CN110476227B - 气化器 - Google Patents

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Abstract

气化器具有如下这样的结构，即：具有固定于机柜的第1支承构件，流量测量部件利用第1支承构件支承，加热板利用第1支承构件支承在流量测量部件与机柜的可卸下的面、即可装卸面之间。优选的是，还具有自加热板向导管传递热量的一个或两个以上的传热构件。在难以通过导管支承进行在罐内产生的气体的供给的开始和停止的阀的情况下，优选利用难以传热的构件将阀固定于机柜。由此，提供一种即使在宽度较窄、设有多个气体供给管路的情况下也能够容易地进行如下操作的气化器，即：将流量测量部件卸下以进行检查或修理、或者再次安装。

Description

气化器
技术领域
本发明涉及一种用于向半导体制造装置供给气体的气化器。
背景技术
气化器是用于对常温下为液相状态的材料(以下，有时称作“液体材料”。)加热以产生气体并将产生的气体供给向半导体制造装置的装置。气化器包括：罐，其用于对液体材料加热以产生气体；阀，其用于开始和停止在罐内产生的气体的供给；以及流量测量部件，其用于测量气体的流量(例如，参照专利文献1。)。并且，为了使在半导体制造工艺中使用的新液体材料高效地气化，开发了一种能够将液体材料加热到超过150℃的温度的气化器(例如，参照非专利文献1。)。
图11是示意性地表示以往技术的气化器1a的构造的一例的右视图。并且，图12是表示气化器1a的结构的一例的立体图。其中，在图12中，为了便于理解气化器1a的结构，而省略了罐2的一部分和机柜3。如这些图所示，气化器1a具有罐2、用于收纳罐2的机柜3、用于向外部供给在罐2内产生的气体的导管4、设于导管4的阀8以及用于测量在导管4内流动的气体的流量的流量测量部件5。储存于罐2的液体材料利用罐加热器2a加热而气化。产生的气体经由阀8和流量测量部件5利用导管4供给向半导体制造装置。
如果导管4的温度低于罐2内的液体材料的温度，则气体可能在导管4的内部凝结而恢复为液体。具体而言，如果导管4的温度低于自液体材料产生的气体的露点，则气体可能在导管4的内部凝结而恢复为液体。为了防止出现这样的情况，而利用加热板7对导管4加热、保温。加热板7固定于机柜3的安装面3c，流量测量部件5和阀8分别借助流量测量部件固定基部5b和阀固定基部8b支承于加热板7。
然而，有时为了例如气化器1a的检查或修理等而必须将流量测量部件5和/或阀8自气化器1a卸下。在以往技术的气化器1a中，机柜3的安装面3c固定于壁面。并且，通常，在机柜3的侧面与其相邻地固定有储存有不同种类的液体材料的其他气化器。因而，在这样的情况下，将机柜3的可卸下的面、即可装卸面3b卸下使流量测量部件5和阀8暴露，之后使用螺丝刀等工具卸下将流量测量部件5和阀8固定于加热板7的螺纹件等固定用具。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平8－64541号公报
非专利文献
非专利文献1：佐佐木章，“扩大应用上限温度的液体材料气化器”、日立金属技报，平成24年，第28卷，p.26－29
发明内容
发明要解决的问题
如上述那样，在半导体制造装置中，储存不同种类的液体材料的多个气化器通常在左右方向上相邻地固定于壁面。因此，存在这样的要求：希望从正面观察各气化器时的左右方向上的宽度较窄，整体的宽度较小。并且，还存在这样的要求：希望在一台气化器的内部设置多个以罐为共用部件的气体供给管路，来削减要设置的气化器的台数。
然而，在图11和图12所例示的以往技术的气化器1a中，流量测量部件5和阀8在机柜3的与可卸下的面、即可装卸面3b相反的一侧的安装面3c侧固定于加热板7。因此，即使如上述那样为了例如检查或修理等而试图将流量测量部件5和/或阀8自加热板7卸下，从可装卸面3b侧操作螺丝刀等工具将流量测量部件5和阀8卸下这件事也并不容易。在机柜3的内部追加配置有用于供给自液体材料产生的气体的导管4以外的配管等的情况下，这样的操作会变得更加困难。
并且，流量测量部件固定基部5b和阀固定基部8b分别利用接头与导管4接合，为了将流量测量部件5和阀8自加热板7卸下，需要利用扳手等工具将所述接合解除。但是，导管4也还是位于与可装卸面3b相反的一侧的安装面3c侧，因此在机柜3的较窄的空间中操作扳手等工具将基于接头的接合解除这件事也还是不容易。
根据上述担忧，在以往技术的气化器1a的情况下，为了易于流量测量部件5及阀8的安装以及卸下，必须在机柜3的内部确保操作工具所需要的空间。因此，在以往技术的气化器1a的情况下，难以响应希望气化器的宽度较窄、在气化器的内部设置多个气体供给管路这样的要求。
本发明是鉴于上述各种问题而做成的，其目的在于提供一种即使在气化器的宽度较窄、在气化器的内部设有多个气体供给管路的情况下也能够容易地进行如下操作的气化器，即：将设置于气化器的流量测量部件和阀卸下以进行检查或修理等、或者再次安装。
用于解决问题的方案
为了达到上述目的，本发明在一实施方式中涉及一种气化器的结构，其要旨在于，该气化器包括罐、机柜、导管、流量测量部件和加热板，并且，机柜具有可卸下的面即可装卸面，该气化器具有直接或间接地固定于机柜的除可装卸面以外的部位的第1支承构件，流量测量部件利用第1支承构件支承，加热板利用第1支承构件支承在流量测量部件与可装卸面之间。
通过采用上述结构，在以往技术的气化器中，加热板所兼具的支承流量测量部件的功能和对导管加热的功能分别被分配给第1支承构件和加热板。由此，能够在维持利用固定于机柜的第1支承构件支承流量测量部件的状态的情况下，将加热板卸下，使流量测量部件暴露。并且，能够利用螺丝刀等工具从机柜的可装卸面那侧容易地卸下将流量测量部件固定于第1支承构件的螺纹件等固定用具，因此，与以往技术的气化器相比，能够容易地将流量测量部件自气化器卸下。
本发明在另一实施方式中的要旨在于，具有自加热板向导管传递热量的一个或两个以上的传热构件。根据该结构，能够优先且有效地向构成气化器的构件中的需要加热的导管的部分传递来自加热板的热量，因此能够削减加热板的消耗电力。并且，能够提高配置导管4的位置的自由度。
发明的效果
采用本发明的气化器，即使不在机柜的内部确保操作工具所需要的空间，也能够容易地进行将流量测量部件自第1支承构件卸下以进行检查、将修理或更换后的流量测量部件再次安装于第1支承构件的操作。因此，能够使气化器的宽度比以往更窄，能够在气化器的内部设置多个气体供给管路。
附图说明
图1是示意性地表示本发明的气化器的结构的一例的右视图。
图2是示意性地表示本发明的气化器的结构的一例的主视图。
图3是示意性地表示本发明的气化器的结构的一例的俯视图。
图4是表示本发明的气化器所包括的阀的附近的结构的一例的右视图。
图5表示组装于本发明的气化器的传热构件的结构的一例，图5的(a)是右视图，图5的(b)是立体图。
图6是表示本发明的气化器所包括的传热构件的结构的一例的立体图。
图7表示组装于本发明的气化器的传热构件的结构的一例，图7的(a)是右视图，图7的(b)是立体图。
图8是表示本发明的实施例的气化器的结构的一例的立体图。
图9是表示本发明的实施例的气化器的温度测量部位的立体图。
图10是示意性地表示本发明的实施例的气化器的温度测量部位的框图。
图11是示意性地表示以往技术的气化器的结构的一例的右视图。
图12是表示以往技术的气化器的结构的一例的立体图。
具体实施方式
以下，边参照图边详细地说明用于实施本发明的方式。另外，这里所记载的实施方式只不过是例示，用于实施本发明的方式并不限定于这里所记载的方式。
＜第1实施方式＞
图1是示意性地表示本发明的气化器的结构的一例的右视图。在本发明的第1实施方式中，气化器1包括：罐2，其用于对液体材料加热以产生气体；机柜3，其用于收纳罐2；导管4，其用于向机柜3的外部供给气体；流量测量部件5，其用于测量在导管4内流动的气体的流量；以及加热板7，其用于对导管4加热。机柜3具有可卸下的面、即可装卸面3b。在罐2内产生的气体在导管4内流动时利用流量测量部件5测量流量，沿着箭头方向在导管4内流动，供给向未图示的半导体制造装置。
罐2是能够密闭的容器。液体材料经由未图示的液体材料供给管供给至罐2而储存于该罐2。储存于罐2的液体材料利用罐加热器2a加热而气化，从而产生气体。产生的气体滞留在罐2的内部的液体材料的液面与罐2的顶部之间的空间，经由导管4向外部流出。能够利用未图示的配管向导管4供给吹扫气体。能够在罐2的内部设置用于测量液体材料的液面的位置的液面传感器和用于测量液体材料的温度的温度传感器。
机柜3是用于收纳罐2和构成气化器1的其他构成部件的壳体。机柜3用于固定构成部件的位置，并且保护流量测量部件等精密设备不受周围环境影响。机柜3例如能够由涂装钢板等构成。
气化器1通常是将机柜3的安装面3c固定于壁等进行使用。机柜3的可装卸面3b构成为能够卸下。通过将可装卸面3b卸下，能够将收纳于机柜3的构成部件卸下以进行检查或修理、或者再次安装。
机柜3也可以具有绝热构件3a。绝热构件3a发挥如下这样的作用，即：避免由罐加热器2a、后述的加热板7产生的热量向机柜3的外部释放，从而将机柜3的内部的温度保持为恒定。优选绝热构件3a与机柜3的内侧的面(内壁面)之间没有间隙地设于机柜3的内侧的面(内壁面)。作为绝热构件3a，能够使用公知的硅橡胶或三元乙丙橡胶等耐热材料。
导管4是用于向机柜3的外部供给在罐2内产生的气体的配管。在本说明书中，导管4既可以是一个配管，并且也可以是连接构成部件的多个配管的集合体。构成导管4的材料能够根据使用的液体材料的种类适当地选择。导管4例如能够使用不锈钢管。能够在导管4设置用于导入吹扫气体的分支配管，该吹扫气体用于排出内部的气体。
流量测量部件5是用于测量在导管4内流动的气体的流量的部件。具体而言，流量测量部件5能够由设于导管4的中途的质量流量计构成。作为质量流量计，例如，能够使用公知的热式质量流量计或压力式质量流量计。
加热板7是用于对导管4加热的发热元件。在罐2内产生的气体具有在温度降低时会凝结而恢复为液体的性质。为了防止出现这样的情况，而利用加热板7对导管4加热。加热板7能够通过例如在容易传热的厚度为2毫米的平板状的铝系材料上粘贴厚度为1.5毫米的橡胶加热器而构成。橡胶加热器例如是在耐热性的橡胶之间夹有丝状或箔状的电阻发热元件的加热器。通常，橡胶加热器的每平方厘米的发热量最大为1瓦特左右，耐热温度为200℃程度。
本发明的气化器1具有直接或间接地固定于机柜3的除可装卸面3b以外的部位的第1支承构件6。第1支承构件6固定于机柜3的位置能够根据机柜3的形状和/或构造等适当地选择。例如，在机柜3的前表面构成为可装卸面3b的情况下，能够在机柜3的与可装卸面3b相对的面、即相对面(在本例中为安装面3c)、从正面进行观察时位于左右的侧面或位于上方的上表面等除可装卸面3b以外的面固定第1支承构件6。
能够使用例如螺纹紧固和/或熔接等公知的方法进行第1支承构件6的固定。优选第1支承构件6固定于构成机柜3的构件(例如，涂装钢板等)，而不是固定于绝热构件3a的表面。第1支承构件6既可以直接固定于机柜3的内侧，也可以通过固定于被收纳于机柜3的罐2的外侧而(借助罐2地)间接地固定于机柜3。
图2是示意性地表示本发明的气化器1的结构的一例的主视图。并且，图3是示意性地表示本发明的气化器1的结构的一例的俯视图。如这些附图所例示的那样，第1支承构件6能够由端部呈直角弯折的左右一对板状的构件构成。第1支承构件6的弯折的一端部螺纹紧固于机柜3的安装面3c。第1支承构件6与加热板7不同，不需要具有传热的功能。因此，能够由机械强度和耐腐蚀性优异的不锈钢板等构成。
在本发明的气化器1中，流量测量部件5由第1支承构件6支承。第1支承构件6如例如图2所示那样被设为从左右夹持流量测量部件5，通过使下侧端部向流量测量部件5侧弯折，能够构成为支承流量测量部件5以避免其落下。通过使流量测量部件5在左右一对第1支承构件6之间前后滑动，能够对流量测量部件5进行安装及卸下。流量测量部件5在安装于第1支承构件6后能够通过螺纹紧固等可装卸的方法固定于第1支承构件6。
在本发明的气化器1中，加热板7利用第1支承构件6支承在流量测量部件5与机柜3的可装卸面3b之间。第1支承构件6能够如例如图3所示那样，将靠近可装卸面3b的端部向左右方向弯折。加热板7能够通过螺纹紧固等可装卸的方法固定于第1支承构件6的弯折部分。像这样利用第1支承构件6支承加热板7，能够确保足够的机械强度以支承具有较大的面积及重量的加热板7。
在将加热板7固定于第1支承构件6时，优选使加热板7的表面与流量测量部件5的设有气体流路的部分的表面贴紧，以高效地传热。设在机柜3的可装卸面3b的内侧的绝热构件3a位于加热板7的与流量测量部件5接触的一侧的相反侧。利用绝热构件3a防止在加热板7产生的热量向外部释放。
在第1实施方式中，在为了例如检查或修理而试图将流量测量部件5卸下的情况下，首先将机柜3的可装卸面3b卸下而使加热板7暴露。接着，将加热板7从第1支承构件6卸下而使流量测量部件5暴露。之后，使用螺丝刀和扳手等工具解除流量测量部件5与第1支承构件6的固定以及流量测量部件5与导管4的接合，使流量测量部件5滑动而将其卸下。在向气化器1安装已检查或修理后的流量测量部件5或更换用的新的流量测量部件5的情况下，能够按照与上述步骤相反的步骤进行安装。
向气化器1安装流量测量部件5以及自气化器1卸下流量测量部件5的操作能够在将机柜3的可装卸面3b卸下后的开放的空间内进行。并且，第1支承构件6与加热板7的固定部分以及第1支承构件6与流量测量部件5的固定部分都暴露在可装卸面3b侧，因此螺丝刀等工具容易够到。因而，与以往技术的气化器1a相比，能够更容易地进行流量测量部件5的安装及卸下操作。
＜变形例1－1＞
在本发明的第1实施方式的一优选的变形例1－1中，优选流量测量部件5与导管4的接合部如图3所例示的那样位于流量测量部件5的靠近机柜3的可装卸面3b的一侧。换言之，优选的是，至少与机柜3的与可装卸面3b相对的面、即相对面(在本例中为安装面3c)相比，流量测量部件5与导管4的接合部配置于靠近可装卸面3b的位置。在该情况下，流量测量部件5与导管4的接合部的接头暴露在机柜3的可装卸面3b侧，因此扳手等工具容易够到。因而，与接合部位于可装卸面3b的相反侧的以往技术的气化器1a相比，能够更容易地进行流量测量部件5的安装及卸下操作。
在变形例1－1中，能够在比机柜3的可装卸面3b靠跟前的开放的空间使用螺丝刀和扳手等工具而容易地进行流量测量部件5的安装及卸下等操作。因而，不需要在机柜3的内部设置操作工具所需要的空间。因此，与以往相比，能够使气化器1的宽度较窄。通过本发明能够实现的气化器1的宽度根据罐的容量及其他条件而不同，通常为例如60毫米～70毫米左右。
另外，在变形例1－1中，也优选的是，在将加热板7固定于第1支承构件6时，使流量测量部件5的设有气体流路的部分的表面与加热板7的表面贴紧，以高效地传热。由此，由加热板7产生的热量高效地向流量测量部件5的设有气体流路的部分传递，因此能够更可靠地防止设于流量测量部件5的流路内的气体凝结。
＜变形例1－2＞
在本发明的第1实施方式的另一优选的变形例1－2中，本发明的气化器1在流量测量部件5与加热板7之间具有流量测量部件固定基部5b，流量测量部件5借助流量测量部件固定基部5b被第1支承构件6支承。如图1和图3所例示的那样，流量测量部件固定基部5b能够由同流量测量部件5的与机柜3的可装卸面3b相对的表面为大致相同形状的板状的构件构成。优选流量测量部件固定基部5b与加热板7同样地由容易传热的平板状的铝系材料构成。流量测量部件固定基部5b的厚度能够为例如5毫米。
在变形例1－2中，流量测量部件5并非被第1支承构件6直接支承，而是借助流量测量部件固定基部5b地被第1支承构件6间接地支承。根据该结构，能够将流量测量部件5与第1支承构件6的固定部件设于流量测量部件固定基部5b，因此不需要将用于固定于第1支承构件6的新的固定部件设于流量测量部件5。因而，能够将还用于除气化器以外的用途的通用的流量测量部件5直接挪用于气化器1。
在变形例1－2的气化器1中，也是加热板7利用第1支承构件6支承在流量测量部件5与机柜3的可装卸面3b之间。第1支承构件6能够如例如图3所示那样，将靠近可装卸面3b的端部向左右方向弯折。加热板7能够通过螺纹紧固等可装卸的方法直接固定于第1支承构件6的弯折部分。或者，也可以是，在加热板7与第1支承构件6的弯折部分之间夹持流量测量部件固定基部5b，利用共通的螺钉或螺栓等将它们紧固起来，从而将加热板7固定于第1支承构件6。总之，像这样利用第1支承构件6支承加热板7，能够确保足够的机械强度以支承具有较大的面积及重量的加热板7。
如图1和图3所例示的那样，优选加热板7的表面与流量测量部件固定基部5b的表面以及流量测量部件固定基部5b的表面与流量测量部件5的设有气体流路的部分的表面分别彼此贴紧。在该情况下，由加热板7产生的热量经由与流量测量部件5为相同形状的流量测量部件固定基部5b集中且高效地传递向流量测量部件5，因此能够更可靠地防止设于流量测量部件5的流路内的气体凝结。
＜变形例1－3＞
在本发明的第1实施方式的又另一优选的变形例1－3中，本发明的气化器1在流量测量部件5与流量测量部件固定基部5b之间具有流量测量部件接头块5a，导管4与流量测量部件接头块5a接合在一起。如图1和图3所例示的那样，流量测量部件接头块5a能够由块状的构件构成，该块状的构件具有与要成为气体的导入路和导出路的导管4之间的接头(未图示)以及与设于流量测量部件5的底部的气体的导入口和导出口气密地接合的接合部分(未图示)。构成流量测量部件接头块5a的材料能够与导管4同样地根据使用的液体材料的种类适当地选择。流量测量部件接头块5a能够使用例如不锈钢。
在变形例1－3中，与要成为气体的导入路和导出路的导管4之间的接头不是设于流量测量部件5，而是设于被安装于流量测量部件5的流量测量部件接头块5a。根据该结构，不需要将与导管4之间的接头设于流量测量部件5，该导管4具有适合气化器的直径。因而，能够将还用于除气化器以外的用途的通用的流量测量部件5直接挪用于气化器1。
＜第2实施方式＞
在本发明的第2实施方式中，本发明的气化器1在罐2与流量测量部件5之间具有用于开始和停止气体的供给的阀8。在打开阀8时气体的供给开始，在关闭阀8时气体的供给停止。根据该结构，能够在适当的时机向半导体制造装置供给适当的量的气体。并且，通过像这样将流量测量部件5配置于阀8的下游侧，能够防止气体在流量测量部件5的内部滞留。而且，根据导管4的结构，还能够在将阀8关闭的状态下利用例如氮气等对流量测量部件5的内部进行吹扫(排出)。另外，从增大气体的流量的观点出发，优选使用开放时的截面积较大且利用气压进行动作的隔膜阀作为阀8。
在第2实施方式中，阀8是比流量测量部件5小的构件，因此能够通过与导管4接合来进行支承。因而，为阀8设置用于支承流量测量部件5的第1支承构件6那样的支承部件的必要性不一定高。但是，为了防止在阀8的内部流动的气体凝结，优选也向阀8传递来自加热板7的热量以对其进行加热。因而，优选阀8的与机柜3的可装卸面3b相对的表面与加热板7的表面贴紧并且可装卸地固定于加热板7的表面。
＜变形例2－1＞
在本发明的第2实施方式的一优选的变形例2－1中，本发明的气化器1在阀8与加热板7之间具有阀固定基部8b，阀8借助阀固定基部8b固定于加热板7。如图1和图3所例示的那样，阀固定基部8b能够由同阀8的与机柜3的可装卸面3b相对的面为大致相同形状的板状的构件构成。优选阀固定基部8b由平板状的铝系材料形成。阀固定基部8b的厚度能够为例如5毫米。
在变形例2－1中，阀8不是直接固定于加热板7，而是借助阀固定基部8b间接地固定于加热板7。根据该结构，能够将阀8与加热板7的固定部件设于阀固定基部8b，因此不需要将用于固定于加热板7的新的固定部件设于阀8。因而，能够将还用于除气化器以外的用途的通用的阀8直接挪用于气化器1。
如图1和图3所例示的那样，优选加热板7的表面与阀固定基部8b的表面以及阀固定基部8b的表面与阀8的表面分别彼此贴紧。在该情况下，在加热板7产生的热量经由与阀8为相同形状的阀固定基部8b集中且高效地传递向阀8，因此能够更可靠地防止阀8内的气体凝结。
＜变形例2－2＞
在本发明的第2实施方式的另一优选的变形例2－2中，本发明的气化器1在阀8与阀固定基部8b之间具有阀接头块8a，导管4与阀接头块8a接合在一起。如图1和图3所例示的那样，阀接头块8a能够由块状的构件构成，该块状的构件具有与要成为气体的导入路和导出路的导管4之间的接头(未图示)以及与设于阀8的底部的气体的导入口和导出口气密地接合的接合部分(未图示)。构成阀接头块8a的材料能够与导管4同样地根据使用的液体材料的种类适当地选择。优选阀接头块8a例如由耐腐蚀性较高的不锈钢等材料形成，以避免被内部流动的气体腐蚀。
在变形例2－2中，与要成为气体的导入路和导出路的导管4之间的接头不是设于阀8，而是设于被安装于阀8的阀接头块8a。根据该结构，不需要将与导管4之间的接头设于阀8，该导管4具有适合气化器的直径。因而，能够将还用于除气化器以外的用途的通用的阀8直接挪用于气化器1。
在具有上述第2实施方式的结构的气化器1的情况下，在为了检查或修理而试图卸下阀8的情况下，首先卸下机柜3的可装卸面3b而使加热板7暴露。接着，将加热板7与第1支承构件6的固定以及加热板7与阀8的固定分别解除，将加热板7卸下而使阀8暴露。
并且，在具有变形例2－1和变形例2－2的结构的气化器1中，在阀8借助阀固定基部8b地固定于加热板7的情况下，将加热板7与第1支承构件6的固定以及加热板7与阀固定基部8b的固定分别解除，将加热板7卸下而使阀固定基部8b暴露。之后，将阀固定基部8b与阀8的固定解除，将阀固定基部8b卸下而使阀8暴露。
之后，利用扳手等工具将接合阀8与导管4的接头解除，将阀8卸下。在阀8借助阀接头块8a与导管4接合的情况下，利用扳手将接合阀接头块8a与导管4的接头解除，将阀接头块8a和阀8卸下。在向气化器1安装已检查或修理后的阀8或者更换用的新的阀8的情况下，能够按照与上述步骤相反的步骤进行安装。
优选阀8与导管4的接合部如图3所例示的那样位于靠近机柜3的可装卸面3b的一侧。换言之，优选的是，至少与机柜3的与可装卸面3b相对的面、即相对面(在本例中为安装面3c)相比，阀8与导管4的接合部配置于靠近可装卸面3b的位置。在该情况下，接合阀8与导管4的接头暴露在机柜3的可装卸面3b侧，因此扳手等工具容易够到。因而，与接合部位于可装卸面3b的相反侧的以往技术的气化器1a相比，能够更容易地进行阀8的安装及卸下操作。
另外，图1～图3是示意性地表示与上述变形例2－2相当的本发明的气化器1的结构的一例的图。因而，在图1～图3中，作为气化器1的构成部件，画出了流量测量部件接头块5a、流量测量部件固定基部5b、阀接头块8a和阀固定基部8b。但是，这些构成部件不是本发明的气化器所必需的构成部件。
＜变形例2－3＞
在本发明的第2实施方式的又另一优选的变形例2－3中，本发明的气化器1具有阀8，一组气体供给管路具有一个导管4、一个流量测量部件5和一个第1支承构件6，在机柜3的内部设有多组气体供给管路。另外，可以在所述多组气体供给管路各安装一个阀8，也可以在向所述多组气体供给管路分支的歧管的上游侧安装一个共用的阀8。根据该变形例2－3，能够使用一台气化器1利用多个气体供给管路向多个半导体制造装置供给在单一罐内产生的气体、或者向单一半导体制造装置的多个气体导入部位供给在单一罐内产生的气体。因而，与以往相比，能够削减半导体制造装置所需要的气化器的台数。
在变形例2－3中，对于气化器1，能够在比机柜3的可装卸面3b靠跟前的开放的空间使用螺丝刀和扳手等工具而容易地进行流量测量部件5的安装及卸下操作。因而，不需要在机柜3的内部设置操作工具所需要的空间。因此，能够在不影响流量测量部件5的安装及卸下的操作性的情况下在一台气化器1的内部设置多组气体供给管路。
＜变形例2－4＞
另外，为了避免例如在罐2内产生的气体所需的流量产生过剩的压损，需要阀8具有与气体所需的流量相对应的容量。特别是，在如上述那样在一台气化器1的内部设置多组气体供给管路的情况下，自罐2经由阀8向多组气体供给管路供给的气体的流量较多，因此需要设置具有更大的容量的阀8。如果像这样使阀8的容量增大，则阀8的大小和质量也会增大，因此存在难以通过与导管4的接合来支承阀8的情况。并且，也难以通过与加热板7的贴紧来支承阀8。
因此，考虑在构成机柜3的板等固定阀8。但是，如果将阀8直接或者借助阀固定基部8b而间接地固定于机柜3，则自加热板7传递至阀8的热量会向机柜3的外部传递，向机柜3的外部释放。结果，可能难以通过来自加热板7的热量对阀8充分加热，以防止阀8内的气体凝结。
另外，考虑像上述的流量测量部件5那样利用固定于机柜3的某部位的支承构件支承阀8。但是，这样的支承构件也可能成为向机柜3传递自加热板7传递至阀8的热量而使其向机柜3的外部释放的散热路径。从更可靠地防止阀8内的气体凝结的观点出发，优选的是，与自加热板7向阀8传递的热量相比，自阀8经由支承阀8的支承构件向机柜3传递的热量较小。
因此，在本发明的第2实施方式的又另一优选的变形例2－4中，本发明的气化器1具有直接或间接地固定于机柜3的除可装卸面3b以外的部位的第2支承构件8c。而且，阀8利用第2支承构件8c直接或间接地支承。而且，第2支承构件8c构成为：自阀8经由第2支承构件8c向机柜3传递的热量小于自加热板7经由阀固定基部8b向阀8传递的热量。
根据变形例2－4，即使在由于阀8的容量较大而难以通过与导管4的接合来支承阀8的情况下，也能够利用第2支承构件8c可靠地支承阀8。并且，如上述那样自阀8经由第2支承构件8c向机柜3传递的热量小于自加热板7经由阀固定基部8b向阀8传递的热量，因此能够抑制自加热板7传递至阀8的热量向机柜3的外部释放。结果，能够有效地防止阀8内的气体凝结。
＜变形例2－5＞
第2支承构件8c的结构只要满足变形例2－4中说明的条件即可，并不特别限定。例如，通过利用具有更小的热导率的材料构成第2支承构件8c、或者使作为热量传递路径(热量流路)的第2支承构件8c的截面积更小，能够满足上述条件。
因此，在本发明的第2实施方式的又另一优选的变形例2－5中，本发明的气化器1所包括的第2支承构件8c由热导率比构成阀固定基部8b的材料的热导率小的材料形成，并且/或者，构成为通过第2支承构件8c的热量流路的截面积的最小值小于通过阀固定基部8b的热量流路的截面积的最小值。
例如，在像变形例2－1中例示的那样利用铝系材料构成阀固定基部8b的情况下，能够利用相比该铝系材料而言具有较小的热导率的不锈钢板等构成第2支承构件8c。并且，在像变形例2－1中例示的那样利用同阀8的与机柜3的可装卸面3b相对的面为大致相同形状的板状的构件构成阀固定基部8b的情况下，只要能够支承阀8，能够利用截面积小于该板状的构件的主面的面积(热量流路的截面积)的构件构成第2支承构件8c。
根据变形例2－5，能够更可靠地抑制自加热板7传递至阀8的热量向机柜3的外部释放，更可靠地防止阀8内的气体凝结，并且能够可靠地支承具有较大的容量的阀8。
＜变形例2－6＞
另外，即使在利用上述的变形例2－4和变形例2－5所例示的那样的结构使自阀8经由支承阀8的支承构件向机柜3传递的热量小于自加热板7向阀8传递的热量的情况下，自加热板7传递至阀8的热量的一部分也可能经由第2支承构件8c向机柜3的外部释放。
例如，在阀固定基部8b的与阀8相反的一侧的端面固定第2支承构件8c来支承阀8支承的情况下，自加热板7向阀固定基部8b传递的热量的一部分不会到达阀固定基部8b的阀8侧的端面，而是会向第2支承构件8c传递而向机柜3的外部释放。因而，为了更多地确保自加热板7传递至阀8的热量，优选将第2支承构件8c尽可能地固定于靠近阀8的位置。
因此，在本发明的第2实施方式的又另一优选的变形例2－6中，本发明的气化器1所包括的第2支承构件8c构成为在阀固定基部8b的阀8侧的端面或者比该端面靠近阀8的部位支承阀8。
例如，图4是表示变形例2－6的气化器1所包括的阀8的附近的结构的一例的右视图。在该例中，第2支承构件8c的一端可装卸地固定于机柜3的可装卸面3b并且第2支承构件8c的另一端可装卸地固定于阀固定基部8b的阀8侧的表面，从而使阀8被支承。第2支承构件8c是由热导率低于构成阀固定基部8b的铝系材料的热导率的不锈钢板构成的支承板，第2支承构件8c的热量流路的截面积小于阀固定基部8b的热量流路的截面积。而且，在第2支承构件8c与阀固定基部8b之间夹设有具有较小的外径的不锈钢制的间隔件8cs。由此，与将第2支承构件8c(不隔着间隔件8cs地)直接固定于阀固定基部8b的情况相比，能够进一步减小第2支承构件8c与阀固定基部8b之间的热量流路的截面积。
根据具有上述那样的结构的变形例2－6，相比自加热板7向阀8传递的热量而言，能够进一步减小自阀8经由支承阀8的支承构件向机柜3传递的热量。结果，能够更进一步可靠地降低自加热板7传递至阀8的热量向机柜3的外部释放的比例，更进一步可靠地防止阀8内的气体凝结，并且能够可靠地支承具有较大的容量的阀8。
另外，如果将支承阀8的支承构件固定于机柜3的可装卸面3b，则可能难以容易地将可装卸面3b卸下。因而，更优选支承阀8的支承构件固定于机柜3的除可装卸面3b以外的部位。
＜第3实施方式＞
在本发明的第3实施方式中，气化器1具有自加热板7向导管4传递热量的一个或两个以上的传热构件。根据气化器1的内部的构成部件的配置，有时例如为了避免构成部件之间的干扰等而必须设置比最短距离长的导管4。在这样的情况下，通过导管4的气体的温度降低而凝结的风险增大。通过设置自加热板7向导管4传递热量的一个或两个以上的传热构件，即使在导管4较长的情况下，也能够向导管4传递加热板7的热量而防止气体的温度降低。
传热构件能够由容易传热的铝系材料构成。传热构件的形状能够采用例如将厚度为2毫米的板材呈L(日文：エル)字型弯折而成的形状。使L字型的一面与加热板7的表面接触，另一面与导管4接触，从而能够向导管4传递加热板7的热量。在该情况下，传热构件与导管4的接触为线接触，因此优选例如在传热构件和导管4这两者缠绕铝箔等来增大传热构件与导管4的接触面积。
根据第3实施方式的气化器1，能够优先且有效地向构成气化器1的构件中的需要加热的导管4的部分传递热量。因而，配置导管4的场所的自由度提高，因此更容易使气化器1的宽度较窄、在气化器1的内部设置多个气体供给管路。并且，与将机柜3的整个内部加热到均匀的温度的以往技术的气化器相比，能够削减加热板7的消耗电力。
＜变形例3－1＞
如上述那样，在本发明的第3实施方式中，气化器1具有自加热板7向导管4传递热量的一个或两个以上的传热构件。由此，即使在例如为了避免构成部件之间的干扰等而设置较长的导管4的情况下，也能够有效地向导管4传递加热板7的热量而防止气体的温度降低。
另外，根据气化器1的结构，存在例如这样的情况：在较窄的机柜内，导管4具有用于吹扫(排出)液体材料的气体的吹扫气体用配管构造(例如，歧管等)等彼此交错的复杂构造。特别是，在像上述的变形例2－3那样多组气体供给管路设于机柜的内部时，存在导管4具有更加复杂的构造的情况。
在上述那样的情况下，如果将传热构件以与导管4接触的状态固定，则可能难以将流量测量部件5和/或阀8从气化器1卸下。并且，难以制造具有与导管4所具有的复杂的构造准确地对应的形状的传热构件并且准确地对位且进行组装，还有可能牵连到例如气化器1的制造成本增大和/或制造效率降低等问题。
因此，在本发明的第3实施方式的一优选的变形例3－1中，本发明的气化器1所包括的传热构件构成为，传热构件的远离加热板7的一侧的端部同导管4和与导管4直接接触的构件都不直接接触并且通过来自上述端部的辐射自加热板7向导管4传递热量。
例如，图5表示组装于变形例3－1的气化器1的传热构件9的结构的一例，图5的(a)是右视图，图5的(b)是立体图。在该例中，由铝系材料形成的具有大致C字型的异型截面的传热构件9的一外表面9a(靠近加热板7的一侧的端部)与加热板7贴紧。另一方面，与上述外表面相对的另一外表面9b(远离加热板7的一侧的端部)与接头块4a的一外表面隔开规定的距离地相对，该接头块4a安装于向流量测量部件5(具体而言，为该气化器1所包括的两个质量流量控制装置中的一者)供给液体材料的气体的导管4的弯曲部。即，外表面9b同导管4和与导管4直接接触的构件(接头块4a等)都不直接接触。
上述“规定的距离”被适当地设定为：通过辐射自外表面9b向接头块4a的相对的外表面传递自加热板7传递至传热构件9的热量，来对接头块4a进行加热，能够将导管4充分加热。即，传热构件9构成为通过来自远离加热板7的一侧的端部(外表面9b)的辐射自加热板7向导管4传递热量。
根据具有上述那样的结构的变形例3－1，例如，即使在多组气体供给管路设于机柜3的内部的情况等导管4具有彼此交错的复杂构造的情况下，也能够有效地向导管4传递加热板7的热量而防止气体的温度降低。因而，配置导管4的场所的自由度提高，因此更容易使气化器1的宽度较窄、在气化器1的内部设置多个气体供给管路。
而且，根据变形例3－1，传热构件9不是以与导管4接触的状态固定，因此能够降低将流量测量部件5和/或阀8从气化器1卸下这件事变困难的可能性。并且，不需要制造具有与导管4所具有的复杂的构造准确地对应的形状的传热构件或准确地对位且进行组装，因此能够减少例如气化器1的制造成本增大和/或制造效率降低等问题。
另外，如图5所示，该例中的传热构件9是由铝系材料形成的具有大致C字型的异型截面的构件，在附图中，铅垂方向下侧的外表面9c同阀的与加热板7贴紧的接头块8d的侧面接触。即，该例中的传热构件9还作为自加热板7向阀传递热量的传热构件发挥作用。像这样，本发明的气化器1既可以还包括自加热板7向阀传递热量的传热构件，也可以通过一个传热构件实现自加热板7向导管4传递热量的功能和自加热板7向阀传递热量的功能。
＜变形例3－2＞
在变形例3－1中，如上述那样，传热构件9构成为传热构件9的远离加热板7的一侧的端部同导管4和与导管4直接接触的构件都不直接接触并且通过来自上述端部的辐射自加热板7向导管4传递热量。但是，从实现自加热板7向导管4的有效的热传递的观点出发，优选传热构件9与加热板7和导管4这两者都接触。
因此，在本发明的第3实施方式的另一优选的变形例3－2中，本发明的气化器1所包括的传热构件9构成为与导管4和加热板7这两者都接触。
在变形例3－2的气化器1中，如上述那样，传热构件9构成为与导管4和加热板7这两者都接触。因而，能够更可靠地向构成气化器1的构件中的需要加热的导管4的部分传递热量。
＜变形例3－3＞
在变形例3－2中，如上述那样，传热构件9构成为与导管4和加热板7这两者都接触。但是，如上述那样，制造具有与导管4所具有的复杂的构造准确地对应的形状的传热构件9并且准确地对位且进行组装这件事较困难，还有可能牵连到例如气化器1的制造成本增大和/或制造效率降低等问题。
因此，本发明人进行了认真研究，结果发现，通过将传热构件9构成为传热构件9的长度能够根据需要加热的导管4的部分的位置灵活地变化，能够解决上述问题。
即，在本发明的第3实施方式的又另一优选的变形例3－3中，本发明的气化器1所包括的传热构件9包括被向靠近导管4的方向施力的可动头9d。而且，可动头9d同导管4或与导管4直接接触的构件直接接触。
可动头9d的可动范围(能够向靠近导管4的方向移动的距离)和向靠近导管4的方向的施力的作用范围(向靠近导管4的方向的施力所能够作用的可动头9d的位置范围)根据要与可动头9d接触的导管4的位置适当地设定。具体而言，将可动头9d的可动范围和上述施力的作用范围设定为：在组装好变形例3－3的气化器1的状态下，利用向靠近导管4的方向的施力使可动头9d与导管4接触和/或按压于导管4。
根据变形例3－3，无需制造具有与导管4所具有的复杂的构造准确地对应的形状的传热构件9并且准确地对位且进行组装，能够在组装好气化器1的状态下使可动头9d与导管4可靠地接触，。因而，能够减少例如气化器1的制造成本增大和/或制造效率降低等问题，并且实现自加热板7向导管4的有效的热传递。
另外，作为变形例3－3的气化器1的具体例，例如，能够列举出如下这样的气化器1，即：传热构件9包括与加热板7接触的主体部和可动头9d，可动头9d构成为与主体部接触并且能够滑动，并且被弹性体向靠近导管4的方向施力。
图6是表示变形例3－3的气化器1所包括的传热构件9的结构的一例的立体图。图6所示的传热构件9包括：可动头9d，其具有圆筒状的套筒9ds和形成于套筒9ds的顶端(即，导管4侧的端部)的凸缘9df；以及圆柱状的主体部9e。而且，构成为：主体部9e插入套筒9ds，套筒9ds的内侧和主体部9e的外侧至少局部接触并能够滑动。而且，传热构件9还包括由螺旋弹簧形成的弹性体9f，该弹性体9f具有比套筒9ds的外径大且比凸缘9df的外径小的直径，套筒9ds和主体部9e大致同轴状地配置在弹性体9f中。
在该例中，主体部9e的一端借助传热构件固定基部9g固定于加热板7并且弹性体9f压缩地配置在传热构件固定基部9g与凸缘9df之间。由此，可动头9d被弹性体9f朝向靠近导管4的方向施力。而且，在套筒9ds的内壁形成有台阶部，套筒9ds的比该台阶部靠顶端侧的部分的内径构成为比套筒9ds的比该台阶部靠加热板7侧的部分的内径大。而且，垫圈9h利用螺栓9i固定于主体部9e的顶端(即，导管4侧的端部)，该垫圈9h具有比套筒9ds的顶端侧的内径小且比加热板7侧的内径大的外径。由此，防止由于弹性体9f的施力而使可动头9d自主体部9e脱落。
另外，在该例中，利用一个共用的传热构件固定基部9g构成5个传热构件9。但是，在本发明的气化器1中，也可以在多个传热构件固定基部9g分别构成一个或两个以上的传热构件9。并且，弹性体9f只要具有针对气化器1的运转条件(例如，温度等)的耐久性且能够对可动头9d向靠近导管4的方向施力即可，并不特别限定，也可以使用上述的螺旋弹簧以外的弹性体(例如，板簧和橡胶等)作为弹性体9f。而且，在该例中，例示了包括可动头9d和圆柱状的主体部9e的传热构件9，该可动头9d具有圆筒状的套筒9ds和形成于套筒9ds的顶端的凸缘9df，但传热构件9的具体的结构并不限定于该例示。例如，也可以利用圆筒状的主体部和可动部构成传热构件9，该可动部具有能够滑动地贯穿在该主体部中的圆柱状的轴部和形成于该轴部的顶端的头部。
接着，图7表示图6所示的传热构件9组装于气化器1的状态的一例，图7的(a)是右视图，图7的(b)是立体图。如上述那样，可动头9d构成为在规定的可动范围内与主体部9e接触并且能够滑动，并且被弹性体9f朝向靠近导管4的方向施力。因而，只要在组装于气化器1的状态下要与可动头9d接触的导管4等部分位于可动头9d的可动范围内，就能够使可动头9d与导管4可靠地接触，而无需制造具有与导管4的构造准确地对应的形状的传热构件9或使可动头9d与导管4准确地对位。
在图7所示的例子中，5个可动头9d的顶端被弹性体9f施力，分别被按压于歧管4c的各部分，该歧管4c包括构成导管4的多个配管4b和连接这些配管4b的多个接头块4a。由此，5个可动头9d分别与构成导管4的配管4b和连接这些配管4b的接头块4a直接接触。即，可动头9d同导管4或与导管4直接接触的构件直接接触。结果，能够减少例如气化器1的制造成本增大和/或制造效率降低等问题，并且实现自加热板7向导管4的有效的热传递。
另外，在图7所示的例子中，要与5个可动头9d接触的所有的导管4和接头块配置为距加热板7为大致相同的距离。但是，也能够通过改变构成各传热构件9的主体部9e的长度和/或套筒9ds的长度等，来使可动头9d与配置为距加热板7为各种距离的导管4等接触。
另外，如图6和图7所示，该例中的传热构件固定基部9g是由铝系材料形成的具有大致U字型的异型截面的构件，在附图中，铅垂方向下侧的外表面9c同阀的与加热板7贴紧的接头块8d的侧面接触。即，该例中的传热构件固定基部9g还作为自加热板7向阀传递热量的传热构件发挥作用。像这样，本发明的气化器1既可以还包括自加热板7向阀传递热量的传热构件，也可以通过一个传热构件实现自加热板7向导管4传递热量的功能和自加热板7向阀传递热量的功能。
＜第4实施方式＞
在优选的实施方式中，本发明的气化器1的流量测量部件5是质量流量计或质量流量控制装置。如上述那样，作为质量流量计，能够使用公知的热式质量流量计或压力式质量流量计。质量流量计能够精密地测量气体的流量，因此能够准确地管理自气化器1供给的气体的量。质量流量控制装置是将用于控制气体流量的阀和控制回路追加设置于质量流量计而得到的装置。在使用质量流量控制装置的情况下，能够进行控制使得自气化器1供给的气体的流量接近预先设定的目标流量。并且，通过使用设于质量流量控制装置的阀，能够省略气化器1的阀8。即，能够使用质量流量控制装置所包括的阀作为气化器1的阀8。
【实施例】
〈结构〉
以下，对本发明的实施例的气化器1b的结构进行说明。图8是表示气化器1b的结构的一例的立体图。在与图8相关的说明中，如图中利用多个箭头表示的那样，有时将气化器1b的正面侧称作F侧，将背面侧称作B侧，将右侧面侧称作R侧，将左侧面侧称作L侧，将上表面侧称作U侧，将底面侧称作D侧。并且，为了易于理解气化器1b的结构，而省略了机柜3的一部分和加热板7。另外，仅构成机柜3的可卸下的面、即可装卸面3b和右侧面(R侧的面)的板与气化器1b的其他构成部件隔开间隔地被示出。
气化器1b包括用于对液体材料加热以产生气体的罐2、用于收纳罐2的机柜3(一部分未图示)、用于向机柜3的外部供给上述气体的导管4、用于测量在导管4内流动的上述气体的流量的流量测量部件5、以及用于对导管4加热的加热板7(未图示)。机柜3具有可卸下的面、即可装卸面3b。
并且，气化器1b具有直接固定于机柜3的安装面3c(未图示)的第1支承构件6。流量测量部件5利用第1支承构件6支承，加热板7(未图示)利用第1支承构件6支承在流量测量部件5与可装卸面3b之间。
而且，在罐2与流量测量部件5之间夹设有用于开始和停止气体的供给的阀8。通过调整阀8的开度，能够将在罐2内产生的气体在适当的时机向半导体制造装置等供给适当的量。另外，气化器1b所包括的阀8是上述的隔膜阀。
根据上述结构，向气化器1b安装流量测量部件5和/或阀8以及自气化器1b卸下流量测量部件5和/或阀8的操作能够在将机柜3的可装卸面3b卸下后的开放的空间内进行。并且，第1支承构件6与加热板7的固定部分和第1支承构件6与流量测量部件5的固定部分都暴露在可装卸面3b侧，因此螺丝刀等工具容易够到。因而，与以往技术的气化器1a相比，在本发明的实施例的气化器1b的情况下，能够更容易地进行流量测量部件5和/或阀8的安装及卸下操作。
而且，在气化器1b中，在流量测量部件5与加热板7之间具有流量测量部件固定基部5b，流量测量部件5借助流量测量部件固定基部5b被第1支承构件6支承。并且，在阀8与加热板7之间具有阀固定基部8b，阀8借助阀固定基部8b固定于加热板7。根据所述结构，能够有效地向流量测量部件5和阀8传递由加热板7产生的热量，更可靠地防止流量测量部件5及阀8内的气体凝结。
如图8所示，气化器1b包括并列配置在左侧面侧(L侧)和右侧面侧(R侧)的质量流量控制装置MFC1、MFC2这两个质量流量控制装置作为流量测量部件5。即，在气化器1b中，一组气体供给管路具有一个导管4、一个流量测量部件5(质量流量控制装置MFC1或MFC2)和一个第1支承构件6，在机柜3的内部设有两组气体供给管路。并且，在向所述两组气体供给管路分支的歧管4c的上游侧安装有一个共用的阀8。即，气化器1b具有与上述的变形例2－3相对应的结构。另外，例如用于向气化器1b供给用于吹扫液体材料的气体的吹扫气体的配管以及用于向罐2供给液体材料的配管等也图示在图8中，但这些配管等对于本领域技术人员而言是众所周知的，因此省略在这里的说明。
〈气化器的温差的测量〉
如上述那样，如果导管4的温度低于在罐2内自液体材料产生的气体的露点，则气体可能在导管4的内部凝结而恢复为液体。像这样，如果气体在导管4的内部凝结，则有可能致使通过气化器供给的气体的浓度发生变动、气体的供给停止。为了可靠地减少这样的问题，减小包括利用加热板7加热的导管4、流量测量部件5和阀8在内的气体供给路径的温度不均是重要的。因此，针对本实施例的气化器1b及其变形例，对机柜3的内部的多个部位的温度进行了测量。
实施例1的气化器是具有与上述的变形例2－3相对应的结构的气化器1b。另外，在实施例1的气化器中，通过将阀固定基部8b的一部分固定于构成机柜3的可装卸面3b的板，来对阀8直接支承。另外，实施例1的气化器不包括传热构件9。
实施例2的气化器包括与上述的变形例3－1的气化器1同样的传热构件9，除此之外，具有与实施例1的气化器同样的结构。具体而言，实施例2的气化器构成为包括图5所示的辐射式的传热构件9，通过来自传热构件9的顶端部的辐射自加热板7向导管4传递热量。
实施例3的气化器包括与上述的变形例3－3的气化器1同样的传热构件9，除此之外，具有与实施例1的气化器同样的结构。具体而言，如图6和图7所示，实施例3的气化器包括接触式的传热构件9，该接触式的传热构件9包括与加热板7接触的主体部9e和可动头9d，可动头9d构成为与主体部接触并且能够滑动并且被弹性体朝向靠近导管4的方向施力，可动头部9d与导管4接触。由此，实施例3的气化器构成为通过借助与导管4和加热板7这两者都接触的传热构件9的传热自加热板7向导管4传递热量。
实施例4的气化器借助与上述的变形例2－6的气化器1同样的第2支承构件8c间接地支承阀8，除此之外，具有与实施例3的气化器同样的结构。具体而言，在实施例4的气化器中，并非像实施例1～实施例3的气化器那样通过将阀固定基部8b的一部分固定于构成机柜3的可装卸面3b的板来对阀8直接支承。作为代替，是利用具有图4所示那样的结构并且难以传热的第2支承构件8c支承阀8。
在具有以上那样的结构的实施例1～实施例4的4种气化器中，将上述的两个流量测量部件5中的配置在右侧面侧(R侧)的质量流量控制装置MFC2的入侧的接头块的侧面(E点)的温度控制为90℃。之后，维持该状态，并且分别测量以下列举的A点～F点共6个部位(温度测量部位)的温度，求出与E点的温差。
(A)阀接头块8a的侧面的中央部
(B)歧管4c的上游侧(与阀8连通的配管)
(C)歧管4c的分支点
(D)质量流量控制装置MFC1(L侧)的入侧的接头块5a的侧面的中央部
(E)质量流量控制装置MFC2(R侧)的入侧的接头块5a的侧面的中央部
(F)质量流量控制装置MFC2(R侧)的出侧的配管
其中，上述6个温度测量部位(A点～F点)被图示在图9和图10中。图9是表示本发明的实施例的气化器1b的各温度测量部位的立体图。并且，图10是示意性地表示气化器1b的各温度测量部位的框图。
通过像上述那样测量到的A点～F点的各温度与E点的温差ΔT(＝各温度测量部位的温度－E点的温度)以及实施例1～实施例4的各实施例中的温差的最大值ΔTmax被列举在以下的表1中。
【表1】
Figure GDA0002219296450000251
〈评价〉
针对实施例1～实施例4的任一者的气化器而言，都与本发明的其他实施方式的气化器同样地，经由流量测量部件固定基部5b和阀固定基部8b向流量测量部件5和阀8传递由加热板7产生的热量。因而，能够减小在罐2内自液体材料产生的气体在导管4的内部凝结而恢复为液体的可能性。
但是，如表1所示，与实施例2～实施例4的气化器相比，在实施例1的气化器的情况下，6个温度测量部位之间的温度的偏差较大，特别是作为基准的E点与A点之间的温差ΔT明显较大(ΔTmax＝－16.9℃)。在这样的状态下，在A点附近气体凝结而恢复为液体的可能性较高。这被认为是因为，如上述那样，实施例1的气化器没有设置传热构件9，而且是通过将阀固定基部8b的一部分直接固定于构成机柜3的可装卸面3b的板来对阀8进行支承的。具体而言，能够认为，由于实施例1的气化器没有设置传热构件9，因此与实施例2～实施例4的气化器相比，导管4的加热和保温不充分。而且，能够认为，由于阀8直接固定于构成机柜3的可装卸面3b的板，因此自加热板7传递至阀固定基部8b的热量会向机柜3的外部释放，无法将阀8充分加热。
另一方面，实施例2和实施例3的气化器与实施例1的气化器不同，分别包括辐射式的传热构件9和接触式的传热构件9。结果，与实施例1的气化器相比，在实施例2和实施例3的气化器的情况下，6个温度测量部位之间的温度的偏差较小，作为基准的E点与各温度测量部位之间的温差ΔT的最大值ΔTmax也大幅度地减小(分别是，ΔTmax＝－9.4℃和ΔTmax＝－9.5℃)。因而，与实施例1的气化器相比，在实施例2和实施例3的气化器的情况下，气体在导管4的内部凝结而恢复为液体的可能性较低。
而且，与实施例1～实施例3的气化器相比，在实施例4的气化器的情况下，A点～C点的温差ΔT更小，作为基准的E点与各温度测量部位之间的温差ΔT的最大值ΔTmax也更小。这被认为是因为，如上述那样，在实施例4的气化器中利用难以传热的第2支承构件8c支承阀8，因此能够抑制自加热板7传递至阀8的热量向机柜3的外部释放。
〈总结〉
根据与本发明的实施例相关的上述说明也显而易见，采用本发明能够提供一种即使在气化器的宽度较窄、在气化器的内部设有多个气体供给管路的情况下也能够容易地进行如下操作的气化器，即：将设置于气化器的流量测量部件和阀卸下以进行检查或修理等、或者再次安装。并且，还包括自加热板7向导管4传递热量的传热构件，从而即使在导管4较长的情况下也能够向导管4传递加热板7的热量而防止气体的温度降低。
而且，将阀8借助难以传热的第2支承构件8c地固定于机柜3的可装卸面3b以外的部位，从而即使在阀8的容量较大而难以通过与导管4的接合来支承阀8的情况下也能够可靠地支承阀8，并且抑制自加热板7传递至阀8的热量向机柜3的外部释放而有效地防止阀8内的气体凝结。
以上，为了说明本发明，有时边参照附图边对具有特定结构的几个实施方式、变形例以及实施例进行了说明，但不应该解释为本发明的范围受这些例示的实施方式、变形例以及实施例限定，能够在权利要求书和说明书中记载的事项范围内适当地施加修改，这是不言而喻的。
附图标记说明
1、气化器；1a、气化器(以往技术)；1b、气化器(实施例)；2、罐；2a、罐加热器；3、机柜；3a、绝热构件；3b、可装卸面；3c、安装面；4、导管；4a、导管接头块；4b、配管；4c、歧管；5、流量测量部件；5a、流量测量部件接头块；5b、流量测量部件固定基部；6、第1支承构件；7、加热板；8、阀；8a、阀接头块；8b、阀固定基部；8c、第2支承构件；8cs、间隔件；8d、阀接头块；9、传热构件；9a、外表面(靠近加热板的一侧的端部)；9b、外表面(远离加热板的一侧的端部)；9c、外表面(与阀接头块接触的外表面)；9d、可动头；9ds、套筒；9df、凸缘；9e、主体部；9f、弹性体(弹簧)；9g、传热构件固定基部；9h、垫圈；9i、螺栓。

Claims (18)

1.一种气化器，该气化器包括：
罐，其对液体材料加热以产生气体；
机柜，其收纳所述罐；
导管，其向所述机柜的外部供给所述气体；
流量测量部件，其测量在所述导管内流动的所述气体的流量；以及
加热板，其对所述导管加热，
所述机柜具有可卸下的面即可装卸面，
其中，
该气化器具有直接或间接地固定于所述机柜的除所述可装卸面以外的部位的第1支承构件，
所述流量测量部件利用所述第1支承构件支承，
所述加热板利用所述第1支承构件支承在所述流量测量部件与所述可装卸面之间。
2.根据权利要求1所述的气化器，其中，
相比于所述机柜的与所述可装卸面相对的面即相对面，至少所述流量测量部件与所述导管的接合部配置于靠近所述可装卸面的位置。
3.根据权利要求1或2所述的气化器，其中，
在所述流量测量部件与所述加热板之间具有流量测量部件固定基部，所述流量测量部件借助所述流量测量部件固定基部被所述第1支承构件支承。
4.根据权利要求3所述的气化器，其中，
在所述流量测量部件与所述流量测量部件固定基部之间具有流量测量部件接头块，所述导管与所述流量测量部件接头块接合在一起。
5.根据权利要求1或2所述的气化器，其中，
在所述罐与所述流量测量部件之间具有进行所述气体的供给的开始和停止的阀。
6.根据权利要求5所述的气化器，其中，
在所述阀与所述加热板之间具有阀固定基部，所述阀借助所述阀固定基部固定于所述加热板。
7.根据权利要求6所述的气化器，其中，
在所述阀与所述阀固定基部之间具有阀接头块，所述导管与所述阀接头块接合在一起。
8.根据权利要求5所述的气化器，其中，
一组气体供给管路具有一个导管、一个流量测量部件、一个第1支承构件和一个阀，在所述机柜的内部设有多组气体供给管路。
9.根据权利要求6或7所述的气化器，其中，
该气化器具有直接或间接地固定于所述机柜的除所述可装卸面以外的部位的第2支承构件，
所述阀利用所述第2支承构件直接或间接地支承，
所述第2支承构件构成为：自所述阀经由所述第2支承构件向所述机柜传递的热量小于自所述加热板经由所述阀固定基部向所述阀传递的热量。
10.根据权利要求9所述的气化器，其中，
所述第2支承构件由热导率小于构成所述阀固定基部的材料的热导率的材料构成，并且/或者
构成为通过所述第2支承构件的热量流路的截面积的最小值小于通过所述阀固定基部的热量流路的截面积的最小值。
11.根据权利要求10所述的气化器，其中，
所述第2支承构件构成为在所述阀固定基部的所述阀侧的端面或比该端面靠近所述阀的部位支承所述阀。
12.根据权利要求1或2所述的气化器，其中，
该气化器具有自所述加热板向所述导管传递热量的一个或两个以上的传热构件。
13.根据权利要求12所述的气化器，其中，
所述传热构件构成为：所述传热构件的远离所述加热板的一侧的端部同所述导管和与所述导管直接接触的构件都不直接接触并且通过来自所述端部的辐射自所述加热板向所述导管传递热量。
14.根据权利要求12所述的气化器，其中，
所述传热构件构成为与所述导管和所述加热板这两者都接触。
15.根据权利要求14所述的气化器，其中，
所述传热构件包括被朝向靠近所述导管的方向施力的可动头，
所述可动头同所述导管或与所述导管直接接触的构件直接接触。
16.根据权利要求15所述的气化器，其中，
所述传热构件包括与所述加热板接触的主体部和所述可动头，
所述可动头构成为与所述主体部接触并且能够滑动并且被弹性体朝向靠近所述导管的方向施力。
17.根据权利要求1或2所述的气化器，其中，
所述流量测量部件是质量流量计。
18.根据权利要求1或2所述的气化器，其中，
所述流量测量部件是质量流量控制装置。
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