CN110500879B - 一种连续式硅碳负极动态cvd烧结炉 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,包括安装平台、螺旋进料器、炉头罩、炉管和炉尾罩,炉管头端位于炉头罩内且尾端位于炉尾罩内,螺旋进料器与炉头罩密封对接,炉尾罩上设有出料口,炉管头端于炉头罩之外的部分设有第一密封法兰,第一密封法兰与炉头罩之间设有第一波纹管,第一密封法兰与第一波纹管之间密封连接,二者连接处的外周套有第一抽气罩,炉管尾端于炉尾罩之外的部分设有第二密封法兰,第二密封法兰与炉尾罩之间设有第二波纹管,第二密封法兰与第二波纹管之间密封连接,二者连接处的外周套有第二抽气罩。本发明采用抽气罩将可能泄露的气体及时抽走,防止危险气体泄漏引发爆炸危险,整体密封性好,安全可靠。
Description
技术领域
本发明涉及电池负极材料烧结设备,尤其涉及一种连续式硅碳负极动态CVD烧结炉。
背景技术
负极材料是锂离子电池的重要组成部分,直接影响电池的能量密度、循环寿命和安全性能等指标。硅碳负极(硅碳负极:一种锂电池新型负极材料,由硅与碳复合而成,有多种反应技术,CVD即其中一种)作为一种新兴的负极材料,其容量达到主流的石墨负极材料的数十倍,是负极材料发展的未来方向。CVD(CVD:化学气相沉积(Chemical VaporDeposit),一种反应技术)法是硅碳负极碳包覆主流制备方法,但目前并未出现成熟的生产设备。CVD制备法中物料须快速进入加热区,加热温度高,同时循环通入反应气体,设备内部气氛纯度要求高,整体密封要求高。
为解决上述问题,已有部分公司采用小型的间断回转管进行小批量制备,但其产量小且无法连续进出料,只能作为实验用途,无法实现批量生产。而采用这种实验室利用间断式回转管小批量生产,主要缺点有:间断式回转管产量小,仅限于实验研究,无法实现大批量生产;生产方式为间断生产,无法实现连续进料连续生产。
另一方面,大批量生产的已有连续式回转炉无法满足硅碳负极生产条件,主要体现在:
(1)硅碳负极的碳包覆过程需要通入乙炔作为反应气体,且反应过程极易氧化,对密封效果要求极高,特别是进出料密封、炉管动密封及进料器轴动密封,已有回转炉密封效果达不到硅碳负极生产密封要求;
(2)由于存在乙炔、甲烷和氢气等危险气体,已有回转炉无法实现防爆功能;
(3)硅碳负极烧结质量与碳包覆厚度有直接联系,碳包覆过程需精确控制硅源(硅粉)及碳源(乙炔气体)的配比,已有回转炉无法实现对进料量与进气量的精确配比控制。
因此,现在锂电池硅碳负极的发展亟待研发一种连续进出料、实现批量生产、密封效果好、烧结产品质量稳定的硅碳负极CVD烧结炉。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种密封性好、可防止室内乙炔等危险气体泄漏引发爆炸危险的的连续式硅碳负极动态CVD烧结炉。
为解决上述技术问题,本发明采用以下技术方案:
一种连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,包括安装平台、螺旋进料器、炉头罩、炉管和炉尾罩,所述炉管可转动的安装在安装平台上,所述炉管的头端位于炉头罩内且尾端位于炉尾罩内,所述螺旋进料器与炉头罩密封对接,且螺旋进料器的螺旋轴穿过炉头罩与炉管对接,所述炉尾罩上设有出料口,所述炉管头端于炉头罩之外的部分设有第一密封法兰,所述第一密封法兰与炉头罩之间设有第一波纹管,所述第一密封法兰与第一波纹管之间密封连接,且二者连接处的外周套有第一抽气罩,所述炉管尾端于炉尾罩之外的部分设有第二密封法兰,所述第二密封法兰与炉尾罩之间设有第二波纹管,所述第二密封法兰与第二波纹管之间密封连接,且二者连接处的外周套有第二抽气罩。
作为上述技术方案的进一步改进:
所述第一抽气罩的圆周方向设有一个主抽气管和多个间隔的支抽气管,各支抽气管均与主抽气管连通,所述第二抽气罩的圆周方向设有一个主抽气管和多个间隔的支抽气管,各支抽气管均与主抽气管连通。
所述螺旋进料器的上游设有上料装置,所述上料装置包括上料仓和进料缓冲仓,所述进料缓冲仓设有进料口、出料口、进气口和出气口,所述进料缓冲仓的进料口与上料仓对接,且出料口与螺旋进料器的入口密封对接。
所述上料装置还包括称重仓,所述称重仓的底部设有称重器,所述称重仓通过上料管与上料仓连接;所述炉尾罩设有主进气口,所述主进气口连接一进气管,所述进气管位于炉管内,所述主进气口设有流量计。
所述炉尾罩的下游设有出料缓冲仓,所述出料缓冲仓设有进料口、出料口、进气口和出气口,所述进料口与炉尾罩的出料口对接;所述进料缓冲仓、称重仓和出料缓冲仓的外侧对应设有一用于敲打各仓体的仓体气锤。
所述螺旋进料器内设有防止堵料的破拱轴,所述破拱轴设有叶片,所述破拱轴连接一驱动机构。
所述破拱轴两端安装在螺旋进料器的壁面上,且每一端与壁面设有密封结构,所述密封结构包括安装板、密封套、第一密封垫、第二密封垫、密封轴承、第三密封垫、压板、弹簧和压盖,所述安装板固定在螺旋进料器的壁面上,所述密封套固定在安装板上,所述第一密封垫设于密封套与安装板之间,所述第二密封垫、密封轴承、第三密封垫、压板、弹簧依次位于密封套内,且第二密封垫与第一密封垫抵靠,所述压盖盖在密封套上,并与密封套螺纹连接,所述第三密封垫背向密封轴承的一面设有锥台部,所述压板设有可与锥台部配合的锥孔;所述密封套的内壁设有径向凸台,所述第二密封垫设有可与径向凸台配合的台阶凹槽。
所述安装平台设有高度可调的第一滑槽座和高度可调的第二滑槽座,所述螺旋进料器和炉头罩滑设于第一滑槽座的滑槽内,所述炉尾罩滑设于第二滑槽座内的滑槽内;所述炉头罩和炉尾罩均设有防爆门。
所述炉管的头端设有一锥形内胆,所述炉管的入口为锥形内胆的入口,所述炉管与锥形内胆的外壁之间设有隔热棉,所述安装平台上设有可敲击炉管的炉管气锤;所述炉管的中间部分套有保温套,所述炉管下端与保温套的间隙内设有加热装置。
所述安装平台包括台板和支撑台板的两个支座,靠近炉管头端的支座为可调支座;所述台板上设有支撑轴承,所述炉管支撑在支撑轴承上。
与现有技术相比,本发明的优点在于:
(1)本发明的连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,利用回转炉动态烧结的特性,将回转炉运用到锂电池硅碳负极材料的烧结碳包覆工艺,在炉管头端的第一密封法兰与第一波纹管连接处的外围套设第一抽气罩,在炉管尾端的第二密封法兰与第二波纹管连接处的外围套设第二抽气罩,采用抽气罩将可能泄露的气体及时抽走,以防止室内乙炔等危险气体泄漏引发爆炸危险的产生,实现炉管两端的密封,整体密封性好,安全可靠,从而实现硅碳负极连续性批量生产。
(2)本发明的连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,采用称重仓及流量计精准控制硅粉进料量和乙炔进气量,采用四层密封及石墨环密封解决了螺旋进料器及炉管的动密封,采用进料缓冲仓及出料缓冲仓解决了进出料口密封,使炉管内部与外部环境隔绝,采用防爆门防止设备内部产生爆炸意外,进一步实现了硅碳负极连续性批量生产。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图2是本发明中第一抽气罩结构示意图。
图3是本发明中第一抽气罩的轴向示意图。
图4是本发明中螺旋进料器的结构示意图。
图5是本发明中破拱轴两端的密封结构示意图。
图中各标号表示:
1、安装平台;2、螺旋进料器;3、炉头罩;4、炉管;5、炉尾罩;6、螺旋轴;7、第一密封法兰;8、第一波纹管;9、第一抽气罩;10、第二密封法兰;11、第二波纹管;12、第二抽气罩;13、主抽气管;14、支抽气管;15、上料仓;16、进料缓冲仓;17、称重仓;18、称重器;19、上料管;20、主进气口;21、进气管;22、流量计;23、出料缓冲仓;24、仓体气锤;25、破拱轴;26、叶片;27、驱动机构;28、安装板;29、密封套;30、第一密封垫;31、第二密封垫;32、密封轴承;33、第三密封垫;34、压板;35、弹簧;36、压盖;37、锥台部;38、锥孔;39、径向凸台;40、台阶凹槽;41、第一滑槽座;42、第二滑槽座;43、防爆门;44、锥形内胆;45、隔热棉;46、炉管气锤;47、保温套;48、加热装置;49、台板;50、支座;51、支撑轴承;52、星型卸料阀;53、缓冲仓支架;54、电机;55、齿轮连接结构;56、废料暂存仓;57、进料架;58、软管。
具体实施方式
以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。
如图1至图5所示,本实施例的连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,包括安装平台1、螺旋进料器2、炉头罩3、炉管4和炉尾罩5,炉管4可转动的安装在安装平台1上,炉管4的头端位于炉头罩3内且尾端位于炉尾罩5内,螺旋进料器2通过软通道与炉头罩3密封对接,且螺旋进料器2的螺旋轴6穿过软通道和炉头罩3与炉管4对接,炉尾罩5上设有出料口,炉管4头端于炉头罩3之外的部分设有第一密封法兰7,第一密封法兰7与炉头罩3之间设有第一波纹管8,第一密封法兰7与第一波纹管8之间密封连接,炉管4尾端于炉尾罩5之外的部分设有第二密封法兰10,第二密封法兰10与炉尾罩5之间设有第二波纹管11,第二密封法兰10与第二波纹管11之间密封连接。
螺旋进料器2将上游的物料送至炉管4内,炉管4与炉头罩3之间的密封通过第一密封法兰7与第一波纹管8进行密封,由于炉管4需要转动,在第一密封法兰7与第一波纹管8之间还设置一个石墨环,进一步实现动密封,同理,炉管4与炉尾罩5之间通过第二密封法兰10和第二波纹管11进行密封,且二者之间也设置石墨环实现动密封。尽管炉管两端已经做到较好的密封,但是由于炉管在运行中不停的转动,还是会漏气的可能,尤其是炉管4内还存在着乙炔、甲烷或者氢气等危险气体,为此,本实施例在炉管4头端的第一密封法兰7与第一波纹管8连接处的外围套设第一抽气罩9,在炉管4尾端的第二密封法兰10与第二波纹管11连接处的外围套设第二抽气罩12,一旦连接处由气体泄漏,通过抽气罩将气体抽出,防止出现爆炸的情况。
本发明利用回转炉动态烧结的特性,将回转炉运用到锂电池硅碳负极材料的烧结碳包覆工艺。采用抽气罩将可能泄露的气体及时抽走,以防止室内乙炔等危险气体泄漏引发爆炸危险的产生,实现炉管4两端的密封,整体密封性好,安全可靠,从而实现硅碳负极连续性批量生产。
本实施例中,第一抽气罩9的圆周方向设有一个主抽气管13和多个间隔的支抽气管14,各支抽气管14均与主抽气管13连通,支抽气管14汇合于主抽气管13,主抽气管13外部安装风机(图中未示出)进行抽气。通过设置主抽气管13与多个支抽气管14结合迅速将第一抽气罩9内的气体抽走,防止乙炔气体外漏产生室内泄漏爆炸意外。同理,第二抽气罩12的圆周方向设有一个主抽气管13和多个间隔的支抽气管14,各支抽气管14均与主抽气管13连通。
本实施例中,螺旋进料器2的上游设有上料装置,上料装置包括上料仓15和进料缓冲仓16,如1图所述,进料缓冲仓16设有进料口16a、出料口16b、进气口16c和出气口16d,进料口16a、出料口16b均设有星型卸料阀52。进料缓冲仓16的进料口16a与上料仓15对接,且出料口16b与螺旋进料器2的入口密封对接。
运行时,打开上料仓15进料口16a的星型卸料阀52进料,进料缓冲仓16料满后关闭该进料口星型卸料阀52,通过进气口16c输入保护气体并通过出气口16d排出空气,进料缓冲仓16内部气氛达标后,打开出料口16b的星型卸料阀52将料卸入螺旋进料器2内,卸料完毕后关闭出料口16b的星型卸料阀52,再进行下次循环进料,使得输入炉管4内部的物料达到气氛要求,避免物料带入了空气进入炉管4内,实现炉管4的进料端与外部的空气隔离。在进料缓冲仓16的外部设置仓体气锤24,在下料时定时振打进料缓冲仓16的仓体,防止物料起拱堵塞。进料缓冲仓16通过缓冲仓支架53固定于地面。
为了精准控制硅粉进料量,在物料进入上料仓15之前还需设置一个称重仓17进行称重,称重仓17的底部设有称重器18,称重仓17通过上料管19与上料仓15连接,上料前,称重器18记录称重仓17的数值G1,上料后,称重器18记录称重仓17的数值G2,那么本次所上的料的重量为G1-G2。炉尾罩5顶部设有主进气口20,主进气口20连接一进气管21,进气管21位于炉管4内,主进气口20通入乙炔反应气体,由进气管21将反应气体直接导入炉管4内的加热区,以充分保证反应时的气流量。主进气口20设有流量计22,实时精确测量乙炔进气量。采用称量仓17及流量计22精准控制硅粉进料量和乙炔进气量。
本实施例中,炉尾罩5的下游设有出料缓冲仓23,如图1所示,出料缓冲仓23设有进料口23a、出料口23b、进气口23c和出气口23d,进料口23a与炉尾罩5的出料口对接。进料口23a、出料口23b均设置星型卸料阀52,出料时,打开进料口23a的星型卸料阀52,关闭出料口23b星型卸料阀52,将炉管4内的料卸入出料缓冲仓23,料满后关闭进料口23a的星型卸料阀52,通过进气口23c输入保护气体并通过出气口23d排出空气,出料缓冲仓23内部气氛达标后打开出料口23b的星型卸料阀52进行卸料,卸料完毕后关闭出料口23b的星型卸料阀52,再进行下次循环出料,实现炉管4的出料端与外部的空气隔离。在出料缓冲仓23的外部设置仓体气锤24,在出料时定时振打出料缓冲仓23的仓体,防止物料起拱堵塞。
本实施例中,螺旋进料器2内设有防止堵料的破拱轴25,破拱轴25设有叶片26,破拱轴25连接一驱动机构27。破拱轴25两端安装在螺旋进料器2的壁面上,且每一端与壁面设有密封结构,密封结构包括安装板28、密封套29、第一密封垫30、第二密封垫31、密封轴承32、第三密封垫33、压板34、弹簧35和压盖36,密封结构整体套在破拱轴25上。安装板28固定在螺旋进料器2的壁面上,密封套29固定在安装板28上,第一密封垫30设于密封套29与安装板28之间构成第一层密封,第一层密封主要实现端面密封即密封套29与安装板28的端面密封。第二密封垫31、密封轴承32、第三密封垫33、压板34、弹簧35依次位于密封套29内,且第二密封垫31与第一密封垫30抵靠,压盖36盖在密封套29上,并与密封套29螺纹连接,第三密封垫33背向密封轴承32的一面设有锥台部37,压板34设有可与锥台部37配合的锥孔38。第二密封垫31与破拱轴25之间形成第二层密封,主要作用是使得密封套29与破拱轴25形成动密封,该层密封也可防止灰尘外溢。密封轴承32使得密封套29与破拱轴25形成动密封(或第三层密封),并实现破拱轴25转动及支撑。旋转压盖36,弹簧35挤压压板34,压板34的锥孔38与锥台部37挤压,形成持续斜面挤压,并将挤压轴向力转化为径向力从而形成径向密封即第四层密封,该层密封作用同样是使得密封套29与破拱轴25形成动密封,该层密封也可达到防止气体出入的密封效果。当第四层密封使用时间加长,斜面凸形锥台部37与斜面凹形锥孔38之间会发生磨损,使得弹簧35松弛而导致密封效果削弱时,可通过进一步旋进压紧压盖36使得弹簧35再次压紧提供压紧力从而增强密封效果。
为了提高第二层密封的效果,密封套29的内壁设有径向凸台39,第二密封垫31设有可与径向凸台39配合的台阶凹槽40。
本实施例中,驱动机构27可以同步驱动破拱轴25和螺旋轴6,驱动机构27包括电机54,电机54通过齿轮链条结构55与螺旋轴6连接,螺旋轴6通过齿轮链条结构55与破拱轴25连接。可以通过调节齿轮链条结构55中各齿轮的齿数来调节破拱轴25和螺旋轴6的转动幅度。
本实施例中,安装平台1设有高度可调的第一滑槽座41和高度可调的第二滑槽座42,和炉头罩3通过轮子滚设于第一滑槽座41的滑槽内,炉尾罩5轮子滚设于第二滑槽座42内的滑槽内,螺旋进料器2安装在进料架57上,进料架57通过轮子滚设于第一滑槽座41的滑槽,实现螺旋进料器2、炉头罩3、炉尾罩5前后位置可调。安装平台1包括台板49和支撑台板49的两个支座50,靠近炉管4头端的支座50为可调支座,具体的,该可调支座为丝杠螺母结构,可实现炉管4头端高于尾端,适度的倾角可以保证炉管4内物料完全出料。台板49上设有支撑轴承51,炉管4支撑在支撑轴承51上,炉管4可以绕着支撑轴承51转动,炉管4尾端部分设有驱动齿轮,驱动齿轮连接驱动电机,从而带动炉管4转动。第一滑槽座41通过腰孔结构固定在台板49上,通过腰孔结构实现第一滑槽座41高度可调,同理,第二滑槽座42通过腰孔结构固定在台板49上,进而实现螺旋进料器2、炉头罩3、炉尾罩5高度位置可调。螺旋进料器2通过软管58与进料缓冲仓16连接,使得炉管6倾斜角度调整时螺旋进料器2与进料缓冲仓16之间能实现相对运动,。
本实施例中,炉头罩3顶部设置主排气口3a,以及时排出空气及反应产生的尾气,下部端面设置支进气口3b,以保证炉头罩3底部保护气氛环境,防止保护气氛死角产生。前端面设置防爆门43以防止设备故障产生爆炸,底部通过星型卸料阀52与废料暂存仓56连接,使得炉管4进料端扬料所产生的物料实现暂存并使得卸料口与外部空气隔离密封。
炉尾罩5后端面设置支进气口5b以保证炉尾罩(5内部保护气氛环境,防止保护气氛死角产生,前端面设置防爆门43以防止设备故障产生爆炸,底部通过星型卸料阀52与出料缓冲仓23连接。
本实施例中,炉管4的头端设有一锥形内胆44,炉管4的入口为锥形内胆44的入口,锥形内胆44的作用为:一是使得反应气体由出料端流到进料端时不产生流动死角,二是防止物料进入炉管4后回流。炉管4与锥形内胆44的外壁之间的空腔内设有隔热棉45,使得炉管4内部加热区与进料端的结构件产生隔热作用。炉管4的中间部分套有保温套47,包围炉管实现隔热作用,炉管4下端与保温套47的间隙内设有加热装置48,加热装置对炉管的加热区进行加热。安装平台1上设有可敲击炉管4的炉管气锤46,炉管气锤46设置两个,分设在炉管4伸出保温套47的两端下方位置,炉管气锤46定时敲击炉管4,敲击力度可调,实现防止物料粘壁功能。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员,在不脱离本发明技术方案范围的情况下,都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰,或修改为等同变化的等效实施例。因此,凡是未脱离本发明技术方案的内容,依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰,均应落在本发明技术方案保护的范围内。
Claims (9)
1.一种连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,其特征在于:包括安装平台(1)、螺旋进料器(2)、炉头罩(3)、炉管(4)和炉尾罩(5),所述炉管(4)可转动的安装在安装平台(1)上,所述炉管(4)的头端位于炉头罩(3)内且尾端位于炉尾罩(5)内,所述螺旋进料器(2)与炉头罩(3)密封对接,且螺旋进料器(2)的螺旋轴(6)穿过炉头罩(3)与炉管(4)对接,所述炉尾罩(5)上设有出料口,所述炉管(4)头端于炉头罩(3)之外的部分设有第一密封法兰(7),所述第一密封法兰(7)与炉头罩(3)之间设有第一波纹管(8),所述第一密封法兰(7)与第一波纹管(8)之间密封连接,且二者连接处的外周套有第一抽气罩(9),所述炉管(4)尾端于炉尾罩(5)之外的部分设有第二密封法兰(10),所述第二密封法兰(10)与炉尾罩(5)之间设有第二波纹管(11),所述第二密封法兰(10)与第二波纹管(11)之间密封连接,且二者连接处的外周套有第二抽气罩(12),所述炉管(4)的头端设有一锥形内胆(44),所述炉管(4)的入口为锥形内胆(44)的入口,所述炉管(4)与锥形内胆(44)的外壁之间设有隔热棉(45),所述安装平台(1)上设有可敲击炉管(4)的炉管气锤(46);所述炉管(4)的中间部分套有保温套(47),所述炉管(4)下端与保温套(47)的间隙内设有加热装置(48)。
2.根据权利要求1所述的连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,其特征在于:所述第一抽气罩(9)的圆周方向设有一个主抽气管(13)和多个间隔的支抽气管(14),各支抽气管(14)均与主抽气管(13)连通,所述第二抽气罩(12)的圆周方向设有一个主抽气管(13)和多个间隔的支抽气管(14),各支抽气管(14)均与主抽气管(13)连通。
3.根据权利要求1所述的连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,其特征在于:所述螺旋进料器(2)的上游设有上料装置,所述上料装置包括上料仓(15)和进料缓冲仓(16),所述进料缓冲仓(16)设有进料口、出料口、进气口和出气口,所述进料缓冲仓(16)的进料口与上料仓(15)对接,且出料口与螺旋进料器(2)的入口密封对接。
4.根据权利要求3所述的连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,其特征在于:所述上料装置还包括称重仓(17),所述称重仓(17)的底部设有称重器(18),所述称重仓(17)通过上料管(19)与上料仓(15)连接;所述炉尾罩(5)设有主进气口(20),所述主进气口(20)连接一进气管(21),所述进气管(21)位于炉管(4)内,所述主进气口(20)设有流量计(22)。
5.根据权利要求4所述的连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,其特征在于:所述炉尾罩(5)的下游设有出料缓冲仓(23),所述出料缓冲仓(23)设有进料口、出料口、进气口和出气口,所述进料口与炉尾罩(5)的出料口对接;所述进料缓冲仓(16)、称重仓(17)和出料缓冲仓(23)的外侧对应设有一用于敲打各仓体的仓体气锤(24)。
6.根据权利要求1至5任意一项所述的连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,其特征在于:所述螺旋进料器(2)内设有防止堵料的破拱轴(25),所述破拱轴(25)设有叶片(26),所述破拱轴(25)连接一驱动机构(27)。
7.根据权利要求6所述的连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,其特征在于:所述破拱轴(25)两端安装在螺旋进料器(2)的壁面上,且每一端与壁面设有密封结构,所述密封结构包括安装板(28)、密封套(29)、第一密封垫(30)、第二密封垫(31)、密封轴承(32)、第三密封垫(33)、压板(34)、弹簧(35)和压盖(36),所述安装板(28)固定在螺旋进料器(2)的壁面上,所述密封套(29)固定在安装板(28)上,所述第一密封垫(30)设于密封套(29)与安装板(28)之间,所述第二密封垫(31)、密封轴承(32)、第三密封垫(33)、压板(34)、弹簧(35)依次位于密封套(29)内,且第二密封垫(31)与第一密封垫(30)抵靠,所述压盖(36)盖在密封套(29)上,并与密封套(29)螺纹连接,所述第三密封垫(33)背向密封轴承(32)的一面设有锥台部(37),所述压板(34)设有可与锥台部(37)配合的锥孔(38);所述密封套(29)的内壁设有径向凸台(39),所述第二密封垫(31)设有可与径向凸台(39)配合的台阶凹槽(40)。
8.根据权利要求1至5任意一项所述的连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,其特征在于:所述安装平台(1)设有高度可调的第一滑槽座(41)和高度可调的第二滑槽座(42),所述螺旋进料器(2)和炉头罩(3)滑设于第一滑槽座(41)的滑槽内,所述炉尾罩(5)滑设于第二滑槽座(42)内的滑槽内;所述炉头罩(3)和炉尾罩(5)均设有防爆门(43)。
9.根据权利要求1至5任意一项所述的连续式硅碳负极动态CVD烧结炉,其特征在于:所述安装平台(1)包括台板(49)和支撑台板(49)的两个支座(50),靠近炉管(4)头端的支座(50)为可调支座;所述台板(49)上设有支撑轴承(51),所述炉管(4)支撑在支撑轴承(51)上。
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