CN110491816A - 基板承载装置和涂胶显影设备 - Google Patents

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Abstract

本公开提供了一种基板承载装置和涂胶显影设备，属于显示技术领域。该基板承载装置包括相对设置的两个承载机构，以及位于两个所述承载机构之间的驱动机构；任一所述承载机构包括导向组件和多个支撑件，其中，导向组件包括相互配合的导向件和运动件，所述导向件用于引导所述运动件沿预设轨迹运动；多个支撑件固定于所述运动件，且用于共同承载所述基板；其中，所述驱动机构能够同时驱动两个所述承载机构的运动件运动。本公开的基板承载装置能够避免损伤基板。

Description

基板承载装置和涂胶显影设备
技术领域
本公开涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板承载装置和涂胶显影设备。
背景技术
在显示面板的制备过程中，经常使用轨道工艺(涂胶-曝光-显影工艺)。其中，在进行曝光前，需要调整两个基板之间的间距，以使得两个基板与曝光机相匹配。
在现有技术中，基板置于固定的支撑针上；当需要改变基板之间的间距时，通过驱动机构推动玻璃在支撑针上滑动。然而，基板与支撑针之间相对运动时，基板容易被划伤且容易产生静电，降低了显示面板的良率。
所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
发明内容
本公开的目的在于提供一种基板承载装置和涂胶显影设备，避免损伤基板。
为实现上述发明目的，本公开采用如下技术方案：
根据本公开的第一个方面，提供一种基板承载装置，包括相对设置的两个承载机构，以及位于两个所述承载机构之间的驱动机构；任一所述承载机构包括：
导向组件，包括相互配合的导向件和运动件，所述导向件用于引导所述运动件沿预设轨迹运动；
多个支撑件，固定于所述运动件，且用于共同承载所述基板；
其中，所述驱动机构能够同时驱动两个所述承载机构的运动件运动。
在本公开的一种示例性实施例中，所述导向件为导轨，所述运动件为与所述导轨配合的滑块。
在本公开的一种示例性实施例中，所述支撑件包括与所述运动件连接的支撑针；同一所述承载机构中，各个所述支撑针远离所述运动件的一端位于同一平面。
在本公开的一种示例性实施例中，任一所述承载机构还包括支撑板；
同一所述承载机构中，所述支撑板固定于所述运动件，且所述支撑件固定于所述支撑板且向远离所述运动件的一侧延伸。
在本公开的一种示例性实施例中，同一所述承载机构中，所述支撑板的数量为多个，且任一所述支撑板固定有多个所述支撑件。
在本公开的一种示例性实施例中，同一所述承载机构中，所述导向组件的数量为多个，且各个所述运动件的预设轨迹相互平行，所述支撑板固定于所有所述运动件。
在本公开的一种示例性实施例中，所述运动件的预设轨迹为直线；所述驱动机构能够同时驱动两个所述承载机构的运动件向相反的方向运动。
在本公开的一种示例性实施例中，所述驱动机构包括：
旋转轴，所述旋转轴的轴线方向垂直于各个所述支撑件的运动轨迹所在的平面；
两个驱动端，分别与所述驱动轴固定连接；
其中，两个所述承载机构的运动件靠近所述旋转轴的一侧，与两个所述驱动端一一对应地配合。
在本公开的一种示例性实施例中，所述驱动机构包括：
旋转轴，所述旋转轴的轴线方向垂直于各个所述支撑件的运动轨迹所在的平面；
两个驱动端，分别与所述驱动轴固定连接；
其中，两个所述承载机构的支撑板靠近所述旋转轴的一侧，与两个所述驱动端一一对应地配合。
在本公开的一种示例性实施例中，两个所述驱动端与所述旋转轴的轴线之间的距离相等。
在本公开的一种示例性实施例中，两个所述承载机构的运动件，与所述旋转轴的轴线之间的距离相等。
在本公开的一种示例性实施例中，所述驱动机构的数量为多个，且多个所述驱动机构同时驱动两个所述承载机构的运动件运动。
根据本公开的第二个方面，提供一种涂胶显影设备，包括上述的基板承载装置。
本公开提供的基板承载装置和涂胶显影设备，两块基板可以分别承载于两个承载机构的支撑件上。当需要调整两个基板之间的距离时，驱动机构可以同时驱动两个承载机构的运动件沿预设轨迹运动，运动件在运动时可以带动其所连接的支撑件沿相同的轨迹运动，支撑件在运动时可以带动其所承载的基板沿相同的轨迹运动。如此，支撑件与基板之间不会发生相对移动，避免了支撑件与基板之间相对移动而划伤基板，也避免了支撑件与基板之间相对移动而产生静电，可以保证基板的完好并避免静电对后续工序的影响，提高现实面板的良率。
附图说明
通过参照附图详细描述其示例实施方式，本公开的上述和其它特征及优点将变得更加明显。
图1是相关技术中的基板承载设备的俯视结构示意图。
图2是相关技术中的基板承载设备的正视结构示意图。
图3是相关技术中的基板承载设备的侧视结构示意图。
图4是本公开实施方式的基板承载装置的正视结构示意图。
图5是本公开实施方式的基板承载装置的侧视结构示意图。
图6是本公开实施方式的基板承载装置的俯视结构示意图。
图7是本公开实施方式的导轨滑块组件的部分剖视结构示意图。
图8是本公开实施方式的导轨滑块组件的剖视结构示意图。
图中主要元件附图标记说明如下：
100、承载机构；110、导向组件；111、导向件；112、运动件；1110、导轨；1111、滚道；1120、滑块；1121、滚珠；1122、滚珠保持器；120、支撑件；130、支撑板；200、驱动机构；210、旋转轴；220、驱动端；230、连接直杆；300、基板；A、第一方向；B、第二方向；C、竖直方向。
具体实施方式
现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施例使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。
在图中，为了清晰，可能夸大了区域和层的厚度。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。
在相关技术中，如图1～图3所示，基板承载设备包括支撑板130以及固定于支撑板130上的针状支撑件120，其中，支撑板130的位置固定。基板300置于支撑件120上，当需要改变基板300之间的间距时，通过驱动机构200推动基板300在支撑件120上滑动。然而，玻璃基板与支撑针120之间相对运动时，基板300容易被划伤且容易产生静电，降低了显示面板的良率。
为解决上述问题，本公开实施方式中提供一种基板承载装置，如图4～图6所示，该基板承载装置包括相对设置的两个承载机构100，以及位于两个承载机构100之间的驱动机构200；任一承载机构100包括导向组件110和多个支撑件120，导向组件110包括相互配合的导向件111和运动件112，导向件111用于引导运动件112沿预设轨迹运动；多个支撑件120固定于运动件112，且用于共同承载基板300。其中，驱动机构200能够同时驱动两个承载机构100的运动件112运动。
本公开提供的基板承载装置，两块基板300可以分别承载于两个承载机构100的支撑件120上。当需要调整两个基板300之间的距离时，驱动机构200可以同时驱动两个承载机构100的运动件112沿预设轨迹运动，运动件112在运动时可以带动其所连接的支撑件120沿相同的轨迹运动，支撑件120在运动时可以带动其所承载的基板300沿相同的轨迹运动。如此，支撑件120与基板300之间不会发生相对移动，避免了支撑件120与基板300之间相对移动而划伤基板300，也避免了支撑件120与基板300之间相对移动而产生静电，可以保证基板300的完好并避免静电对后续工序的影响，提高现实面板的良率。
下面结合附图对本公开实施方式提供的基板承载装置的各部件进行详细说明：
如图4所示，基板承载装置包括相对设置的两个承载机构100，每个承载机构100可以分别承载一块基板300。其中，两个承载机构100相对设置，可以指两个承载机构100分别设置于驱动机构200的两侧。其中，基板300可以为玻璃基板、设置有驱动电路的背板或者其他类型的基板，本公开不做特殊的限制。
导向组件110中，导向件111用于支撑运动件112并约束运动件112的运动轨迹，使得运动件112按照预设轨迹运动。运动件112用于连接支撑件120，并在运动时带动支撑件120同步运动。运动件112的预设轨迹可以为直线、折线、弧线或者其他形状。举例而言，在本公开的一种实施方式中，运动件112的预设轨迹为直线。
可选的，导向件111用于固定于一支架上，以便使其保持静止，避免其移动而导致基板300的位置发生偏移，进而保证后续的曝光精准度。
可选的，导向组件110可以包括一导轨1110和与导轨1110配合的滑块1120，其中，导轨1110和滑块1120中的一个固定而作为导向件111，另一个固定连接支撑件120而作为运动件112。举例而言，在本公开的一种实施方式中，导向件111为导轨1110，运动件112为与导轨1110配合的滑块1120。导轨1110与滑块1120之间可以为面接触、线接触、滚动接触或者其他可行的相互接触方式，以使得两者之间能够发生相对移动为准。
举例而言，在本公开的一种实施方式中，如图7和图8所示，导轨1110与滑块1120之间相互卡合，使得滑块1120只能够沿着导轨1110的延伸方向移动；在导轨1110上可以设置有滚道1111，在滑块1120上可以设置有滚珠1121，滚珠1121与滚道1111相互配合以降低滑块1120与轨道之间的阻力。可选的，导轨1110上设置有四个滚道1111，滑块1120上设置有四组滚珠1121，且四个滚道1111与四组滚珠1121一一对应地配合。可选的，滑块1120上还可以设置有滚珠保持器1122，以避免滚珠1121从滑块1120脱落。可选的，滑块1120的端侧还可以设置有端盖板，以遮盖和保护滑块1120上的滚珠1121；进一步地，端盖板上还可以设置有与导轨1110配合的密封垫片，以使得端盖板与导轨1110之间密封，避免灰尘等进入滚珠1121之间或者进入滚道1111而增大滑块1120与导轨1110之间的阻力。
同一承载机构100中，导向组件110的数量可以为一个，也可以为多个。当导向组件110的数量为多个时，如图5和图6所示，各个导向组件110的导向件111可以相互平行设置，以使得各个运动件112的预设轨迹相互平行，并进而保证各个运动件112可以同步运动，避免运动件112上的各个支撑件120之间的间距发生变化而与基板300产生相对移动。举例而言，各个导向件111可以引导相应的运动件112同步地沿第一方向A直线运动，或者同步地沿第一方向A的相反方向直线运动。可选的，第一方向A可以平行于水平面，即第一方向A可以垂直于竖直方向C。
其中，在本公开中，各个运动件112的预设轨迹平行，指的是各个运动件112的预设轨迹的切线方向相互平行。可以理解的是，当运动件112的预设轨迹为直线时，运动件112的运动轨迹的切线方向为与预设轨迹平行的方向。
同一承载机构100的所有支撑件120，用于共同承载基板300。其中，任一支撑件120可以为柱状、块状、盘状、针状或者其他可行的形状。可以理解的是，如图4和图5所示，同一承载机构100的所有支撑件120的远离运动件112的一端可以位于同一平面，以形成一用于承载基板300的承载平面。在本公开的一种实施方式中，同一承载机构100的所有支撑件120的远离运动件112的一端所形成的承载平面，在竖直方向C上高于运动件112；所形成的承载平面可以为水平面或者接近水平面。
举例而言，在本公开的一种实施方式中，如图4页和图5所示，支撑件120可以包括与运动件112连接的呈针状的支撑针；同一承载机构100中，各个支撑针远离运动件112的一端位于同一平面，以形成用于承载基板300的承载平面。优选的，支撑针远离运动件112的一端的横截面积，小于支撑针靠近运动件112的一端的横截面积。
可选的，如图4～图6所示，任一承载机构100还可以包括支撑板130；同一承载机构100中，支撑板130固定于运动件112，且支撑件120固定于支撑板130且向远离运动件112的一侧延伸。如此，支撑件120通过支撑板130间接地连接至运动件112。在本公开的一种实施方式中，支撑件120可以预先固定于支撑板130上，然后可以通过将支撑板130固定于运动件112而实现将支撑件120固定于运动件112，如此可以简化承载机构100的组装过程。在本公开的另一种实施方式中，支撑件120和支撑板130可以为一体式结构，其可以通过一体成型的方式同时制备出来。如此，可以简化支撑件120和支撑板130的制备过程，并减少承载机构100的零件数量，提高承载机构100的装配效率。
同一承载机构100中，支撑板130的数量可以为一个，也可以为多个。在本公开的一种实施方式中，一个承载机构100设置有一个支撑板130，且该承载机构100的所有支撑件120均固定于该支撑板130。在本公开的另一种实施方式中，如图4～图6所示，一个承载机构100设置有多个支撑板130，且每个支撑板130上均连接有多个支撑件120。优选的，多个支撑板130等间隔地固定于运动件112，且各个支撑板130的延伸方向相互平行；每个支撑板130上均等间隔地设置相同数量的支撑件120，且各个支撑板130上支撑件120的间隔距离相同。如此，支撑件120可以均匀分布，进而为基板300提供均匀地支撑，避免基板300因所受到的支撑力不均匀而出现位置偏移。更优选的，支撑板130的延伸方向可以与运动件112的预设轨迹垂直。
可选的，如图4～图6所示，在同一承载机构100中，当导向组件110的数量为多个时，各个导向组件110的运动件112可以通过支撑板130相互连接，以保证各个运动件112可以同步运动。如此，驱动机构200可以直接与运动件112向配合，也可以与支撑板130相配合，以最终驱动各个运动件112沿相互平行的预设轨迹同步运动。
如图4～图6所示，驱动机构200可以设置于两个承载机构100之间，以便同时驱动两个承载机构100的运动件112运动。可选的，在驱动机构200的驱动下，两个承载机构100的运动件112的运动方向可以相反。举例而言，在本公开的一种实施方式中，运动件112的预设轨迹为直线；驱动机构200能够同时驱动两个承载机构100的运动件112向相反的方向运动。换言之，驱动机构200工作时，一个承载机构100的运动件112可以沿第一方向A直线运动，另一个承载机构100的运动件112可以沿与第一方向A相反的方向直线运动。
驱动机构200可以为双向丝杆机构、曲柄滑块机构或者其他可行的机构，且驱动机构200可以包括一用于获取动力的主动端，以及包括两个在主动端控制下运动的从动端。驱动机构200的主动端可以与一动力机构连接，以便获得驱动承载机构100的动力；两个从动端分别与承载机构100配合，例如分别与承载机构100的运动件112或者支撑板130配合，以便使得两个从动端可以分别驱动两个承载机构100的运动件112沿预设轨迹运动。
驱动机构200的数量可以为一个，也可以为多个。举例而言，如图6所示，基板承载装置的驱动机构200的数量为多个，且多个驱动机构200同时驱动两个承载机构100的运动件112运动。
可选的，如图4～图6所示，驱动机构200包括旋转轴210和两个驱动端220。其中，旋转轴210的轴线方向垂直于各个支撑件120的运动轨迹所在的平面，即旋转轴210的轴线方向垂直于各个支撑件120所形成的承载平面。旋转轴210可以作为驱动机构200的主动端而与一动力机构连接，并在动力机构的驱动下沿旋转轴210的周向方向旋转。该动力机构可以为旋转油缸、旋转气缸、步进电机或者其他可提供扭矩的动力机构，本公开对此不做特殊的限制。进一步地，两个承载机构100的运动件112，与旋转轴210的轴线之间的距离相等，以便于驱动机构200驱动两个承载机构100的运动件112同步运动。
其中，两个驱动端220分别与旋转轴210固定连接，用于在旋转轴210的带动下沿旋转轴210的周向方向运动。其中，两个驱动端220作为驱动机构200的两个从动端，分别与两个承载机构100相互配合，用于分别驱动两个承载机构100的运动件112沿预设轨迹运动。
驱动端220可以与承载机构100的运动件112配合，也可以与承载机构100的支撑板130配合。在本公开的一种实施方式中，驱动端220可以可滑动地抵触于运动件112或者支撑板130靠近旋转轴210的一侧；当驱动端220沿圆弧轨迹向靠近运动件112或者支撑板130的一侧运动时，其可以驱动运动件112沿预设轨迹向远离旋转轴210的方向运动。
举例而言，在本公开的一种实施方式中，如图4所示，两个承载机构100的支撑板130靠近旋转轴210的一侧，与两个驱动端220一一对应地配合。
再举例而言，在本公开的另一种实施方式中，两个承载机构100的运动件112靠近旋转轴210的一侧，与两个驱动端220一一对应地配合。
如图4所示，两个驱动端220与旋转轴210的轴线之间的距离还可以相等。如此，两个驱动端220的运动轨迹的曲率相同，可以使得两个承载机构100的运动件112同步运动。进一步地，两个驱动端220可以呈圆柱状，且驱动端220的轴线方向与旋转轴210的轴线方向平行。如此，驱动端220在运动过程中，可以保持与运动件112或者支撑件120之间的平稳接触。
如图4所示，驱动端220与旋转轴210之间还可以通过连接直杆230连接。可选地，连接直杆230的轴线方向与旋转轴210的轴线方向垂直。可选的，两个驱动端220在旋转轴210的轴线方向的正投影，可以相互重合。
下面，示例性地提供一种基板承载装置的具体实现方式，以便进一步地解释和说明本公开的基板承载装置的原理和效果。
在该示例中，如图4～图6所示，基板承载装置包括相对设置的两个承载机构100，以及位于两个承载机构100之间的驱动机构200。其中，任一承载机构100包括多个导向组件110、多个支撑板130和多个支撑件120。
导向组件110为直线导轨滑块组件，其包括相互配合的导轨1110和滑块1120，其中，导轨1110作为导向组件110的导向件111，可以固定于一支架上，其中，导轨1110的延伸方向为第一方向A；滑块1120作为导向组件110的运动件112，用于在导轨1110的引导下沿第一方向A或者第一方向A的相反方向直线运动。其中，一个承载机构100的所有运动件112，用于在驱动机构200的驱动下和导轨1110的引导下，沿第一方向A直线运动；另一个承载机构100的所有运动件112，用于在驱动机构200的驱动下和导轨1110的引导下，沿第一方向A的相反方向直线运动。其中，第一方向A垂直于竖直方向C。
如图5和图6所示，同一承载机构100中，多个导轨1110沿第二方向B等间隔地平行设置，其中，第二方向B垂直于第一方向A和竖直方向C；任一支撑板130的延伸方向为第二方向B，且任一支撑板130同时固定于所有滑块1120的上表面；且多个支撑板130沿第一方向A等间隔设置。如此，支撑板130使得各个滑块1120相互连接，保证了各个支撑板130沿第一方向A或者第一方向A的相反方向同步直线运动。不仅如此，导轨1110和支撑板130均等间隔设置，可以使得导向组件110为支撑板130提供均匀的支撑力，避免支撑板130受力不均匀而发生位置偏移，进而避免支撑板130偏移而导致基板300的位置不准确。在同一承载机构100中，各个支撑件120均匀地设置于各个支撑板130上并向远离滑块1120的方向延伸，即任一支撑板130上均等间隔地固定有支撑件120，且支撑件120在不同支撑板130上的间隔距离相同。如此，可以使得支撑件120分布均匀，进而为基板300提供更为均匀的支撑力，避免基板300因为受力不均匀而发生位置偏移或者出现损伤。
如图4～图6所示，支撑件120为针状的支撑针，支撑针靠近滑块1120的一端(即低处端)的横截面积，大于支撑针远离滑块1120的一端(即高处端)的横截面积，以保证支撑针具有足够的强度。同一承载机构100中，各个支撑针远离滑块1120的一端位于同一平面，以形成该承载机构100的用于承载基板300的承载平面。两个承载基板300的承载平面，位于同一平面。
如图6所示，驱动机构200的数量为两个，均位于两个承载机构100之间且沿第二方向B排列。如图4～图6所示，任一驱动机构200，包括一旋转轴210和两个驱动端220，且旋转轴210与两个驱动端220之间分别通过两个连接直杆230连接。
其中，旋转轴210的轴线方向为竖直方向C，且旋转轴210作为驱动机构200的主动端，其一端用于与一提供扭矩的动力机构连接，另一端通过连接直杆230连接驱动端220。在动力机构的驱动下，旋转轴210可以沿其周线方向转动，进而带动驱动端220沿圆弧形轨迹运动。动力机构可以为旋转油缸、旋转气缸、步进电机或者其他可提供扭矩的动力机构，动力机构可以固定于支架上，以使得旋转轴210与导轨1110之间保持相对静止。
其中，两个连接直杆230的轴线为同一直线且垂直于竖直方向C，且两个连接直杆230分别位于旋转轴210的两侧。两个驱动端220一一对应地连接于两个连接直杆230远离旋转轴210的一端。任一驱动端220为圆柱形，且驱动端220的轴线方向为竖直方向C。其中，直线连杆的轴线，穿过旋转轴210的轴线和驱动端220的轴线。
本公开实施方式还提供一种涂胶显影设备，该涂胶显影设备包括上述基板承载装置实施方式所描述的任意一种基板承载装置。该涂胶显影设备可以为用于在光刻工艺中实现光刻胶涂布和曝光的设备。由于该涂胶显影设备具有上述基板承载装置实施方式所描述的任意一种基板承载装置，因此具有相同的有益效果，本公开在此不再赘述。
应可理解的是，本公开不将其应用限制到本说明书提出的部件的详细结构和布置方式。本公开能够具有其他实施方式，并且能够以多种方式实现并且执行。前述变形形式和修改形式落在本公开的范围内。应可理解的是，本说明书公开和限定的本公开延伸到文中和/或附图中提到或明显的两个或两个以上单独特征的所有可替代组合。所有这些不同的组合构成本公开的多个可替代方面。本说明书所述的实施方式说明了已知用于实现本公开的最佳方式，并且将使本领域技术人员能够利用本公开。

Claims (13)

1.一种基板承载装置，其特征在于，包括相对设置的两个承载机构，以及位于两个所述承载机构之间的驱动机构；任一所述承载机构包括：
导向组件，包括相互配合的导向件和运动件，所述导向件用于引导所述运动件沿预设轨迹运动；
多个支撑件，固定于所述运动件，且用于共同承载所述基板；
其中，所述驱动机构能够同时驱动两个所述承载机构的运动件运动。
2.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述导向件为导轨，所述运动件为与所述导轨配合的滑块。
3.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述支撑件包括与所述运动件连接的支撑针；同一所述承载机构中，各个所述支撑针远离所述运动件的一端位于同一平面。
4.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，任一所述承载机构还包括支撑板；
同一所述承载机构中，所述支撑板固定于所述运动件，且所述支撑件固定于所述支撑板且向远离所述运动件的一侧延伸。
5.根据权利要求4所述的基板承载装置，其特征在于，同一所述承载机构中，所述支撑板的数量为多个，且任一所述支撑板固定有多个所述支撑件。
6.根据权利要求4所述的基板承载装置，其特征在于，同一所述承载机构中，所述导向组件的数量为多个，且各个所述运动件的预设轨迹相互平行，所述支撑板固定于所有所述运动件。
7.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述运动件的预设轨迹为直线；所述驱动机构能够同时驱动两个所述承载机构的运动件向相反的方向运动。
8.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述驱动机构包括：
旋转轴，所述旋转轴的轴线方向垂直于各个所述支撑件的运动轨迹所在的平面；
两个驱动端，分别与所述驱动轴固定连接；
其中，两个所述承载机构的运动件靠近所述旋转轴的一侧，与两个所述驱动端一一对应地配合。
9.根据权利要求4所述的基板承载装置，其特征在于，所述驱动机构包括：
旋转轴，所述旋转轴的轴线方向垂直于各个所述支撑件的运动轨迹所在的平面；
两个驱动端，分别与所述驱动轴固定连接；
其中，两个所述承载机构的支撑板靠近所述旋转轴的一侧，与两个所述驱动端一一对应地配合。
10.根据权利要求8或9所述的基板承载装置，其特征在于，两个所述驱动端与所述旋转轴的轴线之间的距离相等。
11.根据权利要求8或9所述的基板承载装置，其特征在于，两个所述承载机构的运动件，与所述旋转轴的轴线之间的距离相等。
12.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述驱动机构的数量为多个，且多个所述驱动机构同时驱动两个所述承载机构的运动件运动。
13.一种涂胶显影设备，其特征在于，包括利要求1～12任一项所述的基板承载装置。
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