CN110100183A - 具有增强滤波特性的用于电子器件的测试装置的探头 - Google Patents

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Abstract

本申请描述了一种探头(20)，该探头包括多个接触探针(21A，21B，21C)，该多个接触探针滑动地容纳在相应的多个导引孔(25A，27A，29A，36A；25B，27B，29B，36B；28C，29C，36C)中，该多个导引孔在板状支撑件(22)中实现，该多个接触探针(21A，21B，21C)包括至少第一组承载接地和电源信号(GND，PWR)的接触探针(21A，21B)。合适地，该探头(20)包括至少一个滤波电容器(30)，该滤波电容器具有至少一个电极(31)，该电极电连接到导电部分(22A，27A)，该导电部分在支撑件(22)上实现并包括第一组的接触探针(21A，21B)的至少一个壳体导引孔(25A，29A)。

Description

具有增强滤波特性的用于电子器件的测试装置的探头
技术领域
本发明涉及一种用于电子器件的测试装置的探头。
本发明特别但不排他地涉及具有增强频率性能的探头，并且参考该应用领域进行以下描述，其唯一目的是简化其说明。
背景技术
众所周知，探头本质上是一种适于放置微结构(特别是集成在晶片上的电子器件)的多个接触垫的器件，与执行其工作测试(特别是电气测试，或一般的测试)的测试装置的相应通道电接触。
在集成器件上执行的测试对于检测和隔离已经在制造步骤中的有缺陷的器件特别有用。通常，探头因此用于在切割或单个化并将它们安装在芯片容纳封装内之前对集成在晶片上的器件进行电测试。
探头基本上包括多个可移动的接触元件或接触探针，其设置有用于被测器件(也称为DUT(“被测器件”的首字母缩写))的相应的多个接触垫的至少一个端或接触尖端。术语“端”或“尖端”在此处和下方指的是端部，不一定是尖锐的。
特别已知的是，除了其他因素之外，测量测试的有效性和可靠性还取决于在器件和测试装置之间实现良好的电接触，并因此取决于在探针和垫之间建立最佳电接触。
在这里考虑用于集成电路测试的技术领域中使用的探头类型中，广泛使用具有垂直探头的探头，这种探头被称为“垂直探头(vertical probe head)”。垂直探头基本上包括多个接触探针，该多个接触探针由至少一对板或导引件保持，这些板或导引件基本上为板状并且彼此平行。这些导引件设置有合适的孔并且以一定的相互距离布置，从而为接触探针的移动和可能变形留下自由区或气隙。该对导引件尤其包括上导引件或上模和下导引件或下模，两者都设置有导引孔，接触探针在该导引孔内轴向滑动，这种接触探针通常由具有良好电气和机械属性的特殊合金线制成。
在这种情况下，探头和被测器件的接触垫之间的良好连接也通过探头头到器件本身的按压来确保，接触探头可以在上模和下模中实现的导引孔内移动，在这种挤压接触期间在两个模具之间的气隙内发生弯曲，并且还在这些导引孔内滑动。
还已知使用如下探头，其探针没有牢固地固定但是与接口板连接，接口板又连接到测试装置：这种探头被称为具有未阻塞探针的探头。
在这种情况下，接触探针还具有朝向这种接口板的多个接触垫的另一个端部或接触头。通过将探针按压到接口板的接触垫上，以与接触被测器件类似的方式保证探针和接口板之间良好的电接触。
探头和接口板包括在所谓的探针卡中，该探针卡构成集成在晶片中的器件的测试装置的端子部分。
在其最一般的形式中，探针卡在图1中用10总体上并且示意性地表示，包括探头1，探头1在图的示例中具有未阻塞垂直探针。探头1包括容纳在主体3中的多个接触探针2，进而通常包括至少一对板状支撑或导引件，该至少一对板状支撑件或导引件设置有相应的导引孔，该导引孔适于以滑动方式容纳接触探针2，由于接触探针2是常规类型，所以并未示出。
每个接触探针2具有邻接到特别是集成在半导体晶片上的被测器件(未示出)的接触垫上的端或接触尖端2A，因此执行与这种器件的机械和电接触。
另外，每个接触探针2具有朝向接口板4的多个接触垫4A的另外的端，通常表示为接触头2B。探针和接口板之间的良好电接触以与通过将探针、特别是相应的接触头2B按压到接口板4的接触垫4A上来接触被测器件类似的方式得到保证。
更特别地，接口板4还用于在布置在其第一面F4a(也称为“探针侧”)处的接触垫4A与布置在接口板4的第二和相对的面F4b(也称为“测试器侧”)上的相应的接触垫4B的分布之间执行空间变换，接触探针2的接触头2B邻接该第一面F4a，该第二和相对的面F4b特别是用于与测试装置的印刷电路板5或PCB(“印刷电路板”的首字母缩写)连接。
根据其执行接触垫的空间变换的主要功能，特别是放宽与最新技术的垫之间的距离(表示为间距)的相关的尺寸约束，接口板4通常也被表示为空间变换器。换句话说，由于使用了接口板4，可以实现测试器侧接触垫4B的间距大于探头侧接触垫4A的间距。
通过使用多个导电轨道6、特别是金属导电轨道6来执行接口板4内部的空间变换操作，该多个导电轨道6适于通过能够连接到PCB 5的合适的电接触结构7(例如导电球、引脚或支柱，仅举几个例子)执行从探头侧接触垫4A到测试器侧接触垫4B以及这些测试器侧接触垫4B的信号的路由。即使在PCB 5内，也通过另外的导电轨道8(特别是金属的)执行信号的路由，以将信号带到探针卡10的外部，然后到达测试装置。导电轨道6和8实际上甚至可以是导电平面。
已知的探针卡还包括合适的滤波电容器9。更特别地，已知使用陶瓷类型的滤波电容器9，包括绝缘陶瓷体9c和布置在其侧面的合适的金属电机9r，以形成电容器本身的板。
这些滤波电容器通常布置在接口板4的第一探针侧面F4a上，位于探头1的外侧。
为了确保滤波电容器9的更好操作，它们应尽可能靠近接触探针2布置，特别是靠近承载应当对其进行滤波的电源和接地信号的探针，并且更特别地靠近其接触尖端2A。
在最新技术中，一些滤波电容器9因此也布置在第二测试器侧面F4b上，在适当地不被探头1的区域Aph中的电接触结构7占据的部分中。
以这种方式，滤波电容器9被拉近接触探针2。然而，这种配置导致接口板4内的电源和接地信号的并行路由，以将它们驱动到板的侧面，在不对应于探头1的区域Aph外面。
电源和接地信号的在接口板4内部的这种路由导致实现从区域Aph到外部或外围区域或接口板4的导电轨道或平面6，以及布置在不同的层上的承载到滤波电容器9的电源和接地信号的导电轨道或平面。所有这些导致需要实现具有大量层的接口板4，增加了接口板的厚度，使得布置在测试器侧的滤波电容器9本身远离相应的电源和接地探针2、特别是远离它们的接触尖端2A移动，并且导致相应的滤波能力降低。
因此，即使是将测试器侧滤波电容器9放置在对应于探头1的区域Aph中的最新解决方案，也必须处理相互冲突的需求，并且只能在其性能改进方面获得折衷。
本发明的技术问题是提供一种探头，该探头包括用于与特别是集成在晶片上的电子器件的测试装置连接的多个接触探针，其结构和功能特性能够克服仍然影响根据已知技术制造的探针卡的局限和缺点，特别是允许改善特别是布置在探头本身内的用于承载电源和接地信号的接触探针的滤波电容器的性能。
发明内容
构成本发明的基础的解决方案构思是实现用于与一个或多个导引件或模具上的滤波电容器接触的合适的导电部分。
基于该解决方案构思，技术问题通过探头解决，该探头包括多个接触探针，该多个接触探针滑动地容纳相应的多个导引孔中，该多个导引孔在板状支撑件中实现，该多个接触探针包括至少第一组承载接地和电源信号的接触探针，其特征在于，该探头包括至少一个滤波电容器，该滤波电容器具有至少一个电极，该电极电连接到导电部分，该导电部分在支撑件上实现并且包括容纳第一组接触探针的至少一个导引孔。
更特别地，本发明包括根据需要单独或组合使用的以下附加和可选特征。
根据本发明的另一方面，导电部分可以分别连接到选自接地基准和电源基准的第一电压基准，并且滤波电容器可以包括分别连接到第二不同电压基准的另外的电极，该第二电压基准选自电源基准和接地基准。
根据本发明的另一方面，导电部分可以包括并电连接容纳第一组接触探针的多个导引孔。
此外，导电部分可以包括正交部分，该正交部分至少部分地在第一组的接触探针的壳体导引孔内延伸。
根据本发明的另一方面，探头可以包括不同的导电部分，该导电部分包括不同的多个壳体导引孔并连接到选自电源基准和接地基准的不同电压基准。
此外，支撑件可以包括滤波电容器的至少一个壳体座，导电部分也对应于这种壳体座延伸，以实现与滤波电容器的至少一个电极的连接。
更特别地，滤波电容器的壳体座可以按照等于滤波电容器的对应高度的尺寸延伸到支撑件中。
根据本发明的另一方面，支撑件可以包括在其第一面处实现的第一导电部分和在其第二面和相对面处实现的第二导电部分，滤波电容器的壳体座在支撑件中实现，以电连接第一和第二面，滤波电容器具有连接到第一导电部分的电极和连接到第二导电部分的另外的电极，这种第一和第二导电部分连接到选自电源基准和接地基准的相应的不同电压基准。
此外，第一导电部分可以至少包括第一导引孔，第一导引孔容纳第一组的接触探针，第二导电部分可以至少包括第二导引孔，第二导引孔容纳第一组的另外的接触探针，第一导电部分是以不接触通过第一膜片与其分开的第二壳体导引孔的方式形成，并且第二导电部分是以不接触通过第二膜片与其分开的第一壳体导引孔的方式形成，第一和第二膜片分别确保接触探针和另外的接触探针与第二和第一导电部分的隔离。
根据本发明的另一方面，支撑件可以包括由气隙分开的至少一对导板或模具，该一对导引板或模具是板状的并且彼此平行，每个导引件设置有第一组的接触探针的多个壳体导引孔和接触探针的相应的多个贯通导引孔，每个导引件至少具有导电部分，该导电部分至少包括容纳第一组的接触探针的导引孔。
更特别地，导引件的导电部分可以通过膜片与接触探针的贯通导引孔分开，该膜片保证接触探针与导电部分的绝缘。
此外，壳体导引孔可以具有相应的第一直径，第一直径优选地彼此相等并且小于相应的贯通导引孔的相应的第二直径，第二直径优选地彼此相等，术语直径是指导引孔的最大横向尺寸，甚至是非圆形的，与对应于由导引件限定的平面截取的横截面相对应。
此外，导电部分可以连接到选自接地基准和电源基准的不同参考电压。
这些导电部分也可以在导引件的相应面上实现。
根据本发明的另一方面，至少一个导电部分可以包括并电连接第一组的接触探针的多个壳体导引孔。
根据本发明的又一方面，这种导引件的第一导引件可以包括滤波电容器的壳体座，第一导引件的导电部分也在壳体座处延伸。
特别地，滤波电容器可以插入到壳体座中并且靠在第二导引件的导电部分上。
根据本发明的另一方面，第一和第二导引件还可以包括承载工作信号的第二组接触探针的接触探针的多个壳体导引孔，导引件的导电部分通过合适的膜片与容纳第二组的接触探针的导引孔分开，该膜片保证第二组的接触探针与导电部分的绝缘。
特别地，第二组的接触探针可以部分地涂覆有绝缘材料，优选地在贯通壳体导引孔处的一部分中涂覆。
此外，第一组的接触探针可以部分地涂覆有绝缘材料，优选地在贯通导引孔处的一部分中涂覆。
根据本发明的另一方面，支撑件还可以包括插入在占据气隙的一对导引件之间的中间导引件，这种中间导引件设置有多个导引孔，该多个导引孔容纳承载工作信号的第二组接触探针的接触探针的多个导引孔以及第一组的接触探针的相应的多个贯通导引孔，中间导引件仅滑动地接触第二组接触探针。
更特别地，第二组的接触探针的壳体导引孔可以具有相应的第一直径，第一直径优选地彼此相等并且小于相应的贯通导引孔的相应的第二直径，第二直径优选地彼此相等，术语“直径”是指所述导引孔的最大横向尺寸，甚至是非圆形的，在与由中间导引件限定的平面相对应截取的横截面上。
此外，中间导引件可以包括滤波电容器的另外的壳体座，该另外的壳体座具有相似的尺寸并且定位在形成于该对导引件的第一导引件中的壳体座处。
根据本发明的另一方面，支撑件可以是容纳所述接触探针的一对支撑件中的下支撑件，术语下是指更靠近集成在晶片上的被测器件，所述滤波电容器如此定位在接触探针的接触尖端附近，接触尖端的尺寸适于邻接被测器件的接触垫。
根据本发明的另一方面，探头可以包括多个滤波电容器。
此外，根据本发明的又一方面，导电部分可以基本上在整个支撑件上延伸并覆盖其一个面，包括并连接第一组的接触探针的第一组壳体导引孔，导电部分还包括在不属于第一组的接触探针的导引孔处的相应非导电区域。
最后，根据本发明的另一方面，探头可以包括部分地由绝缘材料涂覆的接触探针，优选地在导电部分中包括的导引孔处的一部分中，这些接触探针不与该导电部分电连接。
根据本发明的探头的特征和优点将从以下参考附图通过非限制性示例给出的实施例的描述中变得显而易见。
附图说明
在附图中：
图1示意性地示出了具有滤波电容器并适于支撑根据现有技术实现的垂直探头的探针卡；
图2A示意性地示出了根据本发明实现的垂直探头；
图2B和2C示意性地示出了图2A的探头的替代实施例；
图3A、3B示意性地示出了图2A-2C的探头的支撑件的替代实施例的平面图；
图4示意性地示出了根据本发明的垂直探头的另一替代实施例；
图5A、5B示意性地示出了图4的探头的支撑件的平面图；
图6A-6C示意性地示出了根据本发明的垂直探头的另外的替代实施例；以及
图7示意性地示出了图4的探头的支撑件的替代实施例的平面图。
具体实施方式
参考这些附图，特别是参考图2A，具有多个用于测试电子器件(尤其是集成在晶片上的电子器件)的接触探针的探头总体用20表示。
应该注意的是，附图表示根据本发明的探头的示意图，并未按比例绘制，而是绘制它们以强调本发明的重要特征。
此外，通过附图中的示例表示的本发明的不同方面显然可以相互组合并且在实施例之间互换。
特别地，如图2A所示，探头20包括多个垂直型接触探针21，该多个接触探针21滑动地容纳在支撑件22中，支撑件22基本上是板状卡。更特别地说，图2A中所示的探头20至少包括第一组接触探针，用于将电源和接地信号传送到特别是集成在晶片上的被测器件23。为了简化说明，在图2A中仅示出了每种类型的接触探针，特别是接地探针21A和电源探针21B。
在此示出的每个接触探针(特别是接地探针21A和电源探针21B)分别至少具有端部或接触尖端24A和24B，该端部或接触尖端邻接被测器件23的相应接触垫23A、23B，以执行器件和测试装置(未示出)之间的机械和电接触。
如关于现有技术所见，每个接触探针还可以包括另外的端部或接触头，该端部或接触头适于邻接到接口板或空间变换器的相应接触垫上，这是根据该领域中众所周知的配置并且为了简化说明而未示出。
接地接触探针21A和电源接触探针21B滑动地容纳在相应的壳体导引孔25A、25B中，该壳体导引孔在支撑件22中实现。
如下所述，探头20还至少包括第二组接触探针，用于承载工作信号，特别是测试装置和被测器件23之间的输入/输出信号。
众所周知，存在大量用于承载接地信号以及承载电源信号的接触探针会产生干扰，从而导致用于测试被测器件的输入/输出信号中的存在噪声，这限制了探头的频率性能。
方便地，探头20因此设置有连接到电源和接地基准的滤波元件，特别是滤波电容器30。
为了优化滤波电容器30的滤波效果并因此将由承载接地和电源信号21A和21B的接触探针引起的干扰降至最小，有利地根据本发明，滤波电容器30布置为尽可能靠近这种探针的接触尖端24A、24B，特别是连接到直接在探针的支撑件22上实现的至少一个导电部分，即表面导电部分。在优选实施例中，探头20包括用于接触探针的一对支撑件，如参考现有技术所描述的，并且这种支撑件22是下支撑件，即它是位于包括被测器件23的晶片附近的支撑件。
支撑件22(特别是其板状芯22C)由非导电材料实现，例如诸如氮化硅等陶瓷材料、或玻璃或硅基材料、或聚酰胺材料、或任何其他合适的介电材料。
有利地，根据本发明，在图2A所示的实施例中，支撑件22至少具有在其至少一个面Fa(例如参照图中的图示的其上表面)上适当地实现的导电部分22A。这种导电部分可以例如以沉积在支撑件22上并且通过光刻或通过激光限定的金属化层的形式实现。而且，这种导电部分可以由任何导电材料制成，例如金属，特别是选自铜、金、银、钯、铑及其合金，仅举几例。
方便地，导电部分22A被实现为至少包括接触探针的壳体导引孔，例如容纳接地探针21A的导引孔25A，更优选地包括多个壳体导引孔。
实质上，导电部分22A涂覆支撑件22的包括更多的壳体导引孔(特别是容纳接地探针21A的导引孔25A)的区域，这样的壳体导引探针25A因此通过导电部分22A彼此电连接，导电部分22A因此实现了公共导电平面(特别是公共接地平面)，导电部分22A适于将壳体导引孔25A并因此将接地探针21A彼此电连接并连接到接地基准GND。
导电部分22A可以延伸到接地探针21A的壳体导引孔25A中，特别是还具有正交部分22Aw，该正交部分22Aw至少部分地涂覆这种壳体导引孔25A的内壁，如图中所示。以这种方式，接地探针21A和导电部分22A之间的电接触也通过其与正交部分22Aw之间的滑动接触来实现，该正交部分22Aw涂覆容纳探针的壳体导引孔25A的内壁。
有利地，根据本发明，在这样的导电部分22A处限定至少一个用于滤波电容器的壳体部分33*。
更特别地说，这种滤波电容器30包括例如陶瓷类型的主体和布置在这种主体侧面的一对金属电极，以实现电容器的板。或者，也可以使用硅基电容器或基于适合于探头20中的壳体的另一种类型的电容器的电容器。
有利地，根据本发明，滤波电容器30的至少一个电极31电连接到支撑件22的导电部分22A并因此电连接到接地基准GND。
更特别地，滤波电容器30容纳在限定在导电部分22A中的壳体部分33*处。滤波电容器30特别地靠在这样的壳体部分33*处的导电部分22A上。这种滤波电容器30具有另外的电极32，电极32方便地连接到电源基准PWR。
有利地，根据本发明，滤波电容器30与各个接触探针的多个壳体导引孔电接触，特别是包括在导电部分22A中并与导电部分22A电连接的接地探针21A的壳体导引孔25A。
因此，滤波电容器30可以对连接到第一导电部分22A的所有接地探针21A的噪声进行滤波。
应该强调的是，滤波电容器30的尺寸被设计成容纳在探头20中，特别是靠在支撑件22上，而不妨碍其正确操作，特别是不妨碍接触探针21在相应导引孔中滑动。
更特别地，可以使用基本上平行六面体形状的分立滤波电容器，例如可商购的那些，例如具有在0.1mm和0.4mm之间、优选地在0.125mm和0.3mm之间的长度和深度以及在0.2mm和0.7mm之间、优选在0.25mm和0.6mm之间的高度。
当然可以实现支撑件22的导电部分与电源基准PWR电接触，可选地包括容纳电源探针21B的多个导引孔25B。同样在这种情况下，滤波电容器30将包括电连接到所述导电部分并且然后电连接到电源基准PWR的电极以及与接地基准GND电接触的另外的电极。
另外，可以在探头20中设置多个滤波电容器30，该多个滤波电容器30连接到形成在支撑件22上的相应导电部分22A。
根据图2B中示意性示出的替代实施例，支撑件22至少包括分别适当地在其至少一个面Fa(例如参考图的图示在其上面)上实现的第一和第二导电部分22A和22B。
同样在这种情况下，导电部分22A和22B可以以沉积在支撑件22上的金属化层的形状实现，并且随后光刻地限定，并且它们可以由每种导电材料制成，例如金属导电材料，特别是选自铜、金、银、钯、铑及其合金，仅举几例。
更特别地，支撑件22包括至少一个第一导电部分22A和第二导电部分22B，第一导电部分22A又至少包括容纳接地探针21A的导引孔25A，第二导电部分22B又包括容纳电源探针21B的至少一个导引孔25B。
在优选实施例中，第一导电部分22A包括容纳多个接地探针21A的多个导引孔25A，第二导电部分22B包括容纳电源探针21B的多个导引孔25B。
在这种情况下，第一导电部分22A涂覆支撑件22的包括容纳接地探针21A的更多导引孔25A的区域，这样的壳体导引孔25A因此通过第一导电部分22A彼此电连接，第一导电部分22A从而实现公共导电平面(特别是公共接地平面)，适于将壳体导引孔25A以及因此接地探针21A彼此电连接并连接到接地基准GND。
同样地，第二导电部分22B涂覆支撑件22的包括容纳电源探针21B的多个导引孔25B的区域，这样的壳体导引孔25B因此通过第二导电部分22B彼此电连接，第二导电部分22B因此实现了公共导电平面(特别是公共电源平面)，能够将壳体导引孔25B并且因此电源探针21B彼此电连接并连接到电源基准PWR。
在替代实施例中，探头20的所有接地探针21A或电源探针21B通过相同的导电部分22A、22B电连接。当单独的导电部分22A和/或22B连接到不同的接地和/或电源基准时，也可以考虑这种情况。
方便地，第一导电部分22A也可以延伸到容纳接地探针21A的导引孔25A中，特别是还具有正交部分22Aw，该正交部分22Aw至少部分地涂覆这些壳体导引孔25A的内壁。类似地，第二导电部分22B也可以延伸到容纳电源探针21B的导引孔25B中，特别是还具有正交部分22Bw，该正交部分22Bw至少部分地涂覆这种壳体导引孔25B的内壁。因此，接地探针21A和电源探针21B与相应的导电部分22A、22B之间的电接触也通过它们与涂覆容纳探针的壳体导引孔25A、25B内壁的相应正交部分22Aw和22Bw之间的滑动接触来实现。
然而，应该注意，即使导电部分22A、22B没有覆盖导引孔25A、25B的这种内壁，但是仍然通过尽管仅在支撑件22的表面上实现的导电部分22A、22B本身的厚度确保电接触，在探头20的正常工作期间，特别是在它们的接触端24A、24B在被测器件23的接触垫23A、23B上的按压接触期间，接地探针21A和电源探针21B仍在该表面上滑动。
有利地，根据本发明，探头20还包括至少一个滤波电容器30，该滤波电容器30具有连接到支撑件22的相应导电部分22A、22B并因此与接地和电源基准电接触的相应的电极31、32。
更特别地，滤波电容器30容纳在限定在支撑件22上的壳体部分33*处，以允许电极31连接到第一导电部分22A并因此连接到接地基准GND，并且允许另外的电极32连接到第二导电部分22B然后连接到电源基准PWR。
方便地，在导电部分22A、22B包括容纳多个接地探针21A和电源探针21B的多个导引孔25A、25B的情况下，滤波电容器30能够对连接到第一和第二导电部分22A、22B的所有这些接地探针21A和电源探针21B的噪声进行滤波。因此可以使用较少数量的电容器并且更容易地将它们分布在支撑件22上；此外，应该注意的是，这种滤波电容器30在接触探针21A和21B的接触端24A、24B附近实现，这种支撑件22方便地是探头20的下支撑件。
根据探头20的另一替代实施例，支撑件22包括用于在其主体22C中实现的滤波冷凝器30的壳体座33，如图2C中示意性所示。在这种情况下，第一导电部分22A和第二导电部分22B也延伸到该壳体座33中，以实现与滤波电容器30的电极31和32的连接。
方便地，壳体座33以第一尺寸H1延伸到支撑件22中，第一尺寸H1等于支撑件22的总厚度Sp的20-80％。在优选实施例中，第一尺寸H1具有介于100μm和300μm之间的值，更优选等于200μm，而支撑件22的总厚度Sp具有400μm至600μm之间的值，更优选等于500μm。
方便地，壳体座33以至少等于容纳在其中的滤波电容器30的相应尺寸的尺寸延伸到支撑件22中，使得这种电容器不会相对于支撑件22突出，特别是从其上面Fa突出。
应该注意的是，在任何情况下，第一导电部分22A和第二导电部分22B仅涂覆支撑件22的表面部分，特别是仅覆盖其上面Fa的一部分，而不是在这种支撑件的整个区域上延伸，如图3A中示意性所示。这允许接触探针的定位和绝缘以承载输入/输出信号，特别是在未被导电部分涂覆的支撑件22的区域中，如下所述。
更特别地，图3A示出了支撑件22的平面图，特别是其面Fa的平面图，其中第一导电部分22A包括并电连接容纳多个接地探针21A的多个导引孔25A，第二导电部分22B包括并电连接容纳多个电源探针21B的多个导电孔25B，并且至少通过支撑件22的以非导电材料制成的区域A与第一导电部分22A物理地和电子地分开，可以在区域A中实现另外的导引孔25C，用于容纳适于传输输入/输出信号的接触探针。在这种情况下，第一导电部分22A连接到接地基准GND，而第二导电部分22B连接到电源基准PWR。
如上所述，第一导电部分22A和第二导电部分22B都仅涂覆支撑件22的表面部分，特别是其面Fa的一部分，其面积小于这种面Fa的总面积。以这种方式，支撑件22没有完全被导电部分22A和22B涂覆，并且始终存在分开这些导电部分并且可以实现容纳接触探针以承载输入/输出信号(也表示为信号探测器)的导引孔25C的非导电区域A。
当然，可以在支撑件22的面Fa上仅实现一个导电部分22A或22B，或者实现包括相应的多个导引孔的多于两个导电部分，这样导致通过各个导电部分电连接。以类似的方式，可以实现导电部分以包括某种类型的所有接触探针，例如包括所有接地探针21A的导电部分。
或者，在本发明的另一实施例中，导电部分完全覆盖支撑件22并包括并连接适于容纳某种接触探针(例如接地探针)的孔，除了实现适于容纳另一种接触探针的导引孔的方便区域之外，除了适合容纳另一种接触探针(例如电源探针或信号探针外)的导引孔的方便区域之外。这些区域基本上是通过移除支撑件22的盖导电部分而获得的，因此是非导电区域。
特别地，如图3B中示意性所示，第一导电部分22A完全涂覆支撑件22的面Fa，除了相应的非导电区域A1和A2，其中电源探针21B和信号探针的壳体导引孔25B和25C分别实现在非导电区域A1和A2中。如前所述，第一导电部分22A因此连接到接地基准GND。还可以在非导电区域A2处提供第二导电部分22B，包括并连接电源探针21B的壳体导引孔25B，这样的第二导电部分22B连接到电源基准PWR。
应该注意的是，非导电区域也可以是多个不同区域的形式，每个区域仅在导引孔处实现以电绝缘。
根据图4中示意性示出的替代实施例，第一导电部分22A在支撑件22的第一面Fa处实现，特别是根据图的局部参考系的上面，而第二导电部分22B是在支撑件22的第二和相对面Fb处实现，特别是根据图的局部参考系的下面。
方便地，支撑件22在这种情况下包括滤波电容器30的壳体座33，壳体座33沿着支撑件22的整个厚度Sp延伸，以连接支撑件22自身的相对面Fa、Fb，特别是允许滤波电容器的壳体位于垂直位置，总是考虑图4的局部参考系。在这种情况下，滤波电容器30的壳体座33具有基本上等于支撑件22的第二厚度Sp的第二尺寸H2。因此可以将滤波电容器容纳在所述壳体座33中，滤波电容器具有基本上等于壳体座33的第二尺寸H2的相应尺寸或者具有小于这种第二尺寸H2的尺寸，方便的导电填充材料(例如作为导电膏)用于将这种滤波电容器30连接到第一和第二导电部分22A、22B。
更特别地，如图4所示的示例中，支撑件22还包括在支撑件22的第一面Fa上实现的第一导电部分22A，从而还包括延伸到接地探针21A的壳体导引孔25A中的正交部分22Aw，从而彼此连接并且连接到接地基准GND，支撑件22还包括在支撑件22的第二面Fb上实现的第二导电部分22B，从而还包括延伸到电源探针21B的壳体导引孔25B中的正交部分22Bw，从而彼此连接并连接到电源基准PWR。这种第一和第二导电部分22A、22B也在滤波电容器30的壳体座33处延伸，特别是与其相应的电极31和32接触。
此外，方便地，第一导电部分22A在第一面Fa上实现，从而不通过膜片Dfl接触电源探针21B的壳体导引孔25B，膜片Dfl特别是具有大于5μm的尺寸。以类似的方式，第二导电部分22B在第二面Fb上实现，从而不接触接地探针21A的壳体导引孔25A，更特别地，从而通过膜片Df2与第二导电孔22A分开，膜片Df2具有与第一膜片Dfl类似的尺寸，特别是具有大于5μm的尺寸。
在优选实施例中，如图5A和5B中示意性地所示，支撑件22被实现为包括完全涂覆支撑件22的第一面Fa的第一导电部分22A，除了相应的非导电区域A1和A2，电源探针21B和信号探针的壳体导引孔25B和25C分别在非导电区域A1和A2中实现，并且包括完全涂覆支撑件22的第二面Fb的第二导电部分22B，除了相应的非导电区域B1和B2之外，接地探针21A和信号探针的壳体导引孔25A和25C分别在非导电区域B1和B2中实现。因此，第一导电部分22A连接到接地基准GND，而第二导电部分22B连接到电源基准PWR。
根据优选的替代实施例，在图6A中示意性地示出，支撑件22包括一对板状并且彼此平行的导引件，特别是第一或下导引件或模具26以及第二或上导引件或模具27，术语下和上参考图中的表示使用，上导引件27相对于下导引件26更远离被测器件23。
特别地，实现支撑件22，使得该对上导引件27和下导引件26由气隙34分开，气隙34的高度H3等于支撑件22整体的总厚度Sp的10-40％，在该实施例中，是指作为该对上导引件27和下导引件26以及气隙34的组件。在优选实施例中，气隙34的高度H3具有介于80μm和500μm之间、更优选等于250μm的值，而支撑件22的总厚度Sp具有750μm至1250μm之间、更优选等于800μm的值。上导引件27和下导引件26具有相应的厚度Sp1、Sp2，其值在80μm和300μm之间，更优选地等于250μm。
这种上导引件27和下导引件26各自包括板状芯，接地探针21A和电源探针21B的相应多个壳体或贯通导引孔在板状芯中实现。更特别地，在图6A中作为说明而非限制的示例中，下导引件26包括板状芯26C，至少接地探针21A的第一多个贯通导引孔28A和电源探针21B的第二多个壳体导引孔28B在板状芯26C中实现。同样，上导引件27包括板状芯27C，至少接地探针21A的第一多个壳体导引孔29A和电源探针21B的第二多个贯通导引孔29B在板状芯27C中实现。
方便地，接地探针21A和电源探针21B的壳体导引孔29A和28B具有相应的直径D1A和D1B，其值在20μm和70μm之间，优选在30μm和40μm之间，而接地探针21A和电源探针21B的贯通导引孔29B和28A的相应直径D2A和D2B分别大于直径D1A和D1B，并且特别地具有在40μm和100μm之间、优选地在40μm和70μm之间的值。术语直径是指在由导引件限定的平面处截取的孔的横截面处的这种导引孔的最大横向尺寸，甚至是非圆形形状。优选地，壳体导引孔29A和28B的直径D1A和D1B基本上彼此相等；类似地，贯通导引孔28A和29B的直径D2A和D2B基本上彼此相等。
为了简化说明，下面将讨论壳体导引孔(特别是导引孔29A和28B)以及贯通导引孔(特别是导引孔29B和28A)。
应该注意的是，壳体导引孔和贯通导引孔的尺寸确保了每个接触探针21与在导引件上实现的仅一个导电部分接触，如在前面的实施例中那样。
上导引件27和下导引件26(特别是它们的板状芯27C和26C)由非导电材料制成，例如诸如氮化硅等陶瓷材料、或者是玻璃或硅基材料、或者是聚酰胺材料、或任何合适的介电材料。
此外，上导引件27和下导引件26具有相应的导电部分，这些导电部分在这种导引件(例如相应的上导引件)的至少一个面上实现，仍然参考图6A的图示；导电部分可以例如以金属化的形式实现，该金属化方便地沉积和光刻或通过激光限定。这种导电部分可以由任何导电材料制成，例如金属，特别是选自铜、金、银、钯、铑及其合金，仅举几例。
更特别地，上导引件27至少包括第一导电部分27A，第一导电部分27A包括并连接接地探针21A的壳体导引孔29A，接地探针21A因此彼此连接并且连接到接地基准GND；基本上，第一导电部分27A实现公共导电平面，特别是适于电连接导引孔29A并因此电连接接地探针21A的公共接地平面。
类似地，下导引件26至少包括第二导电部分26A，第二导电部分26A包括并且电连接电源探针21B的壳体导引孔29A，电源探针21B因此导致彼此连接并且连接到电源基准PWR；同样在这种情况下，第二导电部分26A因此实现公共导电平面，特别是适于电连接导引孔28B并因此电连接电源探针21B的公共电源平面。
应该再次注意，由于壳体导引孔和贯通导引孔的尺寸，接地探针21A仅与在上导引件27上实现的第一导电部分27A接触，并且电源探针21B是仅与在下导引件26上实现的第二导电部分26A接触。
此外，导电部分27A和26A在相应的导引件27和26上实现，从而不分别接触电源探针21B以及接地探针21A的壳体导引孔29B和28A，更特别地，从而通过相应的膜片Dfal、Dfa2、Dfb1、Dfb2(即具有大于5μm的尺寸)与这些导引孔29B、28A分开。
还可以使用至少部分绝缘的接触探针21A和21B，例如借助于具有绝缘材料的涂层，特别是在贯通导引孔28A和29B处的部分，以避免这种接触探针21A和21B与导电部分27A和26A之间的不期望的电接触。在这种情况下，导电部分和未连接的导引孔之间存在膜片也是不必要的。
在一个实施例中，探头20的所有接地探针21A或电源探针21B通过相同的导电部分27A、26A电连接；或者，这些接地探针21A或这种电源探针21B中的仅一部分可以分别连接到第一或第二导电部分27A、26A。还可以考虑这样的情况，其中不同的第一导电部分27A和/或不同的第二导电部分26A连接到不同的接地和/或电源基准。
同样在该实施例中，上导引件27的第一导电部分27A和下导引件26的第二导电部分26A都仅涂覆这种导引件的表面部分，特别是仅相应的上面的一部分，而不是沿着这种导引件的整个区域延伸。这允许接触探针的布置和绝缘，用于在支撑件22的区域中(特别是在其未被导电部分涂覆的导引件26和27的区域中)承载输入/输出信号。
此外，支撑件22包括至少一个容纳在壳体座中的滤波电容器30，该壳体座在支撑件22中实现并且以垂直构造布置，以分别接触上导引件27的第一导电部分27A和下导引件26的第二导电部分26A。
在图6A所示的实施例中，支撑件22包括容纳在相应的壳体座33A和33B中的第一滤波电容器30A和第二滤波电容器30B。更特别地，壳体座33A和33B在上导引件27的芯27C中实现，并且滤波电容器30A、30B被容纳以在各个壳体部分33A*和33B*处将其一个电极靠在下导引件26的第二导电部分26A上，另外的电极与上导引件27的第一导电部分27A接触。
在一个实施例中，这样的壳体导引孔33A、33B的尺寸设计成容纳商业上可获得的分立电容器并且在上导引件27和下导引件26处使用近似正方形区域，特别是具有在0.1mm和0.4mm之间、优选在0.125mm和0.3mm之间的边长。
壳体座33A、33B的高度(对应于上导引件27的厚度)和气隙34的高度之和优选地等于应当容纳在导引件之间的滤波电容器30A、30B的相应尺寸H2，其值在0.2mm和0.7mm之间，优选在0.25mm和0.6mm之间。以这种方式，靠在下导引件26上的滤波电容器30A、30B不从上导引件27的上面突出。
在优选实施例中，第一和第二导电部分27A、26A还包括正交部分27Aw、26Aw，正交部分27Aw、26Aw分别至少部分地涂覆接地探针21A和电源探针21B的壳体导引孔29A、28B的内壁。以这种方式，接地探针21A和电源探针21B与相应的第一或第二导电部分27A、26A之间的电接触通过它们与相应的导电部分27A、26A的正交部分27Aw、26Aw之间的接触滑动来实现，正交部分27Aw、26Aw涂覆容纳探针的导引孔29A、28B的壁。
然而，应该注意的是，同样在导电部分27A、26A没有涂覆导引孔29A、28B的这种内壁的情况下，接触总是由这些导电部分的厚度给予，在通过探头20执行的测试操作期间，相应的接触探针在这些导电部分上在其移动时无论如何都会滑动。
如已经提到的，探头20通常还包括另外的接触探针，特别是用于承载操作信号(即在测试装置和被测器件23之间的输入/输出信号)的探针，也被表示为信号探针。在图6B和6C的示例中，仅示出这些探针中的一个作为示例，以下表示为信号探针21C。
在这种情况下，如图6B所示的示例中，上导引件27和下导引件26包括这种信号探针21C的相应的壳体导引孔29C和28C，其具有相应的直径D1C，其值与接地探针21A和电源探针21B的壳体导引孔29A和28B的直径DlA、D1B相似，并且其值特别地介于20μm和70μm之间、优选地介于30μm和40μm之间。而且，如前所述，第一和第二导电部分27A、26A分别在上导引件27和下导引件26上实现，以通过适当的膜片Dfcl、Dfc2(特别是具有大于5μm的尺寸)由信号探针21C的这种壳体导引孔29C、28C分开。
还可以使用至少部分地绝缘的信号探针21C，例如通过绝缘材料中的涂层，特别是在壳体导引孔29C、28C处的一部分中，以分别防止这些信号探针21C和导电部分27A、26A之间不期望的电连接。在这种情况下，导电部分和贯通导引孔之间的膜片的存在也是不必要的。
在图6C所示的替代实施例中，支撑件22还可以包括中间导引件35，中间导引件35插入在上导引件27和下导引件26之间并且优选地与它们接触。基本上，中间导引件35占据上导引件27和下导引件26之间的气隙34。特别地，在中间导引件35中，存在接地探针21A的第一多个贯通导引孔36A、电源探针21B的第二多个贯通导引孔36B和信号探针21C的第三多个壳体导引孔36C。还将分别提供在上导引件27和下导引件26中形成的信号探针21C的相应的多个贯通导引孔29*C、28*C。
如前所述，接触探针21的壳体导引孔36C具有直径D1C，其值与接触探针21A和21B的壳体导引孔29A和28B的直径D1A、D1C的值相似，并且在特别地，其值在20μm和70μm之间，优选地在30μm和40μm之间，而接地探针21A和电源探针21B的贯通导引孔36A、36B的相应直径D2A和D2B大于直径D1A、D1B和D1C，特别是具有40μm和100μm之间、优选地在40μm和70μm之间的值。另外，在上导引件27和下导引件26中实现的信号探针21C的贯通导引孔29*C、28*C分别具有基本上彼此相等的直径D2C，直径D2C与在上导引件27和下导引件26中形成的另一个贯通导引孔的直径D2A和D2B相等，特别是具有40μm和100μm之间、优选地在40μm和70μm之间的值。
如前所述，壳体的这种尺寸和贯通导引孔确保仅接地探针21A和电源探针21B与在相应导引件上实现的导电部分接触，信号探针21C仅与中间导引件35接触，中间导引件35可方便地用非导电材料制成，例如氮化硅等陶瓷材料、或玻璃或硅基材料、或聚酰胺材料、或任何其它合适的介电材料。
以这种方式，信号探针21C相对于接地和电源基准绝缘，仅与没有配备任何导电部分的中间导引件35滑动接触。
如前所述，上导引件27和下导引件26具有在这种导引件的至少一个面(例如相应的上表面)上实现的相应的导电部分，适于实现与滤波电容器30A、30B的接触，如参考图6A所示。
此外，在中间导引件35中还实现了这种滤波电容器30A、30B的壳体座37A和37B，其尺寸相等并定位在设置在上导引件27中的壳体座33A、33B上。特别是，对应于上导引件27的厚度Sp1与中间导引件35的厚度Sp3之和的壳体座33A、33B和另外的壳体座37A和37B的高度之和优选地等于应该容纳在导引件之间的滤波电容器30A、30B相应的尺寸H2，并且具有介于250μm至600μm之间、优选地400μm的值。以这种方式，靠在下导引件26上的滤波电容器30A、30B不从上导引件27的上面突出。
如前所述，滤波电容器30A、30B特别地位于下导引件26上，分别位于在第二导电部分26A上实现的各个壳体部分33A*、33B*处。
下导引件26又具有厚度Sp2，其值在80μm和500μm之间，更优选地等于250μm。
此外，如前所述，第一导电部分27A在第一导引件27上实现，以不接触电源探针21B的贯通导引孔29B和信号探针21C的贯通导引孔29C，更特别地是为了通过相应的膜片与这些导引孔分开；类似地，第二导电部分26A在第二导引件26上实现，以不接触接地探针21A的贯通导引孔28A和信号探针21C的贯通导引孔28C，更特别地是为了通过相应的膜片与这些导引孔分开。
同样在这种情况下，可以使用至少部分绝缘的接触探针21A、21B和21C，特别是在其相应的壳体导引孔28A、29B、28*C和29*C处的一部分中，以避免这些接触探针21A、21B和21C与导电部分27A和26A之间的不希望的电连接。在这种情况下，导电部分和贯通导引孔之间的膜片的存在可能是不必要的。
重要的是要注意，在实际应用中，支撑件22包括大量的导引孔，这些导引孔应该通过复杂的图案连接，接地探针和电源探针的壳体导引孔经常交替。方便地，通过使用在这种支撑件22或其相应的导引件26和27的表面上实现的导电部分，可以实现这种连接并允许容纳滤波电容器30。
更特别地，参考图7，示意性地示出了支撑件22，支撑件22包括接触探针的多个壳体导引孔。更特别地，支撑件22包括根据第一图案P1分布的至少第一组导引孔，例如接地探针21A的壳体导引孔25A，以及根据第二图案P2分布的至少第二组导引孔，例如电源探针21B的壳体导引孔25B。
在图7的实施例中，支撑件22包括在其第一面Fa上实现的第一导电部分22A，第一导电部分22A包括并连接第一图案P1的第一组导引孔25A并且包括在不属于这种第一图案P1的导引孔处实现的相应的非导电区域A1、A2、A3。类似地，支撑件22包括在其第二面Fb上实现的第二导电部分22B，在图中以透明方式示出，这种第二导电部分22B包括并连接第一图案P2的第二组导引孔25B并且包括在不属于这种第二图案P2的导引孔处实现的相应的非导电区域B1、B2。在这种情况下，第一导电部分22A因此连接到接地基准GND，并且第二导电部分22B连接到电源基准PWR。
此外，支撑件22包括至少一个滤波电容器30，该滤波电容器30设置成不具有分别与第一和第二导电部分22A和22B接触的相应的电极。
同样在这种情况下，探头20可以包括通过绝缘材料部分涂覆的接触探针，优选地在包括在导电部分中的导引孔处的位置处，这些接触探针不必电连接到该导电部分。
总之，有利地根据本发明，就信号滤波而言，尤其是电源信号(PWR)和接地信号(GND)，获得具有改进性能的探头，并且因此能够改善包括这种探头的探针卡的频率性能，降低其高频阻抗。
特别地，已经证实，包括根据本发明的探头的探针卡允许相对于已知解决方案的频率性能加倍。
方便地，根据本发明的探头允许容纳市场上可用的分立电容器。此外，电连接导引孔组以及插入其中的接触探针组的导电部分的存在允许减少所需电容器的总数，因此需要提供导引件的相应区域以容纳这样的电容器，这种区域应该没有导引孔。
显然，为了满足特定的需要和规范，本领域技术人员可以对上述探头进行多种修改和变化，所有这些都包括在由所附权利要求限定的本发明的保护范围内。

Claims (27)

1.一种探头(20)，包括多个接触探针(21A，21B，21C)，所述多个接触探针滑动地容纳在相应的多个导引孔中(25A，27A，29A，36A；25B，27B，29B，36B；28C，29C，36C)，所述多个导引孔在板状支撑件(22)中实现，所述多个接触探针(21A，21B，21C)包括承载接地和电源信号(GND，PWR)的至少第一组接触探针(21A，21B)，其特征在于，所述探头包括至少一个滤波电容器(30)，所述滤波电容器具有至少一个电极(31)，所述电极与导电部分(22A，27A；22B，26A)电连接，所述导电部分在所述支撑件(22)上实现并且包括所述第一组的接触探针(21A，21B)的至少一个壳体导引孔(25A，29A；25B，28B)。
2.根据权利要求1所述的探头(20)，其特征在于，所述导电部分(22A，27A；22B，26A)分别连接到选自接地基准和电源基准(GND，PWR)的第一电压基准，所述滤波电容器(30)包括分别连接到第二不同电压基准的另外的电极(32)，所述第二不同电压基准选自电源基准和接地基准(PWR，GND)。
3.根据权利要求1或2所述的探头(20)，其特征在于，所述导电部分(22A，27A；22B，26A)包括并电连接所述第一组的所述接触探针(21A，21B)的多个壳体导引孔(25A，29A；25B，28B)。
4.根据前述权利要求任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述导电部分(22A，27A；22B，26A)包括正交部分(22Aw，27Aw；22Bw，26Aw)，所述正交部分至少部分地在所述第一组的所述接触探针(21A，21B)的所述壳体导引孔(25A，29A；25B，28B)内延伸。
5.根据前述权利要求中任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述探头包括不同的导电部分，所述导电部分包括不同的多个壳体导引孔并连接到不同的电压基准，所述电压基准选自电源基准和接地基准(PWR，GND)。
6.根据前述权利要求中任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述支撑件(22)至少包括所述滤波电容器(30)的壳体座(33)，所述导电部(22A，22B)也相应于所述壳体座(33)延伸，以实现与所述滤波电容器(30)的所述至少一个电极(31)的连接。
7.根据权利要求6所述的探头(20)，其特征在于，所述滤波电容器(30)的所述壳体座(33)以尺寸(H1，H2)延伸到所述支撑件(22)中，所述尺寸等于所述滤波电容器(30)的相应高度。
8.根据前述权利要求任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述支撑件(22)包括与其第一面(Fa)对应形成的第一导电部分(22A)和与其第二和相对的面(Fb)对应形成的第二导电部分(22B)，所述滤波电容器(30)的所述壳体座(33)形成在所述支撑件(22)中，以使所述第一和第二面(Fa，Fb)连通，所述滤波电容器(30)具有连接到所述第一导电部分(22A)的电极(31)和连接到所述第二导电部分(22B)的另外的电极(32)，所述第一和第二导电部分(22A，22B)连接到选自电源基准和接地基准(PWR，GND)的相应的不同电压基准。
9.根据权利要求8所述的探头(20)，其特征在于，所述第一导电部分(22A)至少包括所述第一组的接触探针(21A)的第一壳体导引孔(25A)，所述第二导电部分(22B)至少包括所述第一组的另外的接触探针(21B)的第二壳体导引孔(25B)，所述第一导电部分(22A)以不接触与其通过第一膜片(Dfl)分开的所述第二壳体导引孔(25B)的方式形成，并且所述第二导电部分(22B)以不接触与其通过第二膜片(Df2)分开的所述第一壳体导引孔(25A)的方式形成，所述第一和第二膜片(Dfl，Df2)确保所述接触探针(21A)和所述另外的接触探针(21B)分别与所述第二和第一导电部分(22B，22A)隔离。
10.根据前述权利要求中任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述支撑件(22)包括通过气隙(34)分开的至少一对导引件(27，26)，所述至少一对导引件呈板状并且彼此平行，每个所述导引件(27，26)设置有所述第一组的所述接触探针(21A，21B)的多个壳体导引孔(29A，28B)和所述接触探针(21B，21A)的相应多个贯通导引孔(29B，28A)，每个所述导引件(27，26)至少具有导电部分(27A，26A)，所述导电部分至少包括所述第一组的接触探针(21A，21B)的至少一个壳体导引孔(29A、28B)。
11.根据权利要求10所述的探头(20)，其特征在于，所述导引件(27，26)的所述导电部分(27A，26A)通过膜片(Dfal，Dfa2，Dfb1，Dfb2)与所述接触探针(21B，21A)的所述贯通导引孔(29B，28A)分开，所述膜片保证所述接触探针(21B，21A)与所述导电部分(27A，26A)的绝缘。
12.根据权利要求10或11所述的探头(20)，其特征在于，所述壳体导引孔(29A、28B)具有相应的第一直径(D1A，D1B)，所述第一直径优选地彼此相等并且分别小于所述相应的贯通导引孔(28A，29B)的相应第二直径(D2A，D2B)，所述第二直径优选地彼此相等，根据与由所述导引件(27，26)限定的平面相对应截取的横截面，直径是指所述导引孔的最大横向尺寸，甚至是非圆形的。
13.根据权利要求10至12中任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述导电部分(27A，26A)连接到选自接地基准和电源基准(GND，PWR)的不同参考电压。
14.根据权利要求10至13中任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述导电部分(27A，26A)形成在所述导引件(27，26)的相应面上。
15.根据权利要求10至14中任一项所述的探头(20)，其特征在于，至少一个导电部分(27A；26A)包括并电连接所述第一组的所述接触探针(21A，21B)的多个壳体导引孔(29A；28B)。
16.根据权利要求10至15中任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述导引件(27，26)中的第一导引件(27)包括所述滤波电容器(30A的壳体座(33A；33B)，所述第一导引件(27)的所述导电部分(27A)也相应于所述壳体座(33A；33B)延伸。
17.根据权利要求16所述的探头(20)，其特征在于，所述滤波电容器(30A，30B)插入所述壳体座(33A；33B)中并靠在所述第二导引件(26)的所述导电部分(26A)上。
18.根据权利要求10至17中任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述第一和第二导引件(27，26)还包括承载工作信号的第二组接触探针的接触探针(21C)的多个壳体导引孔(29C，28C)，所述导引件(27，26)的所述导电部分(27A，26A)通过合适的膜片(Dfcl，Dfc2)与所述接触探针(21C)的所述壳体导引孔(29C，28C)分开，所述膜片保证所述第二组的所述接触探针(21C)与所述导电部分(27A，26A)绝缘。
19.根据权利要求18所述的探头(20)，其特征在于，所述第二组的所述接触探针(21C)部分地涂覆有绝缘材料，优选地在与所述壳体导引孔(29C，28C)相对应的部分中。
20.根据权利要求10至19中任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述第一组的所述接触探针(21A，21B)部分地涂覆有绝缘材料，优选地在与所述贯通导引孔(29B，28A)相对应的部分中。
21.根据权利要求10至20中任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述支撑件(22)还包括插入在占据所述气隙(34)的所述一对导引件(27，26)之间的中间导引件(35)，所述中间导引件(35)设置有承载工作信号的第二组接触探针的接触探针(21C)的多个壳体导引孔(36C)和所述第一组的接触探针(21A，21B)的相应多个贯通导引孔(36A，36B)，所述中间导引件(35)仅滑动地接触所述第二组的所述接触探针(21C)。
22.根据权利要求21所述的探头(20)，其特征在于，所述第二组的所述接触探针(21C)的所述壳体导引孔(36C)具有相应的第一直径(D1C)，所述第一直径优选地彼此相等并且小于所述相应的贯通导引孔(36A，36B)的相应的第二直径(D2C)，所述第二直径优选地彼此相等，根据与由所述中间导引件(35)限定的平面相对应截取的横截面，直径是指所述导引孔的最大横向尺寸，甚至是非圆形的。
23.根据权利要求21或22所述的探头(20)，其特征在于，所述中间导引件(35)包括所述滤波电容器(30A，30B)的另外的壳体座(37A，37B)，所述壳体座具有相似的尺寸并与形成在所述一对导引件(27，26)的所述第一导引件(27)中的所述壳体座(33A，33B)相对应地定位。
24.根据前述权利要求中任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述支撑件(22)是容纳所述接触探针(21A，21B，21C)的一对支撑件中的下支撑件，下是指更靠近在集成在晶片上的被测器件(23)，所述滤波电容器(30)以这种方式定位在所述接触探针(21A，21B，21C)的接触尖端附近，所述接触尖端适于邻接到所述被测器件(23)的接触垫(23A，23B)。
25.根据前述权利要求任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述探头包括多个滤波电容器(30，30A，30B)。
26.根据前述权利要求任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述导电部分(22A，22B)基本上在所有所述支撑件(22)上延伸并覆盖所述支撑件的一个面(Fa，Fb)，包括并连接所述第一组的接触探针(21A，21B)的第一组壳体导引孔(25A，25B)，所述导电部分(22A，22B)还包括对应于不属于所述第一组的接触探针(21A，21B，21C)的壳体导引孔的相应的非导电区域(A1，A2，A3，B1，B2)。
27.根据前述权利要求中任一项所述的探头(20)，其特征在于，所述探头包括部分地由绝缘材料涂覆的接触探针(21A，21B，21C)，优选地在与导电部分中包括的导引孔相对应的部分中，所述接触探针(21A，21B，21C)不与所述导电部分电连接。
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