CN220893659U - 压力检测组件及真空镀膜设备 - Google Patents
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Abstract
一种压力检测组件及真空镀膜设备，其中压力检测组件包括：压力检测本体；缓冲管道，缓冲管道包括相对的第一端和第二端，压力检测本体与第一端连接，缓冲管道用于延长管道路径；包覆于缓冲管道外部的加热装置；对接体，对接体与第二端连接。通过缓冲管道能够延长气体的流通路径，增大气体与缓冲管道的接触，使得部分气体冷凝附着在缓冲管道的内壁，减少气体冷却堆积在压力检测本体内部，进而减少对压力检测本体内部造成的污染，延长压力检测本体的维护和保养周期。另外，通过加热装置进行加热，使得气体能够尽可能的维持在气体状态，减少冷却附着物的产生，进一步的减少对压力检测本体内部造成的污染，延长压力检测本体的维护和保养周期。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及一种压力检测组件及真空镀膜设备。
背景技术
等离子镀膜作为提升材料表面性能的有效方法，被广泛应用于航空航天、汽车制造、电子产品、半导体、机械重工和五金工具制造等领域。在等离子镀膜过程中，需要将镀膜设备腔室内空气抽出维持低压力状态，同时需要通入工艺气体和化学单体气体用于反应以在被镀膜工件表面生成聚合物膜层。
真空镀膜设备在工作时需要检测其腔体内部的压力值，然而，现有技术的压力检测组件在检测时仍存在诸多问题。
实用新型内容
本实用新型解决的问题是提供一种压力检测组件及真空镀膜设备，用于减少对压力检测本体造成的污染，延长压力检测本体的维护和保养周期。
为解决上述问题，本实用新型的技术方案中提供一种压力检测组件，包括：压力检测本体；缓冲管道，所述缓冲管道包括相对的第一端和第二端，所述压力检测本体与所述第一端连接，所述缓冲管道用于延长管道路径；加热装置，所述加热装置包覆于所述缓冲管道外部；对接体，所述对接体与所述第二端连接。
可选的，所述缓冲管道至少包括一圈螺旋管道。
可选的，所述缓冲管道包括多圈所述螺旋管道时，相邻的所述螺旋管道紧密接触。
可选的，所述加热装置包括：可拆卸连接的第一部和第二部，所述缓冲管道夹持包裹于所述第一部和所述第二部之间。
可选的，所述第一部和所述第二部分别包括：壳体，所述壳体内具有空腔；设置于所述空腔内的加热组件。
可选的，所述第一部和所述第二部还分别包括：填充于所述空腔内的保温层，所述加热组件包裹于所述保温层内。
可选的，所述保温层包括：石棉保温层。
可选的，所述加热组件包括：硅胶加热组件。
可选的，所述对接体包括：真空法兰、接驳法兰或卡套接头。
相应的，本实用新型的技术方案中还提供了一种真空镀膜设备，包括：如上述任意一项技术方案所述的压力检测组件。
与现有技术相比，本实用新型的技术方案具有以下优点：
本实用新型技术方案的压力检测组件，包括：缓冲管道，所述缓冲管道包括相对的第一端和第二端，所述压力检测本体与所述第一端连接，所述缓冲管道用于延长管道路径；加热装置，所述加热装置包覆于所述缓冲管道外部。通过所述缓冲管道能够延长气体的流通路径，增大气体与所述缓冲管道的接触，使得部分气体冷凝附着在所述缓冲管道的内壁，减少气体冷却堆积在所述压力检测本体内部，进而减少对所述压力检测本体内部造成的污染，延长所述压力检测本体的维护和保养周期。另外，通过所述加热装置进行加热，使得气体能够尽可能的维持在气体状态，减少冷却附着物的产生，进一步的减少对所述压力检测本体内部造成的污染，延长所述压力检测本体的维护和保养周期。
进一步，所述缓冲管道包括多圈所述螺旋管道时，相邻的所述螺旋管道紧密接触。通过将相邻的所述螺旋管道紧密接触，进而减少多圈所述螺旋管道排布占用的空间。
进一步，所述加热装置包括：可拆卸连接的第一部和第二部，所述缓冲管道夹持包裹于所述第一部和所述第二部之间。通过可拆卸的所述第一部和所述第二部设置，便于对所述缓冲管道的检修和清理。
进一步，所述第一部和所述第二部还分别包括：填充于所述空腔内的保温层，所述加热组件包裹于所述保温层内，通过所述保温层能够有效降低热量的散失。
附图说明
图1是一种压力检测组件的结构示意图；
图2是本实用新型实施例中压力检测组件的展开后结构示意图；
图3是本实用新型实施例中压力检测组件的组装后结构示意图；
图4是本实用新型实施例中加热装置的第一部或第二部的结构示意图。
具体实施方式
正如背景技术所述，现有技术的压力检测装置在检测时仍存在诸多问题。以下将进行具体说明。
图1是一种压力检测组件的结构示意图。
目前，压力检测组件100通过与真空镀膜设备(未图示)的管道进行连接，进而测得真空镀膜设备内的压力值。然而，在检测的过程中，真空镀膜设备中用于镀膜的化学气体会通过管道进入到压力检测装置的压力检测本体100a内，在冷却后会堆积在压力检测本体100a内部，造成压力检测本体100a内部的污染，容易损坏压力检测本体100a，因此需要定期的对压力检测本体100a内部进行清理和保养。
在此基础上，本实用新型提供一种压力检测组件及真空镀膜设备，包括：缓冲管道，所述缓冲管道包括相对的第一端和第二端，所述压力检测本体与所述第一端连接，所述缓冲管道用于延长管道路径；包覆于所述缓冲管道外部的加热装置。通过所述缓冲管道能够延长气体的流通路径，增大气体与所述缓冲管道的接触，使得部分气体冷凝附着在所述缓冲管道的内壁，减少气体冷却堆积在所述压力检测本体内部，进而减少对所述压力检测本体内部造成的污染，延长所述压力检测本体的维护和保养周期。另外，通过所述加热装置进行加热，使得气体能够尽可能的维持在气体状态，减少冷却附着物的产生，进一步的减少对所述压力检测本体内部造成的污染，延长所述压力检测本体的维护和保养周期。
为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的典型实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。
为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明，应当理解本实用新型实施例以及实施例中的具体特征是对本申请技术方案的详细的说明，而不是对本申请技术方案的限定，在不冲突的情况下，本实用新型实施例以及实施例中的技术特征可以相互组合。
图2是本实用新型实施例中压力检测组件的展开后结构示意图；图3是本实用新型实施例中压力检测组件的组装后结构示意图；图4是本实用新型实施例中加热装置的第一部或第二部的结构示意图。
请参考图2和图3，一种压力检测组件，包括：压力检测本体200；缓冲管道201，所述缓冲管道201包括相对的第一端和第二端(未标示)，所述压力检测本体200与所述第一端连接，所述缓冲管道201用于延长管道路径；包覆于所述缓冲管道201外部的加热装置202；对接体203，所述对接体203与所述第二端连接。
在本实施例中，通过所述缓冲管道201能够延长气体的流通路径，增大气体与所述缓冲管道201的接触，使得部分气体冷凝附着在所述缓冲管道201的内壁，减少气体冷却堆积在所述压力检测本体200内部，进而减少对所述压力检测本体200内部造成的污染，延长所述压力检测本体200的维护和保养周期。另外，通过所述加热装置202进行加热，使得气体能够尽可能的维持在气体状态，减少冷却附着物的产生，进一步的减少对所述压力检测本体200内部造成的污染，延长所述压力检测本体200的维护和保养周期。
在本实施例中，所述压力检测本体200可以采用真空计或压力表。
所述缓冲管道201至少包括一圈螺旋管道201a。在本实施例中，所述缓冲管道201包括多圈所述螺旋管道201a，且相邻的所述螺旋管道201a紧密接触。通过将相邻的所述螺旋管道201a紧密接触，进而减少多圈所述螺旋管道201a排布占用的空间。
请继续参考图2和图3，在本实施例中，所述加热装置202包括：可拆卸连接的第一部202a和第二部202b，所述缓冲管道201夹持包裹于所述第一部202a和所述第二部202b之间。通过可拆卸的所述第一部202a和所述第二部202b设置，便于对所述缓冲管道201的检修和清理。
请参考图4，在本实施例中，所述第一部202a和所述第二部202b分别包括：壳体2021，所述壳体2021内具有空腔(未标示)；设置于所述空腔内的加热组件2023。
请继续参考图4，在本实施例中，所述第一部202a和所述第二部202b还分别包括：填充于所述空腔内的保温层2022，所述加热组件2023包裹于所述保温层2022内。通过所述保温层能够有效降低热量的散失。
在本实施例中，所述保温层2022采用石棉保温层。
在本实施例中，所述加热组件2023采用硅胶加热组件，硅胶加热组件(SCS)是一种由镍铬合金丝和优质硅胶绝缘材料组成的特别柔软的加热组件，其具有耐热阻燃、耐磨防蚀、绝缘性强、功率密度高、发热快、热效率高以及使用寿命长等特点。
在其他实施例中，所述加热组件还可以为加热丝或加热片。
在本实施例中，所述对接体203包括：真空法兰、接驳法兰或卡套接头。所述对接体203用于所述压力检测本体200与真空镀膜设备的管道进行对接连接。
相应的，本实用新型的技术方案中还提供了一种真空镀膜设备，包括：如上述任意一项实施例所述的压力检测组件。
虽然本实用新型披露如上，但本实用新型并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
Claims (10)
1.一种压力检测组件，其特征在于，包括：
压力检测本体；
缓冲管道，所述缓冲管道包括相对的第一端和第二端，所述压力检测本体与所述第一端连接，所述缓冲管道用于延长管道路径；
加热装置，所述加热装置包覆于所述缓冲管道外部；
对接体，所述对接体与所述第二端连接。
2.如权利要求1所述的压力检测组件，其特征在于，所述缓冲管道至少包括一圈螺旋管道。
3.如权利要求2所述的压力检测组件，其特征在于，所述缓冲管道包括多圈所述螺旋管道时，相邻的所述螺旋管道紧密接触。
4.如权利要求1所述的压力检测组件，其特征在于，所述加热装置包括：可拆卸连接的第一部和第二部，所述缓冲管道夹持包裹于所述第一部和所述第二部之间。
5.如权利要求4所述的压力检测组件，其特征在于，所述第一部和所述第二部分别包括：壳体，所述壳体内具有空腔；设置于所述空腔内的加热组件。
6.如权利要求5所述的压力检测组件，其特征在于，所述第一部和所述第二部还分别包括：填充于所述空腔内的保温层，所述加热组件包裹于所述保温层内。
7.如权利要求6所述的压力检测组件，其特征在于，所述保温层包括：石棉保温层。
8.如权利要求5所述的压力检测组件，其特征在于，所述加热组件包括：硅胶加热组件。
9.如权利要求1所述的压力检测组件，其特征在于，所述对接体包括：真空法兰、接驳法兰或卡套接头。
10.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括：如权利要求1～9中任意一项所述的压力检测组件。
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