CN110265345A - 一种衬底基板的吹干方法及设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种衬底基板的吹干方法及设备。该吹干方法在对待吹干的衬底基板的表面进行吹干时，将待吹干的衬底基板固定在载物台上。该吹干方法可在吹干衬底基板时，防止衬底基板被吹起。

Description

一种衬底基板的吹干方法及设备
技术领域
本发明涉及半导体或光电领域，尤其涉及一种衬底基板的吹干方法及设备。
背景技术
在半导体或光电领域中，电子器件的电路往往通过刻蚀工艺制作在衬底基板上。在制程中，衬底基板的表面上会留下刻蚀液、去离子水等液体，需要采用气刀将衬底基板的表面上液体吹干，这时，由于气刀和衬底基板之间的间隙很小，如果气刀角度、气压等参数不合适，就会将衬底基板吹起而被气刀划伤。
发明内容
为了解决上述现有技术的不足，本发明提供一种衬底基板的吹干方法及设备，可在吹干衬底基板时，防止衬底基板被吹起。
本发明所要解决的技术问题通过以下技术方案予以实现：
一种衬底基板的吹干方法，在对待吹干的衬底基板的表面进行吹干时，将待吹干的衬底基板固定在载物台上。
进一步地，通过粘接方式将待吹干的衬底基板固定在载物台上。
进一步地，通过吸附方式将待吹干的衬底基板固定在载物台上。
进一步地，通过压合方式将待吹干的衬底基板固定在载物台上。
进一步地，通过吹气方式将固定在载物台上的衬底基板的表面吹干。
一种衬底基板的吹干设备，包括：
载物台，用于承载待吹干的衬底基板；
固定机构，用于将待吹干的衬底基板固定在所述载物台上；
吹干机构，用于将固定在载物台上的衬底基板的表面吹干。
进一步地，所述固定机构包括设于所述载物台上的黏胶层，所述黏胶层的粘度可变；通过所述黏胶层将待吹干的衬底基板粘接固定在所述载物台上。
进一步地，所述固定机构包括设于所述载物台上的若干吸盘，通过所述吸盘将待吹干的衬底基板吸附固定在所述载物台上。
进一步地，所述固定机构包括可在所述载物台上方移动的若干压轮，通过所述压轮将待吹干的衬底基板压合固定在所述载物台上。
进一步地，所述吹气机构包括可在所述载物台上方移动的气刀，通过移动所述气刀将固定在载物台上的衬底基板的表面吹干；所述压轮和气刀同步移动。
本发明具有如下有益效果：该吹干方法在对所述衬底基板进行吹气时，将所述衬底基板固定在所述载物台上，以防止所述衬底基板在吹干过程中被吹起。
附图说明
图1为本发明提供的衬底基板的吹气方法的步骤框图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进行详细的说明。
实施例一
一种衬底基板的吹干方法，包括：
S101：将待吹干的衬底基板固定在载物台上；
在该步骤101中，通过粘接、吸附或压合中任一方式将待吹干的衬底基板固定在载物台上。
具体的，采用一固定机构来将待吹干的衬底基板固定在所述载物台上。
在一具体实施方式中，所述固定机构包括设于所述载物台上的黏胶层，所述黏胶层的粘度可变；通过所述黏胶层将待吹干的衬底基板固定在载物台上的步骤包括：
S1011a：将待吹干的衬底基板粘接在所述黏胶层上；
S1012a：使所述黏胶层的粘度提高。
其中，所述黏胶层的粘度可变是指其粘度随外部条件变化而显著变化，例如随外部条件变化，所述黏胶层的粘度变化超过30%，所述黏胶层的材质包括但不限于热敏胶或光敏胶。其中，热敏胶的粘度会随温度的变化而变化，在低温（比如20℃）时，其粘度很小，在高温（比如200℃）时，其粘度很大；光敏胶的粘度会在特定波长光线照射前后发生变化，在特定波长光线照射前，其粘度很大，在特定波长光线照射后，其粘度很小。
优选地，所述黏胶层包括依次层叠于所述载物台上的第一黏胶和第二黏胶，所述第二黏胶的粘度可变。
在另一具体实施方式中，所述固定机构包括设于所述载物台上的若干吸盘，所述吸盘通过气道连通有抽气机；通过所述吸盘将待吹干的衬底基板固定在载物台上的步骤包括：
S1011b：将待吹干的衬底基板放置在所述吸盘上；
S1012b：启动所述抽气机，开始抽取所述吸盘内的空气，使所述吸盘内形成真空以吸附待吹干的衬底基板。
在又一具体实施方式中，所述固定机构包括可在所述载物台上方移动的若干压轮；通过所述压轮将待吹干的衬底基板固定在载物台上的步骤包括：
S1011c：将所述压轮移动至固定在载物台上的衬底基板的一侧外；
S1012c：将所述压轮移动至固定在载物台上的衬底基板相对的另一侧外，使所述压轮滚动压过固定在载物台上的衬底基板的边缘。
S102：将固定在载物台上的衬底基板的表面吹干；
在该步骤102中，通过吹气方式将固定在载物台上的衬底基板的表面吹干。
具体的，采用一吹气机构来吹干固定在载物台上的衬底基板。
所述吹气机构包括可在所述载物台上方移动的气刀，通过移动所述气刀将固定在载物台上的衬底基板的表面吹干的步骤包括：
S1021：将所述吹气机构的气刀移动至固定在载物台上的衬底基板的一侧外；
S1022：启动所述吹气机构，使所述气刀喷出气流；
S1023：将所述吹气机构的气刀移动至固定在载物台上的衬底基板相对的另一侧外，使所述气刀喷出气流扫过固定在载物台上的衬底基板的表面。
其中，若步骤S101中通过所述压轮将待吹干的衬底基板固定在载物台上的话，则所述压轮和气刀可同步移动，即步骤S101和步骤S102可同步进行，所述压轮和气刀同步从待吹干的衬底基板的一侧外移动至相对的另一侧外。
该衬底基板的吹干方法在将固定在载物台上的衬底基板的表面吹干之后，还包括：
S103：将已吹干的衬底基板从所述载物台上取下来；
在该步骤S103中，若步骤S101中通过所述黏胶层将待吹干的衬底基板固定在载物台上，则将已吹干的衬底基板从所述载物台上取下来的步骤如下：
S1031a：使所述黏胶层的粘度降低；
S1032a：将已吹干的衬底基板从所述黏胶层上剥离下来。
优选地，所述黏胶层包括依次层叠于所述载物台上的第一黏胶和第二黏胶，所述第二黏胶的粘度可变；所述第一黏胶层的粘度大于取下剥离已吹干的衬底基板时所述第二黏胶层的粘度。
在该步骤S103中，若步骤S101中通过所述吸盘将待吹干的衬底基板固定在载物台上，则将已吹干的衬底基板从所述载物台上取下来的步骤如下：
S1031b：关闭所述抽气机，停止抽取所述吸盘内的空气，使所述吸盘内回复常压以放开已吹干的衬底基板；
S1032b：将已吹干的衬底基板从所述吸盘上拿下来。
该吹干方法在对所述衬底基板进行吹气时，将所述衬底基板固定在所述载物台上，以防止所述衬底基板在吹干过程中被吹起。
实施例二
一种衬底基板的吹干设备，基于实施例一所述的衬底基板的吹干方法，包括：
载物台，用于承载待吹干的衬底基板；
固定机构，用于将待吹干的衬底基板固定在所述载物台上；
吹气机构，用于将固定在载物台上的衬底基板的表面吹干。
以上所述实施例仅表达了本发明的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制，但凡采用等同替换或等效变换的形式所获得的技术方案，均应落在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种衬底基板的吹干方法，其特征在于，在对待吹干的衬底基板的表面进行吹干时，将待吹干的衬底基板固定在载物台上。
2.根据权利要求1所述的衬底基板的吹干方法，其特征在于，通过粘接方式将待吹干的衬底基板固定在载物台上。
3.根据权利要求1所述的衬底基板的吹干方法，其特征在于，通过吸附方式将待吹干的衬底基板固定在载物台上。
4.根据权利要求1所述的衬底基板的吹干方法，其特征在于，通过压合方式将待吹干的衬底基板固定在载物台上。
5.根据权利要求1-4中任一所述的衬底基板的吹干方法，其特征在于，通过吹气方式将固定在载物台上的衬底基板的表面吹干。
6.一种衬底基板的吹干设备，其特征在于，包括：
载物台，用于承载待吹干的衬底基板；
固定机构，用于将待吹干的衬底基板固定在所述载物台上；
吹干机构，用于将固定在载物台上的衬底基板的表面吹干。
7.根据权利要求6所述的衬底基板的吹干设备，其特征在于，所述固定机构包括设于所述载物台上的黏胶层，所述黏胶层的粘度可变；通过所述黏胶层将待吹干的衬底基板粘接固定在所述载物台上。
8.根据权利要求6所述的衬底基板的吹干设备，所述固定机构包括设于所述载物台上的若干吸盘，通过所述吸盘将待吹干的衬底基板吸附固定在所述载物台上。
9.根据权利要求6所述的衬底基板的吹干设备，其特征在于，所述固定机构包括可在所述载物台上方移动的若干压轮，通过所述压轮将待吹干的衬底基板压合固定在所述载物台上。
10.根据权利要求6-9中任一所述的衬底基板的吹干方法，其特征在于，所述吹气机构包括可在所述载物台上方移动的气刀，通过移动所述气刀将固定在载物台上的衬底基板的表面吹干。
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