CN110099798A - 液体喷射头、液体喷射装置、液体循环方法以及液体喷出方法 - Google Patents

液体喷射头、液体喷射装置、液体循环方法以及液体喷出方法 Download PDF

Info

Publication number
CN110099798A
CN110099798A CN201780079984.9A CN201780079984A CN110099798A CN 110099798 A CN110099798 A CN 110099798A CN 201780079984 A CN201780079984 A CN 201780079984A CN 110099798 A CN110099798 A CN 110099798A
Authority
CN
China
Prior art keywords
liquid
generating chamber
pressure generating
pressure
ejecting head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201780079984.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110099798B (zh
Inventor
小泽欣也
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Publication of CN110099798A publication Critical patent/CN110099798A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110099798B publication Critical patent/CN110099798B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/04588—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits using a specific waveform
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
    • B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
    • B41J2/04581—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits controlling heads based on piezoelectric elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/18—Ink recirculation systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J29/00—Details of, or accessories for, typewriters or selective printing mechanisms not otherwise provided for
    • B41J29/38—Drives, motors, controls or automatic cut-off devices for the entire printing mechanism
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
    • B41J2002/14241—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm having a cover around the piezoelectric thin film element
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14491—Electrical connection
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/12—Embodiments of or processes related to ink-jet heads with ink circulating through the whole print head

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Ink Jet (AREA)

Abstract

本发明提供能够维持液体的循环并且能够可靠地抑制喷嘴开口附近的液体的增稠或成分的沉降从而防止液体的喷出特性的恶化的液体喷射头、液体喷射装置、液体循环方法以及液体喷出方法。液体喷射头具备：第一压力产生室(12a)，其具备第一压力产生单元；第二压力产生室(12b)，其具备第二压力产生单元；连通通道(17)，其使第一压力产生室(12a)和第二压力产生室(12b)连通；液体供给通道(14a)，其向第一压力产生室(12a)供给液体；液体流出通道(14b)，其使液体从第二压力产生室(12b)流出，液体喷射头从与第一压力产生室(12a)和第二压力产生室(12b)中的任意一个连通的喷嘴开口(21)喷射出液体，并构成为，喷嘴开口(21)的惯性阻力Mn、液体供给通道(14a)的惯性阻力Ms1和液体流出通道(14b)的惯性阻力Ms2的关系满足下式(1)，Mn＜Ms2＜Ms1…(1)。

Description

液体喷射头、液体喷射装置、液体循环方法以及液体喷出方法
技术领域
本发明涉及从喷嘴开口喷射出液体的液体喷射头、液体喷射装置、液体循环方法以及液体喷出方法。
背景技术
作为液体喷射装置，例如，具有一种具备喷墨式记录头(记录头)的喷墨式记录装置，所述喷墨式记录头具备由压电元件构成的压力产生单元、通过压力产生单元而产生用于喷出油墨滴的压力的多个压力产生室、从共用的液体贮留部(歧管)向各压力产生室单独地供给油墨的油墨供给通道、被形成于各压力产生室中并喷出油墨滴的喷嘴开口。
在所涉及的喷墨式记录装置中，向与对应于印字信号的喷嘴开口连通的压力产生室内的油墨施加喷出能量从而从喷嘴开口向外部喷出油墨滴，并使油墨滴喷落于纸等记录介质的预定位置上。
因此，在这种喷墨式记录装置的记录头中，喷嘴开口面对大气。因此，会由于经由喷嘴开口的水分的蒸发而使油墨增稠，或者使油墨成分沉降，从而给油墨滴的喷出特性带来不良影响。即，当增稠油墨或沉降成分即使存在一部分时，也会产生如下的不良现象，即，经由喷嘴开口的油墨滴的喷出量以及喷出速度发生变化、从而产生喷落的偏差这样的不良现象。
为了避免所涉及的不良现象，提出了一种喷墨式记录装置的记录头，其改进为，使与喷嘴开口连通的压力产生室的油墨进行循环，从而使油墨不滞留于喷嘴开口附近(例如参照专利文献1)。这样的循环方式的记录头被构成为，在被配置在对具有喷嘴开口的多个压力产生室进行夹持的两侧并与各压力产生室连通的第一歧管以及第二歧管之间，使油墨经由各压力产生室而进行循环。
另一方面，提出了一种循环方式的记录头，其具备具有第一压电致动器的第一压力产生室、和具有第二压电致动器的第二压力产生室，并使两者连通，从而使油墨进行循环(例如，参照专利文献2)。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2014-61695号公报
专利文献2：日本特开2015-134507号公报
发明内容
发明所要解决的课题
但是，在专利文献1以及专利文献2中，完全没有公开如何设计记录头的循环流道、如何对其进行驱动，记录头的具体的油墨的循环方法不明确。
并且，这样的问题不仅存在于喷出油墨的喷墨式记录头中，也同样地存在于对喷射油墨以外的液体进行喷射的液体喷射头中。
本发明鉴于这样的情况，其目的在于，提供如下的液体喷射头、液体喷射装置、液体循环方法以及液体喷出方法，其能够通过具有两个压力产生室的流道来维持液体的循环，并且，能够可靠地抑制喷嘴开口附近的液体的增稠或成分的沉降而防止液体的喷出特性的恶化。
用于解决课题的手段
用于解决上述课题的本发明的方式在于一种液体喷射头，其特征在于，具备：第一压力产生室，其具备第一压力产生单元；第二压力产生室，其具备第二压力产生单元；连通通道，其使所述第一压力产生室和所述第二压力产生室连通；液体供给通道，其向所述第一压力产生室供给液体；液体流出通道，其使液体从所述第二压力产生室流出，所述液体喷射头从与所述第二压力产生室连通的喷嘴开口喷射出液体，所述液体喷射头构成为，所述喷嘴开口的惯性阻力Mn、所述液体供给通道的惯性阻力Ms1和所述液体流出通道的惯性阻力Ms2的关系满足下式(1)，
Mn＜Ms2＜Ms1…(1)。
在所涉及的方式中，通过喷嘴开口的惯性阻力Mn取小于其他的惯性阻力Ms1、Ms2的值，从而能够使喷嘴开口附近的液体进行循环，并能够可靠地抑制在喷嘴开口处即将被喷出之前的液体的干燥、或液体所含的成分的沉降。另外，通过构成为，液体流出通道的惯性阻力Ms2小于液体供给通道的惯性阻力Ms1，从而能够在不设置泵等液体循环单元的情况下使液体可靠地进行循环。
在此，上述液体喷射头优选构成为，所述液体供给通道的流道阻力Rs1和所述液体流出通道的流道阻力Rs2的关系满足下式(2)，
Rs2≈Rs1…(2)。
由此，能够几乎忽视液体供给侧与液体流出侧之间的流道阻力差，从而能够不迟滞地使液体进行循环。
另外，上述液体喷射头优选为，具备：液体循环通道，其被连接于所述液体供给通道和所述液体流出通道之间，并使液体进行循环；驱动单元，其对所述第一压力产生单元以及所述第二压力产生单元进行驱动，所述驱动单元通过在输出了对所述第一压力产生单元进行驱动而使所述第一压力产生室收缩的第一驱动信号之后，延迟预定期间，并输出对所述第二压力产生单元进行驱动而使所述第二压力产生室收缩的第二驱动信号，从而依次对所述第一压力产生单元以及所述第二压力产生单元进行驱动。由此，能够有效地使液体进行循环。
另外，在上述液体喷射头中，优选为，所述驱动单元输出使所述第一压力产生单元以及所述第二压力产生单元进行微振动的微振动信号。由此，通过微振动而使喷嘴开口附近的液体易于流动，从而能够可靠地抑制喷嘴开口附近的液体的增稠或成分的沉降。
另外，上述液体喷射头优选为，由多个所述第一压力产生室构成的第一列和由多个所述第二压力产生室构成的第二列被并排设置，两者的并排设置位置不同，在所述第一列内的所述第一压力产生室之间配置所述第二压力产生室。由此，能够进行头结构的集成化，并提高分辨率。
另外，上述液体喷射头优选构成为，所述第一压力产生单元的柔量Cs1和所述第二压力产生单元的柔量Cs2的关系满足下式(3)，
Cs2≤Cs1…(3)。
由此，能够防止由第一压力产生单元的驱动而引起的液体从喷嘴开口的喷出。
另外，在上述液体喷射头中，优选为，所述驱动单元在液体喷出时，在输出所述第二驱动信号并对所述第二压力产生单元进行驱动之后，在该液体喷射头的固有周期Tc以内，输出使所述第一压力产生室进行收缩或膨胀的第三驱动信号，从而对所述第一压力产生单元进行驱动。由此，通过在上述的驱动的定时来对第一压力产生单元进行驱动，从而能够以液体不会从喷嘴开口喷出的程度来按压喷嘴开口附近的液体，并能够防止从喷嘴开口被喷出的液体的拖尾。
本发明的其他方式在于一种液体喷射装置，其特征在于，具有上述方式中的任意一个方式所记载的液体喷射头。
在所涉及的方式中，能够实现如下的液体喷射装置，即，能够通过具有两个压力产生室的流道来维持液体的循环，并且，可靠地抑制喷嘴开口附近的液体的增稠或成分的沉降，从而防止液体的喷出特性的恶化的液体喷射装置。
另外，本发明的其他方式在于一种液体循环方法，其特征在于，使液体在液体喷射头中循环，所述液体喷射头具备：第一压力产生室，其具备第一压力产生单元；第二压力产生室，其具备第二压力产生单元；连通通道，其使所述第一压力产生室和所述第二压力产生室进行连通；液体供给通道，其向所述第一压力产生室供给液体；液体流出通道，其使液体从所述第二压力产生室流出；液体循环通道，其被连接于所述液体供给通道与所述液体流出通道之间，所述液体喷射头从与所述第二压力产生室连通的喷嘴开口喷射出液体，在所述液体循环方法中，使用以所述喷嘴开口的惯性阻力Mn、所述液体供给通道的惯性阻力Ms1和所述液体流出通道的惯性阻力Ms2的关系满足下式(4)的方式而构成的液体喷射头，
Mn＜Ms2＜Ms1…(4)，
通过反复进行如下的工序，而使该液体进行循环，即，将经由所述液体供给通道向所述第一压力产生室供给的液体，经由所述连通通道以及所述第二压力产生室而向所述液体流出通道流出，并使该液体经由所述液体循环通道而向所述液体供给通道返回的工序。
在所涉及的方式中，能够通过具有两个压力产生室的流道来维持液体的循环，并且，可靠地抑制喷嘴开口附近的液体的增稠或成分的沉降，从而防止液体的喷出特性的恶化。
另外，本发明的其他的方式在于一种液体喷出方法，其特征在于，使用液体喷射头而喷出液体，所述液体喷射头具备：第一压力产生室，其具备第一压力产生单元；第二压力产生室，其具备第二压力产生单元；连通通道，其使所述第一压力产生室和所述第二压力产生室进行连通；液体供给通道，其向所述第一压力产生室供给液体；液体流出通道，其使液体从所述第二压力产生室流出；驱动单元，其对所述第一压力产生单元以及所述第二压力产生单元进行驱动，所述液体喷射头从与所述第二压力产生室连通的喷嘴开口喷射出液体，所述液体喷射头构成为，所述喷嘴开口的惯性阻力Mn、所述液体供给通道的惯性阻力Ms1、所述液体流出通道的惯性阻力Ms2的关系满足下式(5)，
Mn＜Ms2＜Ms1…(5)，
在所述液体喷出方法中，所述驱动单元通过在输出对所述第一压力产生单元进行驱动的第一驱动信号之后，延迟预定期间，并输出对所述第二压力产生单元进行驱动的第二驱动信号，从而依次对所述第一压力产生单元以及所述第二压力产生单元进行驱动，而从所述喷嘴开口喷出液体。
在所涉及的方式中，能够通过具有两个压力产生室的流道来维持液体的循环，并且，可靠地抑制喷嘴开口附近的液体的增稠或成分的沉降，从而防止液体的喷出特性的恶化。
附图说明
图1为实施方式1的记录头的剖视图。
图2为使图1的主要部分放大后的放大剖视图。
图3为图1的A-A’线剖视图。
图4为表示实施方式1的记录头的控制结构示例的框图。
图5为表示实施方式1的记录头的控制结构示例的框图。
图6为表示实施方式1的记录头的油墨喷出时的驱动信号示例的图。
图7为表示实施方式1的记录头的油墨非喷出时的驱动信号示例的图。
图8为表示实施方式2的记录头的油墨喷出时的驱动信号示例的图。
图9为表示实施方式3的记录头的流道的剖视图。
图10为表示喷墨式记录装置的一个示例的概要的立体图。
具体实施方式
以下，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。以下的说明为表示本发明的一个方式的说明，并能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行任意的变更。并且，在各个附图中标记相同的符号的部件表示相同的部件，并适当地省略了说明。另外，X、Y以及Z表示相互正交的三个空间轴。在本说明书中，将沿着这些轴的方向分别设为第一方向X(X方向)、第二方向Y(Y方向)以及第三方向Z(Z方向)，将各图的箭头标记所朝向的方向设为正(+)方向，并将箭头标记的相反方向设为负(-)方向，进行说明。X方向以及Y方向表示各结构要素的面内方向，Z方向表示各结构要素的厚度方向或层叠方向。
另外，在各附图中表示的结构要素、即各部的形状或大小、层的厚度、相对的位置关系、重复单位等有时在对本发明进行说明的基础上被夸张地表示。而且，本说明书的“上”这一用词并未对结构要素的位置关系为“正上方”的情况进行限定。例如，“基板上的第一电极”或“第一电极上的压电体层”这一表现方式并未排除在基板与第一电极之间或第一电极与压电体层之间包括其他的结构要素的情况。
实施方式1
液体喷射头
首先，参照图1至图3，对作为被搭载于液体喷射装置上的液体喷射头的一个示例的、被搭载于喷墨式记录装置(以下，称为记录装置)上的喷墨式记录头(以下，称为记录头)进行说明。图1为实施方式1的记录头的剖视图，图2为将图1的主要部分放大后的放大剖视图，图3为图1的A-A’线剖视图。
如图所示，流道形成基板(以下，称为基板)10由预定的面取向的硅(Si)单晶基板构成。并且，基板10的材料并未被限于Si，也可以为SOI、玻璃、金属等。另外，在基板10的一个面上，形成有由二氧化硅(SiO2)构成的弹性膜51。在基板10的另一个面(与弹性膜51相反侧的面)上，以跨及+Y方向而呈大致直线状地排列的方式设置有多个第一压力产生室12a。另外，在多个第一压力产生室12a的长度方向一侧(+X方向侧)，以跨及+Y方向而呈大致直线状地排列、且与由多个第一压力产生室12a组成的列相邻的方式，设置有多个第二压力产生室12b。多个第一压力产生室12a、和多个第二压力产生室12b各自的+Y方向的位置被设置为相同。
歧管100a经由液体供给通道14a而被连通地设置在第一压力产生室12a的长度方向的一端部侧(-X方向侧)。歧管100a为多个第一压力产生室12a所共用的共用液体室。由此，从作为液体贮留单元的油墨罐9向歧管100a供给油墨，该油墨经由液体供给通道14a而向第一压力产生室12a供给。液体供给通道14a通过窄于第一压力产生室12a的宽度(开口)而被形成，并将从歧管100a向第一压力产生室12a供给的油墨的流道阻力(后述的液体供给通道14a的流道阻力Rs1)保持为恒定。在本实施方式中，通过多个第一压力产生室12a以及液体供给通道14a而构成与作为共用流道的歧管100a连通的多个单独流道。
另外，歧管100b经由液体流出通道14b而被连通地形成在第一压力产生室12a的相反侧(+X方向侧)。这些结构除了配置为相反侧(+X方向侧)之外，其他与第一压力产生室12a、液体供给通道14a以及歧管100a相同。并且，液体流出通道14b将从第二压力产生室12b向歧管100b流出的油墨的流道阻力(后述的液体流出通道14b的流道阻力Rs2)保持为恒定。
在基板10的开口面侧(与弹性膜51的相反侧)，经由粘合剂或热熔敷薄膜等而设置有连通板15，第一压力产生室12a以及第二压力产生室12b的下方侧(-Z方向侧)由连通板15密封。在连通板15的与第一压力产生室12a的+X方向侧的端部以及第二压力产生室12b的-X方向侧的端部对置的部分上，分别设置有与第一压力产生室12a以及第二压力产生室12b连通并在厚度方向上贯穿至一半程度为止的连通通道16a以及在厚度方向上贯穿的连通通道16b。连通通道16a针对每个第一压力产生室12a而被独立地设置，连通通道16b针对每个第二压力产生室12b而被独立地设置。因此，连通通道16a、16b与第一压力产生室12a以及第二压力产生室12b分别形成的列同样地，呈大致直线状地被并排设置。
另外，在连通板15的连通通道16a与连通通道16b之间设置有连通通道17。连通通道17被设置于第一压力产生室12a所成的列、和与该列相邻的第二压力产生室12b所成的列之间，连通通道17的上侧(+Z方向侧)被基板10封闭。连通通道17沿着第一压力产生室12a以及第二压力产生室12b的并排设置方向(+Y方向)并针对每个第一压力产生室12a以及第二压力产生室12b而被独立地设置。第一压力产生室12a经由连通通道16a而被连通地设置在连通通道17的一端侧(-X方向侧)，第二压力产生室12b经由连通通道16b而被连通地设置在另一端侧(+X方向侧)。
连通板15具有大于基板10的面积(与基板10之间的接合面)。在连通板15上，在基板10的液体供给通道14a以及液体流出通道14b的外侧，在与柔性基板40之间构成歧管100a、100b。因此，连通板15在从喷嘴板20侧的面(-Z方向侧的面)进行俯视观察时具有与柔性基板40大致相同的面积。
在连通板15的与基板10相反的一侧，经由粘合剂或热熔敷薄膜等而设置有喷嘴板20。在喷嘴板20中，设置有经由连通通道16b而在厚度方向上与第二压力产生室12b连通的喷嘴开口21。并且，喷嘴板20由不锈钢等金属、或玻璃陶瓷、单晶硅基板等构成。
喷嘴板20被形成为小于连通板15，并具有对被设置于连通板15中的连通通道16b的喷嘴板20侧的开口进行覆盖(进行封闭)的大小。即，喷嘴板20以未全部覆盖连通板15的一个面且对连通通道16b进行覆盖的大小而被设置。这样，通过使喷嘴板20的面积(与连通板15之间的接合面)形成得较小，从而能够减少成本。
如图2所示，在基板10的开口面(连通板15侧的面)的相反侧形成有弹性膜51，在弹性膜51上，例如，形成有由氧化锆(ZrO2)构成的绝缘体膜52，由此，形成振动板50。而且，在绝缘体膜52上的与第一压力产生室12a以及第二压力产生室12b相对应的位置处，通过成膜以及光刻法而依次层叠有第一电极60、压电体层70和第二电极80，并构成作为压电致动器(压力产生单元)的第一压电元件300a以及第二压电元件300b。一般而言，将第一压电元件300a以及第二压电元件300b中的任意一方的电极设为共用电极，并将另一方的电极设为单独电极。单独电极是在电极膜的成膜后，与压电体层70一起针对每个第一压力产生室12a以及第二压力产生室12b而被构图而形成的。虽然在本实施方式中，将第一电极60设为共用电极，并将第二电极80设为单独电极，但即使根据驱动电路或配线的配置而使这些电极相反地形成，也不会妨碍压电致动器的性能。
并且，虽然在本实施方式中，形成由弹性膜51以及绝缘体膜52构成的振动板50，但只要作为振动板而发挥功能，则并未被限定于该结构。例如，也可以不设置弹性膜51以及绝缘体膜52，而仅第一电极60作为振动板来发挥作用。另外，第一压电元件300a以及第二压电元件300b本身也可以实质上兼作振动板。
在第一压电元件300a以及第二压电元件300b的作为单独电极的第二电极80上，例如，分别连接有由金(Au)等构成的引线电极90。在引线电极90上，连接有作为设置有驱动IC等的驱动电路120的柔性配线的COF(Chip On Film，覆晶薄膜)等的配线基板121。来自驱动电路120的驱动信号经由配线基板121以及引线电极90而被向各第一压电元件300a以及第二压电元件300b输出。
在基板10的第一压电元件300a以及第二压电元件300b侧的面上，在与第一压电元件300a以及第二压电元件300b对置的区域，经由粘合剂或热熔敷薄膜等而接合有保护基板30，该保护基板30具有可确保不妨碍其运动的程度的空间的压电元件保持部31。由于第一压电元件300a以及第二压电元件300b被形成在压电元件保持部31内，因此，在几乎未受到外部环境的影响的状态下受到保护。在本实施方式中，由于以与第一压力产生室12a以及第二压力产生室12b对应的方式分别被独立地设置有第一压电元件300a以及第二压电元件300b，因此，以跨及第一压电元件300a以及第二压电元件300b的在宽度方向(+X方向)上被并排设置的列的方式，针对每个该压电元件而设置压电元件保持部31，并且，针对每个第一压电元件300a以及第二压电元件300b的列，而独立地设置压电元件保持部31。
在保护基板30上，在两个压电元件保持部31之间，设置有在厚度方向上贯穿保护基板30而被设置的贯穿孔32。从基板10上的第一压电元件300a以及第二压电元件300b被引出的引线电极90的端部以在贯穿孔32内露出的方式被延伸设置，引线电极90和配线基板121在贯穿孔32内被电连接。
在本实施方式中，保护基板30通过与基板10大致相同的大小(接合面侧的面积)而被形成。另外，虽然作为保护基板30的材料，例如，可以列举出玻璃、陶瓷材料、金属、树脂等，但更加优选为，由与基板10的热膨胀率大致相同的材料形成，在本实施方式中，利用材料与基板10相同的Si单晶基板而形成。
另外，在保护基板30的与基板10相反的一面侧，接合有构成歧管100a、100b的柔性基板40。
柔性基板40在保护基板30侧具有凹部41，该凹部41在内部对基板10以及保护基板30进行保持。凹部41具有与保护基板30的和基板10接合的面相比较大的面积，并具有与使基板10和保护基板30接合而合在一起的厚度大致相同的深度。而且，通过利用连通板15来对凹部41的开口面进行封闭，从而在凹部41内对保护基板30以及基板10进行保持。即，在凹部41的内表面上接合有保护基板30的与基板10相反侧的面，并且，在柔性基板40的凹部41开口的面(凹部41的周围的面)上，接合有连通板15的靠基板10侧的面。由此，在凹部41内保持有基板10以及保护基板30，并且，在基板10以及保护基板30的靠液体供给通道14a以及液体流出通道14b侧的外侧(端面)，形成有作为由柔性基板40和连通板15划分出的空间的歧管100a、100b。在本实施方式中，使保护基板30以及基板10保持在柔性基板40的凹部41的中央部，在凹部41的中央部的两侧，形成分别与各第一压力产生室12a以及第二压力产生室12b连通的歧管100a、100b。
另外，在柔性基板40中，设置有与歧管100a连通并向该歧管100a供给油墨的供给通道42、和与歧管100b连通并使来自连通通道17的油墨流出的流出通道43。由此，歧管100a能够通过以向各第一压力产生室12a的列分配的方式被分支地设置的液体供给通道14a，而将从在柔性基板40的厚度方向上贯穿设置的供给通道42供给来的油墨经由连通通道17而向各第二压力产生室12b侧进行供给。另外，歧管100b能够经由与各第一压力产生室12a连通的连通通道17而通过以向各第二压力产生室12b的列进行供给的方式被分支地设置的液体流出通道14b，使油墨向在柔性基板40的厚度方向上贯穿设置的流出通道43流出。
供给通道42被配置为，与在基板10的第一压力产生室12a的长度方向的一侧(-X方向侧)的端部处设置的歧管100a的上部(与连通板15相反侧)的中央部连通。另一方面，流出通道43在第二压力产生室12b的并排设置方向上被配置在与供给通道42相反的一侧。
在这样的供给通道42以及流出通道43上，连接有供给管9a以及流出管9b，所述供给管9a以及流出管9b为，与贮留有外部的油墨的油墨罐9连接的软管等管状部件。具体而言，供给管9a的一端部与油墨罐9连接，并且，另一端部与供给通道42连接，并将被贮留于油墨罐9中的油墨向歧管100a供给。另外，流出管9b的一端部与油墨罐9连接，并且，另一端部与流出通道43连接，并经由歧管100b而将油墨向油墨罐9流出。并且，也可以根据需要，而在流出管9b的中途设置泵等液体循环单元。油墨通过液体循环单元的压力而从歧管100b返回至油墨罐9。
在柔性基板40的凹部41的与保护基板30接合的底面上设置有封闭膜45。封闭膜45由刚性较低并具有挠性的材料、例如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PPS)等构成，通过该封闭膜45而封闭了歧管100a、100b的一部分。
由于柔性基板40的与歧管100a、100b相对置的区域成为具有凹形形状的空间部46，因此，歧管100a、100b的靠柔性基板40侧(与连通板15相反的一侧)的一部分成为仅由封闭膜45封闭的可进行挠曲变形的挠性部47。
在柔性基板40中，设置有在厚度方向上贯穿并与保护基板30的贯穿孔32连通的连接口48。被插穿于该连接口48中的配线基板121被插穿至保护基板30的贯穿孔32中，并与引线电极90连接。另外，在柔性基板40的与凹部41开口的面相反的面的连接口48的开口边缘部处，设置有壁部49。在该壁部49中，保持有配线基板121、和与配线基板121连接的连接基板122。连接基板122由设置有与外部配线连接的连接器123的刚性基板构成，并与连接于引线电极90上的配线基板121电连接。而且，通过在连接基板122的连接器123上连接有未图示的外部配线，从而将来自外部配线的印刷信号向配线基板121输出。
在此，在本实施方式的记录头1的流道中被构成为，喷嘴开口21的惯性阻力Mn、液体供给通道14a的惯性阻力Ms1与液体流出通道14b的惯性阻力Ms2的关系，满足下式(6)。
Mn＜Ms2＜Ms1…(6)
各惯性阻力Mn、Ms1、Ms2一般能够以如下方式求出。即，在流道为中空长方体的情况下，该惯性阻力Mn、Ms1、Ms2成为(ρl/wh)，另外，在流道为圆筒体的情况下，该惯性阻力Mn、Ms1、Ms2成为(ρl/πr2)。并且，惯性阻力Mn、Ms1、Ms2中的ρ为油墨的密度，l为流道的长度，w为流道的宽度，h为流道的高度，r为流道的半径。
因此，在喷嘴开口21、液体供给通道14a以及液体流出通道14b的形状能够近似于中空长方体的情况下，能够通过(ρl/wh)而求出惯性阻力Mn、Ms1、Ms2，另外，在它们的形状近似于圆筒体的情况下，能够通过(ρl/πr2)而求出惯性阻力Mn、Ms1、Ms2。并且，即使在无法进行这样的近似的情况下，也能够通过利用积分，而以同样的运算来求出所期望的惯性阻力Mn、Ms1、Ms2。对于任意形状的流道来说，当以长度相对于该开口而变大的方式进行设计时，惯性阻力值都会变大，从而油墨变得难以流动。
如式(6)所示，通过喷嘴开口21的惯性阻力Mn取小于Ms2或Ms1的值，而能够使喷嘴开口21附近的油墨进行循环，并能够可靠地抑制在喷嘴开口21中刚要被喷出之前的油墨的干燥、油墨所含的成分的沉降。另外，通过采用液体流出通道14b的惯性阻力Ms2小于液体供给通道14a的惯性阻力Ms1的结构，从而能够在不设置泵等液体循环单元的情况下使油墨可靠地进行循环。由此，能够改善成本性。
另一方面，在喷嘴开口21的惯性阻力Mn、液体供给通道14a的惯性阻力Ms1、与液体流出通道14b的惯性阻力Ms2的关系不满足下述式(6)的情况下，例如，在液体供给通道14a的惯性阻力Ms1取小于其他惯性阻力的值的情况下，油墨变得易于流向油墨罐9侧、即倒流，从而无法在记录头1的流道内进行循环。另外，虽然在液体流出通道14b的惯性阻力Ms2取得小于其他惯性阻力的值的情况下，能够循环于记录头1的流道内，但油墨难以流向喷嘴开口21侧，难以喷出油墨。而且，即使液体供给通道14a的惯性阻力Ms1取得小于其他惯性阻力的值，在液体流出通道14b的惯性阻力Ms2大于液体供给通道14a的惯性阻力Ms1的情况下，油墨也变得易于倒流，从而难以进行循环。
另外，优选为，上述流道被构成为，液体供给通道14a的流道阻力Rs1、和液体流出通道14b的流道阻力Rs2的关系满足下式(7)。
Rs2≈Rs1…(7)
在此，式(7)中的流道阻力Rs1为，从油墨供给侧(液体供给通道14a侧)的歧管100a向第一压力产生室12a供给的油墨的流道阻力值，流道阻力Rs2为，从油墨流出侧(液体流出通道14b侧)的第二压力产生室12b向歧管100b流出的油墨的流道阻力值。流道阻力Rs1以及流道阻力Rs2一般能够以如下方式求出。即，在流道为中空长方体的情况下，能够通过(12μl/wh3)而求出流道阻力Rs1以及流道阻力Rs2。另外，在流道为圆筒体的情况下，能够通过(8μl/πr4)来求出流道阻力Rs1以及流道阻力Rs2。并且，流道阻力Rs1以及流道阻力Rs2中的μ为油墨的粘度，l为流道的长度，w为流道的宽度，h为流道的高度，r为流道的半径。另外，关于流道形状的近似，如上所述。
在如式(7)那样进行记录头1的流道设计的情况下，优选为，流道阻力Rs1与流道阻力Rs2之间的阻力差Rs2-1(＝Rs2-Rs1)接近于零(0)(实质上没有差异)。具体而言，流道阻力Rs1相对于流道阻力Rs2的差异的范围可以在±10％以内，优选为，在±5％以内，更加优选为，在±3％以内。
通过以满足式(7)的方式对记录头1的流道进行设计，从而能够几乎忽略流道阻力Rs1与流道阻力Rs2之间的阻力差。而且，通过反复执行将经由液体供给通道14a向第一压力产生室12a供给的油墨经由连通通道16a、16b、17以及第二压力产生室12b而向液体流出通道14b流出、且将该油墨经由供给管9a以及流出管9b而向液体供给通道14a返回的工序，从而能够以没有迟滞的方式使油墨进行循环。另一方面，在上述阻力差较大的情况下，即在流道阻力Rs1相对于流道阻力Rs2的差异的范围超过±10％的情况下，油墨难以进行循环。
另外，上述流道优选为，以第一压电元件300a的柔量Cs1和第二压电元件300b的柔量Cs2的关系满足下式(8)的方式构成。
Cs2≤Cs1…(8)
在此，式(8)中的第一压电元件300a的柔量Cs1为表示如下程度的指标，即，在对第一压电元件300a进行驱动而对第一压力产生室12a内的油墨进行按压时，通过被设置于歧管100a中的挠性部47的吸收力(柔软度)，而将向第一压力产生室12a侧供给的油墨向歧管100a侧抽回(倒流)的程度，第二压电元件300b的柔量Cs2为表示如下程度的指标，即，通过被设置于歧管100b中的挠性部47的吸收力(柔软度)，而将从第一压力产生室12a侧经由第二压力产生室12b而向歧管100b侧供给的油墨向第二压力产生室12b侧压回的程度。
即，在第一压电元件300a的柔量Cs1较大的情况下，被设置于歧管100a中的挠性部47的吸收力(柔软度)变大，与向第一压力产生室12a侧供给的油墨量相比，向歧管100a侧抽回的油墨量变多。另一方面，在第二压电元件300b的柔量Cs2较大的情况下，被设置于歧管100b中的挠性部47的吸收力(柔软度)变大，油墨易于流向歧管100b侧，从而使油墨的喷出量变多。
在本实施方式中，通过以限制油墨向歧管100b侧的流出(倒流的油墨的流量变大)的方式进行设计，而对如式(8)所示的柔量Cs1与柔量Cs2的关系进行规定，从而能够防止由第一压电元件300a的驱动而引起的油墨从喷嘴开口21的喷出。即，油墨通过第二压电元件300b的驱动而被从喷嘴开口21喷出。
接下来，参照图4以及图5，对被搭载于记录装置上的记录头的控制进行说明。图4以及图5为，表示实施方式1的记录头的控制结构示例的框图。
如图所示，对记录头1进行驱动的记录装置I(图10参照)概要性地由打印机控制器511和打印引擎512构成。打印机控制器511具备外部接口(外部I/F)513、临时对各种数据进行存储的RAM514、存储有控制程序等的ROM515、被构成为包含CPU等的控制部516、产生时钟信号的振荡电路517、产生用于向记录头1供给油墨的驱动信号的驱动信号产生电路519、将根据驱动信号或印刷数据而被展开的点图案数据(位图数据)等向打印引擎512进行发送的内部接口(内部I/F)520。并且，本实施方式的驱动信号产生电路519具有产生用于对第一压电元件300a进行驱动的驱动信号的第一驱动信号产生部519a、和产生用于对第二压电元件300b进行驱动的驱动信号的第二驱动信号产生部519b。
外部I/F513例如从未图示的主计算机等接收由字符代码、图形函数、图像数据等构成的印刷数据。另外，通过该外部I/F513，而将忙碌信号(BUSY)或确认信号(ACK)向主计算机等输出。
RAM514作为接收缓冲器521、中间缓冲器522、输出缓冲器523以及未图示的工作存储器而发挥功能。而且，接收缓冲器521临时对由外部I/F513接收到的印刷数据进行存储，中间缓冲器522对由控制部516转换后的中间码数据进行存储，输出缓冲器523对点图形数据进行存储。并且，该点图形数据由印字数据构成，所述印字数据通过对灰度数据进行译码(翻译)而获得。
另外，在ROM515中，除了存储用于实施各种数据处理的控制程序(控制例程)之外，还存储字体数据、图形函数等。
控制部516读取接收缓冲器521内的印刷数据，并将对该印刷数据进行转换而得的中间代码数据存储在中间缓冲器522中。另外，控制部516对从中间缓冲器522读取的中间代码数据进行分析，并参照存储在ROM515中的字体数据以及图形函数等，而使中间代码数据展开为点图形数据。而且，控制部516在实施所需的装饰处理之后，将该展开后的点图形数据存储在输出缓冲器523中。而且，控制部516也作为波形设定单元而发挥功能，通过对驱动信号产生电路519中的第一驱动信号产生部519a和第二驱动信号产生部519b进行控制，从而设定由其产生的驱动信号的波形形状。所涉及的控制部516与驱动电路120等一起构成驱动单元。另外，作为记录装置I，只要至少具备该驱动单元即可，在本实施方式中，作为包括打印机控制器511的装置而进行了例示。
而且，如果获得了相当于记录头1的一行的量的点图形数据，则该一行的量的点图形数据通过内部I/F520而被向记录头1输出。另外，当从输出缓冲器523输出一行的量的点图形数据时，展开完毕的中间代码数据从中间缓冲器522中被消去，并实施关于下一个中间代码数据的展开处理。
打印引擎512构成为，包括记录头1、输纸机构524和滑架机构525。输纸机构524由未图示的输纸电机等构成，使记录薄片S等记录介质以与记录头1的记录动作连动的方式而依次送出。即，该输纸机构524使记录介质在副扫描方向上进行相对移动。
滑架机构525由可搭载记录头1的滑架3、和使该滑架3沿着主扫描方向行进的滑架驱动部构成，并通过使滑架3行进而使记录头1在主扫描方向上进行移动。并且，滑架驱动部如上所述由驱动电机6、同步带7等构成。
记录头1沿着副扫描方向而具有大量的喷嘴开口21，并在通过点图形数据等规定的定时而从各喷嘴开口21喷出油墨滴。而且，在这样的记录头1的第一压电元件300a以及第二压电元件300b中，经由未图示的外部配线而被供给有电信号，例如后述的驱动信号(COM1、COM2)、记录数据(SI1、SI2)等。在这样构成的打印机控制器511以及打印引擎512中，打印机控制器511和驱动电路120成为向第一压电元件300a以及第二压电元件300b施加预定的驱动信号的驱动单元(驱动系统)，其中，所述驱动电路120具有选择性地将从驱动信号产生电路519的第一驱动信号产生部519a和第二驱动信号产生部519b输出的具有预定的驱动波形在内的驱动信号输入至第一压电元件300a以及第二压电元件300b中的锁存器532、电平转换器533以及开关534等。
并且，这些移位寄存器(SR)531、锁存器532、电平转换器533、开关534以及第一压电元件300a以及第二压电元件300b分别针对记录头1的每个喷嘴开口21而被设置，这些SR531、锁存器532、电平转换器533以及开关534根据由驱动信号产生电路519的第一驱动信号产生部519a和第二驱动信号产生部519b所产生的喷出驱动信号、缓和驱动信号来生成驱动脉冲。在此，驱动脉冲为，实际上被施加在第一压电元件300a以及第二压电元件300b上的施加脉冲。
在这样的记录头1中，最初以与来自振荡电路517的时钟信号(CK1、CK2)同步的方式，将构成点图形数据的记录数据(SI)从输出缓冲器523向SR531串行传送，并依次置位。在该情况下，首先，全部喷嘴开口21的印字数据中的最高位比特的数据被串行传送，如果该最高位比特的数据串行传送结束，在从高位起第二位比特的数据被串行传送。以下，同样地使低位比特的数据依次被串行传送。
而且，如果该比特的记录数据的全部喷嘴的量被置位于各SR531中，则控制部516在预定的定时向锁存器532输出锁存信号(LAT1、LAT2)。通过该锁存信号，而使锁存器532对被置位于SR531中的印字数据进行锁存。该锁存器532锁存的记录数据(LATout)被施加于作为电压放大器的电平转换器533。该电平转换器533在记录数据例如为“1”的情况下，使该记录数据升压至可对开关534进行驱动的电压值、例如几十伏。而且，该被升压后的记录数据被施加于各开关534，各开关534通过该记录数据而成为连接状态。
而且，在各开关534中，也施加有驱动信号产生电路519的第一驱动信号产生部519a和第二驱动信号产生部519b所产生的驱动信号(COM1、COM2)，当开关534选择性地成为连接状态时，在与该开关534连接的第一压电元件300a以及第二压电元件300b中，选择性地施加有驱动信号。这样，在例示的记录头1中，能够对是否通过记录数据而向第一压电元件300a以及第二压电元件300b施加喷出驱动信号进行控制。例如，由于在记录数据为“1”的期间内，通过锁存信号(LAT1、LAT2)而使开关534成为连接状态，因此，能够将驱动信号(COMout)向第一压电元件300a以及第二压电元件300b供给，通过该被供给的驱动信号而使第一压电元件300a以及第二压电元件300b进行位移(变形)。另外，由于在记录数据为“0”的期间内，开关534成为非连接状态，因此，驱动信号向第一压电元件300a以及第二压电元件300b的驱动信号的供给被切断。由于在该记录数据为“0”的期间内，各第一压电元件300a以及第二压电元件300b保持刚才的电位，因此，维持了刚才的位移状态。
并且，上述的第一压电元件300a以及第二压电元件300b为，挠曲振动模式的第一压电元件300a以及第二压电元件300b。当使用该挠曲振动模式的第一压电元件300a以及第二压电元件300b时，由于压电体层70伴随着电压的施加而在与电压垂直的方向(压电元件保持部31方向)上收缩，因此，第一压电元件300a以及第二压电元件300b以及振动板50向第一压力产生室12a以及第二压力产生室12b侧挠曲，由此，使第一压力产生室12a以及第二压力产生室12b收缩。另一方面，通过使电压减少而使压电体层70向压电元件保持部31方向伸展，从而使第一压电元件300a以及第二压电元件300b以及振动板50向第一压力产生室12a以及第二压力产生室12b的相反侧挠曲，由此，使第一压力产生室12a以及第二压力产生室12b膨胀。在这样的记录头1中，由于伴随着相对于第一压电元件300a以及第二压电元件300b的充放电而使对应的第一压力产生室12a以及第二压力产生室12b的容积发生变化，因此，能够利用第一压力产生室12a以及第二压力产生室12b的压力变动来从喷嘴开口21喷出油墨滴。
接下来，关于表示向被搭载于记录装置的记录头的压电元件中输入的驱动信号(COM1、COM2)的驱动波形，利用图6以及图7，进行说明。图6为表示实施方式1的记录头的油墨喷出时的驱动信号示例的图，图7为表示实施方式1的记录头的油墨非喷出时的驱动信号示例的图。
如图6所示，在记录头1进行运转时，对有助于油墨的喷出的第一压电元件300a进行驱动的驱动波形Pa在基准电压V0与电压V3之间发生变化。在共用电极(在本实施方式的情况下，为第一电极60)上，施加有基准电压V0。例如，在将基准电压V0设为5V的情况下，共用电极被保持为5V的基准电位。在单独电极(在本实施方式的情况下，为第二电极80)上，施加有中间电压Vm、电压V2以及电压V3这三个种类的电压。通过在将共用电极保持为基准电位的同时使施加于单独电极上的电压发生变化，从而能够通过如图所示的驱动波形Pa而对第一压电元件300a进行驱动。并且，在驱动波形Pa中，相对于基准电压V0的最大电压成为Vh。
第一压电元件300a的驱动波形Pa包括如下的工序P0至P8。工序P0为使第一压电元件300a的驱动待机的状态(待机状态)。此时，在单独电极上施加中间电压Vm。第一电压变化工序P1为使第一压力产生室12a收缩的工序。此时，被施加于单独电极上的电压从中间电压Vm向电压V2发生变化。第一保持工序P2为，暂时对由第一电压变化工序P1而实现的电压变化后的状态进行保持的工序。此时，被施加于单独电极上的电压暂时被保持在电压V2的状态。第二电压变化工序P3为，用于使第一压力产生室12a再次返回至待机状态的工序。此时，被施加于单独电极上的电压从电压V2变化至中间电压Vm。第二保持工序P4为，暂时对由第二电压变化工序P3而实现的电压变化后的状态进行保持的工序。此时，被施加于单独电极上的电压暂时被保持在中间电压Vm的状态。第三电压变化工序P5为使第一压电元件300a再次收缩的工序。此时，被施加于单独电极上的电压从中间电压Vm变化至电压V3。第三保持工序P6为，暂时对使由第三电压变化工序P5而实现的电压变化后的状态进行保持的工序。此时，被施加于单独电极上的电压被暂时保持在电压V3的状态。第四电压变化工序P7为，用于使第一压力产生室12a再次返回至待机状态的工序。此时，被施加于单独电极上的电压从电压V3变化至中间电压Vm。此后，在工序P8(工序P0)中，使第一压电元件300a的驱动待机。
即，对第一压电元件300a进行驱动的驱动波形Pa具有使第一压电元件300a进行微振动的微振动脉冲Pv(从工序P1至工序P3)、和用于维持油墨的循环的循环脉冲Pc(从工序P5至工序P7)(第一驱动信号)。而且，通过这样的驱动波形Pa，而对第一压电元件300a进行驱动。
另外，对实施油墨的喷出的第二压电元件300b进行驱动的驱动波形Pb在最小电压V1与最大电压Vh之间发生变化。在单独电极中，施加有最小电压V1、中间电压Vm、电压V2以及最大电压Vh这四个种类的电压。通过将共用电极保持为基准电位，同时使施加于单独电极上的电压发生变化，从而根据如图所示的驱动波形Pb而能够对第二压电元件300b进行驱动。并且，在驱动波形Pb中，相对于基准电压V0的最大电压成为Vh。
第二压电元件300b的驱动波形Pb包括如下的工序P9至P19。并且，由于工序P9至工序P13相当于第一压电元件300a的驱动波形Pa中的工序P0至工序P4，因此，省略说明。第三电压变化工序P14为使第一压力产生室12a进行收缩的工序。此时，被施加于单独电极上的电压从中间电压Vm向最小电压V1变化。第三保持工序P15为暂时对由第三电压变化工序P14而实现的电压变化后的状态进行保持的工序。此时，被施加于单独电极上的电压暂时被保持在最小电压V1的状态。第四电压变化工序P16为使第二压电元件300b进行膨胀的工序。此时，被施加于单独电极上的电压从最小电压V1向电压V4变化。第四保持工序P17为暂时对由第四电压变化工序P16而实现的电压变化后的状态进行保持的工序。此时，被施加于单独电极上的电压暂时被保持在最大电压Vh的状态。第五电压变化工序P18为，用于使第二压电元件300b再次返回至待机状态的工序。此时，被施加于单独电极上的电压从最大电压Vh向中间电压Vm变化。此后，在工序P19(工序P9)中，使第二压电元件300b的驱动待机。
即，对第二压电元件300b进行驱动的驱动波形Pb具有使第二压电元件300b进行微振动的微振动脉冲Pv(从工序P10至工序P12)、和用于从喷嘴开口21喷出油墨的喷出脉冲Pd(从工序P14至工序P18)(第二驱动信号)。而且，通过这样的驱动波形Pb而对第二压电元件300b进行驱动。
这样，在实施油墨的喷出的喷嘴开口21中，通过微振动脉冲Pv而使第一压电元件300a以及第二压电元件300b进行微振动，并在待机了预定期间之后，将各不相同的脉冲施加于第一压电元件300a以及第二压电元件300b上。首先，向第一压电元件300a施加用于维持油墨的循环的循环脉冲Pc，并延迟预定期间(例如Δt)，向第二压电元件300b施加用于从喷嘴开口21喷出油墨的喷出脉冲Pd，从而能够在记录薄片S(参照图10)上形成预定图像。通过使第一压电元件300a的驱动和第二压电元件300b的驱动的定时偏离预定期间，从而能够根据油墨的喷出而以油墨的循环不停滞的方式有效地使油墨进行循环。
另一方面，即使关于不实施油墨的喷出的第一压电元件300a以及第二压电元件300b，也以维持油墨的循环的目的而施加图7所示的驱动波形Pa、Pb。驱动波形Pa、Pb具有用于维持油墨的循环的循环脉冲Pc。该情况下的驱动波形Pa、Pb分别包括工序P19至工序P23以及工序P24至工序P28，而这些工序都相当于上述的第一压电元件300a的驱动波形Pa中的工序P4至工序P8，因此，省略说明。
在本实施方式中，优选为，在油墨喷出前，分别向第一压电元件300a以及第二压电元件300b施加微振动脉冲Pv，从而使喷嘴开口21附近的油墨进行微振动。由此，喷嘴开口21附近的油墨通过微振动而易于流动，因此，能够可靠地抑制喷嘴开口21附近的油墨的增稠、或油墨成分的沉降，并能够维持油墨的循环。另外，能够通过油墨的微振动而使沉降在喷嘴开口21附近的油墨成分(沉降油墨成分)返回至油墨内。由此，沉降油墨成分溶解，能够有效地更新油墨。
这样，在不实施油墨的喷出的喷嘴开口21中，在向第一压电元件300a施加了循环脉冲Pc之后，向第二压电元件300b施加循环脉冲Pc，并维持油墨的循环。关于不实施油墨的喷出的喷嘴开口21，通过依次驱动第一压电元件300a以及第二压电元件300b，以便维持油墨的循环，从而使油墨的流动变得更加顺畅。
并且，在本实施方式中，在油墨喷出前，分别向第一压电元件300a以及第二压电元件300b施加了微振动脉冲，但并未被限定于此。也可以根据油墨的增稠以及沉降状态，例如，向任意一个压电元件施加微振动脉冲。另外，也可以在使油墨进行循环之后施加微振动脉冲。而且，即使关于不实施油墨的喷出的喷嘴开口21的第一压电元件300a以及第二压电元件300b的任意一个，也可以施加微振动脉冲。
液体喷射头的循环方法
接下来，对使用了具有上述的结构的记录头1的油墨的循环方法进行说明。记录头1在装置的待机时，停止油墨的喷出，并使油墨进行循环。具体而言，通过反复进行如下的工序，从而使油墨进行循环，即，使经由液体供给通道14a向第一压力产生室12a供给的油墨，经由连通通道16a、16b、17以及第二压力产生室12b而向液体流出通道14b流出，并使该油墨经由作为液体循环通道的供给管9a以及流出管9b而向液体供给通道14a返回的工序。由此，能够进行顺畅的循环。
液体喷射头的喷出方法
接下来，对使用了具有上述的结构的记录头1的油墨的喷出方法进行说明。记录头1在装置的运转时，在使油墨进行循环的同时实施喷出。具体而言，将来自油墨罐9的油墨经由供给管9a而向供给通道42供给。此后，在驱动单元(驱动电路120等)输出对第一压电元件300a进行驱动的驱动波形Pa之后，延迟预定期间(例如t秒)，输出对第二压电元件300b进行驱动的驱动波形Pb，从而依次对第一压电元件300a以及第二压电元件300b进行驱动。由此，将向供给通道42供给的油墨从歧管100a经由各第一压力产生室12a、连通通道16a以及连通通道17而向连通通道16b供给，从而使油墨从喷嘴开口21喷出。记录头1通过在油墨喷出时使油墨进行循环，从而能够可靠地抑制喷嘴开口21附近的油墨的增稠或成分的沉降，并防止油墨的喷出特性的恶化。由此，即使在经过一定时间之后，也能够使油墨喷出特性大致恒定地统一，能够抑制喷出特性的偏差而提高液体的喷射品质。
实施方式2
液体喷射头
图8为表示实施方式2的记录头的油墨喷出时的驱动信号示例的图。在本实施方式中，也可以在具有上述的结构的记录头1的第一压电元件300a以及第二压电元件300b中，使用表示如图8所示的驱动信号(COM1、COM2)的驱动波形，并进行驱动。在图8中，示出了在记录头1运转时、对有助于油墨的喷出的第一压电元件300a进行驱动的驱动波形Pa、和对第二压电元件300b进行驱动的驱动波形Pb。在这些驱动波形中，在驱动波形Pa的工序P8之后，除了增加工序P29至工序P32之外，其他是与实施方式1的驱动波形Pa以及驱动波形Pb相同的波形。
第四保持工序P8为，暂时对由第四电压变化工序P7而实现的电压变化后的状态进行保持的工序。此时，被施加于单独电极上的电压暂时被保持在中间电压Vm的状态。第五电压变化工序P29为使第一压力产生室12a膨胀的工序。此时，被施加于单独电极上的电压从中间电压Vm向基准电压V0变化。第五保持工序P30为，暂时对由第五电压变化工序P29而实现的电压变化后的状态进行保持的工序。此时，被施加于单独电极上的电压被暂时保持在基准电压V0的状态。第六电压变化工序P31为，用于使第一压力产生室12a再次返回至待机状态的工序。此时，被施加于单独电极上的电压从基准电压V0向中间电压Vm变化。此后，在工序P32(工序P0)中，使第一压电元件300a的驱动待机。
即，对第一压电元件300a进行驱动的驱动波形Pa具有使第一压电元件300a进行微振动的微振动脉冲Pv(从工序P1至工序P3)、用于维持油墨的循环的循环脉冲Pc(从工序P5至工序P7)、用于防止油墨的拖尾的脉冲Pt(从工序P29至工序P31)。而且，通过这样的驱动波形Pa，而对第一压电元件300a进行驱动。
在本实施方式中，优选为，在记录头1的油墨喷出时，在输出驱动波形Pb而对第二压电元件300b进行驱动后，在记录头1的固有周期Tc以内输出驱动波形Pa，从而对第一压电元件300a进行驱动，以防止油墨的拖尾。具体而言，在驱动波形Pb的工序P16完毕之前，开始驱动波形Pa的工序P29。即，在刚通过工序16而使第二压电元件300b进行位移并喷出油墨之后，通过工序P29而使第一压电元件300a进行位移，从而使第一压力产生室12a膨胀，并使在喷出的相反方向(+Z方向)上拉回的力作用于从喷嘴开口21喷出的油墨上。由此，能够拉回从喷嘴开口21喷出的状态下的喷嘴开口21附近的拖尾部分，并能够防止从喷嘴开口21被喷出的油墨的拖尾。并且，该工序只要根据油墨的粘度等而适当地实施即可。另外，由于作为驱动波形Pa的工序P29的开始的定时，是在驱动波形Pb的工序P16的刚开始后(刚喷出油墨之后)，因此，第一压电元件300a的驱动是在记录头1的固有周期Tc以内。而且，如果在固有周期Tc以内，则会根据定时而使第一压电元件300a进行位移并使第一压力产生室12a进行伸缩，从而能够防止油墨的拖尾。
实施方式3
液体喷射头
图9为表示实施方式3的记录头的流道的剖视图。如图所示，本实施方式的记录头1A除了连通通道17A的结构不同之外，其他是与实施方式1的记录头1相同的结构。
在记录头1A中，大致直线状地并排设置有第一压力产生室12a以及第二压力产生室12b的第一列以及第二列这两者的并排设置位置不同。具体而言，在由第一压力产生室12a构成的第一列内的第一压力产生室12a之间配置有第二压力产生室12b，相对于一方的第一压力产生室12a的列，另一方的第二压力产生室12b的列在并排设置方向上偏离第一压力产生室12a相邻的间隔的一半。即，第一压力产生室12a和第二压力产生室12b被配置成交错状。根据该交错配置，被设置于基板10中的液体流出通道14b、被设置于连通板15中的连通通道16b以及被设置于喷嘴板20中的喷嘴开口21也相对于液体供给通道14a的列而以偏离一半的间隔的方式被配置。而且，连通通道17A以经由连通通道16b与第二压力产生室12b连通的另一端部相对于经由连通通道16a与第一压力产生室12a连通的一端部而偏离一半间隔的方式被配置，并在XY面内倾斜地被设置。由此，能够进行与第一压力产生室12a以及第二压力产生室12b相对应的第一压电元件300a以及第二压电元件300b的集成化，能够将分辨率设为2倍。
并且，虽然未图示，但记录头1A也可以构成为，两个第二压力产生室12b经由连通通道而与一个第一压力产生室12a连通。在所涉及的结构中，只要连通通道形成为具有双叉结构的通道即可。由此，能够使压电元件集成，并提高分辨率。
其他的实施方式
以上，虽然对本发明的各实施方式进行了说明，但本发明的基本结构并未被限定于上述的结构。例如，在上述的实施方式中，作为使压力产生室产生压力变化的压力产生单元，使用薄膜型的压电元件而进行了说明，但并未被特别限定于此，例如，能够使用通过粘贴生片等的方法而被形成的厚膜型的压电元件，或使压电材料和电极形成材料交替地层叠从而在轴向上进行伸缩的纵向振动型的压电元件等。另外，作为压力产生单元，能够使用在压力产生室内配置发热元件、并通过由发热元件的发热而产生的气泡来从喷嘴开口喷出液滴的装置，或者在振动板与电极之间产生静电并通过静电力而使振动板进行变形从而从喷嘴开口喷出液滴的所谓的静电式致动器等。
另外，这些上述的喷墨式记录头(记录头)1构成喷墨式记录头单元(头单元)的一部分，并被搭载于喷墨式记录装置(记录装置)上。图10为表示喷墨式记录装置的一个示例的概要的立体图。如图所示，在记录装置I中，头单元II以可相对于盒2A、2B进行拆装的方式而被设置。盒2A、2B构成油墨供给单元。头单元II具有多个记录头1，并被搭载于滑架3上。滑架3以相对于轴向而移动自如的方式被设置于滑架轴5上，所述滑架轴5被安装于装置主体4上。这些头单元II、滑架3例如以分别能够喷出黑色油墨组成物以及彩色油墨组成物的方式而被构成。
而且，驱动电机6的驱动力经由未图示的多个齿轮以及同步带7而被传递至滑架3，搭载了头单元II的滑架3沿着滑架轴5而移动。另一方面，在装置主体4中，设置有作为输送单元的输送辊8，作为纸等记录介质的记录薄片S通过输送辊8而被输送。并且，对记录薄片S进行输送的输送单元并未被限于输送辊，也可以为带或滚筒等。
在记录头1中，作为压电元件装置，使用了压电元件。通过使用压电元件，从而能够避免记录装置I中的各种特性(耐久性或油墨喷射特性等)的降低。
另外，在上述的示例中，例示了在与记录薄片的输送方向交叉的方向(主扫描方向)上移动的滑架上搭载记录头，并在使记录头沿着主扫描方向进行移动的同时进行印刷的、串行型的记录装置，但并未被特别限定于此。例如，在固定有记录头并仅通过输送记录薄片来进行印刷的、行式的记录装置中也能够应用本发明。
另外，在本实施方式中，例示了将油墨盒等液体贮留单元固定在各记录头、头单元、滑架等上的类型的记录装置，但并未被特别限定于此，例如，也能够在液体贮留单元被固定于装置主体上的类型的记录装置中应用本发明。
而且，虽然在本实施方式中，作为液体喷射装置的一个示例，例举出喷墨式记录装置并进行了说明，但本发明是广泛地以具备液体喷射头在内的液体喷射装置整体作为对象的发明，当然也能够应用于具备喷射油墨以外的液体的液体喷射头在内的液体喷射装置。作为其他的液体喷射头，例如，列举出被使用于打印机等图像记录装置中的各种记录头、被使用于液晶显示器等的彩色滤波器的制造中的颜色材料喷射头、被使用于有机EL(ElectroLuminescence、电致发光)显示器、FED(面发光显示器)等的电极形成中的电极材料喷射头、被使用于生物芯片的制造中的生物体有机物喷射头等。
符号说明
I…记录装置；II…头单元；S…记录薄片；1、1A…记录头；2A、2B…盒；3…滑架；4…装置主体；5…滑架轴；6…驱动电机；7…同步带；8…输送辊；9…油墨罐；9a…供给管；9b…流出管；10…基板；12a…第一压力产生室；12b…第二压力产生室；14a…液体供给通道；14b…液体流出通道；15…连通板；16a、16b、17、17A…连通通道；20…喷嘴板；21…喷嘴开口；30…保护基板；31…压电元件保持部；32…贯穿孔；40…柔性基板；41…凹部；42…供给通道；43…流出通道；45…封闭膜；46…空间部；47…挠性部；48…连接口；49…壁部；50…振动板；51…弹性膜；52…绝缘体膜；60…第一电极；70…压电体层；80…第二电极；90…引线电极；100a、100b…歧管；120…驱动电路；121…配线基板；122…连接基板；123…连接器；300a…第一压电元件；300b…第二压电元件；511…打印机控制器；512…打印引擎；513…外部接口(外部I/F)；514…RAM；515…ROM；516…控制部；517…振荡电路；519…驱动信号产生电路；519a…第一驱动信号产生部；519b…第二驱动信号产生部；520…内部接口(内部I/F)；521…接收缓冲器；522…中间缓冲器；523…输出缓冲器；524…输纸机构；525…滑架机构；531…移位寄存器(SR)；532…锁存器；533…电平转换器；534…开关。

Claims (10)

1.一种液体喷射头，其特征在于，具备：
第一压力产生室，其具备第一压力产生单元；
第二压力产生室，其具备第二压力产生单元；
连通通道，其使所述第一压力产生室和所述第二压力产生室连通；
液体供给通道，其向所述第一压力产生室供给液体；
液体流出通道，其使液体从所述第二压力产生室流出，
所述液体喷射头从与所述第二压力产生室连通的喷嘴开口喷射出液体，
所述液体喷射头构成为，所述喷嘴开口的惯性阻力Mn、所述液体供给通道的惯性阻力Ms1和所述液体流出通道的惯性阻力Ms2的关系满足下式(1)，
Mn＜Ms2＜Ms1…(1)。
2.如权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，
所述液体喷射头构成为，所述液体供给通道的流道阻力Rs1和所述液体流出通道的流道阻力Rs2的关系满足下式(2)，
Rs2≈Rs1…(2)。
3.如权利要求1或权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，具备：
液体循环通道，其被连接于所述液体供给通道和所述液体流出通道之间，并使液体进行循环；
驱动单元，其对所述第一压力产生单元以及所述第二压力产生单元进行驱动，
所述驱动单元通过在输出了对所述第一压力产生单元进行驱动而使所述第一压力产生室收缩的第一驱动信号之后，延迟预定期间，并输出对所述第二压力产生单元进行驱动而使所述第二压力产生室收缩的第二驱动信号，从而依次对所述第一压力产生单元以及所述第二压力产生单元进行驱动。
4.如权利要求3所述的液体喷射头，其特征在于，
所述驱动单元输出使所述第一压力产生单元以及所述第二压力产生单元进行微振动的微振动信号。
5.如权利要求1至权利要求4中的任一项所述的液体喷射头，其特征在于，
由多个所述第一压力产生室构成的第一列和由多个所述第二压力产生室构成的第二列被并排设置，两者的并排设置位置不同，在所述第一列内的所述第一压力产生室之间配置所述第二压力产生室。
6.如权利要求1至权利要求5中的任一项所述的液体喷射头，其特征在于，
所述液体喷射头构成为，所述第一压力产生单元的柔量Cs1和所述第二压力产生单元的柔量Cs2的关系满足下式(3)，
Cs2≤Cs1…(3)。
7.如权利要求3至权利要求6中的任一项所述的液体喷射头，其特征在于，
所述驱动单元在液体喷出时，在输出所述第二驱动信号并对所述第二压力产生单元进行驱动之后，在该液体喷射头的固有周期Tc以内，输出使所述第一压力产生室进行收缩或膨胀的第三驱动信号，从而对所述第一压力产生单元进行驱动。
8.一种液体喷射装置，其特征在于，
具有权利要求1至权利要求7中的任一项所述的液体喷射头。
9.一种液体循环方法，其特征在于，使液体在液体喷射头中循环，
所述液体喷射头具备：
第一压力产生室，其具备第一压力产生单元；
第二压力产生室，其具备第二压力产生单元；
连通通道，其使所述第一压力产生室和所述第二压力产生室进行连通；
液体供给通道，其向所述第一压力产生室供给液体；
液体流出通道，其使液体从所述第二压力产生室流出；
液体循环通道，其被连接于所述液体供给通道与所述液体流出通道之间，
所述液体喷射头从与所述第二压力产生室连通的喷嘴开口喷射出液体，
在所述液体循环方法中，
使用以所述喷嘴开口的惯性阻力Mn、所述液体供给通道的惯性阻力Ms1和所述液体流出通道的惯性阻力Ms2的关系满足下式(4)的方式而构成的液体喷射头，
Mn＜Ms2＜Ms1…(4)，
通过反复进行如下的工序，而使该液体进行循环，即，将经由所述液体供给通道向所述第一压力产生室供给的液体，经由所述连通通道以及所述第二压力产生室而向所述液体流出通道流出，并使该液体经由所述液体循环通道而向所述液体供给通道返回的工序。
10.一种液体喷出方法，其特征在于，使用液体喷射头而喷出液体，
所述液体喷射头具备：
第一压力产生室，其具备第一压力产生单元；
第二压力产生室，其具备第二压力产生单元；
连通通道，其使所述第一压力产生室和所述第二压力产生室进行连通；
液体供给通道，其向所述第一压力产生室供给液体；
液体流出通道，其使液体从所述第二压力产生室流出；
驱动单元，其对所述第一压力产生单元以及所述第二压力产生单元进行驱动，
所述液体喷射头从与所述第二压力产生室连通的喷嘴开口喷射出液体，
所述液体喷射头构成为，所述喷嘴开口的惯性阻力Mn、所述液体供给通道的惯性阻力Ms1和所述液体流出通道的惯性阻力Ms2的关系满足下式(5)，
Mn＜Ms2＜Ms1…(5)，
在所述液体喷出方法中，
所述驱动单元通过在输出对所述第一压力产生单元进行驱动的第一驱动信号之后，延迟预定期间，并输出对所述第二压力产生单元进行驱动的第二驱动信号，从而依次对所述第一压力产生单元以及所述第二压力产生单元进行驱动，而从所述喷嘴开口喷出液体。
CN201780079984.9A 2016-12-26 2017-12-07 液体喷射头、液体喷射装置、液体循环方法以及液体喷出方法 Active CN110099798B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016250623A JP6760049B2 (ja) 2016-12-26 2016-12-26 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体循環方法及び液体吐出方法
JP2016-250623 2016-12-26
PCT/JP2017/043978 WO2018123499A1 (ja) 2016-12-26 2017-12-07 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体循環方法及び液体吐出方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110099798A true CN110099798A (zh) 2019-08-06
CN110099798B CN110099798B (zh) 2020-07-28

Family

ID=62707240

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201780079984.9A Active CN110099798B (zh) 2016-12-26 2017-12-07 液体喷射头、液体喷射装置、液体循环方法以及液体喷出方法

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20190329559A1 (zh)
JP (1) JP6760049B2 (zh)
CN (1) CN110099798B (zh)
TW (1) TWI672229B (zh)
WO (1) WO2018123499A1 (zh)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7127258B2 (ja) 2017-09-20 2022-08-30 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置
JP7027763B2 (ja) * 2017-09-27 2022-03-02 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置
JP7102980B2 (ja) * 2018-06-29 2022-07-20 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドと液体噴射装置と液体噴射ヘッドの製造方法
US11376862B2 (en) 2018-07-23 2022-07-05 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection with micropumps and pressure-difference based fluid flow
JP7139790B2 (ja) * 2018-08-30 2022-09-21 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置
JP7358153B2 (ja) * 2018-12-28 2023-10-10 キヤノン株式会社 液体吐出モジュール
JP7205224B2 (ja) * 2018-12-28 2023-01-17 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出装置および液滴吐出ヘッド
JP7205253B2 (ja) * 2019-01-28 2023-01-17 ブラザー工業株式会社 液体吐出ヘッド、及びそれを備えた液体吐出装置
JP7293678B2 (ja) 2019-01-31 2023-06-20 ブラザー工業株式会社 液体吐出ヘッド
JP7342397B2 (ja) 2019-03-27 2023-09-12 セイコーエプソン株式会社 液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置
JP7314564B2 (ja) * 2019-03-27 2023-07-26 セイコーエプソン株式会社 液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置
JP7379843B2 (ja) * 2019-03-27 2023-11-15 セイコーエプソン株式会社 液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置
JP7226010B2 (ja) 2019-03-27 2023-02-21 セイコーエプソン株式会社 液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置
JP7306023B2 (ja) * 2019-04-01 2023-07-11 ブラザー工業株式会社 液体吐出ヘッド、及びそれを備えた液体吐出装置
JP7443693B2 (ja) * 2019-08-01 2024-03-06 セイコーエプソン株式会社 インクジェット記録方法及びインクジェット記録装置
JP7380202B2 (ja) 2019-12-26 2023-11-15 ブラザー工業株式会社 液体吐出ヘッド、及び、液体吐出装置
JP7452220B2 (ja) 2020-04-20 2024-03-19 セイコーエプソン株式会社 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置
JP7452226B2 (ja) 2020-04-24 2024-03-19 セイコーエプソン株式会社 液体吐出ヘッドユニット、液体吐出装置および液体吐出装置の液体吐出状態判定方法
JP7484493B2 (ja) 2020-06-29 2024-05-16 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置
JP2022091246A (ja) 2020-12-09 2022-06-21 セイコーエプソン株式会社 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置
JP7563198B2 (ja) 2021-01-28 2024-10-08 セイコーエプソン株式会社 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置
CN114987056A (zh) 2021-03-02 2022-09-02 精工爱普生株式会社 液体喷出头以及液体喷出装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101219600A (zh) * 2007-01-12 2008-07-16 精工爱普生株式会社 液体喷射头及具有其的液体喷射装置
CN102529377A (zh) * 2010-09-28 2012-07-04 精工爱普生株式会社 喷液头及具有其的喷液装置
CN103241003A (zh) * 2012-02-14 2013-08-14 富士胶片株式会社 液体喷射装置
US20140078224A1 (en) * 2012-09-20 2014-03-20 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Inkjet print head
US20140307032A1 (en) * 2013-04-10 2014-10-16 Yonglin Xie Membrane mems actuator including fluidic impedance structure
WO2016114396A1 (ja) * 2015-01-16 2016-07-21 コニカミノルタ株式会社 インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008254199A (ja) * 2007-03-30 2008-10-23 Fujifilm Corp インクジェット記録装置
JP5111316B2 (ja) * 2008-09-25 2013-01-09 富士フイルム株式会社 画像形成方法
JP5371475B2 (ja) * 2009-02-17 2013-12-18 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド及びそのクリーニング方法
JP6326863B2 (ja) * 2014-02-27 2018-05-23 セイコーエプソン株式会社 液体吐出装置、及び残留振動検出方法
JP6402986B2 (ja) * 2014-09-10 2018-10-10 セイコーエプソン株式会社 液体吐出装置、液体吐出装置の制御方法、およびデバイスドライバー、並びに印刷システム

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101219600A (zh) * 2007-01-12 2008-07-16 精工爱普生株式会社 液体喷射头及具有其的液体喷射装置
CN102529377A (zh) * 2010-09-28 2012-07-04 精工爱普生株式会社 喷液头及具有其的喷液装置
CN103241003A (zh) * 2012-02-14 2013-08-14 富士胶片株式会社 液体喷射装置
US20140078224A1 (en) * 2012-09-20 2014-03-20 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Inkjet print head
US20140307032A1 (en) * 2013-04-10 2014-10-16 Yonglin Xie Membrane mems actuator including fluidic impedance structure
WO2016114396A1 (ja) * 2015-01-16 2016-07-21 コニカミノルタ株式会社 インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018103418A (ja) 2018-07-05
US20190329559A1 (en) 2019-10-31
TWI672229B (zh) 2019-09-21
TW201823046A (zh) 2018-07-01
JP6760049B2 (ja) 2020-09-23
CN110099798B (zh) 2020-07-28
WO2018123499A1 (ja) 2018-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110099798A (zh) 液体喷射头、液体喷射装置、液体循环方法以及液体喷出方法
JP5793938B2 (ja) 液体噴射装置、および、液体噴射装置の制御方法
JP3546931B2 (ja) インクジェット式記録ヘッドの駆動方法及びインクジェット式記録装置
JP5309808B2 (ja) 液体吐出装置、及び、液体吐出装置の制御方法
CN102126344B (zh) 喷液装置及喷液装置的控制方法
CN108146074A (zh) 液体喷射头、液体喷射装置以及压电设备
US10864722B2 (en) Liquid discharge apparatus
JP2009234110A (ja) 液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの駆動方法
US20150022593A1 (en) Liquid ejecting apparatus and method of controlling liquid ejecting apparatus
JP2009234109A (ja) 液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの駆動方法
CN102069642A (zh) 液体喷射装置及其控制方法
JP2009006700A (ja) 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置
CN104339855B (zh) 液体喷射装置
CN102233728A (zh) 液体喷射设备
JP3821231B2 (ja) 液体噴射ヘッドの駆動方法及び液体噴射装置
JP2009226587A (ja) 液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの駆動方法
JP6696294B2 (ja) 駆動波形生成装置、液体を吐出する装置
JP6115720B2 (ja) 液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの駆動方法
US5886722A (en) Microchannel marking engine
CN102294895A (zh) 液体喷射装置以及液体喷射装置的控制方法
JP6844207B2 (ja) 液体吐出ヘッド、及び、液体吐出装置
CN102180009B (zh) 液体喷射装置以及液体喷射装置的控制方法
JP5050961B2 (ja) 液体噴射駆動装置及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置
JP2016159574A (ja) 液体吐出装置
JP2009234175A (ja) 液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの駆動方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant