CN110158143A - 抽吸装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种抽吸装置。该抽吸装置包括：抽吸部件，包括多个抽吸口，所述多个抽吸口分布于所述抽吸部件的底部；以及转轴，所述转轴的第一端固定地连接至所述抽吸部件的顶部，其中，所述多个抽吸口分别位于距所述转轴不同的垂直距离处。通过这种抽吸装置，能够有效地去除电镀液中存在于高电阻虚拟阳极下方的气泡，减少电镀晶元的缺陷率。

Description

抽吸装置

技术领域

本申请涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种抽吸装置，更具体地，涉 及一种去除电镀槽气泡的装置。

背景技术

在半导体制造中，通常通过电镀工艺将金属沉积至晶圆上。然而，在现代 电镀工艺中，仍然存在一定程度的终端效应，金属薄膜的均匀性仍需进一步改 善。虽然可采用高电阻虚拟阳极(HRVA)来降低终端效应，但由于电镀液的搅 拌及液体循环环境等因素的影响，在电镀槽中的高电阻虚拟阳极下方会积累气 泡，而气泡的存在会增大区域电阻，从而导致晶元表面电流降低，进而导致产 品的电镀出现缺陷。

为了提高电镀工艺的成功率，如何方便有效地去除高电阻虚拟阳极下方的 气泡是一个亟待解决的技术问题。

发明内容

在下文中给出了关于本申请的简要概述，以便提供关于本申请的某些方面 的基本理解。应当理解，该部分并不意图确定本申请的关键或重要部分，也不 是意图限定本申请的范围。其目的仅仅是以简化的形式给出某些概念，以此作 为稍后论述的更详细描述的前序。

根据本申请的一个方面，提供了一种抽吸装置，其包括：抽吸部件，包括 多个抽吸口，所述多个抽吸口分布于所述抽吸部件的底部；以及转轴，所述转 轴的第一端固定地连接至所述抽吸部件的顶部，其中，所述多个抽吸口分别位 于距所述转轴不同的垂直距离处。

在一些实施例中，所述多个抽吸口包括第一抽吸口和第二抽吸口；所述多 个第一抽吸口与所述多个第二抽吸口的位置和尺寸被配置为：在所述抽吸部件 围绕所述转轴的轴线旋转时，所述多个第一抽吸口中的每一个的运动轨迹与所 述多个第二抽吸口中的每一个的运动轨迹彼此互补。

在一些实施例中，所述抽吸部件包括第一抽吸管和第二抽吸管；所述多个 第一抽吸口位于所述第一抽吸管的底部并与所述第一抽吸管流体联通；所述多 个第二抽吸口位于所述第二抽吸管的底部并与所述第二抽吸管流体联通。

在一些实施例中，所述第一抽吸管与所述第二抽吸管连接，使得所述第一 抽吸管与所述第二抽吸管流体联通。

在一些实施例中，所述转轴包括通道并连接至所述第一抽吸管与所述第二 抽吸管的连接处，使得所述通道与所述第一抽吸管和所述第二抽吸管流体联通。

在一些实施例中，所述第一抽吸管还包括位于其顶部的两个第一出口；所 述第二抽吸管还包括位于其顶部的两个第二出口；所述抽吸装置还包括第一过 渡管和第二过渡管；所述第一过渡管平行于所述第一抽吸管并连接在所述两个 第一出口之间，使得所述第一过渡管与所述第一抽吸管流体联通；所述第二过 渡管平行于所述第二抽吸管并连接在所述两个第二出口之间，使得所述第二过 渡管与所述第二抽吸管流体联通；所述第一过渡管与所述第二过渡管连接，使 得所述第一过渡管与所述第二过渡管流体联通。

在一些实施例中，所述转轴包括通道并连接至所述第一过渡管与所述第二 过渡管的连接处，使得所述通道与所述第一过渡管和所述第二过渡管流体联通。

在一些实施例中，所述抽吸部件仅包括一个抽吸管；所述多个第一抽吸口 位于所述抽吸管相对于所述转轴的第一侧并与所述抽吸管流体联通；所述多个 第二抽吸口位于所述抽吸管相对于所述转轴的第二侧并与所述抽吸管流体联 通；所述第一侧与所述第二侧相对。

在一些实施例中，所述转轴包括通道并连接至所述抽吸管，使得所述通道 与所述抽吸管流体联通。

在一些实施例中，所述抽吸部件包括一个抽吸圆盘；所述多个第一抽吸口 与所述多个第二抽吸口分布于所述抽吸圆盘的底部并与所述抽吸圆盘的内部流 体联通；所述转轴包括通道并连接至所述抽吸圆盘，使得所述转轴中的通道与 所述抽吸圆盘的内部流体联通。

在一些实施例中，在所述抽吸部件围绕所述转轴的轴线旋转时，所述多个 抽吸口的运动轨迹部分重叠。

在一些实施例中，所述抽吸装置还包括泵，泵连接至所述转轴的与所述第 一端相对的第二端并被配置为向所述多个抽吸口提供吸力。

在一些实施例中，所述抽吸装置还包括旋转驱动器，旋转驱动器连接至所 述转轴并被配置为驱动所述转轴围绕其轴线进行旋转运动。

在一些实施例中，所述抽吸装置还包括位移驱动器，位移驱动器连接至所 述转轴并被配置为驱动所述转轴沿其轴线方向运动。

在一些实施例中，所述多个抽吸口中的部分或全部为斜口形式。

附图说明

本申请可以通过参考下文中结合附图所给出的描述而得到更好的理解，其 中在所有附图中使用了相同或相似的附图标记来表示相同或者相似的部件。在 附图中：

图1是晶圆的金属电镀装置的示意图。

图2A和图2B分别是高电阻虚拟阳极的俯视图和侧截面视图。

图3是根据本申请的一个实施例的抽吸装置的示意图。

图4A是根据本申请的一个实施例的抽吸部件的示意图。

图4B是根据本申请的一个实施例的抽吸部件的侧截面视图。

图4C是根据本申请的一个实施例的抽吸部件的俯视图。

图5A是根据本申请的一个实施例的抽吸部件的示意图。

图5B是根据本申请的一个实施例的抽吸部件的侧截面视图。

图6是根据本申请的一个实施例的抽吸部件的示意图。

图7是根据本申请的一个实施例的抽吸部件的示意图。

图8是根据本申请的一个实施例的抽吸部件的示意图。

图9是根据本申请的一个实施例的抽吸部件的示意图。

本领域技术人员应当理解，附图中的元件仅仅是为了简单和清楚起见而示 出的，而且不一定是按比例绘制的。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本申请的具体实施方式作进一步详细描述。以 下实施例用于说明本申请，但不用来限制本申请的范围。

在下文中将结合附图对本申请的示范性实施方式进行描述。为了清楚和简 明起见，在说明书中并未描述实际实施方式的所有特征。在此，还需要说明的 一点是，为了避免因不必要的细节而模糊了本申请，在附图中仅仅示出了与根 据本申请的方案密切相关的装置结构和/或处理步骤，而省略了与本申请关系不 大的其他细节。

图1是晶圆的金属电镀装置的示意图。该金属电镀装置可以包括电镀容器 100、晶圆基座102、阳极电极104、外部电源106以及高电阻虚拟阳极110。

电镀容器100用于容纳电镀液。晶圆基座用于在电镀容器100的第一侧并且 可被配置为固定晶圆108，使得晶元108的表面朝向电镀容器100的内部。阳极电 极104位于电镀容器100的与第一侧相对的第二侧。外部电源106可以位于电镀容 器100外，并且外部电源106的正极与阳极电极104电连接，外部电源106的负极 与晶圆基座102的边缘电连接。在电镀工艺中，外部电源106用于向阳极电极104 施加电压，使得阳极电极104发生氧化反应以形成金属离子(例如铜离子、银离 子等)，金属离子在固定于晶圆基座102上的晶圆108的表面被还原成金属原子并 沉积以形成金属层。

为了降低终端效应，可以采用高电阻虚拟阳极110。高电阻虚拟阳极110可以 位于电镀容器100内且位于阳极电极104与晶圆基座102之间。高电阻虚拟阳极 110可具有圆盘的形式并且与晶片104具有大致相同的直径。另外，高电阻虚拟 阳极110还可具有多个彼此隔离且互不联通的贯通孔。

在电镀时，电镀液的搅拌循环及其它硬件设施会导致一些气泡集中在高电 阻虚拟阳极110下方。在高电阻虚拟阳极下方不存在气泡的情况下，在晶元108 的表面上A点处的电流应为外部电源106所施加的电压除以电镀液的电阻R1、高 电阻虚拟阳极110的电阻R2与A点到晶元108边缘的电阻R3之和。在高电阻虚拟 阳极下方存在气泡114的情况下，A点处的电流应为外部电源106所施加的电压除 以电镀液的电阻R1、高电阻虚拟阳极110的电阻R2、A点到晶元108边缘的电阻 R3以及高电阻虚拟阳极110下方与A点对应的位置处的气泡的电阻R4之和。由此 可见，气泡的存在会直接影响阳极电极104和晶元108间的电阻值，从而导致晶 元108表面的电镀在有气泡的地方出现异常。

图2A和图2B分别是高电阻虚拟阳极的俯视图和侧截面视图。如图2A和图2B 所示，高电阻虚拟阳极110具有多个贯通孔112。因此，可以通过设置抽吸装置 来将高电阻虚拟阳极110下方的气泡通过贯通孔吸出，从而缓解或消除电镀缺 陷。

本申请提供了一种抽吸装置，其包括抽吸部件和转轴。抽吸部件可包括多 个抽吸口，这些抽吸口分布于抽吸部件的底部并处于同一平面。转轴的一端可 固定至抽吸部件的顶部，使得转轴的旋转能够带动抽吸部件一同旋转，进而使 得位于抽吸部件的底部的多个抽吸口能够在高电阻虚拟阳极的上表面施加抽吸 力以通过高电阻虚拟阳极中的贯通孔将位于高电阻虚拟阳极下方的气泡吸走。 多个抽吸口可分别位于距转轴不同的垂直距离处。在一些实施例中，多个抽吸 口的几何中心可分别位于距转轴的轴线不同的垂直距离处。在本申请中，该抽 吸装置可用于去除电镀液中的气泡。在本实施例中，电镀液和气泡一起被吸取， 并随后被输送到后台设备进行分离，分离出的不含气泡的电镀液可以被储存在 电镀液槽以供后续循环使用。在一些实施例中，电镀液槽可以与电镀容器直接 流体联通，以便在电镀容器中的液位下降到一定程度时补充电镀液或者在电镀 容器中的液位高于预定阈值时回收电镀液。在一些实施例中，金属电镀装置还 包括液位控制设备，其被配置为将实际液位进行维持在预定参考值，例如，在 电镀容器中的液位低于参考值时向电镀容器补充电镀液，并在液位高于参考值 时排出一部分电镀液。在其他实施例中，该抽吸装置可用于去除其他流体中的 杂质。在一些实施例中，该抽吸装置可用于吸取平面上的流体，例如，颗粒物、 灰尘、液滴、气体等。

图3是根据本申请的一个实施例的抽吸装置的示意图。为了方便理解，图3 中还示出了电镀装置的一部分。在图3所示实施例中，抽吸装置200包括抽吸部 件210、转轴220、支撑件400和运动控制装置500。如图3所示，抽吸部件210可 包括多个抽吸口260，抽吸口260被配置为抵靠高电阻虚拟阳极110的表面以将高 电阻虚拟阳极110下方的气泡114吸出。如图3所示，转轴220被配置为在运动控 制装置500的驱动下进行上下移动和/或旋转运动，从而带动抽吸部件210进行同 步运动。如图3所示，转轴220的一端固定至抽吸部件210，转轴220的另一端连 接至运动控制装置500。如图3所示，运动控制装置500被配置为驱动转轴220进 行旋转运动和上下直线运动。如图3所示，支撑件400包括支撑腿410，支撑腿410 沿支撑件400的边缘向下延伸并被配置为在进行抽吸时抵靠高电阻虚拟阳极 110。

图4A、图4B和图4C分别是根据本申请的一个实施例的抽吸装置的示意图、 侧截面视图和俯视图。

如图4A所示，抽吸装置200包括抽吸部件210和转轴220。

如图4A、图4B和图4C所示，抽吸部件210可包括第一抽吸管211和第二抽吸 管212。在图3所示的实施例中，抽吸部件210还可包括多个抽吸口260，这些抽 吸口260分布在抽吸部件210的底部并大致处于同一平面，以便能够更好地贴合 高电阻虚拟阳极的表面，从而达到均匀充分的抽吸效果。在一些实施例中，抽 吸口也可以不全处于同一平面，例如，抽吸口可以处于一个内凹或外凸的弧面 中。在一些实施例中，抽吸口也可以稍微上下交错布置。在一些实施例中，抽 吸口可以都面朝下方，也可以都面朝上方，还可以分别面朝不同的方向。在一 些实施例中，抽吸口可以均匀地分散在抽吸部件上，也可以全部集中于抽吸部件的一侧。在一些实施例中，抽吸口中的部分或全部为斜口或喇叭口。在一些 实施例中，抽吸口中的部分或全部具有倒梯形截面。在一些实施例中，抽吸口 的材质为耐酸碱材料。在一些实施例中，多个抽吸口的口径可以彼此不同。在 一些实施例中，多个抽吸口的口径完全相同。在一些实施例中，所有抽吸口都 具有相同的尺寸。在一些实施例中，所有抽吸口都具有相同的形状。在一些实 施例中，所有抽吸口都为圆柱形孔。

如图4A、图4B和图4C所示，多个抽吸口260可进一步包括多个第一抽吸口 261和多个第二抽吸口262，其中，多个第一抽吸口261位于第一抽吸管211的底 部并与第一抽吸管211流体联通，多个第二抽吸口262位于第二抽吸管212的底部 并与第二抽吸管212流体联通。如图4A和4B所示，第一抽吸管211与第二抽吸管 212彼此交叉连接，使得第一抽吸管211与第二抽吸管212流体联通。在一些实施 例中，虽然第一抽吸管与第二抽吸管彼此连接，但二者并不流体联通。在一些 实施例中，第一抽吸管与第二抽吸管形成的夹角可以是90度。在一些实施例中， 第一抽吸管与第二抽吸管可以彼此平行并通过一个连接管实现彼此间的流体联 通。在一些实施例中，抽吸装置可以包括三个以上的抽吸管，这些抽吸管两两 相连或共同相交与一点，使得彼此流体联通。

如图4A所示，转轴220具有中空管的形式，其包括通道221并连接至第一抽 吸管211与第二抽吸管212的连接处，使得通道221与第一抽吸管211和第二抽吸 管212流体联通。在一些实施例中，转轴220的第一端固定地连接至抽吸部件210 的顶部，使得抽吸部件210能够随着转轴220的转动而转动。在抽吸装置可以包 括三个以上的抽吸管且这些抽吸管两两相连的情况下，转轴可以通过转接件分 别连接至这些抽吸管并与它们流体联通。在抽吸装置可以包括三个以上的抽吸 管且这些抽吸管两两相连的情况下，转轴可以通过转接件分别连接至这些抽吸 管并与它们流体联通。在抽吸装置可以包括三个以上的抽吸管且这些抽吸管相 交于同一点的情况下，转轴可以通过连接至该点以与这些抽吸管流体联通。

如图4A、图4B和图4C所示，多个第一抽吸口261与多个第二抽吸口262的位 置和尺寸被配置为：在抽吸部件210围绕转轴的轴线Y旋转时，多个第一抽吸口 261中的每一个的运动轨迹与多个第二抽吸口262中的每一个的运动轨迹彼此互 补，例如，共同组成一个完整的圆形。由于第一抽吸口和第二抽吸口均位于同 一平面，故该圆形也位于同一平面且与轴线Y垂直，其与轴线Y的交点为该圆形 的圆心。具体地，在转轴被驱动以进行旋转时，其带动抽吸部件一同旋转，此 时，每个抽吸口都将围绕转轴220的轴线Y进行旋转，从而形成一个环形的运动 轨迹(如图4A中的虚线所示)。在这种情况下，每一个抽吸口在高电阻虚拟阳极 的上表面所在的平面(可称为抽吸平面)上都对应一个环形的抽吸区域，该环 形抽吸区域的内径为相应抽吸口上离圆心最近的一点的半径值，该环形抽吸区 域的外径为相应抽吸口上离圆心最远的一点的半径值。例如，每个抽吸口在抽 吸平面上所对应的抽吸区域为该抽吸口在围绕转轴Y旋转时的运动轨迹在该抽 吸平面上的垂直投影。为了达到理想的抽吸效果，所有抽吸口的运动轨迹(即， 环形)彼此互补，例如，可构成一个完整的圆形。例如，在抽吸口不全处于同 一平面的情况下，多个抽吸口在与轴线Y垂直的平面上的垂直投影可以彼此互 补。这里，″完整″表示每个环形抽吸区域与相邻环形抽吸区域之间不存在任何间隙，即需要每个抽吸口的环形运动轨迹(或其在抽吸平面上的垂直投影)与 相邻的环形运动轨迹(或其在抽吸平面上的垂直投影)至少部分重叠或无缝衔 接，以求完全覆盖晶元的整个表面而不留下任何死角或盲点。例如，如图4B的 对齐虚线所示，两组抽吸口被设计成完全互补，使得其所对应的抽吸区域也完 全互补。在一些实施例中，这两组抽吸口可以分别被设置得稍微大一些，使得 二者之间具备一定程度的重叠。在一些实施例中，所有抽吸口的运动轨迹所构 成的完整的圆形的面积大于或等于晶元的表面积。在一些实施例中，所有抽吸 口的运动轨迹所构成的完整的圆形的面积小于晶元的表面积。在一些实施例中，所有抽吸口的运动轨迹在垂直于转轴的轴线的平面上的垂直投影构成一个完整 的圆或圆环。在一些实施例中，多个抽吸口分别位于距转轴的轴线不同的垂直 距离处。换句话说，多个抽吸口在转轴的径向上位于不同的半径处。在一些实 施例中，多个第一抽吸口与多个第二抽吸口相互错开设置，即每个第一抽吸口 所对应的抽吸区域都位于两个第二抽吸口所对应的抽吸区域之间，每个第二抽 吸口所对应的抽吸区域都位于两个第一抽吸口所对应的抽吸区域之间，位于边 缘处的抽吸口除外。在一些实施例中，环形抽吸区域之间可以存在一个或多个 间隙，即多个抽吸口中的一部分的运动轨迹可以完全不重叠。

如图4A所示，抽吸装置200还可包括旋转驱动器240，其中，旋转驱动器240 连接至转轴220并被配置为驱动转轴220围绕其轴线Y进行旋转运动，以带动抽吸 部件210的旋转，使得位于抽吸部件210底部的多个抽吸口260能够比静止时覆盖 更大的抽吸区域。在一些实施例中，旋转驱动器240可以是旋转电机。

如图4A所示，抽吸装置200还可包括位移驱动器250，其中，位移驱动器250 连接至转轴220并被配置为驱动转轴220沿其轴线Y的方向运动，即上下运动，使 得抽吸部件210底部上的多个抽吸口260能够在需要进行抽吸时与高电阻虚拟阳 极110的上表面接触，并且在抽吸完毕时与高电阻虚拟阳极110的上表面分离。 在一些实施例中，位移驱动器250可以是步进电机。在一些实施例中，位移驱动 器250可以是电机，电机的轴的外表面与转轴的外表面均设置有螺纹，所述螺纹 彼此配合，从而能够将电机的轴的旋转运动转换为转轴的竖直运动。

在一些实施例中，抽吸装置还可包括泵，其中，泵可连接至转轴220的与第 一端相对的第二端并被配置为通过转轴220的通道221向多个抽吸口260提供吸 力，以将高电阻虚拟阳极110下方的气泡吸走。

在一些实施例中，抽吸装置还可包括距离检测器，用于检测抽吸装置与高 电阻虚拟阳极之间的距离。在一些实施例中，距离检测器可以是距离传感器， 例如，光学距离传感器、红外距离传感器、超声波距离传感器。在一些实施例 中，抽吸装置还可包括止动器，用于在检测到抽吸装置与高电阻虚拟阳极接触 时阻止抽吸部件的继续向下运动。

在一些实施例中，抽吸装置还可包括定时器，用于定时启动或停止旋转驱 动器240和/或位移驱动器250的工作，以实现抽吸装置的自动控制。

在一些实施例中，抽吸装置还可以包括气泡探测器，以探测电镀液中是否 存在气泡。在一些实施例中，可以仅当探测到气泡存在时激活旋转驱动器240和 /或位移驱动器250和/或泵，使得抽吸作业仅在存在气泡的情况下进行，从而减 少了能耗。图5A和图5B分别是根据本申请的一个实施例的抽吸部件的示意图和 侧截面视图。如图5A和图5B所示，第一抽吸管211还包括位于其顶部的两个第一 出口271，第二抽吸管212还包括位于其顶部的两个第二出口272。在图5A和图5B 所示的实施例中，抽吸装置200还包括第一过渡管251和第二过渡管252，第一过 渡管251平行于第一抽吸管211并连接在两个第一出口271之间，使得第一过渡管 251与第一抽吸管211流体联通，第二过渡管252平行于第二抽吸管212并连接在 两个第二出口272之间，使得第二过渡管252与第二抽吸管212流体联通，第一过 渡管251与第二过渡管252连接，使得第一过渡管251与第一过渡管252流体联通， 转轴220包括通道221并连接至第一过渡管251与第二过渡管252的连接处，使得 通道221与第一过渡管251和第二过渡管252流体联通。在一些实施例中，两个第 一出口可相对于转轴对称地设置。在一些实施例中，两个第二出口相对于转轴 对称地设置。在一些实施例中，两个第一出口可相对于转轴不对称地设置。在 一些实施例中，两个第二出口相对于转轴不对称地设置。在一些实施例中，只 存在一个出口，其位于第一抽吸管与第二抽吸管的交叉处，转轴连接至该出口。 在一些实施例中，第一抽吸管上可以设置三个以上的出口。在一些实施例中，第二抽吸管上可以设置三个以上的出口。

图6是根据本申请的一个实施例的抽吸部件的示意图。如图6所示，抽吸部 件210仅包括一个抽吸管214，转轴220包括通道221并连接至抽吸管214，使得通 道220与抽吸管214流体联通。在图6所示的实施例中，多个抽吸口260包括多个 第一抽吸口261和多个第二抽吸口262，所述多个第一抽吸口261位于抽吸管214 相对于转轴220的第一侧并与抽吸管214流体联通，所述多个第二抽吸口262位于 抽吸管214相对于转轴220的第二侧并与抽吸管214流体联通，其中，第一侧与第 二侧相对。如图5A和图5B所示，在抽吸部件210围绕转轴220的轴线Y旋转时， 多个抽吸口的运动轨迹共同组成一个完整的圆形。在图6所示的实施例中，多个 第一抽吸口261与多个第二抽吸口262相互错开设置(以与如图4B所示方式类似的方式，即，被设置为彼此互补)，即每个第一抽吸口261所对应的抽吸区域都 位于两个第二抽吸口262所对应的抽吸区域之间，每个第二抽吸口262所对应的 抽吸区域都位于两个第一抽吸口261所对应的抽吸区域之间，位于边缘处的抽吸 口除外。在一些实施例中，该一个抽吸管仅包括一个缝形抽吸口，该缝形抽吸 口沿着该一个抽吸管的长度方向从其一端延伸至另一端。

图7是根据本申请的一个实施例的抽吸部件的示意图。如图7所示，抽吸部 件210仅包括一个L型抽吸管213，转轴220包括通道221并连接至L型抽吸管213 的弯折处，使得通道221与抽吸管213流体联通。在图7所示的实施例中，多个抽 吸口260包括多个第一抽吸口261和多个第二抽吸口262，所述多个第一抽吸口 261位于L型抽吸管213的第一段并与L型抽吸管213流体联通，所述多个第二抽吸 口262位于L型抽吸管213的与第一段垂直的第二段并与L型抽吸管213流体联通。 在图7所示的实施例中，在抽吸部件210围绕转轴220的轴线Y旋转时，多个抽吸 口的运动轨迹共同组成一个完整的圆形。在图7所示的实施例中，多个第一抽吸 口261与多个第二抽吸口262相互错开设置(以与如图4B所示方式类似的方式，即，被设置为彼此互补)，即每个第一抽吸口261所对应的抽吸区域都位于两个 第二抽吸口262所对应的抽吸区域之间，每个第二抽吸口262所对应的抽吸区域 都位于两个第一抽吸口261所对应的抽吸区域之间，位于边缘处的抽吸口除外。

图8是根据本申请的一个实施例的抽吸部件的示意图。如图8所示，抽吸部 件包括三个抽吸管，即第一抽吸管，第二抽吸管和第三抽吸管，其中第一抽吸 管的一端连接至第二抽吸管的中部，第一抽吸管的另一端为自由端，第二抽吸 管的一端连接至第三抽吸管的中部，第二抽吸管的另一端为自由端，第三抽吸 管的一端连接至第一抽吸管的中部，第三抽吸管的另一端为自由端，多个抽吸 口分布在这三个抽吸管的底部与这三个抽吸管流体联通。如图9所示，转轴220 包括通道221并通过三通转接管分别连接至第一、第二和第三抽吸管以与它们流 体联通。

图9是根据本申请的一个实施例的抽吸部件的示意图。在图9中，抽吸部件 可包括四个以上的抽吸管，这些抽吸管中的前一个抽吸管的一端连接至下一个 抽吸管的中部，该前一个抽吸管的另一端为自由端，多个抽吸口分布在这些抽 吸管的底部与这三个抽吸管流体联通，使得在抽吸部件围绕转轴220的轴线Y旋 转时，多个抽吸口的运动轨迹(或其在抽吸平面上的垂直投影)彼此互补，例 如，共同组成一个完整的圆形。

在一些实施例中，抽吸部件具有圆盘形式，转轴包括通道并连接至圆盘的 顶部，使得转轴中的通道与圆盘底部的多个抽吸口流体联通。在一些实施例中， 位于圆盘底部的多个抽吸口沿圆盘的径向成排布置。在一些实施例中，多个抽 吸口可布置成两排以上。在一些实施例中，位于圆盘底部的多个抽吸口呈不规 则排布。

另外，本公开的实施方式还包括以下示例性示例(EE)：

EE1.一种抽吸装置，其特点在于，包括：

抽吸部件，包括多个抽吸口，所述多个抽吸口分布于所述抽吸部件的底部； 以及

转轴，所述转轴的第一端固定地连接至所述抽吸部件的顶部，

其中，所述多个抽吸口分别位于距所述转轴不同的垂直距离处。

EE2.根据EE1所述的抽吸装置，其特点在于，

所述多个抽吸口包括第一抽吸口和第二抽吸口；

所述多个第一抽吸口与所述多个第二抽吸口的位置和尺寸被配置为：在所 述抽吸部件围绕所述转轴的轴线旋转时，所述多个第一抽吸口中的每一个的运 动轨迹与所述多个第二抽吸口中的每一个的运动轨迹彼此互补。

EE3.根据EE2所述的抽吸装置，其特点在于，

所述抽吸部件包括第一抽吸管和第二抽吸管；

所述多个第一抽吸口位于所述第一抽吸管的底部并与所述第一抽吸管流体 联通；

所述多个第二抽吸口位于所述第二抽吸管的底部并与所述第二抽吸管流体 联通。

EE4.根据EE3所述的抽吸装置，其特点在于，

所述第一抽吸管与所述第二抽吸管连接，使得所述第一抽吸管与所述第二 抽吸管流体联通。

EE5.根据EE4所述的抽吸装置，其特点在于，

所述转轴包括通道并连接至所述第一抽吸管与所述第二抽吸管的连接处， 使得所述通道与所述第一抽吸管和所述第二抽吸管流体联通。

EE6.根据EE3所述的抽吸装置，其特点在于，

所述第一抽吸管还包括位于其顶部的两个第一出口；

所述第二抽吸管还包括位于其顶部的两个第二出口；

所述抽吸装置还包括第一过渡管和第二过渡管；

所述第一过渡管平行于所述第一抽吸管并连接在所述两个第一出口之间， 使得所述第一过渡管与所述第一抽吸管流体联通；

所述第二过渡管平行于所述第二抽吸管并连接在所述两个第二出口之间， 使得所述第二过渡管与所述第二抽吸管流体联通；

所述第一过渡管与所述第二过渡管连接，使得所述第一过渡管与所述第二 过渡管流体联通。

EE7.根据EE6所述的抽吸装置，其特点在于，

所述转轴包括通道并连接至所述第一过渡管与所述第二过渡管的连接处， 使得所述通道与所述第一过渡管和所述第二过渡管流体联通。

EE8.根据权利要求EE2所述的抽吸装置，其特点在于，

所述抽吸部件仅包括一个抽吸管；

所述多个第一抽吸口位于所述抽吸管相对于所述转轴的第一侧并与所述抽 吸管流体联通；

所述多个第二抽吸口位于所述抽吸管相对于所述转轴的第二侧并与所述抽 吸管流体联通；

所述第一侧与所述第二侧相对。

EE9.根据EE8所述的抽吸装置，其特点在于，

所述转轴包括通道并连接至所述抽吸管，使得所述通道与所述抽吸管流体 联通。

EE10.根据EE2所述的抽吸装置，其特点在于，

所述抽吸部件包括一个抽吸圆盘；

所述多个第一抽吸口与所述多个第二抽吸口分布于所述抽吸圆盘的底部并 与所述抽吸圆盘的内部流体联通；

所述转轴包括通道并连接至所述抽吸圆盘，使得所述转轴中的通道与所述 抽吸圆盘的内部流体联通。

EE11.根据EE1所述的抽吸装置，其特点在于，

在所述抽吸部件围绕所述转轴的轴线旋转时，所述多个抽吸口的运动轨迹 部分重叠。

EE12.根据EE1所述的抽吸装置，其特点在于，还包括：

泵，连接至所述转轴的与所述第一端相对的第二端并被配置为向所述多个 抽吸口提供吸力。

EE13.根据EE1所述的抽吸装置，其特点在于，还包括：

旋转驱动器，连接至所述转轴并被配置为驱动所述转轴围绕其轴线进行旋 转运动。

EE14.根据EE1所述的抽吸装置，其特点在于，还包括：

位移驱动器，连接至所述转轴并被配置为驱动所述转轴沿其轴线方向运动。

EE15.根据EE1所述的抽吸装置，其特点在于，

所述多个抽吸口中的部分或全部为斜口形式。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在 不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范 围应当以权利要求所限定的范围为准。综上所述，在阅读本详细公开内容之后， 本领域技术人员可以明白，前述详细公开内容可以仅以示例的方式呈现，并且 可以不是限制性的。尽管这里没有明确说明，本领域技术人员可以理解本申请 意图囊括对实施例的各种合理改变，改进和修改。这些改变，改进和修改旨在 由本公开提出，并且在本公开的示例性实施例的精神和范围内。

应当理解，本实施例使用的术语″和/或″包括相关联的列出项目中的一个 或一个以上的任意或全部组合。应当理解，当一个元件被称作“连接”或“耦接” 至另一个元件时，其可以直接地连接或耦接至另一个元件，或者也可以存在中 间元件。

类似地，应当理解，当诸如层、区域或衬底之类的元件被称作在另一个元 件“上”时，其可以直接在另一个元件上，或者也可以存在中间元件。与之相反， 术语“直接地”表示没有中间元件。还应当理解，术语″包含″、″包含着″、″包括″ 和/或″包括着″，在此使用时，指明存在所记载的特征、整体、步骤、操作、元 件和/或组件，但并不排除存在或附加一个或一个以上其他特征、整体、步骤、 操作、元件、组件和/或它们的组。

还应当理解，尽管术语第一、第二、第三等可以在此用于描述各种元件， 但是这些元件不应当被这些术语所限制。这些术语仅用于将一个元件与另一个 元件区分开。因此，在没有脱离本发明的教导的情况下，在一些实施例中的第 一元件在其他实施例中可以被称为第二元件。相同的参考标号或相同的参考标 志符在整个说明书中表示相同的元件。

此外，通过参考作为理想化的示例性图示的截面图示和/或平面图示来描述 示例性实施例。因此，由于例如制造技术和/或容差导致的与图示的形状的不同 是可预见的。因此，不应当将示例性实施例解释为限于在此所示出的区域的形 状，而是应当包括由例如制造所导致的形状中的偏差。例如，被示出为矩形的 区域通常会具有圆形的或弯曲的特征。因此，在图中示出的区域实质上是示意 性的，其形状不是为了示出器件的区域的实际形状也不是为了限制示例性实施 例的范围。

Claims (10)

1.一种抽吸装置，其特征在于，包括：

抽吸部件，包括多个抽吸口，所述多个抽吸口分布于所述抽吸部件的底部；以及

转轴，所述转轴的第一端固定地连接至所述抽吸部件的顶部，

其中，所述多个抽吸口分别位于距所述转轴不同的垂直距离处。

2.根据权利要求1所述的抽吸装置，其特征在于，

所述多个抽吸口包括第一抽吸口和第二抽吸口；

所述多个第一抽吸口与所述多个第二抽吸口的位置和尺寸被配置为：在所述抽吸部件围绕所述转轴的轴线旋转时，所述多个第一抽吸口中的每一个的运动轨迹与所述多个第二抽吸口中的每一个的运动轨迹彼此互补。

3.根据权利要求2所述的抽吸装置，其特征在于，

所述抽吸部件包括第一抽吸管和第二抽吸管；

所述多个第一抽吸口位于所述第一抽吸管的底部并与所述第一抽吸管流体联通；

所述多个第二抽吸口位于所述第二抽吸管的底部并与所述第二抽吸管流体联通。

4.根据权利要求3所述的抽吸装置，其特征在于，

所述第一抽吸管与所述第二抽吸管连接，使得所述第一抽吸管与所述第二抽吸管流体联通。

5.根据权利要求4所述的抽吸装置，其特征在于，

所述转轴包括通道并连接至所述第一抽吸管与所述第二抽吸管的连接处，使得所述通道与所述第一抽吸管和所述第二抽吸管流体联通。

6.根据权利要求3所述的抽吸装置，其特征在于，

所述第一抽吸管还包括位于其顶部的两个第一出口；

所述第二抽吸管还包括位于其顶部的两个第二出口；

所述抽吸装置还包括第一过渡管和第二过渡管；

所述第一过渡管平行于所述第一抽吸管并连接在所述两个第一出口之间，使得所述第一过渡管与所述第一抽吸管流体联通；

所述第二过渡管平行于所述第二抽吸管并连接在所述两个第二出口之间，使得所述第二过渡管与所述第二抽吸管流体联通；

所述第一过渡管与所述第二过渡管连接，使得所述第一过渡管与所述第二过渡管流体联通。

7.根据权利要求6所述的抽吸装置，其特征在于，

所述转轴包括通道并连接至所述第一过渡管与所述第二过渡管的连接处，使得所述通道与所述第一过渡管和所述第二过渡管流体联通。

8.根据权利要求2所述的抽吸装置，其特征在于，

所述抽吸部件仅包括一个抽吸管；

所述多个第一抽吸口位于所述抽吸管相对于所述转轴的第一侧并与所述抽吸管流体联通；

所述多个第二抽吸口位于所述抽吸管相对于所述转轴的第二侧并与所述抽吸管流体联通；

所述第一侧与所述第二侧相对。

9.根据权利要求8所述的抽吸装置，其特征在于，

所述转轴包括通道并连接至所述抽吸管，使得所述通道与所述抽吸管流体联通。

10.根据权利要求2所述的抽吸装置，其特征在于，

所述抽吸部件包括一个抽吸圆盘；

所述多个第一抽吸口与所述多个第二抽吸口分布于所述抽吸圆盘的底部并与所述抽吸圆盘的内部流体联通；

所述转轴包括通道并连接至所述抽吸圆盘，使得所述转轴中的通道与所述抽吸圆盘的内部流体联通。