CN110456943B - 触控基板及其制作方法、触控显示面板和触控显示装置 - Google Patents

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Abstract

本申请实施例提供了一种触控基板及其制作方法、触控显示面板和触控显示装置。该触控基板包括衬底以及位于衬底上的金属层、绝缘层和电极层；金属层包括触控引线和与触控引线绝缘的静电传导结构，静电传导结构接地；电极层包括触控电极和与触控电极绝缘的虚拟电极，触控电极与触控引线电连接，虚拟电极与静电传导结构电连接。本实施例提供的触控基板中，虚拟电极与静电传导结构电连接，使得虚拟电极上的静电能够通过金属网格释放出去，从而能够有效防止虚拟电极上积蓄静电的问题；由于触控引线和静电传导结构同层形成，不仅能够减小触控基板的厚度，也能够在解决虚拟电极上积蓄静电的问题的同时不会增加工序。

Description

触控基板及其制作方法、触控显示面板和触控显示装置
技术领域
本申请涉及触控技术领域，具体而言，本申请涉及一种触控基板及其制作方法、触控显示面板和触控显示装置。
背景技术
目前的显示装置通常都具备触控功能，对于电容式触控显示装置来说，通常需要制作触控电极，这些触控电极的制作过程，通常是先形成整层的导电材料，再对导电材料进行刻蚀，从而形成一个个独立的触控电极。但实际上，为了提高触控性能，除触控电极外，还有一些游离的虚拟电极。
由于这些虚拟电极容易在显示装置的运输过程中积累静电，从而造成显示面板局部静电击伤，轻则影响显示效果，重则造成显示装置损坏。
发明内容
本申请针对现有方式的缺点，提出一种触控基板及其制作方法、触控显示面板和触控显示装置，用以解决现有技术存在的虚拟电极容易积蓄静电从而造成显示面板局部静电击伤的技术问题。
第一个方面，本申请实施例提供了一种触控基板所述触控基板包括衬底、位于所述衬底上的金属层和电极层、以及位于所述金属层与所述电极层之间的绝缘层；所述金属层包括触控引线和与所述触控引线绝缘的静电传导结构，所述静电传导结构接地；所述电极层包括触控电极和与所述触控电极绝缘的虚拟电极，其中，所述触控电极与所述触控引线电连接，所述虚拟电极与所述静电传导结构电连接。
可选地，所述静电传导结构为金属网格。
可选地，所述金属网格包括多条沿第一方向延伸的第一金属线和多条沿第二方向延伸的第二金属线，所述第一金属线与所述第二金属线的夹角为70°～80°；任意两条相邻的所述第一金属线之间的距离为100微米～300微米，任意两条相邻的所述第二金属线之间的距离为100微米～300微米。
可选地，所述触控基板包括像素区域和位于所述像素区域之间的像素界定区域；所述静电传导结构为多条位于所述像素界定区域的金属导线。
可选地，所述触控基板还包括：贯穿所述绝缘层的第一过孔和第二过孔；所述触控电极通过所述第一过孔与所述触控引线连接，所述虚拟电极通过所述第二过孔与所述静电传导结构连接。
可选地，所述触控引线包括第一触控引线和第二触控引线；所述触控电极包括沿第三方向延伸的驱动电极和沿第四方向延伸的感应电极，所述驱动电极与所述第一触控引线电连接，所述感应电极与所述第二触控引线电连接；所述虚拟电极位于相邻的所述驱动电极以及所述相邻的感应电极所围成的区域内。
可选地，所述触控基板还包括：多个桥接部，以及贯穿所述绝缘层的第三过孔；所述驱动电极包括多个驱动子电极，相邻所述驱动子电极通过所述第三过孔连接到所述桥接部的两端以使相邻的所述驱动子电极电连接；和/或所述感应电极包括多个感应子电极，相邻所述感应子电极通过所述第三过孔分别连接到所述桥接部的两端以使相邻的所述感应子电极电连接。
可选地，所述多个桥接部与所述金属层同层设置且与所述金属层绝缘；所述桥接部的材料与所述电极层相同，或者所述桥接部的材料与所述金属层相同。
可选地，所述触控基板还包括：位于所述金属层和所述电极层远离所述衬底一侧的保护层。
第二个方面，本申请实施例提供了一种触控显示面板，包括上述的触控基板。
可选地，所述触控显示面板包括：盖板和显示组件，所述盖板复用为所述触控基板的所述衬底，且所述金属层和所述电极层位于所述盖板靠近所述显示组件的一侧；或者彩膜基板，所述彩膜基板包括第一衬底和位于所述第一衬底一面上的色阻单元，所述第一衬底复用为所述触控基板的所述衬底；或者阵列基板，所述阵列基板包括第二衬底和位于所述第二衬底一面上的薄膜晶体管，所述第二衬底复用为所述触控基板的所述衬底，且所述金属层和所述电极层位于所述薄膜晶体管远离所述第二衬底的一侧。
第三个方面，本申请实施例提供了一种触控显示装置，包括权利要求10或11所述的触控显示面板。
第三个方面，本申请实施例提供了一种触控基板的制作方法，包括：
提供一衬底；
在所述衬底上制作金属层、绝缘层和电极层；
其中，所述金属层包括触控引线和与所述触控引线绝缘的静电传导结构，所述静电传导结构接地；
所述电极层包括触控电极和与所述触控电极绝缘的虚拟电极，所述触控电极与所述触控引线电连接；所述虚拟电极与所述静电传导结构电连接。
可选地，所述在所述衬底上制作金属层、绝缘层和电极层，包括：
在所述衬底上形成金属薄膜，并对所述金属薄膜进行图形化处理以获得所述金属层；
在所述金属层上沉积绝缘层，并对所述绝缘层进行图形化处理以形成贯穿所述绝缘层的第一过孔和第二过孔；
在所述绝缘层上形成导电薄膜，并对所述导电薄膜进行图形化处理以获得所述电极层；
其中，所述触控电极通过所述第一过孔与所述触控引线连接，所述虚拟电极通过所述第二过孔与所述静电传导结构连接。
可选地，所述制作方法还包括：在所述金属层和所述电极层远离所述衬底的一侧制作保护层。
本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是：
本实施例提供的触控基板及其制作方法、触控显示面板和触控显示装置中，虚拟电极与接地的静电传导结构电连接，使得虚拟电极上的静电能够通过静电传导结构释放出去，从而能够有效防止虚拟电极上积蓄静电，进而避免了因虚拟电极上积蓄静电所引起的显示面板发生局部静电击伤的问题；由于触控引线和静电传导结构同层形成，不仅能够减小触控基板的厚度，也能够在解决虚拟电极上积蓄静电的问题的同时不会增加工序。
本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1为相关技术中一种触控基板的结构示意图；
图2为本申请实施例提供的一种触控基板的结构示意图；
图3为图2中沿M-M线的截面示意图；
图4为本申请实施例提供的一种静电传导结构的俯视示意图；
图5为本申请实施例提供的另一种静电传导结构的俯视示意图；
图6为本申请实施例提供的一种互容式触控基板的结构示意图；
图7为图6中区域Q的放大示意图；
图8为图6中沿E-E线的截面示意图；
图9为本申请实施例提供的一种触控基板的截面示意图；
图10为本申请实施例提供的一种触控显示基板的截面示意图；
图11为本申请实施例提供的另一种触控显示基板的截面示意图；
图12为本申请实施例提供的又一种触控显示基板的截面示意图；
图13为本申请实施例中的一种触控基板的制作方法的流程图；
图14为本申请实施例中的另一种触控基板的制作方法的流程图；
图15为本申请实施例中的一种触控基板的制作方法中步骤S2的一种的流程图；
图16为本申请实施例中的一种触控基板的制作方法中步骤S2的另一种的流程图。
附图说明：
1-衬底；
2-金属层；21-触控引线；211-第一触控引线；212-第二触控引线；22-静电传导结构；22a-金属网格；221a-第一金属线；222a-第二金属线；22b-金属导线；23-接地线；
3-电极层；31-触控电极；311-驱动电极；3111-触控子电极；312-感应电极；32-虚拟电极；
4-绝缘层；41-第一过孔；42-第二过孔；43-第三过孔；
5-桥接部；
6-保护层；
A-显示区；B-非显示区；P-像素区域；N-像素界定区域；G-盖板；X-显示组件；F-第一衬底；C-色阻单元；S-第二衬底；T-薄膜晶体管。
具体实施方式
下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。
本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。
本技术领域技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本申请的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。应该理解，当我们称元件被“连接”或“耦接”到另一元件时，它可以直接连接或耦接到其他元件，或者也可以存在中间元件。此外，这里使用的“连接”或“耦接”可以包括无线连接或无线耦接。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。
对于电容式触控基板来说，以图1所示的触控基板为例，在制作电极层时，通常是先形成整层的导电材料，再对该整层的导电材料进行刻蚀来形成一个个独立的触控电极31。在此过程中，这一整层的导电材料被刻蚀之后并非只形成触控电极31，还有一些游离的虚拟电极32。
这些虚拟电极32能够在一定程度上改善触控基板的性能，但在触控基板及显示装置搬运的过程中，这些虚拟电极32上容易积蓄静电，可能造成显示面板发生局部静电击伤，轻则影响被击伤区域的显示效果，重则造成显示面板完全损坏。
本申请提供的触控基板及其制作方法、触控显示面板和触控显示装置，旨在解决现有技术的如上技术问题。
下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。
本申请实施例提供了一种触控基板，请参见图2和图3，该触控基板包括衬底1、位于衬底1的金属层2和电极层3、以及位于金属层2和电极层3之间的绝缘层4；金属层2的触控引线21和与触控引线21绝缘的静电传导结构22，静电传导结构22接地；电极层3包括触控电极31和与触控电极31绝缘的虚拟电极32，触控电极31与触控引线21电连接；虚拟电极32与静电传导结构22电连接。
本实施例提供的触控基板中，虚拟电极32与接地的静电传导结构22电连接，使得虚拟电极32上的静电能够通过静电传导结构22释放出去，从而能够有效防止虚拟电极32上积蓄静电，进而避免了因虚拟电极32上积蓄静电所引起的显示面板发生局部静电击伤的问题；由于触控引线21和静电传导结构22同层形成，能够减小触控基板的厚度，并且静电传导结构与触控引线可以是同材料，因此减少了一次薄膜沉积的过程。
请继续参见图2，由于触控基板常用于显示装置中以实现对显示装置的触控操作，因此，触控基板不能影响显示装置的显示。基于此，电极层3的材料包括氧化铟锡、氧化锌铝中的至少一种。氧化铟锡和氧化锌铝均为透明导电材料，在实现对触控的检测的同时，不会影响显示装置的显示。
请参见图3，可选地，触控基板还包括贯穿绝缘层4的第一过孔41和第二过孔42；触控电极31通过第一过孔41与触控引线21连接，虚拟电极32通过第二过孔42与静电传导结构22连接。
具体地，第一过孔41和第二过孔42可以通过对绝缘层4进行图形化处理形成，并且，绝缘层4不仅起到将金属层2与电极层3的层间绝缘的作用，还在金属层2内起到层内绝缘的作用。
请结合图2和图3，为了便于实现触控电极31与触控引线21、虚拟电极32与静电传导结构22的电连接，第一过孔41在衬底1上的正投影位于相应的触控引线21在衬底1的正投影上，第二过孔42在衬底1上的正投影位于相应的静电传导结构22在衬底1的正投影上。
需要说明的是，图3示出的触控基板中，电极层3位于金属层2远离衬底1的一侧，在下述实施例中，提供的附图也是以“电极层3位于金属层2远离衬底1的一侧”为例。但实际上，对于本申请来说，“金属层2位于电极层3远离衬底1的一侧”与“电极层3位于金属层2远离衬底1的一侧”在实施时无论是原理，还是实现的效果都是相同的。只是为了简化说明，仅以“电极层3位于金属层2远离衬底1的一侧”为例进行详细说明。
请参见图4，触控基板包括多个像素区域P和位于像素区域P之间的像素界定区域N，静电传导结构为多条位于像素界定区N的金属导线22b。
本实施例通过将设置在像素界定区域B的金属导线作为静电传导结构，既能够将静电虚拟电极上的静电传导出去，又不影响显示。
需要说明的是，触控基板上的像素区域A是与显示基板中的像素区域对应的区域，像素界定区域B是与显示基板中的像素界定区域对应的区域。
请参见图5，可选地，静电传导结构22为金属网格22a。请结合图2，由于金属网格22a可以分布在整个触控基板的表面，而不是仅在像素界定区域，因此，金属网格22a在衬底1上的正投影与各虚拟电极32在衬底1上的正投影之间存在较多的交叠区。因此，在不影响显示效果的前提下，一个虚拟电极可以通过多个过孔与金属网格22a连接，这有利于及时将虚拟电极32上的静电传导给金属网格22a，而金属网格22a的网格状结构也可以更及时的导出静电，因此，当静电传导结构22为金属网格中22a时，能够有效、及时地将虚拟电极32上的静电传导出去。
为了避免金属网格22a对显示效果的影响，可以通过设置金属网格22a的参数来保证显示效果。具体地，金属网格22a包括多条沿第一方向I延伸的第一金属线221a和多条沿第二方向II延伸的第二金属线222a，第一金属线221a与第二金属线222a的夹角为70°～80°；任意两条相邻的第一金属线221a之间的距离d1为100微米～300微米，任意两条相邻的第二金属线222a之间的距离d2为100微米～300微米。
作为优选，任意两条相邻的第一金属线221a之间的距离d1为200微米，任意两条相邻的第二金属线222a之间的距离d2为200微米。
为了实现多点触控，触控基板为互容式触控基板。可选地，本实施例提供了一种触控基板，该触控基板中，触控电极和感应电极位于同一电极层。请参见图6，在本实施例提供的触控基板中，触控引线21包括第一触控引线211和第二触控引线212；触控电极31包括沿第三方向III延伸的驱动电极311和沿第四方向IV延伸的感应电极312，驱动电极311与第一触控引线211电连接，感应电极312与第二触控引线212电连接；虚拟电极32位于相邻的驱动电极311以及相邻的感应电极312所围成的区域内。
具体地，第三方向III分别与第一方向I、第二方向II相交，第四方向IV分别与第一方向I、第二方向II、第三方向III相交。
本实施例提供了一种具体的互容式触控基板的虚拟电极32与触控电极31的位置关系，由于驱动电极311和感应电极312设置在同一电极层3，需要形成在第三方向III延伸的驱动电极311和第四方向IV延伸的感应电极312，因此，在刻蚀形成驱动电极311和感应电极312的同时，相邻的驱动电极311以及相邻的感应电极312所围成的区域内形成了虚拟电极32。虚拟电极32不仅能够在一定程度上改善触控基板的消影问题，而且减小了刻蚀面积，降低了刻蚀电极层的功耗。
可选地，触控基板包括显示区A和非显示B，金属层2还包括接地线23，静电传导结构22通过与接电线23连接来实现接地。具体地，接地线23位于触控引线21远离显示区A的一侧，接地线23接地。请结合图4，当静电传导结构22为金属网格22a时，金属网格22a中至少有一点是与接地线23连接的；请结合图5，当静电传导结构22为金属导线22b时，每条金属导线22b分别与接地线23连接。
对于互容式的触控基板来说，驱动电极311与感应电极312是需要互相交叉(绝缘)的，并在驱动电极311与感应电极312的交叉处形成电容。当人的手指触摸触控基板时，影响了触摸点附近驱动电极311与感应电极312之间的耦合，从而改变了这两个电极之间的电容量，该电容量可以被检测到并作为确定触摸点坐标的依据。
请参见图7和图8，可选地，本实施例提供了一种触控基板，该触控基板还包括：多个桥接部5，以及贯穿绝缘层4的第三过孔43；驱动电极311包括多个驱动子电极3111，相邻驱动子电极3111通过第三过孔43连接到桥接部5的两端以使相邻的驱动子电极3111电连接。
当然，也可以是感应电极312包括多个感应子电极，相邻感应子电极通过第三过孔43分别连接到桥接部5的两端以使相邻的感应子电极电连接。
本实施例通过将驱动电极或者感应电极分为若干个子电极，在利用桥接部和过孔将这些子电极连接起来，使得驱动电极与感应电极可以制作在同一电极层中，能够减少制作工序，降低生产成本。
请参见图9，进一步地，多个桥接部5与金属层2同层设置且与金属层2绝缘。在一些可选的具体实施方式中，桥接部5的材料与电极层3相同。具体地，在制作时，可以在制作完金属层2之后再制作桥接部5，由于桥接部5与电极层3的材料相同，这有利于降低显示装置的莫尔效应。
在另一些可选的具体实施方式中，桥接部5的材料与金属层2相同。具体地，在制作时，可将桥接部5与金属层2同时制作，在设计掩膜板时，需注意保证桥接部5与金属网格22之间的绝缘性。由于桥接部5可以与金属层2同时制作，有利于减少工序，降低生产成本。
请参见图9，可选地，触控基板还包括：位于金属层2和电极层3远离衬底1一侧的保护层6。保护层6具有保护金属层2和电极层3的作用，具体的，保护层6可以采用氮氧化硅(SiNO)材料制成。
基于同一发明构思，本实施例提供了一种触控显示面板，该触控显示面板包括上述实施例中的任一种触控基板，能够实现相应的触控基板的有益效果，在此不再赘述。
用于实现触控功能的金属层和电极层可以制作在触控显示面板的不同位置，以下进行详细说明。
在一些可选地实施方式中，如图10所示，该触控显示面板包括：盖板G和显示组件X。当显示面板为液晶显示面板时，显示组件X通常包括阵列基板、彩膜基板、液晶层以及偏光片等；当显示面板为液晶显示面板时，显示组件包括阵列基板、有机发光显示器件、偏光片等。在本实施例中，盖板G复用为触控基板的衬底，且金属层2和电极层3位于盖板G靠近显示组件X的一侧。
本实施例提供的触控显示面板，将用于实现触控功能的金属层2和电极层3制作在盖板G的内侧，即为OGS(OneGlassSolution，一体化触控)触控显示面板，能够减少一层衬底，降低触控显示面板的厚度。
在另一些可选地实施方式中，如图11所示，该触控显示面板包括：彩膜基板，彩膜基板包括第一衬底F和位于第一衬底F一面上的色阻单元C，第一衬底F复用为触控基板的衬底。虽然，图11中所示的触控显示面板中，金属层2和电极层3位于第一衬底F远离色阻单元C的一侧，但实际上，金属层2和电极层3也可以位于色阻单元C远离第一衬底F的一侧。本实施例提供的触控显示面板，将用于实现触控功能的金属层2和电极层3制作在彩膜基板的衬底上，能够减少一层衬底，降低触控显示面板的厚度。
在又一些可选地实施方式中，如图12所示，该触控显示面板包括：阵列基板，阵列基板包括第二衬底S和位于第二衬底S一面上的薄膜晶体管T，第二衬底S复用为触控基板的衬底，且金属层2和电极层3位于薄膜晶体管T远离第二衬底S的一侧。本实施例提供的触控显示面板，将用于实现触控功能的金属层2和电极层3制作在彩膜基板的衬底上，能够减少一层衬底，降低触控显示面板的厚度。
基于同一发明构思，本实施例提供了一种触控显示装置，该触控显示装置包括上述实施例中的触控显示面板，能够实现相应的触控显示面板的有益效果，在此不再赘述。
基于同一发明构思，本实施例提供了一种触控基板的制作方法请参见图13，该制作方法包括：
S1：提供一衬底。需要说明的是，该衬底可以是单独的衬底，也可以是显示面板中的盖板复用为触控基板的衬底，或者彩膜基板的衬底复用为触控基板的衬底，或者阵列基板的衬底复用为触控基板的衬底。
S2：在衬底上制作金属层、绝缘层和电极层；其中，金属层包括触控引线和与触控引线绝缘的静电传导结构，静电传导结构接地；电极层包括触控电极和与触控电极绝缘的虚拟电极，触控电极与触控引线电连接，虚拟电极与静电传导结构电连接。
本实施例提供的触控基板的制作方法，在制作金属层时，除了形成触控引线外，还形成接地的静电传导结构，虚拟电极与该金属网格电连接，使得虚拟电极上的静电能够通过静电传导结构释放出去，能够有效防止虚拟电极上积蓄静电，进而避免了因虚拟电极上积蓄静电所引起的显示面板发生局部静电击伤的问题；同时，由于触控引线和静电传导结构同层形成，不仅能够减小触控基板的厚度，也能够在解决虚拟电极上积蓄静电的问题的同时不会增加工序。
请参见图14，可选地，本实施例提供的触控基板的制作方法还包括：
S3：在金属层和电极层远离衬底的一侧制作保护层。保护层具有保护金属层和电极层的作用，具体地，可以采用在金属层和电极层远离衬底的一侧制作氮氧化硅(SiNO)层来形成保护层。
本实施例提供的触控基板的制作方法中，可以先在衬底上制作金属层再制作电极层，也可以先制作电极层再制作金属层，以下进行详细说明。
请参见图15，可选地，本实施例提供的触控基板的制作方法中，S2包括：
S201：在衬底上形成金属薄膜，并对金属薄膜进行图形化处理以获得金属层。金属层包括触控引线和与触控引线绝缘的静电传导结构，静电传导结构接地。
S202：在金属层上沉积绝缘层，并对绝缘层进行图形化处理以形成贯穿绝缘层的第一过孔和第二过孔。
S203：在绝缘层上形成导电薄膜，并对导电薄膜进行图形化处理以获得电极层。电极层包括触控电极和与触控电极绝缘的虚拟电极，其中，触控电极通过第一过孔与触控引线连接，虚拟电极通过第二过孔与静电传导结构连接。
本实施例提供的触控基板的制作方法，制作金属层时，可以同时形成触控引线和静电传导结构电连接，并利用过孔来实现触控引线与触控电极、金属网格与虚拟电极的电连接，不仅能够解决虚拟电极上积蓄静电所引起的显示面板发生局部静电击伤的问题，而且不会增加工序。
请参见图16，可选地，本实施例提供的触控基板的制作方法中，S2包括：
S201′：在衬底上形成导电薄膜，并对导电薄膜进行图形化处理以获得电极层。电极层包括触控电极和与触控电极绝缘的虚拟电极。
S202′：在电极层上沉积绝缘层，并对绝缘层进行图形化处理以形成贯穿绝缘层的第一过孔和第二过孔。
S203′：在绝缘层上形成金属薄膜，并对金属薄膜进行图形化处理以获得金属层。金属层包括位于触控引线和与触控引线绝缘的静电传导结构，静电传导结构接地。其中，触控电极通过第一过孔与触控引线连接，虚拟电极通过第二过孔与静电传导结构连接。
本实施例提供的触控基板的制作方法，制作金属层时，可以同时形成触控引线和静电传导结构，并利用过孔来实现触控引线与触控电极、静电传导结构与虚拟电极的电连接，不仅能够解决虚拟电极上积蓄静电所引起的显示面板发生局部静电击伤的问题，而且不会增加工序。
具体地，请参照上述触控基板的实施例中对静电传导结构的记载，此处不再赘述。
当制作互容式触控基板时，且驱动电极与感应电极位于同一电极层时，通常是驱动电极包括多个驱动子电极，相邻驱动子电极采用桥接方式进行电连接，或者是感应电极包括多个感应子电极，相邻感应子电极采用桥接方式进行电连接。具体地，通过桥接部实现相邻驱动子电极或相邻感应子电极的桥接。基于此，阵列基板的制作方法还包括：
制作多个桥接部，桥接部与金属层同时设置且与金属层绝缘。此时，步骤S202或S202′中，对绝缘层进行图形化处理，形成的过孔除了第一过孔和第二过孔外，还包括第三过孔，相邻驱动子电极通过第三过孔连接到桥接部的两端，或相邻感应子电极通过第三过孔连接到桥接部的两端。
进一步地，制作多个桥接部可以采用如下方式：在衬底上形成金属薄膜，并对金属薄膜进行图形化处理以获得金属层和多个桥接部。由于桥接部可以与金属层同时制作，有利于减少工序，降低生产成本。
进一步地，制作多个桥接部还可以采用如下方式：在制作完金属层的衬底上形成多个桥接部，桥接部的材料与电极层的材料相同。由于桥接部与电极层的材料相同，这有利于降低显示装置的莫尔效应。
应用本申请实施例，至少能够实现如下有益效果：
本实施例提供的触控基板及其制作方法、触控显示面板及触控显示装置中，虚拟电极与接地的静电传导结构电连接，使得虚拟电极上的静电能够通过静电传导结构释放出去，从而能够有效防止虚拟电极上积蓄静电，进而避免了因虚拟电极上积蓄静电所引起的显示面板发生局部静电击伤的问题；由于触控引线和静电传导结构同层形成，不仅能够减小触控基板的厚度，也能够在解决虚拟电极上积蓄静电的问题的同时不会增加工序。
本技术领域技术人员可以理解，本申请中已经讨论过的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案可以被交替、更改、组合或删除。进一步地，具有本申请中已经讨论过的各种操作、方法、流程中的其他步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。进一步地，现有技术中的具有与本申请中公开的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
应该理解的是，虽然附图的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，其可以以其他的顺序执行。而且，附图的流程图中的至少一部分步骤可以包括多个子步骤或者多个阶段，这些子步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，其执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其他步骤或者其他步骤的子步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。
以上所述仅是本申请的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (14)

1.一种触控基板，其特征在于，所述触控基板包括衬底、位于所述衬底上的金属层和电极层、以及位于所述金属层与所述电极层之间的绝缘层；
所述金属层包括触控引线和与所述触控引线绝缘的静电传导结构，所述静电传导结构接地；
所述电极层包括触控电极和与所述触控电极绝缘的虚拟电极，其中，所述触控电极与所述触控引线电连接，所述虚拟电极与所述静电传导结构电连接；
所述触控电极包括驱动电极和感应电极；
所述触控基板还包括：
多个桥接部，以及贯穿所述绝缘层的第三过孔；
所述驱动电极包括多个驱动子电极，相邻所述驱动子电极通过所述第三过孔连接到所述桥接部的两端以使相邻的所述驱动子电极电连接；和/或
所述感应电极包括多个感应子电极，相邻所述感应子电极通过所述第三过孔分别连接到所述桥接部的两端以使相邻的所述感应子电极电连接。
2.根据权利要求1所述的触控基板，其特征在于，所述静电传导结构为金属网格。
3.根据权利要求2所述的触控基板，其特征在于，
所述金属网格包括多条沿第一方向延伸的第一金属线和多条沿第二方向延伸的第二金属线，所述第一金属线与所述第二金属线的夹角为70°～80°；
任意两条相邻的所述第一金属线之间的距离为100微米～300微米，任意两条相邻的所述第二金属线之间的距离为100微米～300微米。
4.根据权利要求1所述的触控基板，其特征在于，所述触控基板包括像素区域和位于所述像素区域之间的像素界定区域；
所述静电传导结构为多条位于所述像素界定区域的金属导线。
5.根据权利要求1所述的触控基板，其特征在于，还包括：贯穿所述绝缘层的第一过孔和第二过孔；
所述触控电极通过所述第一过孔与所述触控引线连接，所述虚拟电极通过所述第二过孔与所述静电传导结构连接。
6.根据权利要求5所述的触控基板，其特征在于，
所述触控引线包括第一触控引线和第二触控引线；
驱动电极沿第三方向延伸，感应电极沿第四方向延伸，所述驱动电极与所述第一触控引线电连接，所述感应电极与所述第二触控引线电连接；
所述虚拟电极位于相邻的所述驱动电极以及所述相邻的感应电极所围成的区域内。
7.根据权利要求6所述的触控基板，其特征在于，
所述多个桥接部与所述金属层同层设置且与所述金属层绝缘；
所述桥接部的材料与所述电极层相同，或者所述桥接部的材料与所述金属层相同。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的触控基板，其特征在于，还包括：
位于所述金属层和所述电极层远离所述衬底一侧的保护层。
9.一种触控显示面板，其特征在于，包括权利要求1-8中任一项所述的触控基板。
10.根据权利要求9所述的触控显示面板，其特征在于，包括：
盖板和显示组件，所述盖板复用为所述触控基板的所述衬底，且所述金属层和所述电极层位于所述盖板靠近所述显示组件的一侧；或者
彩膜基板，所述彩膜基板包括第一衬底和位于所述第一衬底一面上的色阻单元，所述第一衬底复用为所述触控基板的所述衬底；或者
阵列基板，所述阵列基板包括第二衬底和位于所述第二衬底一面上的薄膜晶体管，所述第二衬底复用为所述触控基板的所述衬底，且所述金属层和所述电极层位于所述薄膜晶体管远离所述第二衬底的一侧。
11.一种触控显示装置，其特征在于，包括权利要求9或10所述的触控显示面板。
12.一种触控基板的制作方法，其特征在于，包括：
提供一衬底；
在所述衬底上制作金属层、绝缘层和电极层；
其中，所述金属层包括触控引线和与所述触控引线绝缘的静电传导结构，所述静电传导结构接地；
所述电极层包括触控电极和与所述触控电极绝缘的虚拟电极，所述触控电极与所述触控引线电连接；所述虚拟电极与所述静电传导结构电连接；
所述触控电极包括驱动电极和感应电极；所述驱动电极包括多个驱动子电极；和/或所述感应电极包括多个感应子电极；
触控基板的制作方法还包括：
制作多个桥接部；
对绝缘层进行图形化处理，形成第三过孔，第三过孔贯穿所述绝缘层；
若所述驱动电极包括多个驱动子电极，则相邻所述驱动子电极通过所述第三过孔连接到所述桥接部的两端以使相邻的所述驱动子电极电连接；
若所述感应电极包括多个感应子电极，则相邻所述感应子电极通过所述第三过孔分别连接到所述桥接部的两端以使相邻的所述感应子电极电连接。
13.根据权利要求12所述的制作方法，其特征在于，所述在所述衬底上制作金属层、绝缘层和电极层，包括：
在所述衬底上形成金属薄膜，并对所述金属薄膜进行图形化处理以获得所述金属层；
在所述金属层上沉积绝缘层，并对所述绝缘层进行图形化处理以形成贯穿所述绝缘层的第一过孔和第二过孔；
在所述绝缘层上形成导电薄膜，并对所述导电薄膜进行图形化处理以获得所述电极层；
其中，所述触控电极通过所述第一过孔与所述触控引线连接，所述虚拟电极通过所述第二过孔与所述静电传导结构连接。
14.根据权利要求12或13所述的制作方法，其特征在于，还包括：
在所述金属层和所述电极层远离所述衬底的一侧制作保护层。
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