CN110608204B - 真空喷射器及密封阀单元 - Google Patents

Abstract

本发明提供具备即使破坏压较高也能可靠地动作的密封阀的真空喷射器和密封阀单元。在真空产生机构(50)与破坏流路(48)之间设置有密封阀机构(70)的真空喷射器(10B)中，密封阀机构(70)构成为具备阀芯(76)，并且使该阀芯(76)通过活塞部(66)从密封口(65)分离而打开，该阀芯(76)被从破坏流路(48)侧向密封口(65)对该阀芯施力而封闭密封口(65)，该活塞部通过被供给到真空产生机构(50)的供给空气进行动作。

Description

真空喷射器及密封阀单元

技术领域

本发明涉及一种向吸附用垫等作业设备供给负压的真空喷射器以及密封阀单元。

背景技术

以往，例如已知有作为工件的输送单元使用的真空喷射器。该真空喷射器使压缩空气流动到扩散器(也称为喷射部或真空产生机构)并产生负压而吸附工件。并且，一边保持吸附状态一边使工件移位。此后，通过解除吸附状态，而使工件脱离到规定位置并进行工件的输送等。

在以往的真空喷射器中，为了可靠地进行工件的脱离，存在具有向负压流路送入破坏空气(压缩空气)的功能的真空喷射器。

另外，在日本特开平8-68400号公报中记载了真空喷射器构成为在负压流路与扩散器之间设置密封阀，从而在解除吸附状态时能够可靠地进行负压破坏。

可是，根据用途，为了除去粘贴在吸附垫的工件，或去除附着于工件的尘埃、异物，存在需要更高压的破坏空气的情况。

在这样的情况下，在对负压流路与产生负压的喷射部(真空产生机构)之间进行密封，并且破坏空气不流出到真空产生机构侧的密封阀中，期望即使相对于更高压的破坏空气也可靠地进行动作的构造。

另外，根据用途，也存在不需要向工件吹送高压的破坏空气，并且破坏空气不需要较高的压力的情况。在该情况下，不需要成本较高的密封阀，优选尽可能地使装置结构简化。因此，优选能够根据需要从真空喷射器拆卸密封阀。

发明内容

下述公开的一观点的真空喷射器具备：供给端口，该供给端口供给压缩空气；真空端口，该真空端口与吸附单元连接；真空产生机构，该真空产生机构在从所述供给端口供给的供给空气的作用下产生负压；破坏阀，该破坏阀向所述真空端口供给破坏空气；供给流路，该供给流路连接所述供给端口和所述真空产生机构，并且在该供给流路上具备供给阀；负压流路，该负压流路连接所述真空产生机构和所述真空端口；破坏流路，该破坏流路连接所述破坏阀和所述负压流路；以及密封阀机构，该密封阀机构配置于所述真空产生机构与所述破坏流路之间的所述负压流路，并且阻止通过所述破坏流路而被供给到所述真空端口的破坏空气向所述真空产生机构流出，所述密封阀机构通过来自所述供给阀的供给空气的供给而成为打开状态，当来自所述供给阀的供给空气的供给停止时所述密封阀机构成为关闭状态。

根据上述真空喷射器，虽然使密封阀机构为关闭状态，但不需要供给空气(或破坏空气)的作用。因此，即使是在破坏空气的破坏压力较高的情况下，也能够继续维持关闭状态。即，即使是在将更高压的破坏空气供给到负压流路的情况下，由于密封阀机构被维持在关闭状态，因此也能够可靠地密封负压流路。

在上述观点的真空喷射器中，所述密封阀机构也可以具备：密封口，该密封口是对所述负压流路进行缩径而成的；阀芯，该阀芯被从所述破坏流路侧向所述密封口施力而封闭所述密封口；以及活塞部，该活塞部受到所述供给空气的压力而使所述阀芯向从所述密封口分离的方向移位。

上述真空喷射器构成为密封阀机构的阀芯被从破坏流路侧朝向密封口施力，从而封闭密封口。因此，即使是在破坏流路侧的破坏压力较高的情况下，也能够可靠地密封负压流路，而阀芯不会打开。

在上述观点的真空喷射器中，也可以构成为，在所述活塞部的顶端部形成有缩径部，该缩径部的直径比所述密封口的直径小，该缩径部与所述阀芯抵接并按压所述阀芯，从而使所述阀芯从所述密封口分离。

通过构成为上述那样，活塞部的顶端部通过密封口而按压阀芯，从而能够使密封口开口。由于活塞部的顶端部成为直径比密封口小的缩径部，因此即使活塞部按压阀芯，密封口也不会被活塞部阻塞。

在上述观点的真空喷射器中，所述密封阀机构也可以具备：第一弹性部件，该第一弹性部件朝向所述密封口对所述阀芯施力；以及第二弹性部件，该第二弹性部件朝向使所述活塞部从所述阀芯分离的方向对所述活塞部施力。

通过构成为上述那样，即使是在供给空气的供给停止时，通过向密封口对构成密封阀机构的阀芯施力，能够可靠地使密封阀机构为关闭状态。

在下述公开的另外的一观点中，一种密封阀单元，该密封阀单元拆装自如地安装于真空喷射器，该真空喷射器具备：供给端口，该供给端口供给压缩空气；真空端口，该真空端口与吸附单元连接；真空产生机构，该真空产生机构在从所述供给端口供给的供给空气的作用下产生负压；破坏阀，该破坏阀向所述真空端口供给破坏空气；供给流路，该供给流路连接所述供给端口和所述真空产生机构，并且在该供给流路上具备供给阀；负压流路，该负压流路连接所述真空产生机构和所述真空端口；以及破坏流路，该破坏流路连接所述破坏阀和所述负压流路，该密封阀单元具备密封阀机构，该密封阀机构配置于所述真空产生机构与所述破坏流路之间的所述负压流路，并且阻止通过所述破坏流路而被供给到所述真空端口的破坏空气向所述真空产生机构流出。

根据上述的密封阀单元，由于构成为相对于真空喷射器拆装自如，因此在需要高压的破坏空气的情况下，仅通过在真空喷射器安装密封阀单元就能够构成具有密封阀的真空喷射器。

在上述观点的密封阀单元中，所述密封阀机构也可以具备：密封口，该密封口是对所述负压流路进行缩径而成的；阀芯，该阀芯被从所述破坏流路侧朝向所述密封口施力而封闭所述密封口；以及活塞部，该活塞部受到所述供给空气的压力而使所述阀芯向从所述密封口分离的方向移位。

根据上述的密封阀单元，密封阀机构的阀芯构成为从破坏流路侧向密封口对阀芯施力，从而封闭密封口。因此，即使是在破坏空气通过破坏流路侧而被导入到负压流路，并且负压流路的破坏压力升高的情况下，也能够可靠地密封负压流路，而阀芯不会打开。

在上述观点的密封阀单元中，也可以构成为，在所述活塞部的顶端部形成有缩径部，该缩径部的直径比所述密封口的直径小，该缩径部与所述阀芯抵接并按压所述阀芯，从而使所述阀芯从所述密封口分离。

通过构成为上述那样，活塞部的顶端部通过密封口而按压阀芯，从而能够使密封口开口。由于活塞部的顶端部成为直径比密封口小的缩径部，因此即使活塞部按压阀芯，密封口也不会被活塞部阻塞。

在上述观点的密封阀单元中，所述密封阀机构也可以具备：第一弹性部件，该第一弹性部件朝向所述密封口对所述阀芯施力；以及第二弹性部件，该第二弹性部件朝向使所述活塞部从所述阀芯分离的方向对所述活塞部施力。

通过构成为上述那样，即使是在供给空气的供给停止时，通过向密封口对构成密封阀机构的阀芯施力，能够可靠地使密封阀机构为关闭状态。

在上述观点的密封阀单元中，还可以设置有所述真空端口和所述负压流路。

通过构成为上述那样，密封阀单元以及真空喷射器的负压流路变短，装置结构被简化。

根据上述一观点，在真空喷射器中，能够实现即使是高压的破坏空气也可靠地进行动作的密封阀。另外，根据另外的一观点，由于能够使密封阀构成为拆装自如的密封阀单元，因此仅通过对密封阀单元进行拆装，就能够根据用途灵活地改变真空喷射器的装置结构。

上述目的、特征以及优势通过参照附图而说明的以下的实施方式的说明将更容易被理解。

附图说明

图1是在分离的状态下表示本发明的第一实施方式的真空喷射器以及安装单元的侧视图。

图2是图1的真空喷射器以及安装单元的立体图。

图3是表示在图1的真空喷射器安装有过滤器单元作为安装单元的状态的剖视图。

图4是表示在图1的真空喷射器安装有密封阀单元作为安装单元的状态的剖视图。

图5是安装有图4的密封阀单元的真空喷射器的空气回路图。

图6是本发明的第二实施方式的真空喷射器的立体图。

图7是表示在图6的真空喷射器安装有密封阀单元的状态的立体图。

图8是图6的真空喷射器的剖视图。

图9是图7的真空喷射器的剖视图。

图10是图7的真空喷射器的空气回路图。

具体实施方式

以下，列举本发明的优选的实施方式，并参照附图详细地进行说明。此外，为了便于说明，存在附图的尺寸比率被夸张而与实际的比率不同的情况。

(第一实施方式)

如图1所示，本实施方式的真空喷射器10构成为具备：主体12；以及构成为能够相对于该主体12拆装自如的安装单元20。在安装单元20设置有与吸附垫等连接的真空端口38。如后所述，该安装单元20具有：不具有密封阀机构70而仅内置有吸滤器78的过滤器单元20A(参照图3)；以及内置有吸滤器78和密封阀机构70的密封阀单元20B(参照图4)。真空喷射器10根据用途安装过滤器单元20A以及密封阀单元20B中的任一个作为安装单元20而使用。

主体12具备：将向真空端口38的输出切换为负压或正压的阀单元14；产生负压的喷射器单元18；以及连接阀单元14和喷射器单元18的流路单元16。在流路单元16设置有供给压缩空气的供给端口34，从该供给端口34流入的压缩空气被引导至阀单元14，并且供给空气(压缩空气)经由阀单元14而被供给到喷射器单元18。

在喷射器单元18设置有基于供给空气的作用而产生负压的真空产生机构50(参照图3)。另外，在喷射器单元18设置有将通过真空产生机构50的供给空气排出的排气端口36。如图2所示，在喷射器单元18产生的负压经由设置于主体12的下部的连接口58、60而被供给到安装单元20。安装单元20构成为通过内部的负压流路向真空端口38传递负压。

如图1以及图2所示，安装单元20具备形成为长方体形状的框部21，在该框部21的连接面21a形成有：朝向X1侧突出的突出部22；卡合部24；以及突部26。另外，在主体12的连接部12a设置有：接收突出部22的凹部32；与卡合部24卡合的卡合接收部30；以及通过弹性变形与突部26卡合而阻止安装单元20的脱落的锁定片28。使安装单元20沿图2的箭头的方向滑动，且将突出部22装入主体12的凹部32，并且使卡合部24卡合到主体12的卡合接收部30，从而安装安装单元20。以下，对真空喷射器10A、10B的各部分的结构进行说明。

如图3所示，真空喷射器10A构成为在主体12安装过滤器单元20A作为安装单元20。其中，主体12具有阀单元14、流路单元16以及喷射器单元18、和电磁阀单元41。

阀单元14具备：具有供给阀42a和破坏阀42b的阀机构42；供给流路44；导入空气流路46；以及破坏流路48。导入空气流路46是连接流路单元16的供给端口34、和供给阀42a以及破坏阀42b的流路，并且在流路单元16内分支而与供给阀42a以及破坏阀42b连接。供给阀42a配置于导入空气流路46与供给流路44之间。另外，破坏阀42b配置于导入空气流路46与破坏流路48之间。

电磁阀单元41输出先导空气，该先导空气驱动构成阀机构42的供给阀42a以及破坏阀42b。供给阀42a和破坏阀42b构成为在同一轴上相互协作地动作的阀，通过从电磁阀单元41供给的先导压力进行动作。在供给阀42a形成有凹部42a1，该凹部42a1能够与导入空气流路46和供给流路44连通。在供给阀42a为关闭状态时，凹部42a1产生移位到不与导入空气流路46连通的位置，并且供给阀42a封闭导入空气流路46。另一方面，在破坏阀42b形成有凹部42b1，该凹部42b1能够与导入空气流路46和破坏流路48连通。在破坏阀42b为关闭状态时，凹部42b1移位到不与导入空气流路46连通的位置，并且破坏阀42b封闭导入空气流路46。

当向供给阀42a侧对阀机构42的破坏阀42b施力时，破坏阀42b处于打开位置，并且破坏阀42b成为打开状态。此时，供给阀42a被挤压到关闭位置，并且供给阀42a成为关闭状态。当停止破坏阀42b的施力时，破坏阀42b通过弹簧42c而回到关闭位置。此时，破坏阀42b以及供给阀42a成为关闭状态。另外，当向供给阀42a供给先导空气时，供给阀42a移动到打开位置而成为打开状态。此时，破坏阀42b通过来自弹簧42c的作用力而被保持在关闭位置。

流路单元16具备供给端口34、供给流路44、导入空气流路46、破坏流路48和破坏流量调节针79。其中，从供给端口34，压缩空气从未图示的压缩空气供给单元供给。在供给端口34连接有导入空气流路46。导入空气流路46在流路单元16内分支。分支后的一方与供给阀42a连接，分支后的另一方与破坏阀42b连接。

供给流路44的一端与供给阀42a连接，另一端与喷射器单元18的喷嘴52连接。在流路单元16内，供给流路44朝向喷射器单元18的设置有喷嘴52的端部延伸。破坏流路48是连接破坏阀42b和负压流路61的流路，并且在流路单元16内朝向负压流路61弯曲延伸。破坏流路48贯通喷射器单元18，并且与过滤器单元20A的负压流路61连通。

破坏流量调节针79安装于破坏流路48的弯曲部分。在该破坏流量调节针79具有能够插入破坏流路48的顶端部79a，通过该顶端部79a与破坏流路48的间隙，能够对破坏空气的流量进行调节。

喷射器单元18具备真空产生机构50、排气端口36和连接口58、60。真空产生机构50具备喷嘴52、第一扩散器54和第二扩散器56。喷嘴52的基端侧与供给空气导入部44a连接。供给空气导入部44a构成供给流路44的一部分，并且将供给空气向喷嘴52的入口引导。喷嘴52是具有在中途内径被缩小的部分的筒状的部件，其入口与供给空气导入部44a连接。另外，在喷嘴52的排出侧依次配置有第一扩散器54和第二扩散器56。第一扩散器54以及第二扩散器56是细长的筒状的部件。喷嘴52、第一扩散器54以及第二扩散器56被配置成隔开规定宽度的间隙。排气端口36设置于第二扩散器56的释放侧。

喷嘴52与第一扩散器54之间的间隙52a与连接口58连通，第一扩散器54与第二扩散器56的间隙54a与连接口60连通。在连接口60的端部设置有止回阀60a。止回阀60a根据连接口60与负压流路61(或负压流路62(参照图4))的压差进行开闭。即，在负压流路61(或负压流路62)侧的负压比连接口60的负压小的情况下，止回阀60a打开。另一方面，在负压流路61(或负压流路62)侧的负压比连接口60的负压大规定值以上的情况下，封闭连接口60的端部。

另外，在喷射器单元18设置有密封阀用流路53，该密封阀用流路53成为驱动后述的密封阀机构70的先导空气的流路。密封阀用流路53的一端与供给空气导入部44a连接。密封阀用流路53贯通喷射器单元18，另一端在安装单元20侧的表面开口。可是，在安装单元20不具有密封阀的滤器单元20A的情况下，密封阀用流路53被过滤器单元20A封闭。

过滤器单元20A具备真空端口38、吸滤器78、负压流路61和破坏流路48c。负压流路61沿过滤器单元20A的长度方向延伸，并且在其内部分支为第一负压流路61a和第二负压流路61b。第一负压流路61a与喷射器单元18的连接口58连接，第二负压流路61b与连接口60连接。另外，在第一负压流路61a连接有传感器用流路19a，该传感器用流路19a朝向压力传感器19延伸。过滤器单元20A内的破坏流路48c的一端与喷射器单元18的破坏流路48B连接，并且另一端与负压流路61连通。

在负压流路61与真空端口38之间设置有过滤器收容部23a，在该过滤器收容部23a内配置有吸滤器78。吸滤器78是形成为筒状的过滤器，其一端部与负压流路61侧连接，另一端部由端口部件78a封闭。端口部件78a兼具真空端口38用的接头主体和吸滤器78的安装部。吸滤器78的内部78b与负压流路61连通。另外，吸滤器78与过滤器收容部23a的间隙与真空端口38连通。吸滤器78除去空气中的异物，从而防止真空喷射器10A的误动作、功能的下降。

构成为上述那样的真空喷射器10A按照如下方式起作用。在真空喷射器10A中，将阀单元14的供给阀42a设为打开状态，将破坏阀42b设为关闭状态。从供给端口34供给的压缩空气通过供给阀42a，并且供给空气经由供给流路44而被供给到喷射器单元18的真空产生机构50。供给空气依次通过喷嘴52、第一扩散器54以及第二扩散器56而从排气端口36排出。此时，从间隙52a、54a吸引空气，从而产生负压。

此时，在负压较低期间，设置于连接口60的止回阀60a在流动方向上打开，虽然在连接口58、60两方存在负压流，但当负压变高时，止回阀60a成为图示那样的关闭状态，并且仅变成在经由连接口58的间隙52a产生的负压流，能够产生较高的真空压。

像这样在真空产生机构50产生的负压经由连接口58、60而传递到负压流路61，并且经由吸滤器78而传递到真空端口38侧。由此，使与真空端口38连接的吸附垫等的设备产生吸附力。

另外，当将阀单元14的破坏阀42b从关闭状态切换到打开状态时，供给阀42a从打开状态切换到关闭状态，并且停止供给空气向供给流路44的供给。另一方面，从供给端口34供给的压缩空气通过破坏阀42b并且作为破坏空气经过破坏流路48而流入负压流路61。由此，负压流路61的压力升高，破坏空气的一部分经过吸滤器78而流动到真空端口38。另外，破坏空气的一部分经由连接口58、60以及真空产生机构50而从排气端口36排出。由于破坏空气流动到真空端口38，从而与真空端口38连接的设备的真空被破坏并且吸附被解放。

接下来，作为安装单元20，对安装有密封阀单元20B的真空喷射器10B进行说明。如图4所示，在真空喷射器10B中，安装有密封阀单元20B。

密封阀单元20B具备框体23B，在其内部具备真空端口38、破坏流路48d、负压流路62、密封阀机构70和吸滤器78。

在框体23B设置有在长度方向上贯穿框体23B的贯通孔23b。真空端口38安装于该贯通孔23b的X2侧的端部。在与真空端口38相邻的部分的贯通孔23b设置有过滤器收容部23c，在该过滤器收容部23c配置有吸滤器78。吸滤器78形成为筒状，其一方的端部与端口部件78a连接并被保持。吸滤器78的一方的端部由端口部件78a封闭。吸滤器78的另一方的端部与支承部件73连接并被保持。支承部件73设置于过滤器收容部23c与负压流路62的边界，并且形成有连通吸滤器78的内部和负压流路62的开口部73b。由此，吸滤器78的内周侧与负压流路62连通，外周侧与真空端口38连通。另外，在支承部件73的基端侧(X1侧)，导向孔73a沿轴向(X方向)延伸，该导向孔73a接收并支承后述的阀芯76的轴部76b。

负压流路62是连接吸滤器78和喷射器单元18的连接口58、60的流路。负压流路62具备：沿框体23B的长度方向延伸的第一流路62a；以及从该第一流路62a朝向喷射器单元18的连接口58、60分支并延伸的第二流路62b。第一流路62a与吸滤器78的内侧连通，并且与破坏流路48d连通。另外，在第一流路62a形成有内径比其他部分小的密封口65。密封阀单元20B内的破坏流路48d的一端与密封口65与吸滤器78之间的负压流路62连接。即，破坏流路48在与密封口65相比更靠近真空端口38的部分与负压流路62连接。

另外，第二流路62b经过分支部而与喷射器单元18的连接口58、60连接。此外，在第二流路62b经由传感器用流路19a而连接有压力传感器19。

密封阀机构70具备：封闭密封口65的阀芯76；以及使阀芯76从密封口65分离而开放密封口65的活塞部66。阀芯76配置于密封口65的吸滤器78侧。

阀芯76具备：形成为直径比设置于第一流路62a的密封口65大的阀部76a；以及从该阀部76a的中心延伸出的轴部76b。在阀部76a的表面安装有密封部件75，阀部76a经由该密封部件75而封闭密封口65。轴部76b被插入到支承部件73的导向孔73a。阀芯76能够由导向孔73a引导而沿箭头X方向移动。另外，在阀芯76的轴部76b的外侧安装有由例如螺旋弹簧构成的第一弹性部件74。第一弹性部件74的一端与支承部件73抵接，另一端与阀芯76的阀部76a抵接。通过第一弹性部件74而向密封口65侧对阀芯76施力。

活塞部66配置于受压室68与负压流路62之间。受压室68是由端盖69封闭的部分。活塞部66具备：与受压室68相邻的受压部66a；形成为直径比受压部66a细的主体66b；以及形成于主体66b的顶端侧(X2侧)的缩径部66c。受压部66a受到供给空气的压力而使活塞部66向X2方向移位。缩径部66c形成为直径比密封口65的内径小，并且构成为能够插通于密封口65，而不会封闭密封口65。另外，在主体66b的外周安装有第二弹性部件72。该第二弹性部件72由例如螺旋弹簧构成，并且向从密封口65分离的方向(X1方向)对活塞部66施力。在端盖69设置有沿轴向(X方向)延伸的限制销71。活塞部66能够沿X1方向移动直到与该限制销71抵接。在受压室68连接有从供给流路44分支的密封阀用流路53、53a，并且该密封阀用流路53、53a构成为能够导入供给空气。

一边参照图4以及图5，一边对构成为上述那样的真空喷射器10B的动作进行说明。在真空喷射器10B中，从供给端口34导入的压缩空气经由导入空气流路46而被供给到供给阀42a以及破坏阀42b。当供给阀42a通过电磁阀单元41的先导压力而变成打开状态时，供给空气被供给到供给流路44。由此，供给空气流动到真空产生机构50，从而产生负压。

供给空气也被导入到从供给流路44分支的密封阀用流路53，如图4所示，供给空气流入受压室68。其结果是，活塞部66克服第二弹性部件72的作用力而向密封口65侧移位，并且活塞部66的缩径部66c与阀芯76抵接并按压阀芯76。其结果是，阀芯76向从密封口65分离的方向移位而密封口65打开，真空产生机构50的负压通过负压流路62而向真空端口38传递。由此，能够使与真空端口38连接的吸附垫等的设备产生吸附力。

另一方面，当将供给阀42a设为关闭状态，将破坏阀42b设为打开状态时，供给空气的供给被切断，从而受压室68的压力下降。由此，活塞部66通过第二弹性部件72的作用力而向从密封口65分离的方向移位。伴随于此，阀芯76被第一弹性部件74施力而被按压到密封口65并封闭密封口65。即，在图5中，密封阀机构70成为关闭状态，并且从负压流路62向真空产生机构50的流路被封闭。

其结果是，从破坏阀42b供给的破坏空气能够供给到真空端口38侧，而不会从真空产生机构50流出。由此，能够将高压且大流量的破坏空气供给到真空端口38。

像这样，根据本实施方式，能够根据用途从过滤器单元20A以及密封阀单元20B中选择安装单元20，从而构成最佳的真空喷射器10A、10B。

另外，使密封阀机构70构成为在供给空气的先导压力下成为打开状态，在供给空气被切断时成为关闭状态，从而将密封阀机构70保持为关闭状态，但是不需要供给空气。由此，即使是在供给高压的破坏空气的情况下，也能够将密封阀机构70可靠地保持为关闭状态。

另外，在密封阀机构70中，在真空产生机构50与破坏流路48之间的负压流路62形成有密封口65，密封阀机构70由阀芯76和活塞部66构成，该阀芯76从破坏流路48侧向密封口65被施力而封闭密封口65，该活塞部66受到供给空气的压力而向使阀芯76从密封口65分离的方向移位。像这样，通过破坏流路48的破坏压力而向密封口65对阀芯76施力，能够可靠地密封密封口65。因此，即使是在破坏流路48侧的破坏压力升高的情况下，也能够可靠地密封负压流路62，而阀芯76不会打开。

另外，在密封阀机构70中，构成为在活塞部66的顶端部形成有直径比密封口65小的缩径部66c，并且在该缩径部66c按压阀芯76。像这样，通过使活塞部66的缩径部66c的直径比密封口65小，能够通过密封口65按压阀芯76。

另外，在密封阀机构70中，设置有向密封口65对阀芯76施力的第一弹性部件74和向从阀芯76分离的方向对活塞部66施力的第二弹性部件72。由此，向密封口65对构成密封阀机构70的阀芯76施力，能够可靠地使密封阀机构70为关闭状态。

(第二实施方式)

如图6所示，在第二实施方式的一方式的真空喷射器80A中，在主体82的一方的侧面82a设置有供给端口34以及真空端口38，并且在正面82b形成有排气部36A。喷射器单元84安装于主体82的另一方的侧面82c。该喷射器单元84能够拆装地安装于主体82。另外，在喷射器单元84的侧端部84b安装有封闭喷射器单元84的开口部的罩盖86。该真空喷射器80A在主体82的内部设置有阀以及吸滤器，但为不包括密封阀机构70的结构。

如图7所示，通过在主体82与喷射器单元84之间安装密封阀单元88，能够构成具备密封阀的真空喷射器80B。真空喷射器80B通过具备封闭破坏流路与真空产生机构之间的流路的密封阀，能够产生比真空喷射器80A高的破坏压力。像这样，在本实施方式中，也能够通过密封阀单元88的拆装而构成具有根据用途的装置结构的真空喷射器80A、80B。以下，对真空喷射器80A、80B的详细结构进行说明。

如图8所示，在真空喷射器80A的主体82设置有供给端口34、真空端口38、电磁阀92、94、破坏阀96、供给阀98、吸滤器78、负压流路83和消音器104。供给端口34设置于主体82的一方的侧面82a。供给端口34经由导入空气流路46而与破坏阀96以及供给阀98连接。

破坏阀96经由先导流路96a而与破坏用电磁阀92连接。破坏用电磁阀92经由先导流路96a而向破坏阀96供给先导空气。当从破坏用电磁阀92供给先导空气时，破坏阀96成为打开状态，向与破坏阀96的出口连接的破坏流路48输出破坏空气。

供给阀98经由先导流路98a而与供给用电磁阀94连接。供给用电磁阀94经由先导流路98a而向供给阀98供给先导空气。当从供给用电磁阀94供给先导空气时，供给阀98成为打开状态，向与供给阀98的出口连接的供给流路44输出供给空气。供给流路44的一端延伸到主体82的侧面82c并在侧面82c开口。

吸滤器78安装于负压流路83与破坏流路48的边界部分、以及负压流路83与真空端口38的边界部分。像这样，破坏流路48经由吸滤器78而与负压流路83连接。

负压流路83朝向主体82的侧面82c分支。负压流路83的分支后的一方成为在侧面82c开口的第一连接口106，另一方成为在侧面82c开口的第二连接口108。此外，在不具有密封阀的真空喷射器80A中，第一连接口106与喷射器单元84的吸引室105连接，第二连接口108由喷射器单元84阻塞。

真空端口38经由吸滤器78而与负压流路83连接。真空端口38分支为两股，其一方形成于主体82的侧面82a，另一方形成于主体82的侧面82d。此外，真空端口38也可以不分支。

消音器104与在主体82的侧面82c开口的排气连接口104a连接。消音器104设置于排气部36A的内侧，该排气部36A设置于主体82的正面82b，消音器104抑制从喷射器单元84排出的供给空气的排气噪声并将该噪声排出到外部气体。

真空喷射器80A的喷射器单元84具备供给空气导入部103、喷嘴114、扩散器115、吸引室105和排气室112。供给空气导入部103设置于喷射器单元84的上端侧，并且两侧部开口。供给空气导入部103的主体82侧的开口与供给流路44连接。另外，供给空气导入部103的罩盖86侧的开口由罩盖86封闭。另外，供给空气导入部103的上端部由盖102封闭。

喷嘴114配置于供给空气导入部103与吸引室105之间。在喷嘴114的下游侧配置有扩散器115。扩散器115形成为筒状，其一端与吸引室105连通，另一端与排气室112连通。扩散器115与喷嘴114隔开规定的间隔地配置，并且构成为能够从该间隙吸引吸引室105的空气。像这样，喷嘴114以及扩散器115构成本实施方式的真空产生机构50A。

排气室112设置于扩散器115的下游侧。排气室112在喷射器单元84的主体82侧的表面开口，并且与排气连接口104a连通。排气室112的下端部由盖110封闭。

罩盖86安装于喷射器单元84的侧端部84b，并且封闭供给空气导入部103、吸引室105以及排气室112的开口。此外，也可以将罩盖86与喷射器单元84一体地形成。

构成为上述那样的真空喷射器80A除了负压流路83设置于主体82侧之外，其他结构与第一实施方式的真空喷射器10A是相同的，并且按照相同的方式动作。即，从破坏流路48供给的破坏空气被供给到真空端口38，并且其一部分也流出到喷射器单元84。这样的真空喷射器80A由于不具有密封阀机构70因而构造被简化。

接下来，对安装有密封阀单元88的真空喷射器80B进行说明。如图9所示，在真空喷射器80B中，在主体82与喷射器单元84之间安装有密封阀单元88。

密封阀单元88具备框体88a，在其内部具有负压流路126、密封阀机构70和排气流路130。

在框体88a设置有在长度方向上贯穿的贯通孔88b。该贯通孔88b的一端由端盖117封闭。在端盖117突出设置有限制销119。该限制销119与密封阀机构70的活塞部66的受压部66a抵接，并且使活塞部66在从端盖117分离的位置处停止。该活塞部66与端盖117之间构成供给流路128。供给流路128的一端与主体82的供给流路44连通，另一端与喷射器单元84的供给空气导入部103连通。

负压流路126通过密封阀机构70的活塞部66而与供给流路128隔开。另外，供给流路128通过盖122而与排气流路130隔开。供给流路128与喷射器单元84的吸引室105连通，并且与主体82的第二连接口108连通。即，主体82的负压流路83经由密封阀单元88的负压流路126而与喷射器单元84的吸引室105连接。此外，主体82的第一连接口106由密封阀单元88的框体88a封闭。

在负压流路126形成有内径比其他部分小的密封口127。密封阀机构70进行密封口127的开闭，从而控制负压流路126的开通或密封。

密封阀机构70具备：封闭密封口127的阀芯76；以及使阀芯76从密封口127分离并开放密封口127的活塞部66。阀芯76与密封口127相比配置于排气流路130侧。

阀芯76具备：形成为直径比密封口127大的阀部76a；以及从该阀部76a的中心延伸出的轴部76b。在阀部76a的表面安装有密封部件(未图示)，阀部76a经由该密封部件而封闭密封口127。轴部76b被插入到设置于盖122的导向孔122a。阀芯76能够由导向孔122a引导而沿活塞部66的轴向移动。另外，在阀芯76的轴部76b的外侧安装有由例如螺旋弹簧构成的第一弹性部件74。第一弹性部件74的一端与盖122抵接，另一端与阀芯76的阀部76a抵接。通过第一弹性部件74而向密封口127对阀芯76施力。

活塞部66配置于由端盖117密封的供给流路128与负压流路126之间。活塞部66具备：面向供给流路128的受压部66a；形成为直径比受压部66a细的的主体66b；以及形成于主体66b的顶端侧的缩径部66c。受压部66a受到供给空气的压力而使活塞部66向密封口127侧移位。缩径部66c形成为直径比密封口127的内径小，并且构成为能够插通于密封口127，而不会封闭密封口127。另外，在主体66b的外周安装有第二弹性部件72。该第二弹性部件72由例如螺旋弹簧构成，并且向从密封口127分离的方向对活塞部66施力。在端盖117设置有沿轴向延伸的限制销119。活塞部66的移动范围由限制销119限制。

排气流路130与喷射器单元84的排气室112和主体82的消音器104连通。排气流路130的下端由罩盖116封闭。

一边参照图9以及图10，一边对构成为上述那样的真空喷射器80B的动作进行说明。在真空喷射器80B中，从供给端口34导入的压缩空气经由导入空气流路46而被供给到供给阀98以及破坏阀96。当供给阀98通过供给用电磁阀94的先导压力而变成打开状态时，供给空气经过供给流路44以及供给流路128而被供给到喷射器单元84。由此，供给空气流动到真空产生机构50A，并且吸引吸引室105内的空气，从而产生负压。

如图9所示，供给空气作用于面向供给流路128的活塞部66的受压部66a，而将活塞部66向密封口127侧按压。由此，活塞部66克服第二弹性部件72的作用力而向密封口127侧移位，并且活塞部66的缩径部66c与阀芯76抵接并按压阀芯76。其结果是，阀芯76从密封口127分离而密封口127打开，吸引室105的负压向真空端口38传递。由此，能够使与真空端口38连接的吸附垫等的设备产生吸附力。

另一方面，当将供给阀98设为关闭状态，将破坏阀96设为打开状态时，供给空气的供给被切断，从而供给流路128的压力下降。由此，活塞部66通过第二弹性部件72的作用力而向从密封口127分离的方向移位。伴随于此，阀芯76被第一弹性部件74施力而被按压到密封口127并封闭密封口127。即，在图10中，密封阀机构70成为关闭状态，负压流路83与吸引室105之间的流路被封闭。

其结果是，从破坏阀96供给的破坏空气都流入真空端口38侧，而不会从扩散器115流出。由此，能够将高压且大流量的破坏空气供给到真空端口38。

像这样，在本实施方式的真空喷射器80B中，通过安装密封阀单元88，也能够简单地增加密封阀机构70。其结果是，仅通过密封阀单元88的拆装，就能够构成根据用途能够输出期望的破坏压力的真空喷射器80A、80B。在真空喷射器80B的其他结构中，对于与真空喷射器10B共同的结构也以相同的方式起作用。

在上述内容中，列举优选的实施方式对本发明进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内，能够进行各种各样的改变，这是不言而喻的。

Claims (8)

1.一种真空喷射器(10)，其特征在于，具备：

供给端口(34)，该供给端口供给压缩空气；

真空端口(38)，该真空端口与吸附单元连接；

真空产生机构(50)，该真空产生机构在从所述供给端口供给的供给空气的作用下产生负压；

破坏阀(42b)，该破坏阀向所述真空端口供给破坏空气；

供给流路(44)，该供给流路连接所述供给端口和所述真空产生机构，并且在该供给流路上具备供给阀(42a)；

负压流路(61)，该负压流路连接所述真空产生机构和所述真空端口；

破坏流路(48)，该破坏流路连接所述破坏阀和所述负压流路；以及

密封阀机构(70)，该密封阀机构配置于所述真空产生机构与所述破坏流路之间的所述负压流路，并且阻止通过所述破坏流路而被供给到所述真空端口的破坏空气向所述真空产生机构流出，

所述密封阀机构通过来自所述供给阀的供给空气的供给而成为打开状态，当来自所述供给阀的供给空气的供给停止时，所述密封阀机构成为关闭状态。

2.如权利要求1所述的真空喷射器，其特征在于，

所述密封阀机构具备：

密封口(65)，该密封口是对所述负压流路进行缩径而成的；

阀芯(76)，该阀芯被从所述破坏流路侧朝向所述密封口施力而封闭所述密封口；以及

活塞部(66)，该活塞部受到所述供给空气的压力而使所述阀芯向从所述密封口分离的方向移位。

3.如权利要求2所述的真空喷射器，其特征在于，

在所述活塞部的顶端部形成有缩径部(66c)，该缩径部的直径比所述密封口的直径小，该缩径部与所述阀芯抵接并按压所述阀芯，从而使所述阀芯从所述密封口分离。

4.如权利要求3所述的真空喷射器，其特征在于，

所述密封阀机构具备：第一弹性部件(74)，该第一弹性部件朝向所述密封口对所述阀芯施力；以及第二弹性部件(72)，该第二弹性部件朝向使所述活塞部从所述阀芯分离的方向对所述活塞部施力。

5.一种密封阀单元，该密封阀单元拆装自如地安装于真空喷射器，该真空喷射器具备：供给端口(34)，该供给端口供给压缩空气；真空端口(38)，该真空端口与吸附单元连接；真空产生机构(50)，该真空产生机构在从所述供给端口供给的供给空气的作用下产生负压；破坏阀(42b)，该破坏阀向所述真空端口供给破坏空气；供给流路(44)，该供给流路连接所述供给端口和所述真空产生机构，并且在该供给流路上具备供给阀(42a)；负压流路(61)，该负压流路连接所述真空产生机构和所述真空端口；以及破坏流路(48)，该破坏流路连接所述破坏阀和所述负压流路，该密封阀单元的特征在于，具备：

密封阀机构，该密封阀机构配置于所述真空产生机构与所述破坏流路之间的所述负压流路，并且阻止通过所述破坏流路而被供给到所述真空端口的破坏空气向所述真空产生机构流出。

6.如权利要求5所述的密封阀单元，其特征在于，

所述密封阀机构具备：

密封口(65)，该密封口是对所述负压流路进行缩径而成的；

阀芯(76)，该阀芯被从所述破坏流路侧朝向所述密封口施力而封闭所述密封口；以及

活塞部(66)，该活塞部受到所述供给空气的压力而使所述阀芯向从所述密封口分离的方向移位。

7.如权利要求6所述的密封阀单元，其特征在于，

在所述活塞部的顶端部形成有缩径部(66c)，该缩径部(66c)的直径比所述密封口的直径小，该缩径部与所述阀芯抵接并按压所述阀芯，从而使所述阀芯从所述密封口分离。

8.如权利要求7所述的密封阀单元，其特征在于，

所述密封阀机构具备：第一弹性部件(74)，该第一弹性部件朝向所述密封口对所述阀芯施力；以及第二弹性部件(72)，该第二弹性部件朝向使所述活塞部从所述阀芯分离的方向对所述活塞部施力。

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