JPH05133485A - 高断熱弁 - Google Patents

高断熱弁

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JPH05133485A
JPH05133485A JP32100991A JP32100991A JPH05133485A JP H05133485 A JPH05133485 A JP H05133485A JP 32100991 A JP32100991 A JP 32100991A JP 32100991 A JP32100991 A JP 32100991A JP H05133485 A JPH05133485 A JP H05133485A
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valve case
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Tsuneo Ishigaki
垣 恒 雄 石
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空断熱を行う高断熱弁において、断熱構造
を特に大型化することなしに、伝導による熱の伝達を可
及的に少なくすると共に、輻射による伝熱をも少なく
し、それによって断熱性を一層高める。 【構成】 この高断熱弁は、極低温または高温の流体の
流路を開閉する弁座4を有する弁ボディ1、この弁ボデ
ィ1を包囲する弁ケース10、並びに上記弁ケースの外
部から弁駆動部材7を介して駆動されて弁座4に接離す
る弁部材6とを備え、弁ボディ1と弁ケース10との間
の空間を真空に保持して断熱するようにしている。上記
弁ボディ1と弁ケース10とを連結する連結部材11
は、内側筒枠12、中間筒枠13及び外側筒枠14を順
次間隙を介して折り返した状態に形成することにより、
その長さを長寸化し、この連結部材11内を通して外部
に導出した上記弁駆動部材7は、内軸20、中筒21及
び外筒22を順次間隙を介して折り返した状態に形成す
ることにより、その長さを長寸化し、断熱性を高めてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、液体ヘリウムなどの極
低温または高温の流体の流れを制御するための高断熱弁
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】液体ヘリウムなどの極低温または高温を
制御するための高断熱弁においては、流体の熱を外部に
逃がさず、あるいは外部の熱を弁内の流体に伝えないた
め、弁全体を真空で断熱するという手段が多用されてい
る。
【0003】一般に、熱が固体内を伝わる場合の熱伝導
量は、熱伝導率C、伝熱部分の断面積A、及び伝熱する
2点間の温度差Tに比例し、その2点間の距離Lに反比
例する。従って、温度差Tが一定であるとすれば、断熱
効果を得るためには、熱伝導率Cの小さい材料を用い、
熱伝導部の断面積Aを小さくし、伝熱距離Lを大きくす
るのが望ましく、それを適用することによって、上記高
断熱弁の断熱性を一層向上させることが可能である。
【0004】しかしながら、現実的には、高断熱弁の具
体的な設計上において限界があり、構造を著しく複雑化
したり、断熱構造を大型化することなく、断熱性をさら
に高度に高めることは非常に困難である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、上述した真空断熱を行う高断熱弁において、断熱構
造を特に大型化することなしに、伝導による熱の伝達を
可及的に少なくすると共に、輻射による伝熱をも少なく
し、それによって断熱性を一層高めるようにした高断熱
弁を得ることにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の高断熱弁は、極低温または高温の流体の入口
及び出口とそれらの間の流路を開閉する弁座とを有する
弁ボディ、この弁ボディを包囲するように形成した弁ケ
ース、並びに上記弁ケースの外部から弁駆動部材を介し
て駆動されて弁座に接離する弁部材とを備え、弁ボディ
と弁ケースとの間の空間を真空に保持して断熱するよう
にした高断熱弁であって、上記弁ボディと弁ボディとを
連結する連結部材は、内側筒枠、中間筒枠及び外側筒枠
を順次間隙を介して折り返した状態に形成することによ
り、その長さを長寸化し、この連結部材内を通して外部
に導出した上記弁駆動部材は、内軸、中筒及び外筒を順
次間隙を介して折り返した状態に形成することにより、
その長さを長寸化したことを特徴とするものである。上
記高断熱弁においては、連結部材及び弁駆動部材の表面
を、輻射熱の反射面とすることにより、断熱効果を一層
高めることができる。
【0007】
【作用】極低温または高温の流体が流れる弁ボディとそ
の周囲の弁ケースとの間の空間を真空にして真空断熱し
ているため、熱伝達に対流の影響がなく、弁ボディと弁
ケースとの間を効果的に断熱することができる。
【0008】弁ボディ内と弁ケースとの間において移送
される熱は、それらの間を連結する連結部材及び弁駆動
部材を通して伝導するものが主体となるが、連結部材
は、内側筒枠、中間筒枠及び外側枠体を順次間隙を介し
て折り返し、多重にした状態に形成し、また弁駆動部材
は、内軸、中筒及び外筒を順次間隙を介して折り返し、
多重にした状態に形成することにより、それらの長さを
長寸化したので、熱の伝達が効果的に抑制される。しか
も、上記長寸化により断熱構造が特に大型化することも
ない。
【0009】連結部材及び弁駆動部材の表面を、輻射放
熱が少なく、反射により輻射熱を受入れ難い面とし、ま
た、輻射による熱伝達部分間の温度差を上記折り返しに
より小さくしているので、多重に形成した連結部材及び
弁駆動部材において熱の輻射による伝達も抑止される。
【0010】
【実施例】図1は、本発明の高断熱弁の実施例の構成を
示している。この高断熱弁は、弁ボディ1内において、
流体の入口2及び出口3間の流路に弁座4を備え、この
弁座4に対し、弁板5に設けた弁部材6を接離すること
により、弁ボディ1内の流路を開閉するものである。こ
の弁ボディ1における弁部材6を弁座4に対して接離す
るための弁駆動部材7は、上記弁ボディ1における弁駆
動部材7の導出部にシール材9を介して被設したボンネ
ット8を貫通して、弁ボディ1外に導出している。
【0011】上記弁ボディ1は、断熱用の弁ケース10
内に配設したもので、その弁ケース10は、弁ボディ1
を包囲するように形成し、上記ボンネット8との間を全
体として筒状をなす連結部材11により連結し、この連
結部材11内を通して前記弁駆動部材7を外部に導出し
ている。この弁ケース10は、上記弁駆動部材7及び上
記連結部材11に断熱のために必要な長さを与え得るよ
うに、それらとの連結部分を外側に可能な範囲内で突出
させている。
【0012】上記連結部材11は、ボンネット8の外面
に連結して弁ケース10の内面付近まで伸びる内側筒枠
12と、該内側筒枠12の先端に連結され、該内側筒枠
12の外側に間隙を介して折り返し、その先端が内側筒
枠12の基端側におけるボンネット8への連結部分の近
傍まで達する中間筒枠13と、その中間筒枠13の先端
に連結され、該中間筒枠13の外側に間隙を介して折り
返して、その先端が弁ケース10の内側に連結される外
側枠体14とを備え、これらの内側筒枠12、中間筒枠
13及び外側筒枠14を、順次間隙を介して折り返した
状態に形成することにより、その長さを長寸化したもの
である。
【0013】この連結部材11は、内側筒枠12、中間
筒枠13及び外側枠体14の間における輻射による熱伝
達を防止するために、それらの表面を輻射放熱が少な
く、また反射により輻射熱を受入れ難い面としている。
さらに、この連結部材11としては、熱伝導率の小さい
材料を用いるのが望ましい。
【0014】また、上記ボンネット8と弁駆動部材7と
の間をシールするため、弁部材6を支持する弁板5とボ
ンネット8との間には、ベローズ16を取付けている。
このベローズ16は、ボンネット8の外面側に溶接によ
り固定された外ベローズ17と、その外ベローズ17の
先端に溶接により連結され、ボンネット8の中心穴を通
して先端が上記弁板5に溶接により固定された内ベロー
ズ18とによって構成され、これにより弁ケース10内
が気密に保持される。
【0015】一方、弁部材6を弁座4に対する接離のた
めに外部から駆動する前記弁駆動部材7は、上記ボンネ
ット8及び弁ケース10を貫通して弁ケース10外に導
出したもので、この弁駆動部材7は、弁板5に固定して
先端が弁ケース10の部分まで達する内軸20と、その
内軸20の先端に固定して、該内軸20の外側に間隙を
介して折り返し、弁板5の近傍にまで達する中筒21
と、該中筒21の先端に固定して、該中筒21の外側に
間隙を介して折り返し、その先端に駆動用連結部23を
連結した外筒22とを備え、これらの内軸20、中筒2
1及び外筒22を順次間隙を介して折り返した状態に形
成することにより、その長さを長寸化したものである。
【0016】上記弁駆動部材7は、前記連結部材11の
場合と同様に、内軸20、中筒21及び外筒22の間に
おける熱の輻射による伝達を防止するため、その表面を
輻射熱の反射に適した反射面としている。また、上記内
軸20、中軸21及び外筒22自体は、熱伝導率の小さ
い材料によって形成するのが望ましい。
【0017】上記弁ケース10内は、断熱のために真空
に保持するものであり、図示しない適宜位置において弁
ケース10が真空源に接続される。弁ケース10と弁ボ
ディ1及び連結部材11との間の空間ばかりでなく、連
結部材11と弁駆動部材7との間の空間をも真空化する
ため、上記連結部材11における内側筒枠12には、そ
の両側の空間を連通させるための通孔を開設している。
さらに、上記外筒22または駆動用連結部23は、弁ケ
ース10を貫通して外部に突出するため、弁ケース10
における外気温度に近い外面近傍部において、シール材
24によりシールしている。
【0018】なお、上記弁駆動部材7及び連結部材11
は、共に2回の折り返しにより3重の筒状に形成した場
合を示しているが、かかる構造に限るものではなく、さ
らに折り返しを重ねることにより多重に形成することも
できる。
【0019】上記構成を有する高断熱弁は、駆動用連結
部23を駆動し、弁駆動部材7を介して弁板5に保持さ
れた弁部材6を弁座4に接離することにより、弁ボディ
1内の流路を流れる極低温または高温の流体の流通を制
御するものであるが、弁ボディ1と弁ケース10との間
の空間を真空にして真空断熱しているため、熱伝達に対
流の影響がなく、効果的に断熱することができる。
【0020】しかも、極低温または高温の流体がある弁
ボディ1内と弁ケース10との間において移送される熱
は、それらの間を連結する連結部材11及び弁駆動部材
7を通して伝導するものが主体となるが、それらの連結
部材11は、内側筒枠12、中間筒枠13及び外側枠体
14を順次間隙を介して折り返し、多重にした状態に形
成することにより、その長さを長寸化し、また、弁駆動
部材7は、内軸20、中筒21及び外筒22を順次間隙
を介して折り返し、多重にした状態に形成することによ
りその長さを長寸化したので、熱の伝達が効果的に抑制
される。上記連結部材11及び弁駆動部材7の長寸化に
より、断熱構造が特に大型化することもない。
【0021】さらに、連結部材11及び弁駆動部材7の
表面を、輻射放熱が少なく、反射により輻射熱を受入れ
難い反射面とすれば、輻射による熱伝達部分間の温度差
を前記折り返しにより小さくしているので、多重に形成
した連結部材11及び弁駆動部材7において熱の輻射に
よる伝達が効果的に抑止され、またそれらの連結部材1
1及び弁駆動部材7を熱伝導率の小さい材料によって形
成することにより、一層効果的に断熱することができ
る。
【0022】
【発明の効果】以上に詳述した本発明によれば、真空断
熱を行う高断熱弁において、連結部材及び弁駆動部材
を、僅かな間隙を置いて折り返した構造として長寸化し
ているので、断熱構造を特に大型化することなしに、伝
導による熱の伝達を可及的に少なくすると共に、輻射に
よる伝熱をも少なくし、それによって断熱性を著しく高
めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる高断熱弁の実施例を示す縦断面
図である。
【符号の説明】
1 弁ボディ、 2 入口、3
出口、 4 弁座、6 弁部材、
7 弁駆動部材、10 弁ケー
ス、 11 連結部材、12 内側
筒枠、 13 中間筒枠、14 外側枠体、
20 内軸、21 中筒、
22 外筒。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】極低温または高温の流体の入口及び出口と
    それらの間の流路を開閉する弁座とを有する弁ボディ、
    この弁ボディを包囲するように形成した弁ケース、並び
    に上記弁ケースの外部から弁駆動部材を介して駆動され
    て弁座に接離する弁部材とを備え、弁ボディと弁ケース
    との間の空間を真空に保持して断熱するようにした高断
    熱弁であって、 上記弁ボディと弁ケースとを連結する連結部材は、内側
    筒枠、中間筒枠及び外側筒枠を順次間隙を介して折り返
    した状態に形成することにより、その長さを長寸化し、 この連結部材内を通して外部に導出した上記弁駆動部材
    は、内軸、中筒及び外筒を順次間隙を介して折り返した
    状態に形成することにより、その長さを長寸化した、こ
    とを特徴とする高断熱弁。
  2. 【請求項2】連結部材及び弁駆動部材の表面を、輻射熱
    の反射面としたことを特徴とする請求項1に記載の高断
    熱弁。
JP32100991A 1991-11-08 1991-11-08 高断熱弁 Expired - Lifetime JPH086841B2 (ja)

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JP32100991A JPH086841B2 (ja) 1991-11-08 1991-11-08 高断熱弁

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JP32100991A JPH086841B2 (ja) 1991-11-08 1991-11-08 高断熱弁

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JPH05133485A true JPH05133485A (ja) 1993-05-28
JPH086841B2 JPH086841B2 (ja) 1996-01-29

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JP32100991A Expired - Lifetime JPH086841B2 (ja) 1991-11-08 1991-11-08 高断熱弁

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002310335A (ja) * 2001-04-11 2002-10-23 Shin Meiwa Ind Co Ltd 真空ゲート弁及び真空装置
CN100385162C (zh) * 2004-01-22 2008-04-30 株式会社富士金 真空绝热阀
WO2014061625A1 (ja) * 2012-10-16 2014-04-24 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線源の冷却機構を具備する荷電粒子線装置及び荷電粒子線源

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002310335A (ja) * 2001-04-11 2002-10-23 Shin Meiwa Ind Co Ltd 真空ゲート弁及び真空装置
CN100385162C (zh) * 2004-01-22 2008-04-30 株式会社富士金 真空绝热阀
WO2014061625A1 (ja) * 2012-10-16 2014-04-24 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線源の冷却機構を具備する荷電粒子線装置及び荷電粒子線源

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JPH086841B2 (ja) 1996-01-29

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