CN110144557A - 一种直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 64
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 17
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 15
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000008450 motivation Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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- C23C14/34—Sputtering
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
- C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
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Abstract
本发明公开了一种直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，包括驱动电机，到位检测机构，链条机构，轨道，自转机构，传动机构，托盘机构、转架车和机架，所述机架上表面设置有所述轨道，所述轨道的内侧设置有所述链条机构，所述轨道上设置有托盘机构，所述托盘机构下方设置有所述转架车、自转机构和所述传动机构，所述到位检测机构和驱动电机位于所述机架的下表面，所述自转机构位于所述托盘机构下方，所述驱动电机用于驱动所述到位检测机构，自转机构和传动机构，所述转架车由第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块按续拼接而成，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块具有相同的设置。
Description
技术领域
本发明涉及一种直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构。
背景技术
现有技术的直线连续型真空溅射镀膜转架机构在进行真空镀膜时存在如下缺点：挂具掉产品后产品会留在真空炉体内；现有转架采用齿轮齿条传动，运行不稳定；转架驱动电机容易卡死过载、异常停机故障时间长；现有转架维修时间长。因此对于直线连续型真空溅射镀膜的转架机构，其需要解决的问题如下：怎样把掉挂的产品运到炉体外；如何确保转架运行平稳；如何避免电机过载烧坏；如何实现快速维护，减少故障停机时间。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明的目的在于提供一种直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构。
本发明通过以下技术方案来实现：
一种直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，包括驱动电机，到位检测机构，链条机构，轨道，自转机构，传动机构，托盘机构、转架车和机架，其特征在于，所述机架上表面设置有所述轨道，所述轨道的内侧设置有所述链条机构，所述轨道上设置有托盘机构，所述托盘机构下方设置有所述转架车、自转机构和所述传动机构，所述到位检测机构和驱动电机位于所述机架的下表面，所述自转机构位于所述托盘机构下方，所述驱动电机用于驱动所述到位检测机构，自转机构和传动机构，所述转架车由第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块按续拼接而成，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块具有相同的设置。
优选地，所述传动机构为对夹滚轮摩擦传动机构。
优选地，所述轨道上还设置有轨道清理铲。
优选地，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块的上方均设置有托盘机构和侧面挡板，下方移动机构包括有自转链轮、动力连接板、移动轮和到位压块。
优选地，所述对夹滚轮摩擦传动机构包括有弹簧，通过调节弹簧的大小、长短实现所述直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构的平稳运行。
优选地，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块可根据需要任意组合拼接成转架车。
本发明的具有如下有益效果：本发明大大降低设备故障维护时间，只需2H/次；将生产良品效率提高2％；大大节省设备维护成本。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。
图1是本发明的侧视图。
图2是本发明的立体图。
图3是本发明的主视图。
图4是本发明转架车模块底部的示意图。
图5是图4中A处的放大图。
图中：1、驱动电机；2、到位检测机构；3、链条机构；4、轨道；5、轨道清理铲；6、自转机构；7、对夹滚轮机构；8、侧面挡板；9、托盘机构；10、机架；11、第一转架车模块；12、第二转架车模块；13、第三转架车模块；14、第四转架车模块；15、自转链轮；16、动力连接板；17、移动轮；18、到位压块。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
参考说明书附图1-3，一种直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，包括驱动电机，到位检测机构，链条机构，轨道，自转机构，传动机构，托盘机构、转架车和机架，所述机架上表面设置有所述轨道，所述轨道的内侧设置有所述链条机构，所述轨道上设置有托盘机构，所述托盘机构下方设置有所述转架车、自转机构和所述传动机构，所述到位检测机构和驱动电机位于所述机架的下表面，所述自转机构位于所述托盘机构下方，所述驱动电机用于驱动所述到位检测机构，自转机构和传动机构，所述转架车由第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块按续拼接而成，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块具有相同的设置。
参考说明书附图4-5，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块的上方均设置有托盘机构和侧面挡板，下方移动机构包括有自转链轮、动力连接板、移动轮和到位压块。由于转架小车上安装有托盘机构，当挂具上的产品异常掉落时，产品会被托盘接住，这样产品就不会掉在炉体内部。掉落的产品会跟随转架小车被运出炉体，解决了产品异常掉落，导致的故障停机。
参考说明书附图1，所述传动机构为对夹滚轮摩擦传动机构，所述对夹滚轮摩擦传动机构包括有弹簧，通过调节弹簧的大小、长短实现所述直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构的平稳运行。由于采用摩擦传动，可以避免当转架卡住的时候电机过载烧坏。在转架移动的同时，链条机构和自转机构实现挂具的圆周旋转运动，使得产品镀膜厚度均匀。
参考说明书附图4-5，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块可根据需要任意组合拼接成转架车。这种采用模块化设计，实现零部件的互换通用性。把整辆转架车分成4个通用模块，当其中一组需要维护时，可以快速拆下更换，减少异常故障时间。
上述说明示出并描述了本发明的优选实施例，如前所述，应当理解本发明并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本发明的精神和范围，则都应在本发明所附权利要求的保护范围内。
Claims (6)
1.一种直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，包括驱动电机，到位检测机构，链条机构，轨道，自转机构，传动机构，托盘机构、转架车和机架，其特征在于，所述机架上表面设置有所述轨道，所述轨道的内侧设置有所述链条机构，所述轨道上设置有托盘机构，所述托盘机构下方设置有所述转架车、自转机构和所述传动机构，所述到位检测机构和驱动电机位于所述机架的下表面，所述自转机构位于所述托盘机构下方，所述驱动电机用于驱动所述到位检测机构，自转机构和传动机构，所述转架车由第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块按续拼接而成，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块具有相同的设置。
2.根据权利要求1所述的直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，其特征在于，所述传动机构为对夹滚轮摩擦传动机构。
3.根据权利要求1或2所述的直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，其特征在于，所述轨道上还设置有轨道清理铲。
4.根据权利要求1所述的直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，其特征在于，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块的上方均设置有托盘机构和侧面挡板，下方移动机构包括有自转链轮、动力连接板、移动轮和到位压块。
5.根据权利要求2所述的直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，其特征在于，所述对夹滚轮摩擦传动机构包括有弹簧，通过调节弹簧的大小、长短实现所述直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构的平稳运行。
6.根据权利要求1-5之一所述的直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构，其特征在于，所述第一转架车模块，第二转架车模块，第三转架车模块和第四转架车模块可根据需要任意组合拼接成转架车。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910350766.5A CN110144557A (zh) | 2019-04-28 | 2019-04-28 | 一种直线连续型真空溅射镀膜模块化转架机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110144557A true CN110144557A (zh) | 2019-08-20 |
Family
ID=67594059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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| CN (1) | CN110144557A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113061870A (zh) * | 2021-04-02 | 2021-07-02 | 泸州韶光智造科技有限公司 | 一种用于光学薄膜元器件的连续真空镀膜生产线及方法 |
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2019
- 2019-04-28 CN CN201910350766.5A patent/CN110144557A/zh active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113061870A (zh) * | 2021-04-02 | 2021-07-02 | 泸州韶光智造科技有限公司 | 一种用于光学薄膜元器件的连续真空镀膜生产线及方法 |
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