CN110656369A - 不锈钢衬底的电化学抛光方法和太阳能薄膜电池 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种不锈钢衬底的电化学抛光方法和太阳能薄膜电池，其中，不锈钢衬底的电化学抛光方法包括：向不锈钢衬底表面喷涂不溶性材料，形成覆盖所述不锈钢衬底的表面及深谷的薄膜保护层；对所述不锈钢衬底进行电化学腐蚀，腐蚀掉露出所述薄膜保护层的不锈钢衬底表面的毛刺。本发明采用电化学抛光的方法对不锈钢衬底进行抛光，在保证不锈钢衬底表面的深谷不被腐蚀的情况下，去除了从覆盖不锈钢衬底的薄膜保护层暴露出的毛刺，降低了不锈钢衬底表面的粗糙度，解决了电池效率下降的问题。
Description
技术领域
本发明实施例涉及抛光技术领域，尤其涉及一种不锈钢衬底的电化学抛光方法和太阳能薄膜电池。
背景技术
目前，由于不锈钢衬底重量轻，有一定的可弯折性，可以随意裁剪，随意焊接，且不锈钢衬底的厚度在20-100μm时，仍然具有一定的强度和韧性，可以支撑薄膜电池的后续制造工艺，同时不锈钢衬底的热稳定性和化学稳定性相对较高，可以支持几十年的薄膜电池寿命，因此柔性太阳能薄膜电池常采用不锈钢衬底。
然而不锈钢衬底在微观结构上往往有很多毛刺和深谷，而较高的毛刺无法被太阳能薄膜电池的金属电极层覆盖，会深入到太阳能薄膜电池的吸收层，从而导致电池效率下降；另外，一定深度的深谷也会导致沉积的金属电极层在衬底上不连续，即金属电极层的表面有凹陷，从而导致部分光电流无法输出，电池效率下降。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的是提出一种不锈钢衬底的电化学抛光方法和太阳能薄膜电池，以在保证不锈钢衬底表面的深谷不被电化学腐蚀的情况下，去除从覆盖不锈钢衬底表面的薄膜保护层暴露出的毛刺，降低不锈钢衬底表面的粗糙度，解决电池效率下降的问题。
为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：
一方面，本发明实施例提供了一种不锈钢衬底的电化学抛光方法，包括：
向不锈钢衬底表面喷涂不溶性材料，形成覆盖所述不锈钢衬底的表面及深谷的薄膜保护层；
对所述不锈钢衬底进行电化学腐蚀，腐蚀掉露出所述薄膜保护层的不锈钢衬底表面的毛刺。
进一步地，向不锈钢衬底表面喷涂不溶性材料，形成覆盖所述不锈钢衬底的表面及深谷的薄膜保护层，包括：
向所述不锈钢衬底表面热喷涂油漆，形成覆盖所述不锈钢衬底的表面及深谷的油漆涂层。
进一步地，对所述不锈钢衬底进行电化学腐蚀，腐蚀掉露出所述薄膜保护层的不锈钢衬底表面的毛刺，包括：
将所述不锈钢衬底浸入酸性电解质溶液中；
将所述不锈钢衬底作为阳极，不溶性金属作为阴极，采用直流电源或高频电源对所述不锈钢衬底进行通电，腐蚀掉所述毛刺暴露出的部分。
进一步地，将所述不锈钢衬底浸入酸性电解质溶液中，包括：
将不锈钢卷设置于卷对卷装置上，并将所述不锈钢卷位于所述卷对卷装置之间的部分松弛为弧形，其中所述不锈钢卷为形成所述不锈钢衬底的母板；
将所述不锈钢卷的弧形部分浸入所述酸性电解质溶液中。
进一步地，采用弧形的不溶性金属作为所述阴极。
进一步地，在腐蚀掉所述毛刺暴露出的部分之后，还包括：
对所述不锈钢衬底进行水洗并烘干。
进一步地，在对所述不锈钢衬底进行水洗并烘干之前，还包括：
采用碱性溶液中和所述不锈钢衬底表面残留的酸性电解质溶液。
进一步地，在对所述不锈钢衬底进行水洗并烘干之后，还包括：
清洗掉所述薄膜保护层。
进一步地，在对所述不锈钢衬底进行水洗并烘干之后，还包括：
清洗所述薄膜保护层并只保留所述薄膜保护层位于所述深谷中的部分。
另一方面，本发明实施例提供了一种太阳能薄膜电池，包括依次叠层设置的不锈钢衬底、背电极、吸收层、缓冲层、窗口层和顶电极，所述不锈钢衬底采用上述一方面所述的不锈钢衬底的电化学抛光方法进行抛光。
本发明的有益效果是：本发明提供的不锈钢衬底的电化学抛光方法和太阳能薄膜电池，在对不锈钢衬底进行电化学腐蚀之前，通过在不锈钢衬底的表面及深谷形成不溶性的薄膜保护层，可在电化学腐蚀过程中，保护深谷不被腐蚀，避免深谷进一步扩大；同时，由于在不锈钢衬底表面形成了薄膜保护层，因此只有毛刺露出薄膜保护层的部分先被腐蚀，以将毛刺露出薄膜保护层的部分全部腐蚀掉，且可保护不锈钢衬底不被腐蚀，避免不锈钢衬底被减薄。另外，形成的薄膜保护层具有一定厚度，使得暴露出的毛刺长度减小，即粗糙度降低，从而可加快电化学腐蚀的速度，提高电化学抛光效率。因此，本发明采用的电化学抛光方法对不锈钢衬底进行抛光，可在保证不锈钢衬底表面的深谷不被腐蚀的情况下，去除了从覆盖不锈钢衬底的薄膜保护层暴露出的毛刺，降低了不锈钢衬底表面的粗糙度，解决了电池效率下降的问题，同时还可以可加快电化学腐蚀的速度，提高电化学抛光效率。
附图说明
下面将通过参照附图详细描述本发明的示例性实施例，使本领域的普通技术人员更清楚本发明的上述及其他特征和优点，附图中：
图1是本发明实施例提供的不锈钢衬底在电化学抛光前的微观剖面示意图；
图2是本发明实施例提供的不锈钢衬底的电化学抛光方法的流程示意图；
图3是本发明实施例提供的覆盖薄膜保护层的不锈钢衬底的微观剖面示意图；
图4是本发明实施例提供的不锈钢卷设置于卷对卷装置上时的示意图；
图5是本发明实施例提供的不锈钢衬底进行电化学腐蚀时的示意图；
图6是本发明实施例提供的不锈钢衬底在电化学抛光后的微观剖面示意图；
图7是本发明实施例提供的清洗掉薄膜保护层后的不锈钢衬底的微观剖面示意图；
图8为图7的不锈钢衬底铺上金属颗粒后的微观剖面示意图；
图9是本发明实施例提供的金属颗粒熔融后的不锈钢衬底的微观剖面示意图；
图10是本发明实施例提供的仅保留深谷内的薄膜保护层的不锈钢衬底的微观剖面示意图；
图11是本发明实施例提供的一种太阳能薄膜电池的剖面结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
实施例
图1是本发明实施例提供的不锈钢衬底在电化学抛光前的微观剖面示意图。如图1所示，不锈钢衬底10在微观结构上存在很多毛刺101和深谷102，在后续太阳能薄膜电池的制备工艺中，较高的毛刺101无法被沉积的背电极覆盖，导致部分毛刺101深入到太阳能薄膜电池的吸收层，从而导致电池效率下降；而一定深度的深谷102也会导致沉积的背电极在不锈钢衬底10上不连续，即背电极的表面有凹陷，从而导致部分光电流无法输出，电池效率下降。
针对上述问题，本发明实施例提供了一种不锈钢衬底的电化学抛光方法。
图2是本发明实施例提供的不锈钢衬底的电化学抛光方法的流程示意图。该方法适用于填充不锈钢衬底表面的深谷并对不锈钢衬底表面的毛刺进行电化学腐蚀的情况，本发明实施例出现的不溶性均表示在电化学腐蚀过程中不会被腐蚀。如图1所示，该不锈钢衬底的电化学抛光方法包括：
步骤110、向不锈钢衬底表面喷涂不溶性材料，形成覆盖不锈钢衬底的表面及深谷的薄膜保护层。
示例性地，可使用喷枪将不溶性材料雾化成极细的颗粒，并以很高的速度喷射到不锈钢衬底表面。由于不溶性材料雾化后的颗粒极细，可填充至深谷中，如图3所示，冲击到不锈钢衬底10表面的颗粒，因受冲压而变形，形成叠层薄膜，粘附在不锈钢衬底10的表面及深谷102内；而毛刺101表面的倾斜角过大，不溶性材料的颗粒会顺着毛刺101沉积到不锈钢衬底10表面，并且由于沉积的涂层很薄，因此毛刺101不会被不溶性材料所包裹。在不锈钢衬底表面沉积很薄的不溶性材料后，经固化形成覆盖不锈钢衬底10的表面及深谷102的薄膜保护层1。可选的，向不锈钢衬底表面热喷涂油漆，形成覆盖不锈钢衬底的表面及深谷的油漆涂层。
步骤120、对不锈钢衬底进行电化学腐蚀，腐蚀掉露出薄膜保护层的不锈钢衬底表面的毛刺。
经步骤110后，不锈钢衬底用于后续沉积背电极的表面覆盖了一层薄膜保护层，仅暴露出不锈钢衬底表面的毛刺，因此在对不锈钢衬底进行电化学腐蚀时，只有暴露出的毛刺先被腐蚀，从而可通过控制电化学腐蚀的参数，刚好腐蚀掉毛刺露出薄膜保护层的部分。其中，电化学腐蚀的参数包括电源工作电压、电解质溶液成分、电流密度、不锈钢的成分及特性、温度和电化学腐蚀时间等。本实施例中，电化学腐蚀的参数可通过多次试验确定，且电化学腐蚀的参数均可为一范围值，只要控制毛刺露出薄膜保护层的部分刚好被腐蚀掉即可。
示例性的，该步骤120可包括：
A、将不锈钢衬底浸入酸性电解质溶液中。
其中，酸性电解质溶液可以为磷酸溶液、硫酸溶液和盐酸溶液中的一种或混合溶液，也可以为其他酸性电解质溶液及添加剂。根据不锈钢的成分及特性，应选用不同成分的酸性电解质溶液。例如，对于马氏体不锈钢，酸性电解质溶液可以为70～80g/L的磷酸溶液，也可以为10～50g/L的磷酸溶液和15～40g/L的硫酸溶液的混合溶液；对于奥氏体不锈钢，酸性电解质溶可以为50～60g/L的磷酸溶液和20～30g/L的硫酸溶液的混合溶液。
考虑到每次单独将一片不锈钢衬底浸入酸性电解质溶液中，无法进行连续的表面抛光处理，且需要夹具夹持，并不断更换不锈钢衬底进行电化学腐蚀，费时费力，影响整条生产线的效率。因此，可选地，如图4和图5所示，由于不锈钢衬底的厚度通常在20-100μm，柔韧性比较好，本实施例可将一整张不锈钢卷100设置于卷对卷装置4上，并将不锈钢卷100位于卷对卷装置4之间的部分松弛为弧形，其中不锈钢卷100为形成不锈钢衬底的母板；再将不锈钢卷100的弧形部分浸入酸性电解质溶液2中。由此，在浸入酸性电解质溶液2中的一段不锈钢卷100电化学腐蚀完成后，转动卷对卷装置4使连续的下一段不锈钢卷100浸入酸性电解质溶液2中进行电化学腐蚀，以此实现对不锈钢卷100进行连续的表面抛光处理，提高生产效率。
B、将不锈钢衬底作为阳极，不溶性金属作为阴极，采用直流电源或高频电源对不锈钢衬底进行通电，腐蚀掉毛刺暴露出的部分。
示例性的，如图5所示，可采用恒流法，将不锈钢衬底10作为阳极，不溶性金属3作为阴极，即不锈钢衬底10接直流电源的正极，不溶性金属3接直流电源的负极，采用直流电源对不锈钢衬底10进行通电，通电后，不锈钢衬底10上的毛刺会由于“尖端电荷效应”被酸性电解质溶液2快速腐蚀，再通过控制电化学腐蚀的参数即可刚好腐蚀掉毛刺暴露出的部分。其中，阴极可以为铂电极或者石墨电极，通常，阴极和阳极的面积比为3:1或2:1。如图6所示，在腐蚀掉毛刺露出薄膜保护层的部分后，残留毛刺103的上表面与薄膜保护层1的上表面齐平，形成光滑表面。
可选的，采用弧形的不溶性金属作为阴极，从而阴极和阳极的表面距离可以控制在固定的数值，以提高不锈钢衬底10表面抛光的均匀性，其中，根据不锈钢衬底10的尺寸、酸性电解质溶液2的成分以及工作电压的大小，阴极和阳极的表面距离可以在2～50cm范围内调节，以实现对毛刺的快速腐蚀。
本实施例可选用不同的电化学腐蚀的参数实现对不锈钢衬底的电化学抛光。例如，电化学腐蚀的参数为：三氧化铬2.5mol/L，硫酸5.0mol/L，阳极电流密度25A/dm2，酸性电解质溶液温度45℃，电化学腐蚀时间10min，此时，可对成分为304不锈钢的不锈钢衬底进行电化学抛光，且抛光后的不锈钢衬底表面均匀，几乎没有任何粗糙的痕迹。又如，电化学腐蚀的参数为：磷酸100～120mL/L，硫酸80mL/L，氯化钠40g/L，硝酸钠90～110g/L，表面活性剂J10g/L，缓蚀剂H 6g/L，稳定剂C 25g/L，光亮剂B 25g/L，此时，对成分为3Crl3不锈钢的不锈钢衬底进行电化学抛光，可获得较好的抛光效果。
本实施例提供的不锈钢衬底的电化学抛光方法，在对不锈钢衬底进行电化学腐蚀之前，通过在不锈钢衬底的表面及深谷形成不溶性的薄膜保护层，可在电化学腐蚀过程中，保护深谷不被腐蚀，避免深谷进一步扩大；同时，由于在不锈钢衬底表面形成了薄膜保护层，因此只有毛刺露出薄膜保护层的部分先被腐蚀，以将毛刺露出薄膜保护层的部分全部腐蚀掉，且可保护不锈钢衬底不被腐蚀，避免不锈钢衬底被减薄。另外，形成的薄膜保护层具有一定厚度，使得暴露出的毛刺长度减小，即粗糙度降低，从而可加快电化学腐蚀的速度，提高电化学抛光效率。因此，本发明采用的电化学抛光方法对不锈钢衬底进行抛光，可在保证不锈钢衬底表面的深谷不被腐蚀的情况下，去除了从覆盖不锈钢衬底的薄膜保护层暴露出的毛刺，降低了不锈钢衬底表面的粗糙度，解决了电池效率下降的问题，同时还可以可加快电化学腐蚀的速度，提高电化学抛光效率。
可选地，上述方案中，在腐蚀掉毛刺暴露出的部分之后，还可包括：
对不锈钢衬底进行水洗并烘干，以便后续沉积背电极。
进一步地，在对不锈钢衬底进行水洗并烘干之前，还可包括：
采用碱性溶液中和不锈钢衬底表面残留的酸性电解质溶液，以避免残留的酸性电解质溶液与残留毛刺继续反应，防止表面形成凹陷。
可选地，在对不锈钢衬底进行水洗并烘干之后，还包括：
清洗掉薄膜保护层。示例性的，当薄膜保护层的材料为油漆时，可采用丙酮等有机溶剂清洗掉薄膜保护层。如图7所示，不锈钢衬底10的表面及深谷的薄膜保护层均被清洗掉，此时，由于残留毛刺103的存在，不锈钢衬底10的表面仍具有一定的粗糙度，但残留毛刺103很小，可以被背电极完全覆盖，不会深入到太阳能薄膜电池的吸收层而影响电池效率；而且一定的粗糙度可以增加背电极和不锈钢衬底的结合力，从而提高了太阳能薄膜电池整体牢固结合的可靠性。
进一步地，基于上述方案，考虑到深谷的薄膜保护层也被清洗掉，而较深的深谷会导致沉积的背电极在不锈钢衬底上不连续，从而导致部分光电流无法输出，电池效率下降。在清洗掉薄膜保护层后，可向不锈钢衬底表面铺金属颗粒以填充深谷。
示例性地，本发明可采用喷涂金属颗粒的方式在不锈钢衬底表面平铺金属颗粒。如图8所示，金属颗粒5的粒度小于深谷102的开口，金属颗粒5可以填充到深谷102内，以使金属颗粒5经熔融后可以填满深谷102，避免产生气泡，以致在后续工艺中产生凹陷等缺陷。然后，加热不锈钢衬底，熔融全部或者部分金属颗粒，以填充不锈钢衬底表面的深谷，并在不锈钢衬底表面形成一层金属薄膜。示例性地，如图9所示，本发明实施例可对不锈钢衬底进行加热，金属颗粒5受热熔融后具有流动性，可以填充深谷102，再缓慢降温以固化深谷102中以及不锈钢衬底10表面的熔融金属，使深谷102中填充金属材料，并在不锈钢衬底10表面形成一层平坦的金属薄膜6。此时，沉积的背电极可在不锈钢衬底10上连续，使得光电流正常输出，提高了电池效率。本实施例中，金属颗粒5的熔点小于不锈钢衬底10的熔点。而且，在高温下，熔融的金属可以与不锈钢衬底10互相扩散，从而形成紧密的结合。另外，也可以仅将金属颗粒5加热到具有一定流动性，实现金属颗粒5在深谷102中流动即可，此时加热温度可以为200～1200℃。进一步地，可在真空或者惰性气体环境中加热不锈钢衬底10至200～1200℃，并保持1～60分钟，以防止金属颗粒5在加热充填过程中被氧化。
进一步地，上述步骤向不锈钢衬底表面铺金属颗粒，可包括：分多次向不锈钢衬底表面铺金属颗粒；且每次向不锈钢衬底表面铺金属颗粒之后，执行加热不锈钢衬底的操作。本实施例分多次向不锈钢衬底表面铺金属颗粒，每次铺上少量金属颗粒并加热，不仅可以提高对深谷的填充效果，还可以使形成的金属薄膜的表面达到更好的平整度，进而使后续沉积的背电极在不锈钢衬底上连续。
可选地，每次加热不锈钢衬底的温度可以相同，也可以不同，只要使每次铺的金属颗粒全部或部分熔融或具有一定流动性即可。
进一步地，在填充深谷时铺设的金属颗粒的粒度(尺寸大小)，小于填充完深谷后铺设的金属颗粒的粒度。由此可以使较小的金属颗粒先填充至深谷中，以便熔融的金属填充满深谷；而在填充完深谷后向不锈钢衬底表面铺较大的金属颗粒，可以铺较少的金属颗粒，提高铺金属颗粒的效率。
进一步地，金属颗粒的熔点大于后续制备太阳能薄膜电池的工艺温度。此时，金属颗粒的熔点应介于后续制备太阳能薄膜电池的工艺温度与不锈钢衬底的熔点之间。示例性地，不锈钢的熔点在1300～1400℃之间，后续制备太阳能薄膜电池的工艺温度最高能达到700℃，而铜的熔点为1083℃，锰的熔点为1244℃，因此，金属颗粒的材料可以为铜或锰或铜和锰的合金。由此，可防止形成的金属薄膜在后续制备太阳能薄膜电池的工艺中熔融，进而避免太阳能薄膜电池报废。
进一步地，金属颗粒的热膨胀系数与不锈钢衬底的热膨胀系数相匹配。由此可避免金属薄膜与不锈钢衬底因热膨胀时受内应力作用而分离甚至产生裂纹。
可选地，不同于上述方案，本实施例在对不锈钢衬底进行水洗并烘干之后，也可包括：
清洗薄膜保护层并只保留薄膜保护层位于深谷中的部分。
具体地，本实施例可通过控制冲洗薄膜保护层的有机溶剂的量，或者控制不锈钢衬底在有机溶剂中的冲洗时间，来只清洗掉薄膜保护层位于不锈钢衬底表面的部分。
示例性地，如图10所示，本实施例在清洗薄膜保护层1后，保留薄膜保护层1位于深谷中的部分，此时，残留毛刺103在不锈钢衬底10的表面可形成一定的粗糙度，从而增加了背电极和不锈钢衬底的结合力，提高了太阳能薄膜电池整体牢固结合的可靠性，同时，深谷102仍被薄膜保护层1的一部分填充，不存在背电极在不锈钢衬底上不连续的问题，进而保证了电池效率。因此，本实施例既可以增加背电极和不锈钢衬底的结合力，又可以避免电池效率的下降。
另外，本发明实施例还提供了一种太阳能薄膜电池，如图11所示，该太阳能薄膜电池包括依次叠层设置的不锈钢衬底10、背电极20、吸收层30、缓冲层40、窗口层50和顶电极60，其中，不锈钢衬底10采用本发明实施例提供的不锈钢衬底的机械抛光方法进行抛光。
本发明实施例所提供的太阳能薄膜电池，其中的不锈钢衬底采用本发明实施例提供的不锈钢衬底的机械抛光方法进行抛光，具备相应的功能和有益效果。
注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。
Claims (10)
1.一种不锈钢衬底的电化学抛光方法，其特征在于，包括：
向不锈钢衬底表面喷涂不溶性材料，形成覆盖所述不锈钢衬底的表面及深谷的薄膜保护层；
对所述不锈钢衬底进行电化学腐蚀，腐蚀掉露出所述薄膜保护层的不锈钢衬底表面的毛刺。
2.根据权利要求1所述的不锈钢衬底的电化学抛光方法，其特征在于，向不锈钢衬底表面喷涂不溶性材料，形成覆盖所述不锈钢衬底的表面及深谷的薄膜保护层，包括：
向所述不锈钢衬底表面热喷涂油漆，形成覆盖所述不锈钢衬底的表面及深谷的油漆涂层。
3.根据权利要求1所述的不锈钢衬底的电化学抛光方法，其特征在于，对所述不锈钢衬底进行电化学腐蚀，腐蚀掉露出所述薄膜保护层的不锈钢衬底表面的毛刺，包括：
将所述不锈钢衬底浸入酸性电解质溶液中；
将所述不锈钢衬底作为阳极，不溶性金属作为阴极，采用直流电源或高频电源对所述不锈钢衬底进行通电，腐蚀掉所述毛刺暴露出的部分。
4.根据权利要求3所述的不锈钢衬底的电化学抛光方法，其特征在于，将所述不锈钢衬底浸入酸性电解质溶液中，包括：
将不锈钢卷设置于卷对卷装置上，并将所述不锈钢卷位于所述卷对卷装置之间的部分松弛为弧形，其中所述不锈钢卷为形成所述不锈钢衬底的母板；
将所述不锈钢卷的弧形部分浸入所述酸性电解质溶液中。
5.根据权利要求4所述的不锈钢衬底的电化学抛光方法，其特征在于，采用弧形的不溶性金属作为所述阴极。
6.根据权利要求3所述的不锈钢衬底的电化学抛光方法，其特征在于，在腐蚀掉所述毛刺暴露出的部分之后，还包括：
对所述不锈钢衬底进行水洗并烘干。
7.根据权利要求6所述的不锈钢衬底的电化学抛光方法，其特征在于，在对所述不锈钢衬底进行水洗并烘干之前，还包括：
采用碱性溶液中和所述不锈钢衬底表面残留的酸性电解质溶液。
8.根据权利要求6所述的不锈钢衬底的电化学抛光方法，其特征在于，在对所述不锈钢衬底进行水洗并烘干之后，还包括：
清洗掉所述薄膜保护层。
9.根据权利要求6所述的不锈钢衬底的电化学抛光方法，其特征在于，在对所述不锈钢衬底进行水洗并烘干之后，还包括：
清洗所述薄膜保护层并只保留所述薄膜保护层位于所述深谷中的部分。
10.一种太阳能薄膜电池，其特征在于，包括依次叠层设置的不锈钢衬底、背电极、吸收层、缓冲层、窗口层和顶电极，所述不锈钢衬底采用如权利要求1-9任一项所述的不锈钢衬底的电化学抛光方法进行抛光。
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|---|---|---|---|---|
| CN113293428A (zh) * | 2021-05-28 | 2021-08-24 | 东莞和馨嘉电子科技有限公司 | 一种具有发热盘的杯胆的电解工艺 |
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2018
- 2018-06-28 CN CN201810688275.7A patent/CN110656369A/zh not_active Withdrawn
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