CN110261317B - 一种Mueller矩阵光谱的测量系统及方法 - Google Patents
一种Mueller矩阵光谱的测量系统及方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110261317B CN110261317B CN201910522725.XA CN201910522725A CN110261317B CN 110261317 B CN110261317 B CN 110261317B CN 201910522725 A CN201910522725 A CN 201910522725A CN 110261317 B CN110261317 B CN 110261317B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- axis
- mueller matrix
- parameter
- measuring
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/21—Polarisation-affecting properties
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明公开的一种Mueller矩阵光谱的测量系统及其测量方法,包括以下步骤:步骤1,打开电源,电源发出的光线通过光纤到达准直系统、起偏器、第一延迟器、第二延迟器、样品台、波片、检偏器、光谱仪;步骤2再改变波片的快轴方位角三次;步骤3,得到光谱仪获取的光强信号I(σ);步骤4,根据波片的快轴方位角θ1、θ2、θ3、θ4,测量对应的光谱强度,然后分别除以Sin,0(σ)/4、接着进行傅里叶逆变换,得到被测样品对应的四个呈通道化分布的干涉强度;步骤5,选择所需干涉强度做傅里叶变换可得被测样品全部16个穆勒矩阵元素光谱。本发明测量系统,结构简单,降低出读次数,减少测量时间,大幅提高测量样品Mueller矩阵光谱的速度。
Description
技术领域
本发明属于偏振光谱测量技术领域,具体涉及一种Mueller矩阵光谱的测量系统,本发明还涉及一种Mueller矩阵光谱的测量方法。
背景技术
Mueller矩阵光谱在薄膜和纳米结构测量领域发挥着重要作用,通过获取被测样品的Mueller矩阵光谱可以得到样品的诸多光学特征,如退偏效应、表面刻蚀的各向异性以及断面的非对称性。Mueller矩阵光谱测量技术作为一种新型的光学探测方法,目前国际上只有少数科研机构开展相关研究工作。尤其是快速获取Mueller矩阵光谱的仪器,目前仍处于原理探索与实验验证阶段。
目前国际上常规的Mueller矩阵光谱测量方法主要是按时间顺序进行的,起偏臂与检偏臂的补偿器按一定速率比5ω:mω(ω为同轴电机的基频,m为非零整数且不等于5或10)旋转产生不同的时间调制频率,通过傅里叶变换解调获取样品全部16个穆勒矩阵元素,需要探测器读数N=4m+21次,以保证在一个光学周期T=π/ω内完成完整的波形分析,耗费的时间为t=N×t0(t0为探测器的读出时间),测量时间较长不适用于被测穆勒矩阵随时间快速变化的情况,并且系统中两个运动部件增加了系统误差产生的概率。
发明内容
本发明的目的是提供一种Mueller矩阵光谱的测量系统,为快速获取Mueller矩阵光谱提供了新途径。
本发明的另一个目的是一种Mueller矩阵光谱的测量方法,解决了现有测量方法需要探测器读数次数多、测量时间长、测量误差高的问题。
本发明所采用的技术方案是,一种Mueller矩阵光谱的测量系统,包括光源,光源通过光纤到达准直系统,准直系统后按照光线入射顺序依次设置有起偏器、第一延迟器、第二延迟器、样品台、波片、检偏器和光谱仪;
准直系统包括依次设置的第一透镜和第二透镜。
本发明的特征还在于,
波片具体为消色差四分之一波片。
测量系统满足右手定则的xyz坐标系:光线入射方向即主光轴为z轴,垂直于主光轴为y轴,与yz轴形成平面垂直的方向为x轴;
起偏器的透光轴与x轴夹角为0°,第一延迟器的快轴方向与x轴正向的夹角为45°,第二延迟器的快轴方向与x轴正向的夹角为0°;检偏器的透光轴与x轴夹角为0°。
波片的快轴位于xy平面内且可绕z轴旋转。
本发明所采用的另一个技术方案是,一种Mueller矩阵光谱的测量系统,包括以下步骤:
步骤1,将被测样品置于样品台上,打开电源,电源发出的光线通过光纤到达准直系统,准直系统将非偏振光矫正为平行光,平行光依次通过起偏器、第一延迟器、第二延迟器、样品台、波片和检偏器,最终到达光谱仪,记录结果;
步骤2,基于步骤1中波片的快轴方位角θ1,再改变波片的快轴方位角三次,分别记作θ2、θ3、θ4,重复步骤1,记录结果;
步骤3,基于Stokes矢量描述入射光的光谱信息及偏振光学原理,综合步骤1和步骤2的结果,得到光谱仪获取的光强信号I(σ);
步骤4,根据波片的快轴方位角θ1、以及步骤2中快轴方位角θ2、θ3、θ4,测量上述4个快轴方位角对应的光谱强度,所得4个快轴方位角对应的光谱强度分别除以Sin,0(σ)/4、接着进行傅里叶逆变换,得到被测样品对应的四个呈通道化分布的干涉强度;
步骤5,通过光程差维的滤波截取步骤4得到的所需干涉强度、并做傅里叶变换可得被测样品全部16个穆勒矩阵元素光谱。
本发明的特征还在于,
步骤3中光强信号I(σ)的表达式为公式(5):
公式(5)中,针对参数Ai,当i=1时,A1=1,当i=2时,A2=cos22θ,当i=3时,A3=1/2(sin4θ),当i=4时,A4=-sin2θ,θ为消色差四分之一波片的快轴方位角;
针对参数mi1、mi2、mi3和mi4,参数i=1、2、3或4,故演变的参数m11-m44代表被测样品16个随波长变化的穆勒矩阵元素;
步骤5中被测样品全部16个穆勒矩阵元素光谱,如公式(6)所示:
VM=[m11 m21 m31 m41 m12 m22 m32 m42 m13 m23 m33 m43 m14 m24 m34 m44]T (7)
公式(6)中参数Q和W均为4×4阶矩阵,Q为单位矩阵,W为公式(9):
本发明的有益效果是:本发明一种Mueller矩阵光谱的测量系统通过起偏器将被测样品的全部16个Mueller矩阵光谱加载致七个不同的光谱通道,每个通道的光谱强度均为穆勒矩阵元素光谱的线性叠加,叠加系数为消色差四分之一波片快轴方位角的函数,通过旋转改变消色差四分之一波片的快轴方位角四次,结合通道滤波与傅里叶变换可通过光谱仪获取的四个光谱强度复原出16个Mueller矩阵元素的光谱,与传统基于时间序列测量的方法相比,测量时间降低了(4m+21)/4倍;本发明一种Mueller矩阵光谱的测量方法,将现有的探测器的出读次数由最少25次降低为4次,相应的将测量时间最少降低25/4倍,大幅提高测量样品Mueller矩阵光谱的速度。
附图说明
图1是本发明一种Mueller矩阵光谱的测量系统的结构示意图。
图中,1.光源,2.光纤,
3.准直系统,301.第一透镜,302.第二透镜,
4.起偏器,5.第一延迟器,6.第二延迟器,7.样品台,8.波片,9.检偏器,10.光谱仪。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。
本发明一种Mueller矩阵光谱的测量系统,如图1所示,包括光源1,光源1采用的是宽谱段光源,光源1通过光纤2到达准直系统3,准直系统3后按照光线入射顺序依次设置有起偏器4、第一延迟器5、第二延迟器6、样品台7、波片8、检偏器9和光谱仪10;光谱仪10位于检偏器9之后用于测量从检偏器9出射的光谱强度。波片8具体为消色差四分之一波片。
准直系统3包括依次设置的第一透镜301和第二透镜302。
测量系统满足右手定则的xyz坐标系:光线入射方向即主光轴为z轴,垂直于主光轴为y轴,与yz轴形成平面垂直的方向为x轴;起偏器4的透光轴与x轴夹角为0°,第一延迟器5的快轴方向与x轴正向的夹角为45°,第二延迟器6的快轴方向与x轴正向的夹角为0°;检偏器9的透光轴与x轴夹角为0°。
波片8的快轴位于xy平面内且可绕z轴旋转。
本发明一种Mueller矩阵光谱的测量方法,包括以下步骤:
由偏振光学原理可知,延迟器的穆勒Mueller矩阵为公式(1):
消色差四分之一波片的穆勒Mueller矩阵为公式(2):
公式(2)中参数θ”为消色差四分之一波片快轴与x轴的正向夹角;
起偏器与检偏器的穆勒Mueller矩阵为公式(3):
公式(3)中参数θ”'为透振方向与x轴的正向夹角;
使用Stokes矢量描述光的偏振状态,由Stokes矢量与光学元件穆勒矩阵的级联关系可得:从检偏器LA出射的Stokes矢量Sout为公式(4):
公式(4)中参数MLA为本发明中检偏器9的Mueller矩阵;参数MP为本发明中起偏器4的Mueller矩阵;参数为本发明中第一延迟器5的Mueller矩阵;参数为本发明中第二延迟器6的Mueller矩阵;参数MS为本发明中样品台7上被测样品的Mueller矩阵;参数MAQWP为本发明中消色差四分之一波片的Mueller矩阵;参数为从光源出射的非偏振光的Stokes矢量且Sin=[S0 0 0 0]T;
通过Stokes矢量描述入射光的光谱及偏振信息,由于光谱仪10只对总光强有响应,而对光线的偏振态不敏感,因此光谱仪10获取的光强信号I(σ)表达式由公式(5)可知:
公式(5)中,针对参数Ai,当i=1时,A1=1,当i=2时,A2=cos22θ,当i=3时,A3=1/2(sin4θ),当i=4时,A4=-sin2θ,θ为消色差四分之一波片的快轴方位角;
针对参数mi1、mi2、mi3和mi4,参数i=1、2、3或4,故演变的参数m11-m44代表被测样品16个随波长变化的穆勒矩阵元素;
样品台7上被测样品的全部16个穆勒矩阵元素,经时频混合调制被加载至7个不同的频率通道,频率中心分别位于0、及并且每个通道的光谱强度均为穆勒矩阵元素光谱的线性叠加,叠加系数为消色差四分之一波片快轴方位角的函数。
改变消色差四分之一波片的快轴方位角4次(θi,i=1,2,3,4),并对每个快轴方位角对应的光谱强度测量,改变快轴方位角的得到的光谱强度结果分别除以Sin,0(σ)/4、做傅里叶逆变换可得被测样品对应的四个呈通道化分布的干涉强度。
通过光程差维的滤波从中截取所需的干涉强度、并做傅里叶变换可得被测样品全部16个穆勒矩阵元素光谱,如公式(6)所示:
VM=[m11 m21 m31 m41 m12 m22 m32 m42 m13 m23 m33 m43 m14 m24 m34 m44]T (7)
公式(6)中参数Q和W均为4×4阶矩阵,Q为单位矩阵,W为公式(9):
综上所述,本发明通过四次测量获取样品全部16个穆勒矩阵元素光谱,本发明测量方法将现有的探测器的出读次数由最少25次降低为4次,相应的将测量时间最少降低25/4倍,大幅提高测量样品Mueller矩阵光谱的速度;有很好的实用价值。
Claims (3)
1.一种Mueller矩阵光谱的测量方法,使用一种Mueller矩阵光谱的测量系统,包括光源(1),所述光源(1)通过光纤(2)到达准直系统(3),准直系统(3)后按照光线入射顺序依次设置有起偏器(4)、第一延迟器(5)、第二延迟器(6)、样品台(7)、波片(8)、检偏器(9)和光谱仪(10);
所述准直系统(3)包括依次设置的第一透镜(301)和第二透镜(302),所述测量系统满足右手定则的xyz坐标系:光线入射方向即主光轴为z轴,垂直于主光轴为y轴,与yz轴形成平面垂直的方向为x轴;
所述起偏器(4)的透光轴与x轴夹角为0°,所述第一延迟器(5)的快轴方向与x轴正向的夹角为45°,所述第二延迟器(6)的快轴方向与x轴正向的夹角为0°;所述检偏器(9)的透光轴与x轴夹角为0°,所述波片(8)的快轴位于xy平面内且可绕z轴旋转,其特征在于,所述测量方法包括以下步骤:
步骤1,将被测样品置于样品台(7)上,打开电源(1),电源(1)发出的光线通过光纤(2)到达准直系统(3),准直系统(3)将非偏振光矫正为平行光,平行光依次通过起偏器(4)、第一延迟器(5)、第二延迟器(6)、样品台(7)、波片(8)和检偏器(9),最终到达光谱仪(10),记录结果;
步骤2,基于步骤1中波片(8)的快轴方位角θ1,再改变波片(8)的快轴方位角三次,分别记作θ2、θ3、θ4,重复步骤1,记录结果;
步骤3,基于Stokes矢量描述入射光的光谱信息及偏振光学原理,综合步骤1和步骤2的结果,得到光谱仪(10)获取的光强信号I(σ);
步骤4,根据波片(8)的快轴方位角θ1、以及步骤2中快轴方位角θ2、θ3、θ4,测量上述4个快轴方位角对应的光谱强度,所得4个快轴方位角对应的光谱强度分别除以Sin,0(σ)/4、接着进行傅里叶逆变换,得到被测样品对应的四个呈通道化分布的干涉强度;
步骤5,通过光程差维的滤波截取步骤4得到的所需干涉强度、并做傅里叶变换可得被测样品全部16个穆勒矩阵元素光谱。
3.根据权利要求2所述的一种Mueller矩阵光谱的测量方法,其特征在于,所述步骤5中被测样品全部16个穆勒矩阵元素光谱,如公式(6)所示:
VM=[m11 m21 m31 m41 m12 m22 m32 m42 m13 m23 m33 m43 m14 m24 m34 m44]T (7)
公式(6)中参数Q和W均为4×4阶矩阵,Q为单位矩阵,W为公式(9):
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910522725.XA CN110261317B (zh) | 2019-06-17 | 2019-06-17 | 一种Mueller矩阵光谱的测量系统及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910522725.XA CN110261317B (zh) | 2019-06-17 | 2019-06-17 | 一种Mueller矩阵光谱的测量系统及方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110261317A CN110261317A (zh) | 2019-09-20 |
CN110261317B true CN110261317B (zh) | 2021-11-16 |
Family
ID=67918754
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201910522725.XA Active CN110261317B (zh) | 2019-06-17 | 2019-06-17 | 一种Mueller矩阵光谱的测量系统及方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN110261317B (zh) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110261319B (zh) * | 2019-06-24 | 2021-11-16 | 西安理工大学 | 基于四次测量Mueller矩阵光谱的装置及测量方法 |
CN110567883B (zh) * | 2019-09-23 | 2022-07-01 | 西安理工大学 | 实时测量Mueller矩阵光谱的方法 |
CN110579443B (zh) * | 2019-09-23 | 2022-07-01 | 西安理工大学 | 一种Mueller矩阵光谱的测量系统及其测量方法 |
CN110763633A (zh) * | 2019-12-04 | 2020-02-07 | 南京先进激光技术研究院 | 一种大量程成像式双折射分布测量装置及方法 |
CN112525493B (zh) * | 2020-11-13 | 2022-06-17 | 华中科技大学 | 一种铁电液晶延迟器光学特性检测方法及装置 |
CN112525828B (zh) * | 2020-12-24 | 2022-11-29 | 暨南大学 | 一种基于光学时间拉伸的穆勒矩阵测量系统及方法 |
CN113092387A (zh) * | 2021-03-25 | 2021-07-09 | 清华大学深圳国际研究生院 | 一种晶体光轴取向的测量方法 |
CN113538381B (zh) * | 2021-07-16 | 2024-06-18 | 北京理工大学 | 一种弱光场样品Mueller矩阵快速检测方法及检测系统 |
CN115203637A (zh) * | 2022-06-09 | 2022-10-18 | 温州医科大学 | 背向散射Mueller矩阵的可逆极分解方法 |
Citations (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6175412B1 (en) * | 1996-10-25 | 2001-01-16 | Centre National De La Recherche Scientifique | Optical component for polarization modulation, a mueller polarimeter and ellipsometer containing such an optical component, a process for the calibration of this ellipsometer, and an ellipsometric measurement process |
EP1124120A2 (en) * | 2000-02-01 | 2001-08-16 | J.A. Woollam Co. Inc. | Spectroscopic investigation system and compensator therefor |
US6437856B1 (en) * | 1998-01-23 | 2002-08-20 | Providence Health System | Imaging of superficial biological tissue layers using polarized light |
EP1707929A1 (en) * | 2005-03-28 | 2006-10-04 | Omron Corporation | Spectroscopic polarimetry |
EP1764644A2 (en) * | 2005-09-09 | 2007-03-21 | JDS Uniphase Corporation | Optimally oriented trim retarders |
CN101246122A (zh) * | 2008-03-19 | 2008-08-20 | 中国科学院力学研究所 | 采用旋转补偿器积分采样的椭偏成像方法和装置 |
CN102539119A (zh) * | 2011-12-27 | 2012-07-04 | 上海大学 | 基于可旋转波片的Mueller矩阵测试装置和方法 |
CN103134592A (zh) * | 2013-01-31 | 2013-06-05 | 华中科技大学 | 一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法 |
CN103837476A (zh) * | 2012-11-21 | 2014-06-04 | 中国科学院国家天文台 | 一种Mueller矩阵的自校准测量方法 |
CN104677835A (zh) * | 2013-11-26 | 2015-06-03 | 北京智朗芯光科技有限公司 | 一种全穆勒矩阵椭圆偏振仪的校准方法 |
CN104864815A (zh) * | 2014-02-20 | 2015-08-26 | 睿励科学仪器(上海)有限公司 | 校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法 |
CN105628343A (zh) * | 2016-01-17 | 2016-06-01 | 武汉光电工业技术研究院有限公司 | 一种波片检测装置及方法 |
CN105872403A (zh) * | 2016-06-17 | 2016-08-17 | 杭州电子科技大学 | Mueller矩阵成像的动态范围扩展装置与方法 |
CN107036713A (zh) * | 2017-05-17 | 2017-08-11 | 西安交通大学 | 图像、高分辨率强度光谱与线偏振光谱探测系统与方法 |
CN107490547A (zh) * | 2017-07-26 | 2017-12-19 | 天津大学 | 一种Mueller矩阵型椭偏仪椭偏参数测量的优化方法 |
CN207181294U (zh) * | 2017-07-20 | 2018-04-03 | 复旦大学 | 全反射式斜入射光反射差扫描成像装置 |
CN108956480A (zh) * | 2018-06-06 | 2018-12-07 | 西安理工大学 | 一种实时获取光谱椭偏参数的装置及方法 |
CN109459138A (zh) * | 2018-10-26 | 2019-03-12 | 天津大学 | 基于四次光强测量的Mueller型椭偏仪椭偏参数测量方法及装置 |
CN109580551A (zh) * | 2018-11-30 | 2019-04-05 | 武汉颐光科技有限公司 | 一种傅里叶变换红外穆勒矩阵椭偏仪及其测量方法 |
CN110261319A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-09-20 | 西安理工大学 | 基于四次测量Mueller矩阵光谱的装置及测量方法 |
EP3572854A1 (en) * | 2018-05-23 | 2019-11-27 | Huazhong University of Science and Technology | Polarization modulator and polarization measurement system |
CN110567883A (zh) * | 2019-09-23 | 2019-12-13 | 西安理工大学 | 实时测量Mueller矩阵光谱的系统及其测量方法 |
CN110579443A (zh) * | 2019-09-23 | 2019-12-17 | 西安理工大学 | 一种Mueller矩阵光谱的测量系统及其测量方法 |
CN110763341A (zh) * | 2019-11-04 | 2020-02-07 | 北京理工大学 | 一种Stokes-Mueller光谱成像系统和检测方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6856710B2 (en) * | 2001-03-19 | 2005-02-15 | Terapulse, Inc. | Polarization mode dispersion compensation in optical transmission media |
EP1411333B1 (en) * | 2002-10-15 | 2006-03-08 | Centre National De La Recherche Scientifique (Cnrs) | A liquid crystal based polarimetric system, a process for its calibration, and a polarimetric measurement process |
US7298480B2 (en) * | 2005-12-23 | 2007-11-20 | Ecole Polytechnique | Broadband ellipsometer / polarimeter system |
US8169611B2 (en) * | 2009-02-27 | 2012-05-01 | University Of Nebraska Board Of Regents | Terahertz-infrared ellipsometer system, and method of use |
KR101698022B1 (ko) * | 2015-03-13 | 2017-02-01 | 한국표준과학연구원 | 무색수차 광소자-회전형 타원계측기 및 이를 이용한 시편의 뮬러-행렬 측정 방법 |
-
2019
- 2019-06-17 CN CN201910522725.XA patent/CN110261317B/zh active Active
Patent Citations (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6353477B1 (en) * | 1992-09-18 | 2002-03-05 | J. A. Woollam Co. Inc. | Regression calibrated spectroscopic rotating compensator ellipsometer system with pseudo-achromatic retarder system |
US6175412B1 (en) * | 1996-10-25 | 2001-01-16 | Centre National De La Recherche Scientifique | Optical component for polarization modulation, a mueller polarimeter and ellipsometer containing such an optical component, a process for the calibration of this ellipsometer, and an ellipsometric measurement process |
US6437856B1 (en) * | 1998-01-23 | 2002-08-20 | Providence Health System | Imaging of superficial biological tissue layers using polarized light |
EP1124120A2 (en) * | 2000-02-01 | 2001-08-16 | J.A. Woollam Co. Inc. | Spectroscopic investigation system and compensator therefor |
EP1707929A1 (en) * | 2005-03-28 | 2006-10-04 | Omron Corporation | Spectroscopic polarimetry |
EP1764644A2 (en) * | 2005-09-09 | 2007-03-21 | JDS Uniphase Corporation | Optimally oriented trim retarders |
CN101246122A (zh) * | 2008-03-19 | 2008-08-20 | 中国科学院力学研究所 | 采用旋转补偿器积分采样的椭偏成像方法和装置 |
CN102539119A (zh) * | 2011-12-27 | 2012-07-04 | 上海大学 | 基于可旋转波片的Mueller矩阵测试装置和方法 |
CN103837476A (zh) * | 2012-11-21 | 2014-06-04 | 中国科学院国家天文台 | 一种Mueller矩阵的自校准测量方法 |
CN103134592A (zh) * | 2013-01-31 | 2013-06-05 | 华中科技大学 | 一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法 |
CN104677835A (zh) * | 2013-11-26 | 2015-06-03 | 北京智朗芯光科技有限公司 | 一种全穆勒矩阵椭圆偏振仪的校准方法 |
CN104864815A (zh) * | 2014-02-20 | 2015-08-26 | 睿励科学仪器(上海)有限公司 | 校准椭偏测量中应力元件带来的误差影响的方法 |
CN105628343A (zh) * | 2016-01-17 | 2016-06-01 | 武汉光电工业技术研究院有限公司 | 一种波片检测装置及方法 |
CN105872403A (zh) * | 2016-06-17 | 2016-08-17 | 杭州电子科技大学 | Mueller矩阵成像的动态范围扩展装置与方法 |
CN107036713A (zh) * | 2017-05-17 | 2017-08-11 | 西安交通大学 | 图像、高分辨率强度光谱与线偏振光谱探测系统与方法 |
CN207181294U (zh) * | 2017-07-20 | 2018-04-03 | 复旦大学 | 全反射式斜入射光反射差扫描成像装置 |
CN107490547A (zh) * | 2017-07-26 | 2017-12-19 | 天津大学 | 一种Mueller矩阵型椭偏仪椭偏参数测量的优化方法 |
EP3572854A1 (en) * | 2018-05-23 | 2019-11-27 | Huazhong University of Science and Technology | Polarization modulator and polarization measurement system |
CN108956480A (zh) * | 2018-06-06 | 2018-12-07 | 西安理工大学 | 一种实时获取光谱椭偏参数的装置及方法 |
CN109459138A (zh) * | 2018-10-26 | 2019-03-12 | 天津大学 | 基于四次光强测量的Mueller型椭偏仪椭偏参数测量方法及装置 |
CN109580551A (zh) * | 2018-11-30 | 2019-04-05 | 武汉颐光科技有限公司 | 一种傅里叶变换红外穆勒矩阵椭偏仪及其测量方法 |
CN110261319A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-09-20 | 西安理工大学 | 基于四次测量Mueller矩阵光谱的装置及测量方法 |
CN110567883A (zh) * | 2019-09-23 | 2019-12-13 | 西安理工大学 | 实时测量Mueller矩阵光谱的系统及其测量方法 |
CN110579443A (zh) * | 2019-09-23 | 2019-12-17 | 西安理工大学 | 一种Mueller矩阵光谱的测量系统及其测量方法 |
CN110763341A (zh) * | 2019-11-04 | 2020-02-07 | 北京理工大学 | 一种Stokes-Mueller光谱成像系统和检测方法 |
Non-Patent Citations (12)
Title |
---|
Accuracy enhancement of dual rotating mueller matrix imaging polarimeter by diattenuation and retardance error calibration approach;Kaustav Bhattacharyya.et;《Optics Communications》;20171231;第392卷;48-53页 * |
Ellipsometric configurations using a phase retarder and a rotating polarizer and analyzer at any speed ratio;Sofyan A.Taya等;《Chinese Physics B》;20121115(第11期);第156-168页 * |
Optimization of a dual-rotating-retarder Mueller matrix polarimeter;Matthew H. Smith;《APPLIED OPTICS》;20020530;第41卷(第13期);第2488-2493页 * |
Sofyan A.Taya等.Ellipsometric configurations using a phase retarder and a rotating polarizer and analyzer at any speed ratio.《Chinese Physics B》.2012,(第11期),第156-168页. * |
Spectroscopic Mueller matrix polarimeter based on spectro-temporal modulation;NAICHENG QUAN.et;《Optics Express》;20201231;第28卷(第25期);第37758-37772页 * |
Stokes imaging spectropolarimeter based on channeled polarimetry with full-resolution spectra and aliasing reduction;CHUNMIN ZHANG.et;《Applied Optics》;20180718;第57卷(第21期);第6128-6134页 * |
Stokes polarimetry using analysis of the nonlinear voltage-retardance relationship for liquid-crystal variable retarders;J. M. López-Téllez;《REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS》;20141231;第85卷;第033104-1-12页 * |
Stokes-vector and Mueller-matrix polarimetry[Invited];R. M. A. AZZAM;《Journal of the Optical Society of America A》;20160624;第33卷(第7期);第1396-1408页 * |
侯俊峰等.基于非线性最小二乘拟合法的Mueller矩阵椭偏仪.《中国激光》.2013,(第04期),第185-192页. * |
基于Mueller矩阵成像椭偏仪的纳米结构几何参数大面积测量;陈修国等;《物理学报》;20161231;第65卷(第7期);第070703-1-11页 * |
基于非线性最小二乘拟合法的Mueller矩阵椭偏仪;侯俊峰等;《中国激光》;20130410(第04期);第185-192页 * |
用Fourier分解法测量材料表面的Mueller矩阵;吴云智等;《量子电子学报》;20071130;第24卷(第6期);第714-720页 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110261317A (zh) | 2019-09-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110261317B (zh) | 一种Mueller矩阵光谱的测量系统及方法 | |
CN1811357B (zh) | 分光偏振测定法 | |
CN104535192B (zh) | 基于旋转波片法的斯托克斯偏振仪误差标定和补偿方法 | |
US6384916B1 (en) | Parallel detecting, spectroscopic ellipsometers/polarimeters | |
CN103954360B (zh) | 一种基于偏振阵列的光谱偏振装置及探测方法 | |
US11187649B2 (en) | Method for conducting optical measurement usingfull Mueller matrix ellipsometer | |
CN102426058B (zh) | 一种静态干涉成像偏振仪及获得目标的偏振信息的方法 | |
CN110261319B (zh) | 基于四次测量Mueller矩阵光谱的装置及测量方法 | |
CN110579443B (zh) | 一种Mueller矩阵光谱的测量系统及其测量方法 | |
CN111366536A (zh) | 垂直式单光学元件旋转型穆勒矩阵成像的测量装置及方法 | |
CN107677370B (zh) | 一种通道型偏振光谱成像仪的偏振辐射标定系统以及方法 | |
CN110567883B (zh) | 实时测量Mueller矩阵光谱的方法 | |
CN103163078B (zh) | 一种提高椭偏仪测量精度的方法 | |
CN109612585A (zh) | 一种基于四分区相位延迟阵列的全光信息获取装置及方法 | |
CN114018830A (zh) | 一种基于液晶偏振光栅的线偏振方向检测方法 | |
CN113295278B (zh) | 高精度Stokes-Mueller通道光谱偏振检测系统 | |
CN109115695A (zh) | 一种各向异性体材料光学常数和欧拉角的提取方法 | |
CN108956480A (zh) | 一种实时获取光谱椭偏参数的装置及方法 | |
Gao et al. | Dual vortex retarder Mueller matrix ellipsometry | |
US3941482A (en) | Method of testing alkali halide crystals with anisotropic centers | |
CN110296941B (zh) | 一种静态快照式焦平面光谱全偏振信息探测装置及方法 | |
CN103968783B (zh) | 一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角的方法 | |
CN107314839A (zh) | 基于穆勒矩阵的应力检测装置及方法 | |
Yang et al. | Improvement of Calibration Method for a Dual-rotating Compensator Type Spectroscopic Ellipsometer | |
CN210863099U (zh) | 一种利用aotf单色光测量宽波段波片性能的装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |