CN100385162C - 真空绝热阀 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种在气体供给系和气体排放系中可在高温状态下使用并且因具有优异的绝热性能而能够大大提高小型化、紧凑化程度的真空绝热阀。在由具有阀本体和执行器的阀以及容纳该阀的真空绝热箱形成的真空绝热阀中，所述真空绝热箱(S)由在其侧面具有真空绝热配管接口(J)并且上面敞口的方形的下部真空箱壳(S₅)、以及从上方呈气密状态嵌合在该下部真空箱壳(S₅)上并且下面敞口的上部真空箱壳(S₄)形成。

Description

真空绝热阀

技术领域

本发明涉及主要在半导体制造装置或化工成套装置等装置的气体供给系和气体排放系配管管路中使用的真空绝热阀的改进。

背景技术

过去，对于将液化气体气化后进行供给的气体供给系，为了防止所供给的气体在配管管路内再次凝结，要将配管管路加热到既定温度以上。同样，对于半导体制造装置和等离子发生装置等装置的气体排放系，为了防止气体在气体排放管路内凝结，要对配管管路和安装在配管管路之间的阀类装置等进行加热。

例如，作为半导体制造装置的作业腔室，其腔室内部压力根据作业的种类被保持在10^-4～10²托程度的真空，对于腔室的排气侧，以真空泵连续进行排气。

另一方面，要在腔室内使用各种腐蚀性气体或有害气体进行必要的处理，因而流通于排气系内的排放气体内含有大量的腐蚀性气体。

因此，对于作业腔室的排气系，是对其管路和阀类组件进行加热以防止腐蚀性气体凝结，从而防止构成排气系的各设备的腐蚀的。这是由于腐蚀性气体冷凝而液化后，其腐蚀作用将大大增加。

此外，对于半导体制造装置，人们强烈要求包括作业腔室的排气系在内的整个装置进一步小型化。因此，对于作业腔室的真空排气系，也强烈要求排气管路的细径化和真空排气泵的小型化以及所用阀类的小型化。而为了满足上述要求曾采取了各种措施，特别是对于真空排气系，不断地进行着通过提高绝热性能以谋求管路和阀类的进一步小型化的努力。

而就半导体制造装置等装置的真空排气系的管路而言，通过采用真空绝热配管已达到可大致实现初期目的的程度。

但是，就构成真空排气系的阀类组合而言，还遗留有各种各样的问题，在绝热性、小型化以及节能等方面还存在着许多问题。

另外，尽管在这里是以半导体制造装置的真空排气系为例对存在问题进行说明，但毋庸置疑，这些问题也是上游侧气体供给系和其它化工装置等的气体供给系和气体排放系共同存在的问题。因此，在以下的说明中，将以半导体制造装置等的气体供给系和排放系为例对其存在问题进行说明。

过去，在半导体制造装置中，为谋求阀本身的小型化和紧凑化，其构成如图17至图20所示的、被所谓单元化了的阀V得到大量应用。而例如图17和图18的单元化的阀V，具有横向宽度为150～500mm、高度为130～150mm、纵向长度为80～100mm的外形尺寸。

即，这种阀V由以多个阀本体V₁₀、V₂₀......组合而形成的阀单元本体V₁以及各阀本体V₁₀、V₂₀上所分别设置的执行器D形成，作为一个构成单位的阀本身，是由阀本体V₁₀和执行器D形成的金属膜片型阀。

此外，对于上述阀V，为了防止流通于内部的腐蚀性气体凝结，以加热器(图中省略)通常加热到约150℃的温度。

但是，该被加热的阀V，其结构要极为紧凑，并保持在从外部人手可触摸的温度(约40℃)以下，而且要绝热成热气不会向外部泄漏的程度。

但是，在使用石棉等绝热材料进行绝热的场合，石棉的必要厚度仅单侧就有30～50mm，很难满足紧凑化的要求。

同样，即使是采用将阀V以双重壁结构的空气绝热式箱体(内壁壁面上具有旨在抑制辐射传热的银镀层，空气层厚度为10mm的箱体)围起来的结构进行绝热的场合，也会由于空气层的对流而发生热传导，因而要使绝热箱的外表面温度降低到约40℃以下是困难的。

为此，本发明人首先开发了一种采用图21所示利用真空绝热原理的真空绝热箱并将阀V的阀单元本体V₁装在真空绝热箱S内的真空绝热阀。然而，我们发现，图21的真空绝热阀，其外部表面温度(位于中央部位的腔室的表面温度)无论如何都在规定温度(40℃)以上，要达到实用化是困难的。

为此，本发明人制造出图22～图25所示由3个真空箱壳S₁、S₂、S₃组合而成的真空绝热箱，并用其进行了各种绝热试验。

另外，在图22～图25中，之所以将真空绝热箱S分为第1、第2、第3三个真空箱壳S₁、S₂、S₃，其主要理由是为了使真空绝热配管接口J的加工容易以及加长固体导热距离。

此外，在图22～图25中，K是海绵状硅橡胶制成的绝热层(厚度t＝2mm)，H是加热用片状加热器，G是吸气器外壳，J是真空绝热配管接口，O是关闭阀，Q是电缆出口，OUT和IN是温度检测点。

再有，在图22～图25中，作为构成真空箱壳S₁、S₂、S₃的金属板材，使用的是厚度为2mm的不锈钢板。此外，对真空箱壳S₁～S₃的内壁的整个壁面上实施了非电解镀银，为了提高辐射率，对该银镀层进行了550℃×2hr的真空加热处理。

图25示出除上述图22～图24标识的各测温点IN和OUT之外所另外设置的测温点的位置。此外，图26和图27示出第1真空箱壳S₁及第2真空箱壳S₂的各测温点的温度检测结果。

另一方面，真空绝热箱S的绝热性能，可以以对真空绝热箱S内保持既定温度所需要的电功率进行对比来表示。

本发明人首先使施加到片状加热器H(100V·200W·50Ω×2片)上的电压可调，并就阀单元本体V₁的温度在150℃下达到平衡时(加热开始后大约3小时)的消耗功率，在插装有真空绝热箱S和未插装真空绝热箱S的情况下分别进行了检测。

其结果，与插装有真空绝热箱S时的输入功率为81W(45V下稳定在150℃，因而输入功率W＝45²/50×2＝81W)相比，未插装真空绝热箱S时为213W(73V下稳定在150℃，因而输入功率W＝73²/50×2＝213W)。由该结果可知，真空绝热箱S的绝热性的提高可使输入功率减少到81/213W。

此外，用来推断上述真空绝热箱S的绝热性的消耗功率W，也可以从向片状加热器H供给电功率的温度调节器的继电器的动作时间及动作电压计算出来。其理由是，供给片状加热器H的功率与温度调节器继电器的输出电压成比例，因而从示波图测出温度调节器继电器的输出电压和输出时间，再用示波图的峰值面积积算功能求取峰值面积(峰值积算值)，便能够求出供给片状加热器H的功率。

即，由于存在着上述峰值面积(峰值积算值)＝输出电压×输出时间这样一种关系，因此，输出时间＝峰值积算值/输出电压，可求出输出％＝输出时间×100/测定时间＝峰值积算值×100/(测定时间×输出电压)。

例如，现假设温度调节器继电器的输出电压为12V，测定时间为50秒，则可求出输出％＝峰值积算值×100/(12×50)＝峰值积算值/6。

根据试验的结果，插装有真空绝热箱S的情况下，阀单元本体V₁的温度稳定在150℃时的示波图的峰值积算值(5点平均)平均起来为119.0(V·sec)。因此，此时的输出％为119/6＝19.83％，由于片状加热器H的额定容量为400W，因而片状加热器H的输出功率为400×19.83％＝79.3W。

此外，将真空绝热箱S拆下的情况下，阀单元本体V₁的温度稳定在150℃时示波图上的峰值积算值(5点平均)是331.6(v·sec)。因此，此时的输出％为331.6/6＝55.27％，片状加热器H的输出功率为400×55.27％＝221.1W。

对上述通过调整外施电压而求得的输入功率比(使用真空绝热箱时/无真空绝热箱＝81/213)和从示波图上的峰值积算值求得的输出功率比(79.3/221.1)进行对比时可知，二者之间几乎没有差别。

另外，真空绝热箱S的绝热性能的测定，以采用前者调整供给片状加热器H的输入电压的方法更为简单，因此，在本发明的实施例中，是以该调整输入电压的方法进行真空绝热特性的确认试验的。

当使用上述图22～图25所示的3个真空箱壳S₁、S₂、S₃的组合而成的真空绝热箱S时，用片状加热器H的输入功率表示的绝热性能为81/213，存在着得不到足够的绝热性能的问题。

此外，该图22～图25的真空绝热箱S是由三部分组合而成的结构，因此，由固体传导的热量大，存在着绝热性低的缺点。

再有，在上述图22～图25的真空绝热箱S中，从机械强度考虑使用的是厚度为2mm的不锈钢，因而存在着由固体传导的热量相对要大的缺点。

专利文献1：特开昭61-262295号公报

发明内容

本发明以解决先前发明人进行基础性开发而开发出来的图22～图25所示真空绝热箱S所存在的上述问题作为发明的主要目的，即、(a)得不到足够的绝热性能，(b)由于由3部分组合而成，因而因固体传热而导致绝热性大幅度降低等问题，提供一种将真空箱壳的由两部分构成而绝热性能得到进一步提高的箱式真空绝热箱S与阀V进行组合而成的小型且具有很高的真空绝热性能的真空绝热阀。

本发明技术方案1为一种真空绝热阀，由具有阀本体和执行器的阀、以及容纳该阀的真空绝热箱形成，其中，所述真空绝热箱S由方形的下部真空箱壳S₅和方形的上部真空箱壳S₄形成，所述下部真空箱壳S₅在侧面具有筒状的真空绝热配管接口J，上面为敞口，所述上部真空箱壳S₄从上方呈气密状态嵌合在该下部真空箱壳S₅上，下面为敞口，所述下部真空箱壳S₅的上端部的内壁及外壁8b、8a′向内侧呈凸缘状折弯而形成接合部2d′，而且该下部真空箱壳S₅的侧部的外壁在高度方向上的中间部位向外呈凸缘状折弯而形成接合部2d，此外，所述上部真空箱壳S₄的下端部的内壁7b及外壁7a向外呈凸缘状折弯而形成接合部2c，而且所述上部真空箱壳S₄的真空绝热侧壁位于所述下部真空箱壳S₅的真空绝热侧壁的外侧而使二者组合在一起，所述上部真空箱壳S₄的下端部的接合部2c和下部真空箱壳S₅的外壁侧的接合部2d中间衬着绝热材料层K呈气密状态对接，而且上部真空箱壳S₄的顶部内壁7b和下部真空箱壳S₅的上端部的接合部2d′中间衬着绝热材料层K呈气密状态对接。

本发明技术方案2是在本发明技术方案1中，阀V具有由多个阀的阀本体V₁₀、V₂₀连接成一体而成的阀单元本体V₁。

本发明技术方案3是在本发明技术方案1中，阀本体上设置有加热用加热器H，并且该加热用加热器H是固定在阀本体上的片状加热器。

本发明技术方案4是本发明技术方案1中，阀本体在其外表面上固定有片状的加热用加热器H，并且在其内部具有阀座和阀片而构成。

本发明技术方案5是在本发明技术方案1中，绝热材料层K由海绵状硅橡胶制成。

本发明技术方案6是在本发明技术方案1中，上部真空箱壳S₄的外壁7a的厚度为2mm，内壁7b的厚度为1.5mm，下部真空箱壳S₅的内壁8b的厚度为2mm，外壁8a的下部的厚度为2mm，而外壁8a的侧壁上方的厚度8a′为1.5mm，并且，它们的材质是不锈钢。制成上述壁厚，可防止抽成真空时平板变形。

本发明技术方案7是在本发明技术方案1中，设置在下部真空箱壳S₅的侧部上的真空绝热配管接口J是由厚度为1.2mm的不锈钢板制成的长度为50mm～150mm的圆筒形的真空箱壳，并且，在从外插入该真空绝热配管接口J内的真空绝热配管3的前端部3a的一端或两端的外周面上套装有绝热材料制成的O型环4a、4b，所述绝热材料制成的O型环4a、4b被夹装在真空绝热配管3与真空绝热配管接口J之间。

本发明技术方案8是在本发明技术方案1中，用多个卡子5以适当的间隔将相向组合在一起的上、下真空箱壳S₄、S₅的侧壁的凸缘状的各接合部2c、2d夹紧。

本发明技术方案9是在本发明技术方案1中，真空绝热箱S的侧壁的上下两个真空箱壳S₄、S₅的组合重合部W的高度尺寸在100mm以上。

本发明技术方案10是在本发明技术方案1中，上下两个真空箱壳S₄、S₅的真空绝热空间2a、2b、2b′的内壁经过了电镀后热处理。

作为本发明，由于真空绝热箱S由上下两个真空箱壳S₄、S₅组合而成，并且二者的组合重合部W的长度尺寸大约为真空绝热箱S的高度尺寸的一半以上(约为100mm以上)，并且，形成两个真空箱壳S₄、S₅的所述重合部的一方箱壁材料7b、8a′的厚度比其它部分的壁材的厚度薄，因此，由固体传导的热量大幅度减少，因而真空绝热性大幅度提高。

此外，本发明使用海绵状硅橡胶制成的绝热材料层K以提高两个真空箱壳S₄、S₅的组合重合部的气密性和减少由固体传导的热量，而且两个真空箱壳S₄、S₅的端部等处分别形成有接合部2c、2d、2d′，因此，可完全避免热气从真空绝热箱S内部泄漏，得到更高的绝热性能。

再有，本发明使用阀单元本体V₁并且对该阀单元本体V₁以片状加热器H进行加热，因此，完全不必担心会在阀单元本体V₁内发生气体的凝结，能够低成本提供小型且紧凑的真空绝热阀。

附图说明

图1是本发明所涉及的真空绝热阀的局部剖主视图。

图2是图1的左侧视图。

图3是图1的右侧视图。

图4是图1的俯视图。

图5是构成本发明所涉及的真空绝热阀的真空绝热箱的透视图。

图6是上部真空绝热箱壳和下部真空绝热箱壳二者的组合部分的局部放大剖视图。

图7是下部真空绝热箱壳的接头部和真空绝热配管二者的接合部分的局部放大剖视图。

图8是对本发明所涉及的真空绝热阀的绝热性能试验中的测定点的位置进行展示的主视图。

图9是对本发明所涉及的真空绝热阀的绝热性能试验中的测定点的位置进行展示的左侧视图。

图10是对本发明所涉及的真空绝热阀的绝热性能试验中的测定点的位置进行展示的俯视图。

图11是对本发明所涉及的真空绝热阀的绝热性能试验中的测定点的位置进行展示的左侧视图。

图12是阀单元本体V₁的温度为150℃时各测定点的温度分布曲线。

图13是对各测定点的温度与距箱壳接合部的距离的关系进行展示的线图(上部箱壳)。

图14是对各测定点的温度与距箱壳接合部的距离的关系进行展示的线图(下部箱壳)。

图15是展示上部箱壳与下部箱壳二者的接合部的剖视图。

图16是接头部的其它例子的局部剖视图。

图17是构成本发明的单元阀的一个例子的主视图。

图18是图17的回路图。

图19是构成本发明的单元阀的另一个例子的主视图。

图20是图19的回路图。

图21是真空绝热箱的一个例子的透视图。

图22是由3个真空箱壳形成的真空绝热箱的主视图。

图23是图22的真空绝热箱的左侧视图。

图24是图22的真空绝热箱的俯视图。

图25是展示图22的真空绝热箱的测定点的附图。

图26是对图22的真空绝热箱的各测定点的温度与距内壁面的距离的关系进行展示的线图(第1真空箱壳)。

图27是对图22的真空绝热箱的各测定点的温度与距内壁面的距离的关系进行展示的线图(第2真空箱壳)。

编号说明

V是阀，V₁是阀单元本体，V₁₀是阀本体，V₂₀是阀本体，V_n0是阀本体，D是执行器，S是真空绝热箱，S₁是第1真空箱壳，S₂是第2真空箱壳，S₃是第3真空箱壳，S₄是上部真空箱壳，S₅是下部真空箱壳，W是上、下真空箱壳的组合重合部，J是真空绝热配管接口，K是海绵状硅橡胶制成的绝热材料层，H是加热用加热器，G是吸气器外壳，O是关闭阀，Q是电缆出口，OUT、IN是温度测定点，1是真空绝热阀，2a、2b、2b′是真空绝热空间，2c是上部真空箱壳的下端部的接合部，2d是下部真空箱壳的外侧壁的接合部，2d′是下部真空箱壳的上端部的接合部，2e、2f是焊接部，3是真空绝热配管，3a是前端部，3b、3c是台阶，4a、4b是绝热材料制成的O型环，5是卡子，6是管状加热器，7a是上部真空箱壳的外壁，7b是上部真空箱壳的内壁，8a是下部真空箱壳的外壁，8a′是下部真空箱壳的中间部位上方的外壁，8b是下部真空箱壳的内壁，9是金属管，10是管接头

具体实施方式

下面，结合附图对本发明的各实施方式进行说明。

图1是本发明所涉及的真空绝热阀的局部剖主视图，图2是其左侧视图，图3是右侧视图，图4是俯视图。另外，图5是构成本发明的真空绝热箱S的透视图。

参照图1至图5，本发明所涉及的真空绝热阀1由阀V和将其围起来的真空绝热箱S形成。

此外，所述阀V由阀单元本体V₁和多个执行器D和加热器形成，而真空绝热箱S由上部真空箱壳S₄和下部真空箱壳S₅形成。

实施例1

所述阀V如图15和图17所示，由将多个阀本体V₁₀、V₂₀、V₃₀可自由拆装地连接成一体而成的阀单元本体V₁、以及固定在各阀本体V₁₀、V₂₀、V_n0上的执行器D、D......等形成。此外，作为所述阀本体V₁₀、V₂₀......使用了多个公知的金属膜型阀，而作为执行器D、D......使用了多个气动式气缸或电动式驱动机构。

该阀V本身是公知技术，故在这里将其详细说明省略，而为了便于以加热器H进行加热，本发明所使用的各阀本体V₁₀、V₂₀的阀座及阀片是位于本体V₁₀、V₂₀的内部的。

真空绝热箱S是将上部真空箱壳S₄和下部真空箱壳S₅组合固定在一起而形成的。即，如图6所示，上部真空箱壳S₄及下部真空箱壳S₅是将厚度为1.5mm的不锈钢板7b、8a′和厚度为2.0mm的不锈钢板7a、8a、8b组合成双重壁结构而形成，上部真空箱壳S₄的真空绝热空间2a(间隔约4.5mm)的真空度被保持在10^-2～10^-4托的程度。此外，高温下10^-4托以下的真空度是通过吸气器进行保持的。

此外，下部真空箱壳S₅的下部的真空层2b的间隔尺寸设定为13mm，并且，上部真空箱壳S₄进行嵌合的部分(上、下真空箱壳S₄、S₅的组合重合部W)，其真空层2b′的空间距离约为4.5mm。

此外，影响传热的两个真空箱壳S₄、S₅的嵌合部(组合重合部W)的高度尺寸(即传热距离)大约设定为100mm。

更具体地说，上部真空箱壳S₄的外壁7a的厚度尺寸设定为2mm，内壁7b的厚度尺寸设定为1.5mm，使用的是不锈钢板。

另一方面，下部真空箱壳S₅的外壁8a的下部(包括底面)的厚度设定为2mm，内壁8b的厚度设定为2mm，外壁的侧壁上方(重合部W)8a′的厚度设定为1.5mm，使用的是不锈钢板。

所述上部真空箱壳S₄及下部真空箱壳S₅上分别安装有吸气器外壳G和关闭阀O，此外，前者上还设置有电缆和阀驱动用空气管的出口Q，后者上还设置有用来连接真空绝热配管(图中省略)的真空绝热配管接口(接头)J。

形成所述上部真空箱壳S₄的前端部的内壁7b和外壁7a分别向外折弯成凸缘状，二者接合在一起而形成凸缘状接合部2c。

同样，下部真空箱壳S₅的上端部是其内、外壁8b、8a′分别向内折弯而形成凸缘状接合部2d′。

再有，在下部真空箱壳S₅的侧壁的中间部位，外壁8a′的下端部和外壁8a的上端部分别向外折弯并重合在一起，从而形成向外突出的接合部2d。

此外，所述向外突出的各凸缘状接合部2c、2d、2d′的端面分别通过焊接部2e、2f呈气密状态固定在一起。

再有，如图6所示，在两个真空箱壳S₄、S₅组合时的上部真空箱壳S₄的内壁7b与接合部2d′之间以及接合部2d、2c之间，设置了海绵状硅橡胶制成的绝热材料层K，以此保持内、外真空箱壳S₄、S₅之间的气密性并阻止固体传导热量。

在设置在所述下部真空箱壳S₅的侧面上的真空绝热配管接口J中，以厚度为1.2mm的不锈钢板形成了结构如图7所示的所谓卡口连接式真空绝热部。

即，真空绝热配管3的前端的细径部3a插入到接口J内，使接口J的前端面中间衬着绝热材料制成的环4a与真空绝热配管3的前端的细径部3a的台阶3b抵接，由此构成接口J与真空绝热配管3气密性连接的结构，接口J的长度尺寸大约设定为100mm。

另外，在图7中，6是加热器，9是金属管，10是管接头。

此外，该真空绝热配管接口J及管接头10等的结构是公知的，因而在这里将详细说明省略。

下面，就本发明所涉及的真空绝热阀1的绝热特性试验及其结果进行说明。

首先，如图8至图11所示，向横向宽度约为400mm、高度约为190mm、纵向长度约为180mm、接口J的长度约为100mm、上、下真空箱壳S₄、S₅的重合部W的高度约为100mm的真空绝热箱S内放入5联的阀(单元阀)V，将400W(200W ×2片)的片状加热器H安装在阀单元本体V₁上，并将温度测定传感器(冈崎制作所制造)设置在图8至图11所示的各位置IN和OUT上。

其次，对片状加热器H施加预先通过实测得到的可使阀单元本体V₁上升到约150℃温度的电压，分析各温度传感器的时间与检测温度之间的关系。

其结果如图12所示，由图可知，室温约为26.3℃时，上部真空箱壳S₄的上表面的温度(OUT-6点)只能上升到约34.3℃，而下部真空箱壳S₅的侧面的温度(OUT-8点)只能上升到44.7℃。

其次，在阀单元本体V₁的温度稳定在150℃之后，在该状态下对上部真空箱壳S₄及下部真空箱壳S₅的外侧的各测温点(OUT)的温度进行检测。

图13和图14示出其结果，示出上述各测定值与距两个真空箱壳S₄、S₅的重合部(接合部)W的距离的关系。

此外，在使用图1至图4所示的两部分构成型真空绝热箱S的情况下，采用输入电压调整法求取对阀单元本体V₁进行加热使之保持150℃所需要的输入功率。阀单元本体V₁的加热用片状加热器H是200W(100V、50Ω)×2片。由试验结果可知，在37V输入电压下，可使阀单元本体V₁保持150℃。因此，此时的输入功率为(37²/50)×2＝54.8W(不使用真空绝热箱S时的输入功率为213W)，由此可知，与使用上述三部分构成型的真空绝热箱S时的输入功率81W相比，真空绝热性能大幅度提高。

实施例2

图15示出本发明的另一个实施例，在该实施例2中，在将上、下真空绝热箱壳S₄、S₅组合插装之后，用断面呈コ形的卡子5，中间衬着绝热材料层K将二者的凸缘状接合部2c、2d夹紧。

用该卡子5以适当的间隔将凸缘状接合部2c、2d夹紧，可进一步提高二者的气密性，其结果，通过实验确认，上述使阀单元本体V₁得以保持150℃的消耗功率从54.8W减少到了43.0W，

实施例3

图16示出本发明的又一个实施例，在插入到接口J内的真空绝热配管3的细径部3a的前端部上设置有台阶3c，硅橡胶制成的O型环4b嵌装在该台阶上。

做成这样的结构，可进一步提高真空绝热配管3的前端部3a与接头J的内壁之间的气密性，将所谓真空绝热箱S内部的热气向外部的泄漏在热源一侧阻断，使绝热性能进一步提高。

此外，之所以在本发明中所述绝热材料层K使用硅橡胶制成的海绵状材料而绝热用O型环4a、4b使用硅橡胶制成的绝热材料，是由于其在耐热性和气密性方面特别优异，本实施例中使用的是信越polymer公司制造的低分子硅氧烷的相应制品。

产业上利用的可能性

本发明所涉及的真空绝热阀，可主要在半导体制造装置或等离子体发生装置的气体供给系和真空排气系的配管中使用，但其应用对象并不限于上述半导体制造装置等，也可以作为化工产业和制药产业以及食品产业等产业的各种装置中的气体供给系和气体排放系的构成材料使用。

Claims (10)

1.一种真空绝热阀，由具有阀本体和执行器的阀、以及容纳该阀的真空绝热箱形成，其特征是，所述真空绝热箱由方形的下部真空箱壳和方形的上部真空箱壳形成，所述下部真空箱壳在侧面具有筒状的真空绝热配管接口，上面为敞口，所述上部真空箱壳从上方呈气密状态嵌合在该下部真空箱壳上，下面为敞口，所述下部真空箱壳的上端部的内壁及外壁向内侧呈凸缘状折弯而形成接合部，而且该下部真空箱壳的侧部的外壁在高度方向上的中间部位向外呈凸缘状折弯而形成接合部，此外，所述上部真空箱壳的下端部的内壁及外壁向外呈凸缘状折弯而形成接合部，而且所述上部真空箱壳的真空绝热侧壁位于所述下部真空箱壳的真空绝热侧壁的外侧而使二者组合在一起，所述上部真空箱壳的下端部的接合部和下部真空箱壳的外壁侧的接合部中间衬着绝热材料层呈气密状态对接，而且上部真空箱壳的顶部内壁和下部真空箱壳的上端部的接合部中间衬着绝热材料层呈气密状态对接。

2.如权利要求1所述的真空绝热阀，其特征是，阀具有由多个阀的阀本体连接成一体而成的阀单元本体。

3.如权利要求1所述的真空绝热阀，其特征是，阀本体上设置有加热用加热器，并且该加热用加热器是固定在阀本体上的片状加热器。

4.如权利要求1所述的真空绝热阀，其特征是，阀本体在其外表面上固定有片状的加热用加热器，并且在其内部具有阀座和阀片。

5.如权利要求1所述的真空绝热阀，其特征是，绝热材料层由海绵状硅橡胶制成。

6.如权利要求1所述的真空绝热阀，其特征是，上部真空箱壳的外壁的厚度为2mm，内壁的厚度为1.5mm，下部真空箱壳的内壁的厚度为2mm，外壁的下部的厚度为2mm，而外壁的侧壁上方的厚度为1.5mm，并且，它们的材质是不锈钢。

7.如权利要求1所述的真空绝热阀，其特征是，设置在下部真空箱壳的侧部上的真空绝热配管接口是由厚度为1.2mm的不锈钢板制成的长度为50mm～150mm的圆筒形的真空箱壳，并且，在从外插入该真空绝热配管接口内的真空绝热配管的前端部的一端或两端的外周面上套装有绝热材料制成的O型环，所述绝热材料制成的O型环被夹装在真空绝热配管与真空绝热配管接口之间。

8.如权利要求1所述的真空绝热阀，其特征是，用多个卡子以适当的间隔将相向组合在一起的上下两个真空箱壳的侧壁的凸缘状的各接合部夹紧。

9.如权利要求1所述的真空绝热阀，其特征是，形成真空绝热箱的侧壁的上下两个真空箱壳的组合重合部的高度尺寸在100mm以上。

10.如权利要求1所述的真空绝热阀，其特征是，上下两个真空箱壳的真空绝热空间的内壁经过了电镀后热处理。

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