CN110562692B - 一种掩膜版清洗系统夹具及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩膜版清洗系统夹具及其使用方法，包括框架主体，所述框架主体包括底板和设置在底板顶部两侧的第一架体和第二架体，第二架体与底板焊接，所述底板上还设有第一驱动机构，第一驱动机构的输出端与第一架体连接，第一驱动机构能够驱动第一架体朝着远离第二架体方向移动，所述架体上均设有纵向传输机构，第一架体和第二架体之间还设有横向传输机构，所述第一架体和第二架体上还设有升降丝杆，并且升降丝杆与纵向传输机构连接，升降丝杆能够带动纵向传输沿着竖直方向移动；还包括设置在第一架体上的控制器，所述第一驱动机构、升降丝杆、纵向传输机构、横向传输机构均与控制器连接。

Description

一种掩膜版清洗系统夹具及其使用方法

技术领域

本发明涉及掩膜版清洗技术领域，具体涉及一种掩膜版清洗系统夹具及其使用方法。

背景技术

OLED制程蒸镀封装设备腔体内关键部件掩膜版在长时间使用过程中，表面会沉积一层蒸镀膜，膜厚达到一定程度时会脱落，进而影响腔体整体氛围，导致蒸镀不良的产生。所以，为保证面板制程良率，掩膜版需要进行周期性的精密再生。

目前，掩膜版清洗产线夹具只能应对一种尺寸产品，即只能装载特定的掩膜版卡匣，若客户端产品变更、世代线升级、或面对新客户时，现有掩膜版清洗产线夹具将无法应对，需进行改造或重新配置适合产品尺寸的掩膜版清洗产线夹具。产线设备改造周期长、成本高且会影响生产进程，而配置新掩膜版清洗产线夹具也无法应对多种世代线掩膜版，还会占据产线空间，使工艺路线变得繁琐，大大减弱生产效率。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是克服现有技术中的不足，目的在于提供一种掩膜版清洗系统夹具及其使用方法，能够适用于不同尺寸的掩膜版使用。

本发明通过下述技术方案实现：

一种掩膜版清洗系统夹具及其使用方法，包括框架主体，所述框架主体包括底板和设置在底板顶部两侧的第一架体和第二架体，第二架体与底板焊接，所述底板上还设有第一驱动机构，第一驱动机构的输出端与第一架体连接，第一驱动机构能够驱动第一架体朝着靠近或远离第二架体方向移动，所述架体上均设有纵向传输机构，第一架体和第二架体之间还设有横向传输机构，所述第一架体和第二架体上还设有升降丝杆，并且升降丝杆与纵向传输机构连接，升降丝杆能够带动纵向传输机构沿着竖直方向移动；还包括设置在第一架体上的控制器，所述第一驱动机构、升降丝杆、纵向传输机构、横向传输机构均与控制器连接。

本发明利用设置的第一驱动机构能够调节第一架体和第二架体之间的间距，保证待清洗的掩膜版能够放置在纵向输送机构上，从而使得纵向输送机构能够顺利将装有掩膜版的卡匣送达至清洗机械手抓取位置，同时设置的横向传输机构能够保证待输送的掩膜版位于第一架体和第二架体的中间，使得掩膜版卡匣的两侧能够均匀放置在两个纵向输送机构上，保证掩膜版能够位于框架主体的中央位置处，从而使得后续的机器手能够顺利夹持抓取掩膜版。

进一步地，所述底板的一端还设有对位块，对位块上设有凹槽，凹槽内设有第一传感器，第一传感器与控制器连接，并且与纵向传输机构联动。

现有的移动手推车下端设有对位装置，当移动手推车的对位装置与夹具下端对位凹槽完成对位，第一传感器能够感应到，并且发送信号至控制器，提醒有需要待清洗的掩膜版需要送入至框架主体内。

进一步地，所述横向传输机构包括横向轨道、若干第一滚轮、第一皮带、第三驱动机构，所述第一滚轮依次分布在横向轨道上，所述第一皮带分别与第一滚轮和第三驱动机构连接，第三驱动机构能够带动第一滚轮在横向轨道上转动，所述第三驱动机构与控制器连接；

所述纵向传输机构包括纵向轨道、若干第二滚轮、第二皮带、第四驱动机构，所述第二滚轮依次分布在纵向轨道上，所述第二皮带依次与第二滚轮和第四驱动机构连接，第四驱动机构能够带动第二滚轮在纵向轨道上转动，所述纵向轨道的侧壁通过螺纹与升降丝杆连接，所述第四驱动机构与控制器连接。

设置的横向传输机构的作用是调节卡匣在水平方向上的位置，保证卡匣能够精准进入至框架主体内，具体地，控制器发生信号至第三驱动机构，根据掩膜版的尺寸来控制第三驱动机构的正转或者反转，迫使第一滚轮跟着正转或者反转，来调节掩膜版卡匣在横向轨道上的位置，保证掩膜版的一侧能够放置在第二架体上的纵向轨道上；而设置的纵向传输机构的作用是将放置在横向传输机构上的掩膜版卡匣送入至框架主体内，保证下一道工序的机械手能够顺利抓取到卡匣内掩膜版，具体地，控制器控制第四驱动机构工作，第四驱动机构带动第二滚轮转动，将位于横向输送机构上的掩膜版卡匣沿着纵向轨道移动至框架主体内。

进一步地，所述第一架体和第二架体为相同结构，第一架体和第二架体均包括顶板和三根支柱，三根支柱的顶端均与顶板的底部连接，所述顶板的顶部还设有第五驱动机构，第五驱动机构与控制器连接，第五驱动机构的输出端与升降丝杆连接，所述第一驱动机构的输出端与第一架体中间的支柱连接。

本技术方案中的第一架体和第二架体结构相同，第二架体的三根支柱是固定在底板上的，并且横向轨道也与支柱固定，而第一架体与底板并不是固定在一起，第一架体中间的支柱与第一驱动机构连接，使得第一驱动机构能够驱动第一架体朝着靠近或远离第二架体方向移动，来改变第一架体与第二架体之间的间距，从而改变了两个纵向输送机构之间的间距，保证两个纵向输送机构与待清洗的掩膜版卡匣相匹配；设置的升降丝杆与纵向轨道通过螺纹连接，当控制器控制第五驱动机构工作时，第五驱动机构带动丝杆转动，迫使横向轨道沿着丝杆移动，来调节横向传动机构的高度，使得下一道工序中的机器手能够顺利夹持住纵向轨道上卡匣内的掩膜版。

进一步地，所述支柱上分别设有第二传感器、第三传感器以及第四传感器，第二传感器、第三传感器以及第四传感器均与控制器连接。

设置的第二传感器用于感应纵向输送机构上是否有掩膜版卡匣，并且发送信号至控制器，控制器控制纵向输送机构开始工作；掩膜版卡匣在纵向输送机构上移动时，当掩膜版卡匣移动至第三传感器时，第三传感器感应到掩膜版卡匣，然后第三传感器发生信号至控制器，控制器控制纵向输送机构减速，当掩膜版卡匣移动至第四传感器时，第四传感器感应到掩膜版卡匣，并且发送信号至控制器，控制器控制纵向输送机构停止，保证掩膜版卡匣移动到位。

进一步地，所述第一架体和第二架体的其中一个支柱的顶部均设有竖板，所述竖板上还设有第五传感器，并且第五传感器与控制器连接。

设置的第五传感器用于感应卡匣内放置掩膜版的层数，当升降丝杆带动纵向传输机构朝上移动时，设置在竖板上的第五传感器依次感应到卡匣内个层的掩膜版，再次确认每层掩膜版有无及ID信息。

进一步地，所述第一架体和第二架体之间还设有横板，横板与第二架体的支柱焊接，所述横板上还设有第二扫码器，所述横向传输机构的横向轨道侧壁上还设有第一扫码器，第二架体的其中一个支柱上还设有第三扫码器，所述第二架体的顶板上还设有第四扫码器，所述第一扫码器、第二扫码器、第三扫码器、第四扫码器均与控制器连接。所述底板的顶部还设有第二驱动机构，第二驱动机构的输出端也与第一架体中间的支柱连接。

设置的第一扫码器、第二扫码器、第三扫码器、第四扫码器均为现有技术，利用扫描二维码来获取信息，当手推车与对位块对接时，第一传感器感应并且发生信号至控制器，控制器再控制第一扫码器开始工作，扫描手推车上的二维码，识别放置在手推车内掩膜版的尺寸数据，进而调节两个纵向输送机构之间的间距；当第四传感器感应到掩膜版卡匣时，第四传感器发送信号至控制器，控制器控制纵向输送机构停止工作的同时，发送信号至第四扫码器，第四扫码器扫描卡匣上的二维码，识别卡匣信息，然后控制器控制第二驱动机构，根据识别的卡匣信息进行精定位，本技术方案中设置的第一驱动机构用于初步定位，而设置的第二驱动机构用于精定位；设置的第二扫码器用于识别掩膜版上二维码的信息，即当升降丝杆带动着掩膜版上升时，设置的第二扫码器能够扫描各层掩膜版上的二维码信息，并且将信息录入系统，当信息无法识别时，操作人员可以取下第三扫码器，手动对掩膜版上的二维码进行扫描。

一种掩膜版清洗系统夹具使用方法，包括以下步骤：

1)将装有掩膜版卡匣的推车通过对位块完成对位，对位块内的第一传感器感应，并且发生信号至控制器；

2)控制器控制第一扫码器识别推车二维码信息，然后控制器控制横向传输机构的第一滚轮开始转动；

3)控制器再控制第一驱动机构开始工作，第一驱动机构根据推车内掩膜版的尺寸来调节第一架体和第二架体之间的间距；

4)控制器控制纵向传输机构的第二滚轮开始转动，将装有掩膜版的卡匣送入至框架主体内；

5)卡匣在纵向传输机构上移动的过程中，当第四传感器感应到卡匣时，纵向传输机构停止工作，卡匣装载到位；

6)第四扫码器识别卡匣上的二维码信息并传递至控制器，控制器控制第二驱动机构开始工作，调节第一架体的位置，对卡匣的位置进行精定位；

7)控制器控制第五驱动机构工作，第五驱动机构带动传递丝杆转动，迫使纵向传输机构朝上移动，卡匣带动掩膜版朝上移动的过程中，第二扫码器按层数识别卡匣上掩膜版的二维码信息，当所有掩膜版二维码信息识别完成，升降丝杆停止转动；

8)完成对掩膜版的装载，等待机器手抓取掩膜版投入清洗产线。

本发明与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：

本发明一种掩膜版清洗系统夹具及其使用方法，利用设置的第一控制器能够调节第一架体与第二架体之间的间距，从而调节两个纵向输送机构之间的间距，保障能够对不同尺寸的掩膜版使用，同时设置的横向输送机构能够保证掩膜版卡匣能够有效在纵向输送机构上移动，保证掩膜版能够与下一道工序精准配合；

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本发明实施例的限定。在附图中：

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明框架主体的侧视图；

图3为本发明第一架体的结构示意图；

附图中标记及对应的零部件名称：

1-横向输送机构，2-纵向输送机构，3-第一驱动机构，4-第二驱动机构，5-对位块，6-升降丝杆，7-第一扫码器，8-第四扫码器，9-第二扫码器，10-第三扫码器，11-第二传感器，12-第三传感器，13-第三传感器，14-竖板，15-底板，16-第一架体，17-顶板，18-支柱，19-第二架体。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本发明作进一步的详细说明，本发明的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明，并不作为对本发明的限定。

实施例1

如图1至图3所示，本发明一种掩膜版清洗系统夹具及其使用方法，包括框架主体，所述框架主体包括底板15和设置在底板15顶部两侧的第一架体16和第二架体19，第二架体19与底板15焊接，所述底板15上还设有第一驱动机构3，第一驱动机构3的输出端与第一架体16连接，第一驱动机构3能够驱动第一架体16朝着靠近或远离第二架体19方向移动，所述架体16上均设有纵向传输机构2，第一架体16和第二架体19之间还设有横向传输机构1，所述第一架体16和第二架体19上还设有升降丝杆6，并且升降丝杆6与纵向传输机构2连接，升降丝杆6能够带动纵向传输机构2沿着竖直方向移动；还包括设置在第一架体16上的控制器，所述第一驱动机构3、升降丝杆6、纵向传输机构2、横向传输机构1均与控制器连接。

所述底板15的一端还设有对位块5，对位块5上设有凹槽，凹槽内设有第一传感器，第一传感器与控制器连接。

所述横向传输机构1包括横向轨道、若干第一滚轮、第一皮带、第三驱动机构，所述第一滚轮依次分布在横向轨道上，所述第一皮带分别与第一滚轮和第三驱动机构连接，第三驱动机构能够带动第一滚轮在横向轨道上转动，所述第三驱动机构与控制器连接；所述纵向传输机构2包括纵向轨道、若干第二滚轮、第二皮带、第四驱动机构，所述第二滚轮依次分布在纵向轨道上，所述第二皮带依次与第二滚轮和第四驱动机构连接，第四驱动机构能够带动第二滚轮在纵向轨道上转动，所述纵向轨道的侧壁通过螺纹与升降丝杆6连接，所述第四驱动机构与控制器连接。

所述第一架体16和第二架体19为相同结构，第一架体16和第二架体19均包括顶板17和三根支柱18，三根支柱18的顶端均与顶板17的底部连接，所述顶板17的顶部还设有第五驱动机构，第五驱动机构与控制器连接，第五驱动机构的输出端与升降丝杆6连接，所述第一驱动机构3的输出端与第一架体16中间的支柱18连接。所述支柱18上分别设有第二传感器11、第三传感器12以及第四传感器13，第二传感器11、第三传感器12以及第四传感器13均与控制器连接。所述第一架体16和第二架体19的其中一个支柱18的顶部均设有竖板14，所述竖板14上还设有第五传感器，并且第五传感器与控制器连接。

所述第一架体16和第二架体19之间还设有横板，横板与第二架体19的支柱18焊接，所述横板上还设有第二扫码器9，所述横向传输机构1的横向轨道侧壁上还设有第一扫码器7，第二架体19的其中一个支柱18上还设有第三扫码器10，所述第二架体19的顶板17上还设有第四扫码器8，所述第一扫码器7、第二扫码器9、第三扫码器10、第四扫码器8均与控制器连接。所述底板15的顶部还设有第二驱动机构4，第二驱动机构4的输出端也与第一架体16中间的支柱18连接。

实施例2

一种掩膜版清洗系统夹具使用方法，包括以下步骤：

1)将装有掩膜版卡匣的推车通过对位块5完成对位，对位块内的第一传感器感应，并且发生信号至控制器；

2)控制器控制第一扫码器7识别推车二维码信息，然后控制器控制横向传输机构1的第一滚轮开始转动；

3)控制器再控制第一驱动机构3开始工作，第一驱动机构根据推车内掩膜版的尺寸来调节第一架体16和第二架体19之间的间距；

4)控制器控制纵向传输机构2的第二滚轮开始转动，将装有掩膜版的卡匣送入至框架主体内；

5)卡匣在纵向传输机构2上移动的过程中，当第四传感器13感应到卡匣时，纵向传输机构2停止工作，卡匣装载到位；

6)第四扫码器8识别卡匣上的二维码信息并传递至控制器，控制器控制第二驱动机构4开始工作，调节第一架体16的位置，对卡匣的位置进行精定位；

7)控制器控制第五驱动机构工作，第五驱动机构带动传递丝杆转动，迫使纵向传输机构(2)朝上移动，卡匣带动掩膜版朝上移动的过程中，第二扫码器9按层数识别卡匣上掩膜版的二维码信息，当所有掩膜版二维码信息识别完成，升降丝杆6停止转动；

8)完成对掩膜版的装载，等待机器手抓取掩膜版投入清洗产线。

以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (1)

1.一种掩膜版清洗系统夹具使用方法，其特征在于：

所述掩膜版清洗系统夹具包括框架主体，所述框架主体包括底板（15）和设置在底板（15）顶部两侧的第一架体（16）和第二架体（19），第二架体（19）与底板（15）焊接，所述底板（15）上还设有第一驱动机构（3），第一驱动机构（3）的输出端与第一架体（16）连接，第一驱动机构（3）能够驱动第一架体（16）朝着靠近或远离第二架体（19）方向移动，所述架体（16）上均设有纵向传输机构（2），第一架体（16）和第二架体（19）之间还设有横向传输机构（1），所述第一架体（16）和第二架体（19）上还设有升降丝杆（6），并且升降丝杆（6）与纵向传输机构（2）连接，升降丝杆（6）能够带动纵向传输机构（2）沿着竖直方向移动；

还包括设置在第一架体（16）上的控制器，所述第一驱动机构（3）、升降丝杆（6）、纵向传输机构（2）、横向传输机构（1）均与控制器连接；

所述底板（15）的一端还设有对位块（5），对位块（5）上设有凹槽，凹槽内设有第一传感器，第一传感器与控制器连接；

所述横向传输机构（1）包括横向轨道、若干第一滚轮、第一皮带、第三驱动机构，所述第一滚轮依次分布在横向轨道上，所述第一皮带分别与第一滚轮和第三驱动机构连接，第三驱动机构能够带动第一滚轮在横向轨道上转动，所述第三驱动机构与控制器连接；

所述纵向传输机构（2）包括纵向轨道、若干第二滚轮、第二皮带、第四驱动机构，所述第二滚轮依次分布在纵向轨道上，所述第二皮带依次与第二滚轮和第四驱动机构连接，第四驱动机构能够带动第二滚轮在纵向轨道上转动，所述纵向轨道的侧壁通过螺纹与升降丝杆（6）连接，所述第四驱动机构与控制器连接；

所述第一架体（16）和第二架体（19）为相同结构，第一架体（16）和第二架体（19）均包括顶板（17）和三根支柱（18），三根支柱（18）的顶端均与顶板（17）的底部连接，所述顶板（17）的顶部还设有第五驱动机构，第五驱动机构与控制器连接，第五驱动机构的输出端与升降丝杆（6）连接，所述第一驱动机构（3）的输出端与第一架体（16）中间的支柱（18）连接；

所述支柱（18）上分别设有第二传感器（11）、第三传感器（12）以及第四传感器（13），第二传感器（11）、第三传感器（12）以及第四传感器（13）均与控制器连接；

所述第一架体（16）和第二架体（19）的其中一个支柱（18）的顶部均设有竖板（14），所述竖板（14）上还设有第五传感器，并且第五传感器与控制器连接； 所述第一架体（16）和第二架体（19）之间还设有横板，横板与第二架体（19）的支柱（18）焊接，所述横板上还设有第二扫码器（9），所述横向传输机构（1）的横向轨道侧壁上还设有第一扫码器（7），第二架体（19）的其中一个支柱（18）上还设有第三扫码器（10），所述第二架体（19）的顶板（17）上还设有第四扫码器（8），所述第一扫码器（7）、第二扫码器（9）、第三扫码器（10）、第四扫码器（8）均与控制器连接；

所述底板（15）的顶部还设有第二驱动机构（4），第二驱动机构（4）的输出端也与第一架体（16）中间的支柱（18）连接；

所述掩膜版清洗系统夹具使用方法包括以下步骤：

1）将装有掩膜版卡匣的推车通过对位块（5）完成对位，对位块（5）内的第一传感器感应，并且发生信号至控制器；

2）控制器控制第一扫码器（7）识别推车二维码信息，然后控制器控制横向传输机构（1）的第一滚轮开始转动；

3）控制器再控制第一驱动机构（3）开始工作，第一驱动机构根据推车内掩膜版的尺寸来调节第一架体（16）和第二架体（19）之间的间距；

4）控制器控制纵向传输机构（2）的第二滚轮开始转动，将装有掩膜版的卡匣送入至框架主体内；

5）卡匣在纵向传输机构（2）上移动的过程中，当第四传感器（13）感应到卡匣时，纵向传输机构（2）停止工作，卡匣装载到位；

6）第四扫码器（8）识别卡匣上的二维码信息并传递至控制器，控制器控制第二驱动机构（4）开始工作，调节第一架体（16）的位置，对卡匣的位置进行精定位；

7）控制器控制第五驱动机构工作，第五驱动机构带动传递丝杆转动，迫使纵向传输机构（2）朝上移动，传送机构带动卡匣往上移动的过程中，第二扫码器（9）按层数依次识别卡匣上掩膜版的二维码信息，当所有掩膜版二维码信息识别完成，升降丝杆（6）停止转动； 8）完成对掩膜版的装载，等待机器手抓取掩膜版投入清洗产线。

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