CN110052389B - 振动元件 - Google Patents

Abstract

根据本发明的一个或多个实施例的振动元件包括：导电的第一框架，所述导电的第一框架包括第一梁部和支撑第一梁部的一端的第一支撑部；导电的第二框架，所述导电的第二框架包括第二梁部和支撑第二梁部的一端的第二支撑部，并与第一框架分开设置；振荡体，所述振荡体设置在第一梁部的另一端和第二梁部的另一端之间并在绝缘状态下连接第一梁部和第二梁部；以及耗电构件，所述耗电构件安装在振荡体上，并且通过第一框架和第二框架向所述耗电构件供电。

Description

振动元件

技术领域

本发明的一个或多个实施例涉及一种振动元件，尤其涉及一种具有由梁部支撑的振荡体的振动元件。

背景技术

传统上，已知具有由梁部支撑的镜部的振动元件(例如，参见专利文献1)。

专利文献1公开了一种振动元件，其具有框架、镜部(振荡体)和压阻元件(耗电构件)。框架包括梁部和支撑梁部的支撑部，镜部安装在梁部上。压阻元件设置在梁部上的镜部附近。梁部包括用于从支撑部侧向压阻元件供电的配线。当供电时，压阻元件使镜部受到振动驱动，从而扭转梁部。

专利文献1：日本专利申请公开号2009-9064

然而，在专利文献1的振动元件中，由于用于向压阻元件(耗电构件)供电的配线设置在梁部上，因此在梁部扭转的同时也在配线中产生扭曲变形。因此，为了防止伴随梁部的扭转引起的断线和短路等连续性故障，需要例如增加配线厚度，增加梁部的厚度，并在很宽的范围内设置绝缘材料，或将配线与梁部上的其他导电构件分开。因此，梁部上的布线结构变得复杂，增加了制造难度。

发明内容

本发明的一个或多个实施例提供了一种振动元件，该振动元件具有简单的结构，并且即使在向设置在梁部的振荡体上的耗电构件供电时也可以容易地制造。

根据本发明的一个或多个实施例的振动元件包括：导电的第一框架，所述导电的第一框架包括第一梁部和支撑第一梁部的一端的第一支撑部；导电的第二框架，所述导电的第二框架包括第二梁部和支撑第二梁部的一端的第二支撑部，并与第一框架分开设置；振荡体，所述振荡体设置在第一梁部的另一端和第二梁部的另一端之间并在绝缘状态下连接第一梁部和第二梁部；以及耗电构件，所述耗电构件安装在振荡体上，并且通过第一框架和第二框架向所述耗电构件供电。

在本发明的一个或多个实施例中，设置有安装在振荡体上的耗电构件，振荡体在绝缘状态下连接第一梁部和第二梁部，并且通过导电的第一框架和导电的第二框架向耗电构件供电。这样，可以通过第一框架的第一梁部本身和第二框架的第二梁部本身向耗电构件供电。因此，当向设置在第一梁部和第二梁部的振荡体上的耗电构件供电时，不需要在第一梁部和第二梁部上设置配线。因此，即使向设置在振荡体上的耗电构件供电，也可以容易地制造简单的结构。

在本发明的一个或多个实施例中，还设置有驱动单元，该驱动单元跨越第一支撑部和第二支撑部设置，并且经由第一框架和第二框架使振荡体经受振动驱动。与驱动单元仅布置在第一支撑部和第二支撑部中的一侧的情况相比，这种配置使得来自驱动单元的驱动力能够以平衡的方式传递到第一支撑部和第二支撑部。结果，振荡体可以通过第一框架和第二框架受到稳定的振动驱动。

在本发明的一个或多个实施例中，在第一框架和第二框架之间，在设置第一支撑部和第二支撑部的平面中，设置有在与第一梁部和第二梁部延伸的第一方向基本垂直的第二方向上延伸的空间，并且第一框架和第二框架设置成相对于沿第二方向延伸的该空间的中心线彼此基本线性对称。这种配置使得来自驱动单元的驱动力能够以平衡的方式传递到第一支撑部和第二支撑部。结果，振荡体可以通过第一框架和第二框架以更大的稳定性受到振动驱动。

在本发明的一个或多个实施例中，还设置有绝缘膜，其设置在驱动单元与第一框架和第二框架之间，并且至少在驱动单元和第一框架之间提供绝缘。这样的配置在例如驱动单元由上电极、下电极和压电体形成的一般配置的情况下经由驱动单元(下电极)防止第一框架和第二框架之间的连续性。如果第一框架和第二框架之间存在连续性，则第一框架和第二框架具有相等的电位。这防止第一框架和第二框架用作向耗电构件供电的电路的导电构件。

在本发明的一个或多个实施例中，驱动单元包括压电体、设置在压电体上表面上的上电极、以及设置在压电体下表面上的下电极。该振动元件还设置有连接到上电极并向上电极供电的第一配线、连接到第一框架并向第一框架供电的第二配线、连接到第二框架并使第二框架固定在预定电位的第三配线、以及将第二框架和下电极电连接的导电部。这样的构造使得压电体能够通过第一配线变形，从而使振荡体受到振动驱动。此外，通过第二配线和第三配线，第一框架和第二框架可以用作向耗电构件供电的电路的导电构件。

在本发明的一个或多个实施例中，在插入下电极和第二框架之间的绝缘膜的一位置处设置有开口部，在开口部内侧设置导电部。这样的配置使得开口部能够提供下电极不与绝缘膜表面接触的部分，确保下电极的表面和第二框架之间的空的部分，并暴露出下电极在第二框架侧的部分表面。因此，导电部可以设置在开口部的内侧，以便接触下电极的表面和第二框架。结果，可以使导电部和下电极产生表面接触，从而下电极和导电部具有可靠的电连接。

在本发明的一个或多个实施例中，驱动单元包括压电体、设置在压电体上表面上的上电极、以及设置在压电体下表面上的下电极，并且绝缘膜被配置为使驱动单元与第一框架和第二框架两者绝缘；振动元件还具有连接到上电极并向上电极供电的第一配线、连接到第一框架并且向第一框架提供预定第一电位的电力的第四配线、连接到第二框架并且向第二框架提供与第一电位不同的预定第二电位的电力的第五配线、以及连接到下电极并向下电极供电的第六配线。这样的配置使得能够通过第一配线和第六配线向上电极和下电极两者供电。这样，与仅向上电极和下电极中的一个供电的情况相比，压电体可以更大程度地变形。

在本发明的一个或多个实施例中，还设置有连接到第一框架并向第一框架供电的第二配线、连接到第二框架并将第二框架固定在预定电位的第三配线，其中驱动单元包括压电体、在与第二框架电连接的状态下跨越所述压电体的上表面和下表面设置的第一电极、以及在与第一框架电连接的状态下设置在压电体的下表面上的第二电极。这样的配置使得压电体能够变形并且仅通过两个配线向耗电构件供电。即，可以合并用于向第一电极和第二电极供电的配线和用于向耗电构件供电的配线，以简化布线配置。

在本发明的一个或多个实施例中，振动元件被配置为通过在第一框架和第二框架之间提供电位差来向耗电构件供电。这样的配置使得电流能够经由耗电构件从第一框架流到第二框架或者从第二框架流到第一框架。也就是说，第一框架和第二框架可以用作向耗电构件供电的电路的导电构件。

在本发明的一个或多个实施例中，耗电构件包括LED光源、激光光源、加速度传感器、加热器、温度传感器和线圈中的至少一个。这样的配置使得耗电构件能够向振荡体赋予各种功能。具体地，在耗电构件包括LED光源或激光光源的情况下，可以对LED光源或激光光源进行振动驱动。这样，通过来自LED光源或激光光源的光，可以容易地在视觉上掌握振荡体的偏转角，并且可以改变发光强度分布特性(辐射范围)。在耗电构件包括加速度传感器的情况下，加速度传感器可以获得振荡体的驱动的加速度。在耗电构件包括加热器的情况下，加热器可以有效地防止可能在振荡体附近产生的冷凝。

在本发明的一个或多个实施例中，在设置第一支撑部和第二支撑部的平面中，第一支撑部和第二支撑部各自具有：第一部分，所述第一部分在与第一梁部和第二梁部延伸的第一方向基本垂直的第二方向上延伸，并且具有彼此相对的边缘部；以及第二部分，所述第二部分支撑第一梁部和第二梁部，从第一部分沿第二方向突出，并且具有宽度在第一方向上比第一部分小的细长形状。这样的配置使得位于第一部分的振荡体侧的第二部分具有细长的形状。这样，与第二部分形成得比第一部分厚的情况相比，驱动单元的驱动力可以更有效地传递到振荡体。

在本发明的一个或多个实施例中，还设置有绝缘保持构件和驱动单元，所述绝缘保持构件以分离状态保持第一框架和第二框架，所述驱动单元使所述振荡体经由第一框架和第二框架受到振动驱动，其中，所述驱动单元设置在第一支撑部和第二支撑部的一个面侧上，并且保持构件设置在第一支撑部和第二支撑部的与驱动单元侧相对侧的面上、且沿着与第一梁部和第二梁部相同的方向延伸的边缘部延伸设置。这样的配置使得保持构件能够将第一框架和第二框架以分离状态保持在不干扰驱动单元的位置。

在本发明的一个或多个实施例中，还设置有绝缘保持构件和驱动单元，所述绝缘保持构件以分离状态保持第一框架和第二框架，所述驱动单元通过第一框架和第二框架对振荡体进行振动驱动，其中，在第一框架和第二框架之间，在设置第一支撑部和第二支撑部的平面中，沿着与第一梁部和第二梁部延伸的第一方向垂直的第二方向上延伸设置一定宽度的空间；并且驱动单元、保持构件和振荡体设置成横跨沿第二方向延伸的该空间的中心线具有基本线性对称。这样的配置使得来自驱动单元的驱动力能够以平衡的方式传递到驱动单元、保持构件和振荡体。结果，振荡体可以通过第一框架和第二框架以更大的稳定性经受振动驱动。

在本发明的一个或多个实施例中，还设置有绝缘间隔件，其通过接触第一框架和第二框架来确保所述空间。这样的配置使得间隔件能够根据预定尺寸精确地确保第一框架和第二框架之间的空间。此外，因为间隔件可以容易地确保第一框架和第二框架之间的预定空间，所以可以容易地制造振动元件。

在本发明的一个或多个实施例中，在设置第一支撑部和第二支撑部的平面上，第一梁部和第二梁部分别具有在与第一方向(第一梁部和第二梁部延伸的方向)交叉的方向上延伸的振荡体支撑部，并且振荡体安装在第一梁部的另一端和第二梁部的另一端。这样的配置使得振荡体支撑部能够在更大的区域上支撑振荡体。这样，可以稳定地支撑振荡体。

本发明的一个或多个实施例提供了一种振动元件，该振动元件具有简单的结构，并且即使在向设置在梁部的振荡体上的耗电构件供电时也可以容易地制造。

附图说明

图1是示出本发明第一实施例的振动元件的透视图。

图2是沿图1中的线500-500的示意性剖视图。

图3是示出本发明第一实施例的振动元件的分解透视图。

图4是示出本发明第二实施例的振动元件的透视图。

图5是沿图4中的线600-600的示意性剖视图。

图6是示出本发明第三实施例的振动元件的透视图。

图7是沿图6中的线700-700的示意性剖视图。

具体实施方式

以下将参照附图描述本发明的实施例。在本发明实施例的以下描述中，阐述了许多具体细节以便提供对本发明的更透彻的理解。然而，对于本领域技术人员来说显而易见的是，可以在没有这些具体细节的情况下实施本发明。在其他情况下，众所周知的特征未被详细描述以避免模糊本发明。

(第一实施例)

参照图1至图3描述本发明第一实施例的振动元件100的结构。

如图1所示，根据本发明的一个或多个实施例的振动元件100包括由金属制成的导电的第一框架1、金属制成的导电的第二框架2、振荡体3、保持构件4、绝缘膜5、压电元件6和LED光源7。此外，振动元件100包括配线8a、8b和8c。压电元件6是权利要求中的“驱动单元”的一个示例。LED光源7是权利要求中的“耗电构件”的一个示例。配线8a、8b和8c是权利要求中的“第一配线”、“第二配线”和“第三配线”的一个示例。

第一框架1和第二框架2以使得振荡体3能够振动的方式支撑振荡体3。第一框架1和第二框架2都是扁平的板状构件。第一框架1和第二框架2设置在同一平面内水平排列。LED光源7设置在振荡体3的后侧(反射面部分的相对侧)。振动元件100被配置为通过使直流电流流到由金属制成的第一框架1和由金属制成的第二框架2来点亮LED光源7。也就是说，由金属制成的第一框架1和由金属制成的第二框架2用作点亮(供电给)LED光源7的电路的导电构件。

第一框架1和第二框架2设置为隔开一定宽度的空间S，该空间S沿B方向延伸(如下所述)。在第一框架1和第二框架2之间没有设置其他配置，并且该部分是空的。第一框架1和第二框架2设置成相对于沿B方向延伸的空间S的中心线C具有基本线性对称。也就是说，第一框架1和第二框架2具有对称的形状并且具有彼此类似的构造。

(第一框架的配置)

如图1所示，第一框架1包括第一支撑部11和第一梁部12。第一支撑部11、第一梁部12和振荡体支撑部120由一个由金属制成的导电基板一体形成。

第一梁部12具有线性延伸的杆形状。这里，第一梁部12延伸的方向被定义为A方向。在A方向内，从第二框架2到第一框架1的方向被定义为A1方向，而其相反方向被定义为A2方向。此外，在平面图中与A方向正交的方向被定义为B方向。即，将设置有第一框架1(第一支撑部11)和第二框架2(下面描述的第二支撑部21)的平面中的与A方向正交的方向定义为B方向。A方向是权利要求中的“第一方向”的一个示例。此外，B方向是权利要求中的“第二方向”的一个示例。此外，将与A方向和B方向正交的方向定义为C方向。也就是说，第一框架1和第二框架2的厚度方向被定义为C方向。

第一支撑部11具有第一部分11a和第二部分11b。第一支撑部11由第一部分11a和第二部分11b大致形成为L形。

第一部分11a具有矩形形状。第一部分11a相对于第一梁部12设置在B方向的一侧。这里，在B方向内，从第一部分11a到第一梁部12的方向被定义为B1方向，而其相反方向被定义为B2方向。矩形的第一部分11a的四个边缘部分沿A方向或B方向延伸。

第二部分11b沿着第一部分11a在A1方向的边缘部分向B方向突出。第二部分11b具有沿B方向延伸的细长形状。第二部分11b在A方向上的宽度W1小于第一部分11a在A方向上的宽度W2。此外，第二部分11b(参见图3)在A方向上的宽度W1小于第一部分11a在A方向上的宽度W2的一半(参见图3)。第二部分11b在A2方向侧的边缘部分的B方向上的中心附近支撑第一梁部12的一个端部12a(A1方向端部)。

第一梁部12具有振荡体支撑部120。振荡体支撑部120被配置为从C方向的一侧安装振荡体3。从振荡体支撑部分120到振荡体3的方向被定义为C1方向，并且其相反方向被定义为C2方向。振荡体支撑部120设置在第一梁部12的另一端12b(A2方向端部)。振荡体支撑部120具有从第一梁部12的另一端12b沿B1方向和B2方向延伸的两个部分(分支部分)。也就是说，振荡体支撑部120是设置在第一梁部12的另一端12b处的H形部分。

(第二框架的配置)

如图1所示，第二框架2包括第二支撑部21和具有振荡体支撑部220的第二梁部22。第二支撑部21支撑第二梁部22的一端22a(A2方向端部)。第二框架2具有第一部分21a和第二部分21b。

如图2所示，第二框架2设置在第一框架1的A2方向侧。第一框架1的第一部分11a的A2方向侧的边缘部分110和第二框架2的第一部分21a的A1方向侧的边缘部分210均沿B方向延伸并且彼此相对设置。因此，在边缘部分110和边缘部分210之间形成在B方向上延伸的具有特定宽度的空间S。如上所述，第二框架2具有与第一框架1对称的形状，并且包括类似的配置。这样，省略了对第二框架2的详细描述。

(振荡体的配置)

如图3所示，振荡体3从C1方向侧安装在第一梁部12的另一端12b(振荡体支撑部120)和第二梁部22的另一端22b(振荡体支撑部220)上，因此，第一框架1的第一梁部12和第二框架2的第二梁部22以绝缘状态连接。振荡体3形成为绝缘基板。基板振荡体3与第一框架1和第二框架2接触并具有矩形形状。因此，在振动元件100中，第一框架1和第二框架2不通过振荡体3(基板部分)电连接。振荡体3可以包括镜面部分(反射面部分)，其设置在基板部分的C1方向端部上并反射光。镜面部分通过铝气相沉积等形成。

如图1所示，振荡体3设置成横跨空间S的中心线C具有基本线性对称。

(保持构件的配置)

如图1所示，保持构件4以分离状态保持第一框架1和第二框架2。也就是说，它固定第一框架1和第二框架2的相对位置。保持构件4是绝缘的。保持构件4设置在第一框架1的第一支撑部11和第二框架2的第二支撑部21的压电元件6侧的相对侧(C2方向侧)的面上。保持构件4可以设置在不妨碍第二部分11b和21b的驱动力传递的区域中。

保持构件4沿与第一框架1的第一梁部12和第二框架2的第二梁部22相同的方向(A方向)延伸。保持构件4设置为沿着第一支撑部11和第二支撑部21的B2方向上的边缘部分延伸。保持构件4通过在第一框架1和第二框架2之间从C1方向侧涂覆的粘合剂H固定到第一框架1和第二框架2。

保持构件4设置成横跨空间S的中心线C具有基本线性对称。绝缘构件可以填充在空间S中。第一框架1和第二框架2可以通过绝缘构件绝缘。

(绝缘膜和压电元件的配置)

如图1所示，绝缘膜5和压电元件6跨越第一支撑部11和第二支撑部21设置。绝缘膜5是绝缘的。绝缘膜5沿C方向设置在压电元件6与第一框架1(第一支撑部11)和第二框架2(第二支撑部21)之间。

具体地，绝缘膜5和压电元件6按照绝缘膜5和压电元件6的顺序堆叠在第一支撑部11和第二支撑部21的C1方向侧的面上。因此，压电元件6与第一支撑部11和第二支撑部21分离，并且通过绝缘膜5与第一支撑部11和第二支撑部21绝缘。绝缘膜5由石蜡纸等形成。

绝缘膜5通过粘合剂(未示出)粘附到压电元件6和第一框架1和第二框架2上。

如图2所示，压电元件6被配置为经由第一框架1和第二框架2对振荡体3进行振动驱动。压电元件6包括板状压电体61、上电极62和下电极63。上电极62设置在压电体61的上表面(C1方向侧的面)上。下电极63设置在压电体61的下表面(C2方向侧的面)上。

在插入下电极63和第二框架2之间的绝缘膜5的一位置处，设置有在内侧具有导电部P的槽口部51。导电部P是由银膏等形成的导电部分，并且与下电极63的下表面(C2方向侧的表面)和第二框架2接触。因此，下电极62和第二框架2通过导电部P电连接。导电部P不接触第一框架1。槽口部51是权利要求中的“开口部”的一个示例。

如图1所示，压电元件6设置成横跨空间S的中心线C具有基本线性对称。

(LED光源的配置)

如图3所示，LED光源7设置在第一梁部12的另一端12b和第二梁部22的另一端22b之间。具体地，LED光源7从C2方向侧安装在第一梁部12和第二梁部22上，以连接第一梁部12和第二梁部22。

LED光源7具有一对接触第一梁部12和第二梁部22的端子71。每个端子71经由LED光源7内部的配线(未示出)连接到LED(未示出)。LED光源7被配置为经由第一框架1接受供电。

(配线的配置)

如图1所示，配线8a连接到上电极62。配线8a被配置为从电源(未示出)向上电极62(参见图2)提供AC电力。配线8a由接合线等形成。

配线8b连接到第一框架1的第一支撑部11。配线8b被配置为从电源(未示出)向第一框架1提供AC电力。配线8b由接合线等形成。

配线8c连接到第二框架2的第二支撑部21。配线8c使第二框架2固定在预定电位。具体地，配线8c将第二框架2连接到地。配线8c由接合线等形成。

振动元件100被配置为通过配线8a和配线8c在第一框架1和第二框架2之间提供电位差来向LED光源7供电。

(第一实施例的效果)

在本发明的第一实施例中，可以获得诸如以下的效果。

在本发明的第一实施例中，如上所述，提供了安装在振荡体3(其在绝缘状态下连接第一梁部12和第二梁部22)上并通过导电的第一框架1和导电的第二框架2进行供电的LED光源7。这样，可以经由第一框架1的第一梁部12本身和第二框架2的第二梁部22本身向LED光源7供电。因此，当向设置在第一梁部12和第二梁部22的振荡体3上的LED光源7供电时，不需要在第一梁部12和第二梁部22上设置配线。因此，即使向设置在振荡体3上的LED光源7供电，也可以容易地制造简单的结构。

此外，在本发明的第一实施例中，如上所述，还设置有压电元件6，该压电元件6跨越第一支撑部11和第二支撑部21设置并且经由第一框架1和和第二框架2对振荡体3进行振动驱动。与压电元件6仅设置在第一支撑部11和第二支撑部分21中的一侧的情况相比，这使得来自压电元件6的驱动力能够以平衡的方式传递到第一支撑部11和第二支撑部21。结果，振荡体3可以经由第一框架1和第二框架2受到稳定的振动驱动。

此外，在本发明的第一实施例中，如上所述，在第一框架1和第二框架2之间设置有沿B方向延伸的空间S，并且第一框架1和第二框架2设置为横跨在B方向上延伸的空间S的中心线C彼此基本线性对称。这使得来自压电元件6的驱动力能够以平衡的方式传递到第一支撑部11和第二支撑部21。结果，振荡体3可以通过第一框架1和第二框架2以更大的稳定性受到振动驱动。

此外，在本发明的第一实施例中，如上所述，还提供了绝缘膜5，其设置在压电元件6与第一框架1和第二框架2之间，并且至少在压电元件6和第一框架1之间提供绝缘。这防止了第一框架1和第二框架2之间经由压电元件6(下电极63)的连续性。如果第一框架1和第二框架2之间存在连续性，则第一框架1和第二框架2具有相等的电位。这防止第一框架1和第二框架2用作向LED光源7供电的电路的导电构件。

此外，在本发明的第一实施例中，如上所述，压电元件6包括板状压电体61、设置在压电体61的上表面上的上电极62和设置在压电体61的下表面上的下电极63。振动元件还设置有连接到上电极62并向上电极62供电的配线8a、连接到第一框架1并向第一框架1供电的配线8b、连接到第二框架2并使第二框架2固定在预定电位的配线8c、以及将第二框架2和下电极63电连接的导电部P。这使得压电体61能够通过配线8a变形，从而使振荡体3受到振动驱动。此外，通过配线8b和配线8c，第一框架1和第二框架2可以用作向LED光源7供电的电路的导电构件。

此外，在本发明的第一实施例中，如上所述，在插入下电极63和第二框架2之间的绝缘膜5的一位置处，设置有在内侧具有导电部P的槽口部51。这使得导电部P能够设置在槽口部51的内侧。因此，导电部P可以通过导电部P的表面而不是通过其边缘部分接触下电极63。也就是说，下电极63和导电部P可以具有可靠的电连接。结果，下电极63和第二框架2可以通过导电部P具有可靠的电连接。这使得槽口部51能够提供下电极63不与绝缘膜5表面接触的部分，确保下电极63的表面和第二框架2之间的空的部分，并暴露下电极63的第二框架2侧的部分表面。因此，导电部P可以设置在槽口部51的内侧，以便接触下电极63和第二框架2的表面。结果，可以使导电部P和下电极63进行表面接触，从而下电极63和导电部P具有可靠的电连接。

此外，在本发明的第一实施例中，如上所述，振动元件被配置为通过提供第一框架1和第二框架2之间的电位差来向LED光源7供电。这使得电流能够经由LED光源7从第一框架1流到第二框架2或从第二框架2流到第一框架1。也就是说，第一框架1和第二框架2可以用作向LED光源7供电的电路的导电构件。

此外，在本发明的第一实施例中，如上所述，提供了LED光源7。这使得LED光源7能够受到振动驱动。这样，通过来自LED光源7的光，可以容易地在视觉上掌握振荡体3的偏转角，并且可以改变发光强度分布特性(辐射范围)。

此外，在本发明的第一实施例中，如上所述，在设置有第一支撑部11和第二支撑部21的平面中，第一支撑部11和第二支撑部21各自具有第一部分11a、21a和第二部分11b、21b。第一部分11a、21a在与第一梁部12和第二梁部22延伸的A方向基本垂直的B方向上延伸，并且具有彼此相对设置的边缘部分110和210。第二部分11b、21b支撑第一梁部12第二梁部分22，从第一部分11a、21a沿B方向突出，并且具有在A方向上的宽度比第一部分11a、21a更小的细长形状。这使得位于第一部分11a、21a的振荡体3侧的第二部分11b、21b具有细长形状。这样，与第二部分11b、21b形成得比第一部分11a、21a厚的情况相比，压电元件6的驱动力可以更有效地传递到振荡体3。

此外，在本发明的第一实施例中，如上所述，还提供了将第一框架1和第二框架2保持在分离状态的绝缘保持构件4和通过第一框架1和第二框架2使振荡体3经受振动驱动的压电元件6，其中，压电元件6设置在第一支撑部11和第二支撑部21的一个面侧上，保持构件4设置在第一支撑部11和第二支撑部21的压电元件6侧的相对侧上的面上，并且沿着在第一梁部12和第二梁部22相同方向上延伸的边缘部分延伸设置。这使得保持构件4能够将第一框架1和第二框架2以分离状态保持在不干扰压电元件6的位置。

此外，在本发明的第一实施例中，如上所述，还提供了将第一框架1和第二框架2保持在分离状态的绝缘保持构件4和通过第一框架1和第二框架2使振荡体3经受振动驱动的压电元件6，其中，在第一框架1和第二框架2之间设置有在B方向上延伸的具有特定宽度的空间S，并且压电元件6、保持构件4和振荡体3设置成横跨在B方向上延伸的空间S的中心线C具有基本线性对称。这使得来自压电元件6的驱动力能够以平衡的方式传递到压电元件6、保持构件4和振荡体3。结果，振荡体3可以通过第一框架1和第二框架2以更大的稳定性受到振动驱动。

此外，在本发明的第一实施例中，如上所述，第一梁部12和第二梁部22分别具有沿B方向延伸的振荡体支撑部120和220，并且振荡体3安装在第一梁部12的另一端12b和第二梁部22的另一端22b处。这使得振荡体支撑部120和220能够在更大的区域上支撑振荡体3。这样，可以稳定地支撑振荡体3。

(第二实施例)

接下来，参照图4和图5描述根据本发明第二实施例的振动元件200的构造。本发明第二实施例中的振动元件200与本发明第一实施例不同，第一实施例使下电极63和第二框架2电连接，第二实施例描述了下电极63和第二框架2绝缘的示例。与本发明第一实施例类似的配置用与本发明第一实施例相同的附图标记表示，并省略其说明。

如图4所示，本发明第二实施例的振动元件200包括绝缘膜205、导电板63a、以及配线208a、208b和208c。配线208a、208b和208c分别是权利要求中的“第四配线”、“第五配线”和“第六配线”的一个示例。

绝缘膜205沿C方向设置在导电板63a与第一框架1和第二框架2之间。绝缘膜205是绝缘的。与本发明第一实施例的绝缘膜5不同，绝缘膜205不具有槽口部51并且形成为矩形形状。也就是说，第一框架1和第二框架2通过绝缘膜205与压电元件6绝缘。

如图5所示，导电板63a沿C方向设置在下电极63和绝缘膜205之间。导电板63a是导电的。配线208c连接到导电板63a的边缘部分。配线208c由接合线等形成。导电板63a具有将电力从配线208c传输到下电极63的功能。

配线208a连接到第一框架1。配线208b连接到第二框架2。配线208a用于向第一框架1提供预定第一电位的电力。配线208b用于向第二框架2提供预定第二电位的电力。例如，从配线208a向第一框架1提供电位为5V的电力，并且从配线208b向第二框架2提供电位为-5V的电力。

(第二实施例的效果)

在本发明的第二实施例中，可以获得诸如以下的效果。

在本发明的第二实施例中，如上所述，压电元件6包括板状压电体61、设置在压电体61的上表面上的上电极62和设置在压电体61的下表面上的下电极63。绝缘膜205被配置为使压电元件6与第一框架1和第二框架2均绝缘。振动元件还设置有连接到上电极62并向上电极62供电的配线8a、连接到第一框架1并将预定第一电位的电力提供给第一框架1的配线208a、连接到第二框架2并且将与第一电位不同的预定第二电位的电力提供给第二框架2的配线208b、以及连接到下电极63并向下电极63供电的配线208c。这使得能够通过配线8a和配线208c向上电极62和下电极63供电。这样，与仅向上电极62和下电极63中的一个供电的情况相比，压电体61可以更大程度地变形。

(第三实施例)

接着，参照图6和图7描述本发明第三实施例的振动元件300的结构。本发明第三实施例中的振动元件300与本发明第一实施例的不同之处，第一实施例使压电元件6的上电极62与第一框架1和第二框架2绝缘并且使下电极63与第二框架2电连接，第三实施例描述了由压电元件306提供的两个电极(第一电极362、第二电极363)分别与第一框架1和第二框架2电连接的示例。与本发明第一实施例类似的配置用与本发明第一实施例相同的附图标记表示，并省略其说明。

如图6所示，本发明第三实施例的振动元件300包括压电元件306。如在本发明的第一实施例中那样，振动元件300没有设置绝缘膜5。

压电元件306具有跨越第一框架1和第二框架2的圆盘形状。压电元件306包括压电体61、第一电极362和第二电极363。

第一电极362跨越压电体61的上表面61a(C1方向侧的面)和下表面61b(C2方向侧的面)设置。此外，第一电极362设置在压电体61的A1方向侧，并且布置成直接接触第一框架1。也就是说，第一电极362电连接到第一框架1。

第一电极362不直接连接到配线，并且经由第一框架1从配线8b供电。

第二电极363设置在压电体61的下表面61b(C2方向侧的面)上。此外，第二电极363设置在压电体61的A2方向侧，并且布置成直接接触第二框架2。也就是说，第二电极363电连接到第二框架2。第二电极363不直接连接到配线，并且经由第二框架2从配线8c供电。

(第三实施例的效果)

在本发明的第三实施例中，可以获得诸如以下的效果。

在本发明的第三实施例中，如上所述，还提供了连接到第一框架1并且向第一框架1供电的配线8b以及连接到第二框架2并且使第二框架2固定在预定电位的配线8c，其中，压电元件306包括板状压电体61、在与第二框架2电连接的状态下跨越压电体61的上表面61a和下表面61b设置的第一电极362、以及在与第一框架1电连接的状态下设置在压电体61的下表面61b上的第二电极363。这使得压电体61能够变形并且仅通过两个配线对LED光源7的供电。即，可以将用于向第一电极362和第二电极363供电的配线和用于向LED光源7供电的配线合并，以简化布线配置。此外，由于压电体61通常薄且脆，因此在其上设置电极会增加诸如压电体61的破裂之类的损坏风险。此外，通过从图7中的B1方向取出配线，C方向可以做得很薄。由此，可以减小器件厚度，这提高了布置的自由度。

(变化例)

这里公开的本发明的实施例完全是示例性的，不应该被认为是限制性的。本发明的范围不是由上述实施例的描述而是由权利要求表示，并且包括与权利要求等同的含义以及权利要求范围内的所有修改(变化)。

例如，本发明的第一至第三实施例示出了第一框架和第二框架之间设置有空部分的示例。然而，本发明不限于此。在本发明的一个或多个实施例中，可以在第一框架和第二框架之间的空间中设置绝缘间隔件。间隔件可确保第一框架和第二框架之间的绝缘。而且，因为间隔件可以填充第一框架和第二框架之间的空间，所以可以容易地制造振动元件并且可以提高耐用性。

此外，本发明的第一至第三实施例示出了压电元件跨越第一支撑部和第二支撑部设置的示例。然而，本发明不限于此。在本发明的一个或多个实施例中，压电元件可以仅设置在第一支撑部和第二支撑部中的一个上。

此外，本发明的第一至第三实施例示出了第一框架和第二框架设置成横跨空间的中心线彼此基本线性对称的示例。然而，本发明不限于此。在本发明的一个或多个实施例中，第一框架和第二框架不必设置成横跨空间的中心线彼此具有基本线性对称。

此外，本发明的第一至第三实施例示出了根据本发明的一个或多个实施例的耗电构件是LED光源的示例。然而，本发明不限于此。在本发明的一个或多个实施例中，本发明的耗电构件可以是除LED光源之外的配置，例如加速度传感器、激光光源、加热器、温度传感器或线圈。

此外，本发明的第一至第三实施例示出了绝缘膜由石蜡纸等形成的示例。然而，本发明不限于此。在本发明的一个或多个实施例中，可以通过在下电极或第一框架和第二框架的一部分上形成氧化膜来提供根据本发明的一个或多个实施例的绝缘膜。也就是说，绝缘膜可以由除石蜡纸之外的构造形成，例如氧化物膜。

此外，本发明的第一至第三实施例示出了第一框架的第一支撑部和第二框架的第二支撑部均形成为L形的示例。然而，本发明不限于此。例如，在本发明的一个或多个实施例中，第一框架的第一支撑部和第二框架的第二支撑部可以形成为L形以外的形状，例如C形。

此外，本发明的第一至第三实施例示出了振荡体支撑部形成为H形的示例。然而，本发明不限于此。在本发明的一个或多个实施例中，振荡体支撑部可以形成为H形以外的形状，例如盘。

此外，本发明的第一实施例示出了在绝缘膜中设置开口部的示例。然而，本发明不限于此。在本发明的一个或多个实施例中，绝缘膜不必设置有开口部。在这种情况下，需要设置导电部，使得下电极和第二框架的边缘部分具有连续性。

尽管已经仅关于有限数量的实施例描述了本公开，但是受益于本公开的本领域技术人员将理解，在不脱离本发明的范围的情况下，可以设计出各种其他实施例。因此，本发明的范围应该仅由所附权利要求来限定。

1 第一框架

2 第二框架

3 振荡体

4 保持构件

5、205 绝缘膜

6、306 压电元件(驱动单元)

7 LED光源(耗电构件)

8a 配线(第一配线)

8b 配线(第二配线)

8c 配线(第3配线)

11 第一支撑部

11a (第一框架的)第一部分

11b (第一框架的)第二部分

12 第一梁部

12a (第一梁部的)一端

12b (第一梁部的)另一端

21 第二支撑部

21a (第二框架的)第一部分

21b (第二框架的)第二部分

22 第二梁部

22a (第二梁部的)一端

22b (第二梁部的)另一端

51 槽口部(开口部)

61 压电体

61a 上表面

61b 下表面

62 上电极

63 下电极

100、200、300 振动元件

110 (与第二框架的边缘部分相对的第一框架的)边缘部分

120 (第一框架的)振荡体支撑部

208a 配线(第四配线)

208b 配线(第五配线)

208c 配线(第六配线)

210 (与第一框架的边缘部分相对的第二框架的)边缘部分

220 (第二框架的)振荡体支撑部

362 第一电极

363 第二电极

C 中心线

P 导电部

S 空间

Claims (17)

1.一种振动元件，包括：

导电的第一框架，所述第一框架包括第一梁部和支撑所述第一梁部的一端的第一支撑部；

导电的第二框架，所述第二框架包括第二梁部和支撑所述第二梁部的一端的第二支撑部，并且所述第二框架与所述第一框架分开设置；

振荡体，所述振荡体设置在所述第一梁部的另一端和所述第二梁部的另一端之间，并以绝缘状态连接所述第一梁部和所述第二梁部；以及

耗电构件，所述耗电构件安装在所述振荡体上，并且通过所述第一框架和所述第二框架向所述耗电构件供电。

2.如权利要求1所述的振动元件，还包括：

驱动单元，所述驱动单元设置成跨越所述第一支撑部和所述第二支撑部，并使所述振荡体通过所述第一框架和所述第二框架受到振动驱动。

3.如权利要求2所述的振动元件，

其中，在所述第一框架和所述第二框架之间，在平面中提供沿基本垂直于第一方向的第二方向延伸的空间，

其中所述第一梁部和所述第二梁部沿所述第一方向延伸，

其中，所述第一支撑部和第二支撑部设置在所述平面中，并且

其中，所述第一框架和所述第二框架设置成横跨沿所述第二方向延伸的所述空间的中心线彼此基本线性对称。

4.如权利要求2所述的振动元件，还包括：

绝缘膜，所述绝缘膜设置在所述驱动单元与所述第一框架和所述第二框架之间，并至少在所述驱动单元和所述第一框架之间提供绝缘。

5.根据权利要求4所述的振动元件，其中，所述驱动单元包括压电体、设置在所述压电体的上表面上的上电极、以及设置在所述压电体的下表面上的下电极，

所述振动元件还包括：

连接到所述上电极并向所述上电极供电的第一配线；

连接到所述第一框架并向所述第一框架供电的第二配线；

连接到所述第二框架并使所述第二框架固定在预定电位的第三配线；以及

将所述第二框架和所述下电极电连接的导电部。

6.如权利要求5所述的振动元件，其中，在插入所述下电极和所述第二框架之间的所述绝缘膜的一位置处设置有开口部，在所述开口部内侧设置所述导电部。

7.如权利要求4所述的振动元件，

其中，所述驱动单元包括压电体、设置在所述压电体的上表面上的上电极、以及设置在所述压电体的下表面上的下电极，并且

其中，所述绝缘膜被配置为使所述驱动单元与所述第一框架和所述第二框架两者绝缘，

所述振动元件还包括：

连接到所述上电极并向所述上电极供电的第一配线；

连接到所述第一框架并向所述第一框架提供预定第一电位的电力的第四配线；

连接到所述第二框架并向所述第二框架提供与所述第一电位不同的预定第二电位的电力的第五配线；以及

连接到所述下电极并向所述下电极供电的第六配线。

8.如权利要求2所述的振动元件，还包括：

连接到所述第一框架并向所述第一框架供电的第二配线；以及

连接到所述第二框架并使所述第二框架固定在预定电位的第三配线，

其中，所述驱动单元包括压电体、在与所述第二框架电连接的状态下跨越所述压电体的上表面和下表面设置的第一电极、以及在与所述第一框架电连接的状态下设置在所述压电体的下表面上的第二电极。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的振动元件，其中，所述振动元件被配置为通过在所述第一框架和所述第二框架之间提供电位差来向所述耗电构件供电。

10.根据权利要求1至8中任一项所述的振动元件，其中，所述耗电构件包括LED光源、激光光源、加速度传感器、加热器、温度传感器和线圈中的至少一个。

11.如权利要求1至8中任一项所述的振动元件，

其中，所述第一支撑部和所述第二支撑部分各自具有第一部分和第二部分，

其中，所述第一部分和所述第二部分设置在设置所述第一支撑部和所述第二支撑部的平面中，

其中，所述第一部分沿与所述第一梁部和所述第二梁部延伸的第一方向基本垂直的第二方向延伸，

其中，所述第一部分具有彼此相对设置的边缘部分，

其中，所述第二部分支撑所述第一梁部和所述第二梁部，

其中，所述第二部分从所述第一部分沿所述第二方向突出，并且

其中，所述第二部分具有细长形状，所述细长形状在所述第一方向上的宽度小于所述第一部分的宽度。

12.如权利要求1所述的振动元件，还包括：

绝缘保持构件，所述绝缘保持构件将所述第一框架和所述第二框架保持在分离状态；以及

驱动单元，所述驱动单元通过所述第一框架和所述第二框架使所述振荡体受到振动驱动，

其中，所述驱动单元设置在所述第一支撑部和所述第二支撑部的相同侧上，并且

其中，所述保持构件设置在所述第一支撑部和所述第二支撑部的驱动单元侧的相对侧的面上，并且沿着与所述第一梁部和所述第二梁部在相同方向上延伸的边缘部分延伸设置。

13.如权利要求1所述的振动元件，还包括：

绝缘保持构件，所述绝缘保持构件将所述第一框架和所述第二框架保持在分离状态；以及

驱动单元，所述驱动单元通过所述第一框架和所述第二框架使所述振荡体受到振动驱动，

其中，在所述第一框架和所述第二框架之间，在设置在所述第一支撑部和所述第二支撑部的平面中，在与所述第一梁部和所述第二梁部延伸第一方向垂直的第二方向上延伸设置具有一定宽度的空间，并且

其中，所述驱动单元、所述保持构件和所述振荡体设置成横跨沿所述第二方向延伸的所述空间的中心线具有基本线性对称。

14.如权利要求13所述的振动元件，还包括：绝缘间隔件，所述绝缘间隔件通过接触所述第一框架和所述第二框架来确保所述空间。

15.如权利要求1至8中任一项所述的振动元件，

其中，所述第一梁部和所述第二梁部中的每一个具有振荡体支撑部，所述振荡体支撑部在与所述第一梁部和所述第二梁部延伸的第一方向交叉的方向上的平面中延伸，

其中，所述第一支撑部和所述第二支撑部设置在所述平面中，

其中，所述振荡体安装在所述振荡体支撑部上，并且

其中，所述振荡体支撑部设置在所述第一梁部的所述另一端和所述第二梁部的所述另一端。

16.如权利要求3所述的振动元件，还包括：

绝缘膜，所述绝缘膜设置在所述驱动单元与所述第一框架和所述第二框架之间，并至少在所述驱动单元和所述第一框架之间提供绝缘。

17.如权利要求3所述的振动元件，还包括：

连接到所述第一框架并向所述第一框架供电的第二配线；以及

连接到所述第二框架并使所述第二框架固定在预定电位的第三配线，

其中，所述驱动单元包括压电体、在与所述第二框架电连接的状态下跨越所述压电体的上表面和下表面设置的第一电极、以及在与所述第一框架电连接的状态下设置在所述压电体的下表面上的第二电极。

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