴附设置有橡胶垫。
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