CN110212118B - 显示面板及其制备方法、显示装置 - Google Patents

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Abstract

本发明实施例提供了一种显示面板及其制作方法、显示装置，涉及显示技术领域，用于提高显示面板的封装可靠性。该显示面板包括开口区、第一非显示区和显示区；开口区贯穿显示面板，第一非显示区位于开口区和显示区之间，第一非显示区围绕开口区，显示区围绕第一非显示区；显示面板包括衬底、第一功能膜层和发光功能膜层，第一功能膜层在第一非显示区发生翘曲形成凸起部。在翘曲位置具有贯穿第一功能膜层的第一开口，第一开口向凸起部内部延伸形成空腔；空腔的侧面和底面之间的夹角θ满足0<θ≤90°；发光功能膜层位于第一功能膜层远离衬底一侧，发光功能膜层包括公共层，公共层位于第一非显示区和显示区；公共层在凸起部处断开。

Description

显示面板及其制备方法、显示装置
【技术领域】
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种显示面板及其制备方法、显示装置。
【背景技术】
有机发光(Organic Light-Emitting Diode，以下简称OLED)显示面板因其具有主动发光、高对比度、无视角限制、可实现柔性显示等诸多优点而被广泛应用于显示技术领域。目前，为了提高柔性OLED显示面板的屏占比，并丰富其使用功能，通常会在显示区中设置挖孔区，以放置诸如摄像头等感光元件。
但是，挖孔区的设置会导致外界环境中的水氧容易由挖孔区进入显示区，导致显示面板存在封装失效的风险。
【发明内容】
有鉴于此，本发明实施例提供了一种显示面板及其制作方法、显示装置，用以提高显示面板的封装可靠性。
一方面，本发明实施例提供了一种显示面板，所述显示面板包括开口区、非显示区和显示区；所述开口区贯穿所述显示面板，所述非显示区包括第一非显示区，所述第一非显示区位于所述开口区和所述显示区之间，且，所述第一非显示区围绕所述开口区，所述显示区围绕所述第一非显示区；
所述显示面板包括衬底和第一功能膜层，所述第一功能膜层位于所述衬底一侧，所述第一功能膜层在所述第一非显示区发生翘曲，所述第一功能膜层在所述翘曲位置形成凸起部，所述凸起部的凸起方向朝向远离所述衬底的方向，在所述翘曲位置具有贯穿所述第一功能膜层的第一开口，所述第一开口向所述凸起部内部延伸形成空腔；所述空腔包括相互连接的底面和侧面，所述侧面和所述底面之间的夹角θ满足0<θ≤90°；
发光功能膜层，位于所述第一功能膜层远离所述衬底一侧，所述发光功能膜层包括所述公共层，公共层位于所述第一非显示区和所述显示区；所述公共层在所述凸起部处断开。
另一方面，本发明实施例提供了一种显示面板的制作方法，所述制作方法包括：
提供衬底；所述衬底包括开口区、非显示区和显示区；所述开口区贯穿所述显示面板，所述非显示区包括第一非显示区，所述第一非显示区位于所述开口区和所述显示区之间，且，所述第一非显示区围绕所述开口区，所述显示区围绕所述第一非显示区；
在所述衬底一侧形成第一功能膜层，所述第一功能膜层在所述第一非显示区发生翘曲，所述第一功能膜层在所述翘曲位置形成凸起部，所述凸起部的凸起方向朝向远离所述衬底的方向，所述凸起部远离所述衬底的所述第一功能膜层具有第一开口，所述第一开口向所述凸起部内部延伸形成空腔；所述空腔包括相互连接的底面和侧面，所述侧面和所述底面之间的夹角θ满足0<θ≤90°；
在所述第一功能膜层远离所述衬底一侧形成发光功能膜层，所述发光功能膜层包括公共层，所述公共层位于所述第一非显示区和所述显示区，所述公共层在所述凸起部处断开。
再一方面，本发明实施例提供了一种显示装置，其特征在于，包括上述的显示面板。
本发明实施例通过在第一功能膜层位于第一非显示区的部分中设置空腔，并令空腔的侧面和底面之间的夹角θ满足0<θ≤90°，由于上述夹角θ的设置，在采用蒸镀等方法在第一功能膜层远离衬底的一侧形成公共层时，底面中部分区域可以被空腔的侧面所遮挡，从而在该区域处便可以不形成公共层。由于空腔的底面中的其他区域，以及第一功能膜层的凸起部中除第一开口的位置可以正常形成公共层，因此，上述夹角θ的设置能够使公共层断开。这样，即便外界环境中的水氧等从开口区进入公共层，由于公共层在位于第一非显示区的空腔处断开，因此，水氧沿公共层从开口区经第一非显示区入侵至显示区的路径就能够被阻断，从而能够保护位于显示区内部的发光器件以及其他元件免受水氧的侵蚀，提高该显示面板的封装可靠性。
除此之外，在形成上述空腔时，本发明实施例通过使第一功能膜层在第一非显示区发生翘曲形成一凸起部，在翘曲位置形成贯穿第一功能膜层的第一开口，然后使第一开口向凸起部内部延伸形成空腔，即，采用本发明实施例提供的显示面板，可以通过调整第一功能膜层的翘曲程度，换句话说，通过调整形成于第一功能膜层的凸起部的凸起程度来调节空腔的深度。也就是说，能够使空腔的深度不受限于第一功能膜层本身的厚度。这样即便出现由于工艺或显示面板厚度的要求，无法将第一功能膜层的厚度设计的较厚的情况时，采用本发明实施例提供的显示面板也能够保证制得的空腔的深度，进而保证后续形成的公共层可以在空腔处断开，保证了该显示面板的封装可靠性。
而且，采用本发明实施例提供的显示面板，通过在第一非显示区形成上述空腔，无需改变形成包括公共层在内的发光功能膜层的工艺，而且也无需在第一非显示区额外形成封装层，即可将外界环境中的水氧从开口区经第一非显示区入侵至显示区的路径阻断，工艺简单，且有利于提高生产效率。
【附图说明】
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为本发明实施例提供的一种显示面板的示意图；
图2为图1中区域Q的一种放大示意图；
图3为图2沿BB’的一种截面示意图；
图4为图3中的空腔的一种放大示意图；
图5为本发明实施例提供的一种空腔的立体示意图；
图6为图5所示的空腔的一种截面示意图；
图7为本发明实施例提供的另一种空腔的截面示意图；
图8为本发明实施例提供的又一种空腔的截面示意图；
图9为图2沿BB’的另一种截面示意图；
图10为图2沿BB’的又一种截面示意图；
图11为图2沿BB’的又一种截面示意图；
图12为本发明实施例提供的又一种空腔的截面示意图；
图13为本发明实施例提供的一种显示面板的制作方法的流程示意图；
图14为本发明实施例提供的一种显示面板的制作方法的结构流程示意图；
图15为本发明实施例提供的另一种显示面板的制作方法的结构流程示意图；
图16为本发明实施例提供的又一种显示面板的制作方法的结构流程示意图；
图17为本发明实施例提供的又一种显示面板的制作方法的结构流程示意图；
图18为本发明实施例提供的又一种显示面板的制作方法的结构流程示意图；
图19为本发明实施例提供的一种显示装置的示意图。
【具体实施方式】
为了更好的理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明实施例进行详细描述。
应当明确，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本发明。在本发明实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。
应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
应当理解，尽管在本发明实施例中可能采用术语第一、第二、第三等来描述功能膜层，但这些功能膜层不应限于这些术语。这些术语仅用来将功能膜层彼此区分开。例如，在不脱离本发明实施例范围的情况下，第一功能膜层也可以被称为第二功能膜层，类似地，第二功能膜层也可以被称为第一功能膜层。
本发明实施例提供了一种显示面板，如图1所示，图1为本发明实施例提供的一种显示面板的示意图，显示面板包括开口区H、非显示区NA和显示区AA；其中，非显示区NA包括第一非显示区NA1和第二非显示区NA2，第一非显示区NA1位于开口区H和显示区AA之间，且，第一非显示区NA1围绕开口区H，显示区AA围绕第一非显示区NA1，第二非显示区NA2环绕显示区AA。
如图2和图3所示，图2为图1中区域Q的一种放大示意图，图3为图2沿BB’的一种截面示意图，其中，显示面板包括衬底1、第一功能膜层21和发光功能膜层3。第一功能膜层21和发光功能膜层3在衬底1的一侧层叠设置。即，第一功能膜层21位于衬底1的一侧，发光功能膜层3位于第一功能膜层21远离衬底1的一侧。
需要说明的是，开口区H可以设置诸如摄像头和光电传感器等装置，丰富显示面板的使用功能。示例性的，如图3所示，开口区H贯穿显示面板。需要说明的是，此处开口区H贯穿显示面板指的是，在开口区H所在的位置处不设置第一功能膜层21和发光功能膜层3。可选的，本发明实施例可以在开口区H所在的位置处不设计衬底1，即，将衬底1在开口区H处切割掉，如图3所示，以在开口区H处形成通孔。或者，在开口区H所在的位置处也可以设计衬底1，即，将开口区H处形成盲孔，本发明实施例对此不做限定。
如图3所示，第一功能膜层21在第一非显示区NA1发生翘曲，第一功能膜层21在翘曲位置形成凸起部210，凸起部210的凸起方向朝向远离衬底1的方向，即，凸起部210的凸起方向沿图中方向z。具体的，如图3所示，第一功能膜层21发生翘曲形成凸起部210的位置处的厚度与第一功能膜层21的其他位置处的厚度相等。在翘曲位置，第一功能膜层21朝向远离衬底1的方向(即图3中方向z)凸起，与位于第一功能膜层21下方的衬底1分离，即翘曲为膜层之间发生相互分离的现象。
如图3所示，第一功能膜层21在翘曲位置具有第一开口211，第一开口211贯穿第一功能膜层21。第一开口211向凸起部210内部延伸形成空腔4。其中，凸起部210的内部为形成凸起部210的第一功能膜层21与衬底1之间的部分。也就是说，第一开口211的延伸方向为第一开口211指向衬底1的方向，即，图3中方向z的反方向。如图4所示，图4为图3中的空腔的一种放大示意图，其中，空腔4包括相互连接的底面41和侧面42，侧面42和底面41之间的夹角θ满足0<θ≤90°。
继续参照图3，上述发光功能膜层3包括公共层30，公共层30位于第一非显示区NA1和显示区AA；且，公共层30在凸起部210所在位置处断开。
示例性的，上述发光功能膜层3包括层叠设置的第一电极、空穴传输层、空穴注入层、发光层、电子传输层、电子注入层和第二电极。在该显示面板进行显示时，第一电极和第二电极产生的空穴和电子注入到与发光层中，二者复合产生激子，激子辐射从激发态跃迁到基态，使得发光层发出相应颜色的光。而且，本实施例通过设置电子传输层、电子注入层、空穴注入层和空穴传输层能够提高载流子的复合效率并平衡载流子的注入和传输。
示例性的，上述公共层30包括空穴传输层、空穴注入层、发光层、电子传输层和电子注入层中的一种或多种。由于空穴传输层、空穴注入层、发光层、电子传输层和电子注入层通常为由有机材料形成的有机层，而有机层阻隔水氧的效果较差，当有外界环境中的水氧入侵时，水氧容易沿着有机层向显示面板内部传输，使有机层成为水氧入侵的路径。本发明实施例通过在第一功能膜层21位于第一非显示区NA1的部分中设置空腔4，并令空腔4的侧面42和底面41之间的夹角θ满足0<θ≤90°，由于上述夹角θ的设置，如图3和图4所示，空腔4的底面41中区域C处由于与侧面42的正投影重叠，其中，该区域C属于空腔4的底面41的一部分，且，该区域C落入空腔4的侧面42在底面41的正投影的范围内。因此，在采用蒸镀等方法在第一功能膜层21远离衬底1的一侧形成公共层30时，底面41中区域C处可以被空腔4的侧面42所遮挡，从而在区域C处便可以不形成公共层30。由于空腔4的底面41中除区域C之外的区域，以及第一功能膜层21的凸起部210中除第一开口211的位置可以正常形成公共层30，因此，上述夹角θ的设置能够使公共层30在区域C处断开。这样，即便外界环境中的水氧等从开口区H进入公共层30，由于公共层30在位于第一非显示区NA1的空腔4处断开，因此，水氧沿公共层30从开口区H经第一非显示区NA1入侵至显示区AA的路径就能够被阻断，从而能够保护位于显示区AA内部的发光器件以及其他元件免受水氧的侵蚀，提高该显示面板的封装可靠性。
除此之外，在形成上述空腔4时，本发明实施例通过使第一功能膜层21在第一非显示区NA1发生翘曲形成一凸起部210，在翘曲位置形成贯穿第一功能膜层21的第一开口211，然后第一开口211向凸起部210的内部延伸形成空腔4，需要说明的是，第一开口为第一功能膜层镂空的部分，第一开口211向凸起部210的内部延伸形成空腔4，只是镂空的结构经过第一开口向凸起部210内部延伸，凸起部内部形成具有镂空结构形成空腔，即第一功能膜层的第一开口，凸起部内部形成镂空结构，即第一开口与凸起部内部的镂空结构(空腔)是连通的。采用本发明实施例提供的显示面板，可以通过调整第一功能膜层21的翘曲程度，换句话说，通过调整形成于第一功能膜层21的凸起部210的凸起程度来调节空腔4的深度。也就是说，能够使空腔4的深度不受限于第一功能膜层21本身的厚度。这样即便出现由于工艺或显示面板厚度的要求，无法将第一功能膜层21的厚度设计的较厚的情况时，采用本发明实施例提供的显示面板也能够保证制得的空腔4的深度，进而保证后续形成的公共层30可以在空腔处断开，保证了该显示面板的封装可靠性。
而且，采用本发明实施例提供的显示面板，通过在第一非显示区NA1形成上述空腔4，无需改变形成包括公共层30在内的发光功能膜层3的工艺，而且也无需在第一非显示区NA1额外形成封装层，即可将外界环境中的水氧从开口区经第一非显示区NA1入侵至显示区AA的路径阻断，工艺简单，且有利于提高生产效率。
示例性的，如图2和图3所示，本发明实施例通过将上述空腔4设置在显示区AA与开口区H之间的第一非显示区NA1，能够使公共层30在第一非显示区NA1中断开，进而能够避免外界环境中的水氧通过公共层30经第一非显示区NA1入侵至显示区AA。
示例性的，如图2所示，在显示区AA环绕开口区H时，本发明实施例通过将空腔4设置为环形结构，使空腔4环绕开口区H，能够使公共层也沿开口区H外围的一圈断开，从而外界环境中的水氧从开口区H向显示区AA入侵时，不论水氧沿哪条路径移动，空腔4的设置都可以将其移动路径阻断，从而保证该显示面板的封装可靠性。
示例性的，如图3所示，沿垂直于衬底1的方向z，公共层30的厚度d1小于空腔4的深度d2，以保证公共层30能够在空腔4处断开。
示例性的，如图3所示，上述公共层30包括断开的第一部分31和第二部分32，第一部分31覆盖第一功能膜层21远离衬底1的表面，第二部分32位于空腔4内。在实际的制程工艺中，第一部分31和第二部分32可以采用同一工艺制程形成。由于空腔4的设置，使得公共层30可以在空腔4处断开形成位于空腔内的第二部分32和位于空腔外的第一部分31，断开的第一部分31和第二部分32能够保证从开口区H进入的水氧无法在第一部分31和第二部分32之间传输，从而使外界环境中的水氧无法入侵至显示区AA。
示例性的，上述公共层30中的断开位置可以为至少两个。如图3所示，其中，第一部分31可以包括分别位于第二部分32的两侧的第一段311和第二段312，第一段311位于第二部分32靠近开口区H的一侧，第二段312位于第二部分32靠近显示区AA的一侧。本发明实施例通过令第一段311和第二部分32断开，能够避免外界环境中的水氧从开口区H经第一段311入侵至第二部分32。而且，本发明实施例通过令第二部分32和第二段312断开，还可以将水氧从第二部分32入侵至显示区AA的路径阻断，从而进一步提高该显示面板的封装可靠性。
如图3所示，在本发明实施例中，第一部分31和第二部分32的厚度均为d1。且，第一部分31和第二部分32的厚度d1小于空腔4的深度d2，以保证第一部分31和第二部分32能够在空腔4处断开。具体的，如图3所示，第二部分32远离衬底1的表面到衬底1的垂直距离d1小于第一部分31靠近衬底1的表面到衬底1的垂直距离d2，即，第二部分32远离衬底1的表面和第一部分31靠近衬底1的表面之间不接触，二者之间存在距离，以使第一部分31和第二部分32之间不连接，保证二者能够完全断开，即完全断开水氧入侵路径。
如图5和图6所示，图5为本发明实施例提供的一种空腔的立体示意图，图6为图5所示的空腔的一种截面示意图，其中，空腔4的侧面包括依次相连的第一侧面421、第二侧面422和第三侧面423。第一侧面421与第二侧面422相交于第一交线5，第一侧面421自第一交线5起向远离衬底1的方向z延伸至第一功能膜层21远离衬底1一侧的表面。第二侧面422平行于空腔4的底面41。第三侧面423与空腔4的底面41连接，第三侧面423与空腔4的底面41之间的夹角θ满足0<θ≤90°。
本发明实施例通过在空腔4中设置第二侧面422，由于第二侧面422在衬底所在平面的正投影与空腔4的底面交叠，如图6中区域D所示，因此，在采用蒸镀等方法形成公共层时，在空腔4的底面41中位于区域D的位置处也不会形成公共层。与具有图4所示结构的空腔4相比，本发明实施例通过在空腔4中设置第二侧面422，能够增加空腔4的底面41中不形成公共层的区域的面积，从而能够提高公共层在空腔4处被断开的可能性，能够进一步保证该显示面板的封装可靠性。
如图6所示，第一功能膜层21的凸起部210包括相互连接的侧部214和顶部215，其中，侧部214靠近衬底的表面2110即为空腔4的第三侧面423。顶部215靠近衬底的表面2120即为空腔4的第二侧面422。顶部215还包括靠近第一开口211的侧面2121，该侧面2121与顶部靠近衬底的表面2120相交，该侧面2121即为空腔4的第一侧面421。
示例性的，如图7所示，图7为本发明实施例提供的另一种空腔的截面示意图，其中，第一非显示区NA1还包括第二功能膜层22，第二功能膜层22位于空腔4内，且附着于第一功能膜层21。
具体的，如图7所示，沿垂直于衬底的方向z，第二功能膜层22包括相对设置的第一表面221和第二表面222，第一表面221位于第二功能膜层22靠近衬底1的一侧，第二表面222位于第二功能膜层22远离衬底1的一侧。沿平行于衬底的方向，第二功能膜层22包括相对设置的第三表面223和第四表面224，第三表面223和第四表面224与第一表面221和第二表面222相交。第三表面223位于第二功能膜层22靠近空腔4的一侧，第四表面224位于第二功能膜层22远离空腔4的一侧。
第二功能膜层22的第二表面222与第一功能膜层21的顶部215的表面2120接触。此时，在通过第一功能膜层21和第二功能膜层22来共同形成空腔4时，如图7所示，第一功能膜层21的顶部215的侧面2121和第二功能膜层22的第三表面223共同构成空腔4的第一侧面421。第二功能膜层22的第一表面221构成空腔4的第二侧面422。第一功能膜层21的侧部214的靠近衬底的表面2110中不与第二功能膜层22接触的部分为空腔4的第三侧面423。第二功能膜层22的设置能够对形成于第一功能膜层21的凸起部起到支撑作用，能够更好地保证凸起部的形貌。
如图8所示，图8为本发明实施例提供的又一种空腔的截面示意图，第一非显示区NA1还包括第三功能膜层23，第三功能膜层23位于空腔4与衬底1之间。如图8所示，此时第二功能膜层22和第三功能膜层23之间形成有空腔4。沿垂直于衬底的方向z，第三功能膜层23包括相对设置的第一表面231和第二表面232，第一表面231位于第三功能膜层23靠近衬底1的一侧，第二表面232位于第三功能膜层23远离衬底1的一侧。其中，第三功能膜层的第二表面232构成空腔4的底面41。第一功能膜层21的侧部214的靠近衬底的表面2110中不与第二功能膜层22和第三功能膜层23接触的部分构成空腔的第三侧面423。
示例性的，如图9所示，图9为图2沿BB’的另一种截面示意图，显示面板还包括位于显示区AA的驱动电路层5，驱动电路层5位于衬底1和公共层30之间。驱动电路层5包括薄膜晶体管51和钝化层52，薄膜晶体管51包括同层设置的源极511和漏极512，钝化层52位于源极511靠近公共层30的一侧。其中，第一功能膜层21和钝化层52采用同一道构图工艺形成。第二功能膜层22、第三功能膜层23和源极511采用同一道构图工艺形成。这样在制作时，可在制作位于显示区的驱动电路层5时，同时完成对位于第一非显示区NA1的第一功能膜层21、第二功能膜层22和第三功能膜层23的制作，有利于简化制作工序。
如图10所示，图10为图2沿BB’的又一种截面示意图，第一非显示区NA1还包括有机层6，有机层6位于第一功能膜层21和公共层30之间，且，有机层6与公共层30接触；有机层6远离衬底1的表面平行于衬底1所在平面。在保证形成于第一非显示区NA1的空腔能够将公共层30断开的基础上，有机层6的设置能够使具有凸起部210的第一功能膜层21的结构更加稳定，并能起到平坦化显示面板中的膜层的作用。
示例性的，如图11所示，图11为图2沿BB’的又一种截面示意图，显示面板还包括封装层7和阻挡部8，封装层7覆盖公共层30，封装层7包括层叠设置的至少一层无机封装层71和至少一层有机封装层72。阻挡部8位于第一非显示区NA1，如图11所示，可以将阻挡部8设置于凸起部210靠近显示区AA的一侧，或者，也可以将阻挡部8设置于凸起部210靠近开口区H的一侧。如图11所示，有机封装层72的边缘与阻挡部8靠近显示区AA的侧面接触。在本发明实施例中，阻挡部8的设置能够避免使有机封装层72跨过阻挡部8，从而能够避免有机封装层72与外界环境中的水氧接触，能够进一步保证该显示面板的封装可靠性。可选的，上述阻挡部8的数量可以为多个。
示例性的，上述第一开口211的数量也可以为多个，多个第一开口211沿显示区AA指向开口区H的方向排列。可选的，如图12所示，图12为本发明实施例提供的又一种空腔的截面示意图，可以将凸起部210的数量设置为多个，每个凸起部210中设置一个第一开口211，多个凸起部210沿显示区AA指向开口区H的方向排列。或者，也可以将凸起部210的数量设置为一个，在一个凸起部210中设置多个第一开口(图中未示出)，以使公共层30在第一非显示区NA1的多个位置处断开，进一步提高该显示面板的封装可靠性。
本发明实施例还提供了一种显示面板的制作方法，结合图1、图13和图14所示，图13为本发明实施例提供的一种显示面板的制作方法的流程示意图，图14为本发明实施例提供的一种显示面板的制作方法的结构流程示意图，该制作方法包括：
步骤S1：提供衬底1；衬底1包括开口区H、非显示区NA和显示区AA；非显示区NA包括第一非显示区NA1和第二非显示区NA2，第一非显示区NA1位于开口区H和显示区AA之间，且，第一非显示区NA1围绕开口区H，显示区AA围绕第一非显示区NA1；第二非显示区NA2围绕显示区AA。开口区H贯穿显示面板。
步骤S2：在衬底1的一侧形成第一功能膜层21，第一功能膜层21在第一非显示区NA1发生翘曲，第一功能膜层21在翘曲位置形成凸起部210，凸起部210的凸起方向朝向远离衬底1的方向z。凸起部210远离衬底1的第一功能膜层21具有第一开口211，第一开口211向凸起部210内部延伸形成空腔4；空腔4包括相互连接的底面41和侧面42，侧面42和底面41之间的夹角θ满足0<θ≤90°。
步骤S3：在第一功能膜层21远离衬底1一侧形成发光功能膜层3，发光功能膜层3包括公共层30，公共层30位于第一非显示区NA1和显示区AA，公共层30在凸起部210处断开。
示例性的，如图15所示，图15为本发明实施例提供的另一种显示面板的制作方法的结构流程示意图，其中，上述步骤S2中，在衬底1的一侧形成第一功能膜层21，第一功能膜层21在衬底1的一侧发生翘曲形成凸起部210，在凸起部210形成空腔4，包括：
步骤S21：在衬底1的一侧形成第一功能膜层21，使第一功能膜层21在衬底1的一侧发生翘曲形成凸起部210。
步骤S22：在凸起部210远离衬底1的一侧形成第一开口211，沿垂直于衬底1的方向z，第一开口211的深度H211小于凸起部210的高度H210。
步骤S23：在凸起部210中形成与第一开口211连通的空腔4，空腔4位于第一开口211靠近衬底1的一侧；第一开口211靠近衬底1的一侧的面积S1小于等于空腔4靠近公共层30的一侧的面积S2。第一开口211靠近衬底1的一侧的面积S1为第一开口211在衬底1所在平面的正投影的面积。空腔4靠近公共层30的一侧的面积为空腔4靠近公共层的一侧在衬底1所在平面的正投影的面积。
本发明实施通过令第一开口211靠近衬底1的一侧的面积S1小于等于空腔4靠近公共层30的一侧的面积S2，以制备出具有如图5和图6所示结构的空腔，其中，空腔4的侧面包括依次相连的第一侧面421、第二侧面422和第三侧面423；第一侧面421与第二侧面422相交于第一交线5，第一侧面421自第一交线5起向远离衬底1的方向延伸至第一功能膜层21远离衬底1一侧的表面；第一开口211的侧壁为空腔4的第一侧面421。采用上述方法能够使空腔4超出第一开口211的部分用于形成空腔4的第二侧面422，能够增大空腔4的底面41中不形成公共层的区域的面积，以提高公共层在空腔处断开的可能性。
示例性的，如图8所示，上述第一非显示区NA1还包括第二功能膜层22和第三功能膜层23。在制作具有该结构的空腔时，具体的，如图16所示，图16为本发明实施例提供的又一种显示面板的制作方法的结构流程示意图，其中，在进行上述步骤S21，在衬底1的一侧形成第一功能膜层21，第一功能膜层21在衬底1的一侧发生翘曲形成凸起部210，包括：
步骤S211：在衬底1的同一侧层叠设置第三功能膜层23、中间层24和第二功能膜层22；第二功能膜层22位于中间层远离衬底1一侧，第三功能膜层23位于中间层靠近衬底1一侧；其中，中间层24的高度大于后续需形成的公共层30的高度。
步骤S212：图案化第三功能膜层23、中间层24和第二功能膜层22，使第三功能膜层23、中间层24和第二功能膜层22的侧面与底面之间的夹角θ满足0<θ≤90°。
步骤S213：在第二功能膜层22远离衬底的一侧形成第一功能膜层21。其中，第一功能膜层21与第二功能膜层22、中间层24和第三功能膜层23交叠的位置形成凸起部210。
采用上述步骤S211～S213，能够通过第二功能膜层22、中间层24和第三功能膜层23的设置使第一功能膜层21在第一非显示区NA1形成凸起部210，且，凸起部210的形貌的设计可以通过对第二功能膜层22、中间层24和第三功能膜层23的形貌的调整来实现，简单易操作。
继续参照图16，上述步骤S22中在凸起部210远离衬底1的一侧形成第一开口211，包括：
步骤S221：图案化第一功能膜层21和第二功能膜层22，形成贯穿第一功能膜层21的第一开口211和第二功能膜层22的第二开口212；第一开口211和第二开口212在衬底1所在平面的正投影的面积小于第二功能膜层22在衬底1所在平面的正投影的面积S4。也就是说，使第二功能膜层22在形成第二开口212之后仍有保留。其中，第二功能膜层22中未形成第二开口212的区域对应后续形成的空腔4的第二侧面422。
上述步骤S23：在凸起部210中形成与第一开口211和第二开口212连通的空腔4，包括：
S231：通过第一开口211和第二开口212，去除中间层24，形成位于第二功能膜层22和第三功能膜层23之间且由第一功能膜层21所围成的与第一开口211和第二开口212连通的空腔4。
本发明实施例首先通过图案化第二功能膜层22、中间层24和第三功能膜层23，使第三功能膜层23、中间层24和第二功能膜层22的侧面与底面之间的夹角θ满足0<θ≤90°，这样在第二功能膜层22远离衬底的一侧形成第一功能膜层21时，第一功能膜层21依附在第二功能膜层22之上可使第一功能膜层21将第二功能膜层22、第三功能膜层23和中间层24均包裹在第一功能膜层21和衬底1之间。然后，后续在第一功能膜层21和第二功能膜层22上形成第一开口211后，通过去除中间层24便可形成与第一开口211和第二开口212连通的空腔4。采用本发明实施例提供的方法，能够将空腔4的形成限制在第一功能膜层21内部进行，这样，无论是采用刻蚀液，还是其他的方法刻蚀膜层形成空腔时，通过该方法能够将刻蚀的范围限制在第一功能膜层21内部，能够避免影响其他无需进行刻蚀的膜层。
而且，本发明实施例通过去除中间层24形成空腔4，通过调整中间层24的厚度便可调节所需形成的空腔4的深度，简单易操作。
示例性的，如图16所示，在进行步骤S221：图案化第一功能膜层21和第二功能膜层22，形成贯穿第一功能膜层21的第一开口和贯穿第二功能膜层22的第二开口212时，第一开口211与第二开口212可以采用同一刻蚀工艺，以简化制作工序。
示例性的，如17所示，第一开口211和第二开口212在衬底1所在的平面的正投影交叠，以便于后续通过第一开口211和第二开口212形成与第一开口211和第二开口212连通的空腔4。
可选的，上述图案化第一功能膜层21和第二功能膜层22，形成贯穿第一功能膜层21的第一开口211和贯穿第二功能膜层22的第二开口的方法为干法刻蚀。通过第一开口211和第二开口212，去除中间层24的方法为湿法刻蚀。本发明实施例通过采用干法刻蚀来刻蚀第一功能膜层21和第二功能膜层22，能够更好地保证刻蚀的精度，避免出现过刻蚀而损坏其他无需刻蚀区域的膜层。而由于中间层24被第一功能膜层21所包围，因此，本发明实施例通过选用湿法刻蚀来去除中间层24，通过选择合适的刻蚀液能够将中间层24去除而不影响与中间层24接触的第一功能膜层21、第二功能膜层22和第三功能膜层23，且，由于第一功能膜层21的包围，也能够避免刻蚀液流到第一功能膜层21之外的区域，在提高刻蚀速率的基础上，还能够避免损坏显示面板中其他无需刻蚀区域的膜层。
示例性的，在制作如图9所示的显示面板时，可以采用图17所示的方法，如图17所示，图17为本发明实施例提供的又一种显示面板的制作方法的结构流程示意图，其中，该制备方法还包括：
步骤S01：在衬底1的一侧形成驱动电路层5的源极511和漏极512。与此同时，可以形成上述第二功能膜层22、第三功能膜层23、中间层24。也就是说，将第二功能膜层22、第三功能膜层23、中间层24和源极511采用同一道构图工艺形成。示例性的，源极511和漏极512可以采用Ti/Al/Ti合金制成，以提高其导电性。相应的，第三功能膜层23可以为Ti，中间层24可以为Al，第二功能膜层22可以为Ti。并且，Ti的设置还能够对Al起到保护作用，在对第一功能膜层21和第二功能膜层22进行刻蚀形成上述第一开口211和第二开口212的过程中，Ti的设置能够避免Al受到刻蚀影响，从而能够在还未对Al进行刻蚀时保护由Al形成的中间层24的形貌，进而使形成的凸起部的形貌更为稳定可控。
步骤S02：在源极511远离衬底1的一侧形成钝化层52。与此同时，可以在第二功能膜层22远离衬底1的一侧形成第一功能膜层21。也就是说，使第一功能膜层21和钝化层52采用同一道构图工艺形成，以在提高封装可靠性的基础上，简化该显示面板的制作工序。
可选的，在制作具有如图10所示结构的显示面板时，可以采用图18所示的方法，如图18所示，图18为本发明实施例提供的又一种显示面板的制作方法的结构流程示意图，在制作包括有机层6的显示面板时，在进行上述步骤S213，在图案化的第二功能膜层22远离衬底1的一侧形成第一功能膜层21，之后，在进行上述步骤S221：在图案化第一功能膜层21和第二功能膜层22，形成贯穿第一功能膜层21的第一开口211和第二功能膜层22的第二开口212，之前还包括：
步骤S220：形成覆盖第一功能膜层21的有机层6；有机层6远离第三功能膜层23的表面平行于衬底1所在平面。有机层6的设置能够使具有凸起部的第一功能膜层21的结构更加稳定，并能起到平坦化显示面板中的膜层的作用。
步骤S2201：图案化有机层6，形成贯穿有机层6的第三开口213；然后，通过第三开口213在第一功能膜层21和第二功能膜层22中形成第一开口211和第二开口212，使第三开口213与第一开口211在衬底1所在平面的正投影交叠。示例性的，如图18所示，可以将第三开口213和第一开口211、第二开口212同步形成，以简化工艺流程。
后续可继续进行图16所示的步骤S231，以形成空腔4。
本发明实施例还提供了一种显示装置，如图19所示，图19为本发明实施例提供的一种显示装置的示意图，其中，该显示装置包括上述的显示面板100，以及位于第一显示区域的感光元件200，例如摄像头、传感器(光线传感器、距离传感器、虹膜识别传感器、指纹识别传感器)。其中，显示面板100的具体结构已经在上述实施例中进行了详细说明，此处不再赘述。当然，图19所示的显示装置仅仅为示意说明，该显示装置可以是例如手机、平板计算机、笔记本电脑、电纸书或电视机等任何具有显示功能的电子设备。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明保护的范围之内。

Claims (20)

1.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括开口区、非显示区和显示区；所述开口区贯穿所述显示面板，所述非显示区包括第一非显示区，所述第一非显示区位于所述开口区和所述显示区之间，且，所述第一非显示区围绕所述开口区，所述显示区围绕所述第一非显示区；
所述显示面板包括衬底和第一功能膜层，所述第一功能膜层位于所述衬底一侧，所述第一功能膜层在所述第一非显示区发生翘曲，所述第一功能膜层在所述翘曲位置形成凸起部，所述凸起部的凸起方向朝向远离所述衬底的方向，在所述翘曲位置具有贯穿所述第一功能膜层的第一开口，所述第一开口向所述凸起部内部延伸形成空腔；所述空腔包括相互连接的底面和侧面；
所述空腔的侧面包括依次相连的第一侧面、第二侧面和第三侧面；所述第一侧面与所述第二侧面相交于第一交线，所述第一侧面自所述第一交线起向远离所述衬底的方向延伸至所述第一功能膜层远离所述衬底一侧的表面；
所述第二侧面平行于所述空腔的底面；所述第三侧面与所述空腔的底面连接，并且所述第三侧面与所述空腔的底面之间的夹角θ满足0<θ≤90°；
发光功能膜层，位于所述第一功能膜层远离所述衬底一侧，所述发光功能膜层包括公共层，所述公共层位于所述第一非显示区和所述显示区；所述公共层在所述凸起部处断开。
2.根据权利要求1所述的显示面板，所述空腔位于所述显示区与所述开口区之间，所述空腔为环形结构，所述空腔环绕所述开口区。
3.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，
沿垂直于所述衬底的方向，所述公共层的厚度小于所述空腔的深度。
4.根据权利要求3所述的显示面板，其特征在于，
所述公共层包括断开的第一部分和第二部分，所述第一部分覆盖所述第一功能膜层远离所述衬底的表面，所述第二部分位于所述空腔内，所述第一部分和所述第二部分采用同一工艺制程形成；
所述第一部分和所述第二部分的厚度相等，所述第二部分的厚度小于所述空腔的深度，所述第二部分远离所述衬底的表面到所述衬底的垂直距离小于所述第一部分靠近所述衬底的表面到所述衬底的垂直距离。
5.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，
所述第一非显示区还包括第二功能膜层，所述第二功能膜层位于所述空腔内，且附着于所述第一功能膜层。
6.根据权利要求5所述的显示面板，其特征在于，
所述第一非显示区还包括第三功能膜层，所述第三功能膜层位于所述空腔与所述衬底之间，所述第三功能膜层与所述空腔的底面接触。
7.根据权利要求6所述的显示面板，其特征在于，
所述显示面板还包括位于所述显示区的驱动电路层，所述驱动电路层位于所述衬底和所述公共层之间；
所述驱动电路层包括薄膜晶体管和钝化层，所述薄膜晶体管包括同层设置的源极和漏极，所述钝化层位于所述源极靠近所述公共层的一侧；
所述第一功能膜层和所述钝化层采用同一道构图工艺形成；
所述第二功能膜层、所述第三功能膜层和所述源极采用同一道构图工艺形成。
8.根据权利要求5所述的显示面板，其特征在于，
所述第一非显示区还包括有机层，所述有机层位于所述第一功能膜层和所述公共层之间，且，所述有机层与所述公共层接触；
所述有机层远离所述衬底的表面平行于所述衬底所在平面。
9.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，
所述显示面板还包括封装层和阻挡部，所述封装层覆盖所述公共层，所述封装层包括层叠设置的至少一层无机封装层和至少一层有机封装层；
所述阻挡部位于所述第一非显示区，所述阻挡部位于所述凸起部靠近所述显示区的一侧，或者，所述阻挡部位于所述凸起部靠近所述开口区的一侧；
所述有机封装层的边缘与所述阻挡部靠近所述显示区的侧面接触。
10.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，
所述发光功能膜层包括层叠设置的第一电极、空穴传输层、空穴注入层、发光层、电子传输层、电子注入层和第二电极；
所述公共层包括所述空穴传输层、所述空穴注入层、所述发光层、所述电子传输层和所述电子注入层。
11.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，
所述第一开口的数量为多个，多个所述第一开口沿所述显示区指向所述开口区的方向排列。
12.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，
所述凸起部的数量为多个，多个所述凸起部沿所述显示区指向所述开口区的方向排列。
13.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求1-12任一项所述的显示面板。
14.一种显示面板的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：
提供衬底；所述衬底包括开口区、非显示区和显示区；所述开口区贯穿所述显示面板，所述非显示区包括第一非显示区，所述第一非显示区位于所述开口区和所述显示区之间，且，所述第一非显示区围绕所述开口区，所述显示区围绕所述第一非显示区；
在所述衬底一侧形成第一功能膜层，所述第一功能膜层在所述第一非显示区发生翘曲，所述第一功能膜层在所述翘曲位置形成凸起部，所述凸起部的凸起方向朝向远离所述衬底的方向，所述凸起部远离所述衬底的所述第一功能膜层具有第一开口，所述第一开口向所述凸起部内部延伸形成空腔；所述空腔包括相互连接的底面和侧面；
所述空腔的侧面包括依次相连的第一侧面、第二侧面和第三侧面；所述第一侧面与所述第二侧面相交于第一交线，所述第一侧面自所述第一交线起向远离所述衬底的方向延伸至所述第一功能膜层远离所述衬底一侧的表面；
所述第一开口的侧壁为所述空腔的第一侧面，所述第三侧面与所述空腔的底面之间的夹角θ满足0<θ≤90°；
在所述第一功能膜层远离所述衬底一侧形成发光功能膜层，所述发光功能膜层包括公共层，所述公共层位于所述第一非显示区和所述显示区，所述公共层在所述凸起部处断开。
15.根据权利要求14所述的制作方法，其特征在于，
所述第一功能膜层在所述衬底的一侧发生所述翘曲形成所述凸起部，在所述凸起部形成空腔，包括：
在所述凸起部远离所述衬底的所述第一功能膜层形成所述第一开口，沿垂直于所述衬底的方向，所述第一开口的深度小于所述凸起部的高度；
在所述凸起部中形成与所述第一开口连通的所述空腔，所述空腔位于所述第一开口靠近所述衬底的一侧；所述第一开口靠近所述衬底的一侧的面积小于等于所述空腔靠近所述公共层的一侧的面积。
16.根据权利要求14所述的制作方法，其特征在于，
所述第一非显示区还包括第二功能膜层和第三功能膜层；
使所述第一功能膜层在所述衬底的一侧发生所述翘曲形成所述凸起部，包括：
在所述衬底的同一侧层叠设置所述第三功能膜层、中间层和所述第二功能膜层；所述第二功能膜层位于所述中间层远离所述衬底一侧，所述第三功能膜层位于所述中间层靠近衬底一侧；所述中间层的高度大于所述公共层的高度；
在所述凸起部远离所述衬底的一侧形成所述第一开口，包括：
图案化所述第一功能膜层和所述第二功能膜层，形成贯穿所述第一功能膜层的所述第一开口和所述第二功能膜层的第二开口；所述第一开口和所述第二开口在所述衬底所在平面的正投影的面积小于所述第二功能膜层在所述衬底所在平面的正投影的面积；
在所述凸起部中形成与所述第一开口和所述第二开口连通的所述空腔，包括：
通过所述第一开口和所述第二开口，去除所述中间层，形成位于所述第二功能膜层和所述第三功能膜层之间且由所述第一功能膜层所围成的与所述第一开口和所述第二开口连通的所述空腔。
17.根据权利要求16所述的制作方法，其特征在于，还包括：
在所述衬底的一侧形成驱动电路层，所述驱动电路层位于所述显示区，所述驱动电路层包括薄膜晶体管和钝化层，所述薄膜晶体管包括源极和漏极，所述源极和所述漏极同层设置；所述钝化层位于所述源极远离所述衬底的一侧；
所述第一功能膜层和所述钝化层采用同一道构图工艺形成；所述第二功能膜层、所述第三功能膜层、所述中间层和所述源极采用同一道构图工艺形成。
18.根据权利要求16所述的制作方法，其特征在于，
所述第一开口位于所述第一功能膜层，所述第二开口位于所述第二功能膜层；
图案化所述第一功能膜层，形成贯穿所述第一功能膜层的所述第一开口；
图案化所述第二功能膜层，形成贯穿所述第二功能膜层的所述第二开口；所述第一开口与所述第二开口采用同一刻蚀工艺，所述第二开口和所述第一开口在所述衬底所在的平面的正投影交叠。
19.根据权利要求16所述的制作方法，其特征在于，
图案化所述第一功能膜层和所述第二功能膜层，形成贯穿所述第一功能膜层的所述第一开口和贯穿所述第二功能膜层的所述第二开口的方法为干法刻蚀；
通过所述第一开口和所述第二开口，去除所述中间层的方法为湿法刻蚀。
20.根据权利要求16所述的制作方法，其特征在于，
在所述凸起部远离所述衬底一侧制备有机层，所述有机层位于所述第一功能膜层和所述公共层之间；且，所述有机层与所述公共层接触；
在图案化的所述第二功能膜层远离所述衬底的一侧形成所述第一功能膜层，之后，在图案化所述第一功能膜层和所述第二功能膜层，形成贯穿所述第一功能膜层的所述第一开口和所述第二功能膜层的所述第二开口，之前还包括：
形成覆盖第一功能膜层的有机层；所述有机层远离所述第三功能膜层的表面平行于所述衬底所在平面；
图案化所述有机层，形成贯穿所述有机层的第三开口；所述第三开口与所述第一开口在所述衬底所在平面的正投影交叠。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110867475B (zh) * 2019-11-26 2023-09-29 京东方科技集团股份有限公司 电致发光显示基板及其制备方法、电致发光显示装置
CN110993660B (zh) * 2019-11-29 2022-10-11 武汉天马微电子有限公司 一种显示面板及显示装置
CN111244117B (zh) * 2020-04-24 2020-07-28 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板及其制作方法、显示装置
CN112018045B (zh) * 2020-08-14 2022-11-04 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板
JP2022072381A (ja) * 2020-10-29 2022-05-17 東京エレクトロン株式会社 有機ｅｌパネルの製造方法及び有機ｅｌパネル
JP7442419B2 (ja) 2020-10-29 2024-03-04 東京エレクトロン株式会社 有機ｅｌパネルの製造方法
CN112582432B (zh) * 2020-12-10 2023-10-13 昆山国显光电有限公司 阵列基板、阵列基板的制作方法和显示面板
CN114188493A (zh) * 2021-11-29 2022-03-15 惠州华星光电显示有限公司 显示面板及显示装置
CN114141793A (zh) * 2021-11-30 2022-03-04 湖北长江新型显示产业创新中心有限公司 一种显示面板及其制备方法、显示装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102605208B1 (ko) * 2016-06-28 2023-11-24 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
KR102103962B1 (ko) 2016-09-02 2020-06-01 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 장치 및 제조 방법
CN109216408A (zh) 2017-06-30 2019-01-15 云谷（固安）科技有限公司 Oled显示面板及其制备方法
CN107452894B (zh) * 2017-07-31 2020-02-18 京东方科技集团股份有限公司 一种有机电致发光显示面板、其制作方法及显示装置
CN108666347B (zh) * 2018-04-26 2021-07-30 上海天马微电子有限公司 显示面板及其制造方法、显示装置
CN109037475B (zh) * 2018-07-25 2021-01-26 京东方科技集团股份有限公司 一种基板、显示面板和显示设备
CN109524443B (zh) * 2018-12-17 2020-06-30 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种oled基板及oled显示装置

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