CN110027834B - 一种掩模板存储运输装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种掩模板存储运输装置及方法，掩模板存储运输装置包括：第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一驱动组件包括第一本体部和第一活动部，所述第二驱动组件包括第二本体部和第二活动部；所述第一本体部固定于所述底座底壁且所述第一活动部沿第一方向与第一本体部滑动连接，所述第二本体部固定于所述底座侧壁且所述第二活动部沿第二方向与第二本体部滑动连接，所述第一方向与所述底座底壁垂直或者平行，所述第二方向与所述第一方向垂直；用于放置所述掩模板的储藏盒，所述储藏盒邻近所述底座侧壁的一端与所述第二活动部铰接，所述储藏盒远离所述底座侧壁的一端与所述第一活动部铰接。本发明以实现储藏盒在水平状态和竖直状态之间的变换。

Description

一种掩模板存储运输装置及方法

技术领域

本发明实施例涉及显示技术，尤其涉及一种掩模板存储运输装置及方法。

背景技术

显示面板制造技术中的光刻工艺是通过光学成像的方法把掩模板(Mask)上的图案转移到玻璃基板或者半导体晶片表面的光刻胶上的过程，然后再通过显影、刻蚀、剥离等工艺步骤，最终在玻璃基板上形成所需的TFT阵列图型。掩模板是影响光刻性能的关键物品，如果掩模板出现问题，例如被损坏、有灰尘等情况，将直接影响到光刻工艺的质量，使生产过程不能正常进行。其中掩模板的存储运输以及取放是因起其划伤、损坏的重要原因之一。

发明内容

本发明实施例提供一种掩模板存储运输装置及方法，以实现储藏盒在水平状态和竖直状态之间的变换。

第一方面，本发明实施例提供一种掩模板存储运输装置，包括：

底座，所述底座包括相互垂直的底座底壁和底座侧壁；

第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一驱动组件包括第一本体部和第一活动部，所述第二驱动组件包括第二本体部和第二活动部；所述第一本体部固定于所述底座底壁且所述第一活动部沿第一方向与第一本体部滑动连接，所述第二本体部固定于所述底座侧壁且所述第二活动部沿第二方向与第二本体部滑动连接，所述第一方向与所述底座底壁垂直或者平行，所述第二方向与所述第一方向垂直；

用于放置所述掩模板的储藏盒，所述储藏盒邻近所述底座侧壁的一端与所述第二活动部铰接，所述储藏盒远离所述底座侧壁的一端与所述第一活动部铰接。

本发明实施例中，第一活动部和第二活动部同时运动时，可以将与第一活动部、第二活动部铰接的储藏盒由水平状态翻转为竖直状态，或者由竖直状态翻转为水平状态，实现了储藏盒在水平状态和竖直状态之间的变换。

可选地，还包括设置于所述储藏盒上的第一铰接部件，所述储藏盒通过第一铰接部件直接与所述第一活动部以及所述第二活动部铰接。

可选地，还包括承载板，和设置于所述承载板上的第二铰接部件，所述储藏盒固定于所述承载板上，所述储藏盒间接通过所述承载板上的第二铰接部件与所述第一活动部以及所述第二活动部铰接。

本发明实施例中，储藏盒通过承载板间接与第一活动部以及第二活动部铰接，从而无需将旋转轴等可以实现铰接的部件固定到储藏盒，降低了对储藏盒的(例如承载力)设计要求。

可选地，所述第一本体部为套筒，所述第一活动部为连接杆；或者，所述第一本体部为滑轨，所述第一活动部为滑块；

所述第二本体部为套筒，所述第二活动部为连接杆；或者，所述第二本体部为滑轨，所述第二活动部为滑块。

可选地，所述储藏盒包括第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁；所述第一侧壁和所述第二侧壁对置，所述第三侧壁和所述第四侧壁对置；所述第一侧壁以及所述第二侧壁平行于所述掩模板所在平面；所述储藏盒还包括多个第一滚轮和多个第二滚轮，所述第一滚轮的转动轴平行于所述第一侧壁以及所述第二侧壁，所述第一滚轮围绕所述第一滚轮的转动轴转动；所述第二滚轮的转动轴平行于所述第三侧壁以及所述第四侧壁，所述第二滚轮围绕所述第二滚轮的转动轴转动。

本发明实施例中，通过设置第一滚轮和第二滚轮，移动掩模板时，掩模板不与储藏盒的侧壁直接接触，而是与第一滚轮和第二滚轮接触，掩模板与第一滚轮和第二滚轮之间的摩擦力为滚动摩擦力，摩擦力较小。

可选地，所述储藏盒包括第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁；所述第一侧壁和所述第二侧壁对置，所述第三侧壁和所述第四侧壁对置；所述第一侧壁以及所述第二侧壁平行于所述掩模板所在平面；

所述储藏盒包括机械臂，所述机械臂固定于所述第一侧壁或者所述第二侧壁；所述机械臂的末端设置有机械手，所述机械手包括滑动连接的机械手套筒和机械手连接杆。

本发明实施例中，通过机械臂的伸缩可以实现取放掩模板。相对于通过人工的方式取放掩模板，通过机械臂取放掩模板提高了掩模板存储运输装置的自动化水平，提高了取放掩模板的效率。

可选地，所述机械臂包括多个伸缩抽匣。

本发明实施例中，由于多个伸缩抽匣可以相互嵌套、折叠收藏，因此伸缩抽匣的结构可以减小机械臂的体积，简化机械臂的结构。

可选地，所述掩模板存储运输装置包括叠层设置的多个所述储藏盒，相邻两个所述储藏盒焊接固定或者卡扣固定。

本发明实施例中，相邻两个储藏盒卡扣固定时，方便相邻两个储藏盒在需要分离时的分离。

第二方面，本发明实施例提供一种掩模板存储运输方法，采用第一方面所述的掩模板存储运输装置，包括：

将所述掩模板放入水平状态的储藏盒；同时驱动第一活动部相对于第一本体部沿第一方向运动，以及驱动第二活动部相对于第二本体部沿第二方向运动，以将所述储藏盒由水平状态翻转为竖直状态；和/或，

同时驱动所述第一活动部相对于所述第一本体部沿所述第一方向运动，以及驱动所述第二活动部相对于所述第二本体部沿所述第二方向运动，以将所述储藏盒由竖直状态翻转为水平状态；将所述掩模板由水平状态的储藏盒取出；

其中，所述第一方向与底座底壁垂直或者平行，所述第二方向与所述第一方向垂直。

可选地，所述储藏盒包括第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁；所述第一侧壁和所述第二侧壁对置，所述第三侧壁和所述第四侧壁对置；所述第一侧壁以及所述第二侧壁平行于所述掩模板所在平面；所述储藏盒包括机械臂，所述机械臂固定于所述第一侧壁或者所述第二侧壁；所述机械臂的末端设置有机械手，所述机械手包括滑动连接的机械手套筒和机械手连接杆；

将所述掩模板放入水平状态的储藏盒包括：

所述机械手沿平行于所述第一侧壁的方向伸出所述储藏盒，所述机械手连接杆沿垂直于所述第一侧壁的方向由所述机械手套筒伸出以固定住所述掩模板；

将所述掩模板由水平状态的储藏盒取出包括：

所述机械手连接杆沿垂直于所述第一侧壁的方向由所述机械手套筒伸出以固定住所述掩模板，所述机械手沿平行于所述第一侧壁的方向伸出所述储藏盒。

本发明实施例中，掩模板存储运输装置包括第一驱动组件和第二驱动组件，第一驱动组件的第一活动部相对于第一驱动组件的第一本体部可以沿第一方向(例如竖直方向)运动，第二驱动组件的第二活动部相对于第二驱动组件的第二本体部可以沿第二方向(例如水平方向)运动，第一活动部和第二活动部同时运动时，可以将与第一活动部、第二活动部铰接的储藏盒由水平状态翻转为竖直状态，或者由竖直状态翻转为水平状态，实现了储藏盒在水平状态和竖直状态之间的变换。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种掩模板存储运输装置的剖面结构示意图；

图2为本发明实施例提供的另一种掩模板存储运输装置的剖面结构示意图；

图3为本发明实施例提供的另一种掩模板存储运输装置的剖面结构示意图；

图4为相邻两个储藏盒卡扣固定的示意图；

图5为本发明实施例提供的另一种掩模板存储运输装置的俯视结构示意图；

图6为本发明实施例提供的一种储藏盒的剖面结构示意图；

图7为本发明实施例提供的一种机械臂的俯视结构示意图；

图8为本发明实施例提供的一种机械臂的剖面结构示意图；

图9为本发明实施例提供的一种掩模板存储运输装置由水平状态翻转为竖直状态的示意图；

图10为本发明实施例提供的一种掩模板存储运输装置由竖直状态翻转为水平状态的示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

针对上述背景技术，发明人分析其原因主要在于掩模板的储藏盒无法在水平状态和竖直状态之间变换，掩模板的存储以及运输过程中一般采用竖直式储藏盒和卧式储藏盒。竖直式储藏盒中掩模板是竖直放置，而使用掩模板的器械上掩模板需要水平放置，因此需要将人工将掩模板由竖直翻转为水平。且竖直方向地取出和收纳掩模板容易造成掩模板的损伤。卧式储藏盒中掩模板水平放置，放置于上层的掩模板在取出时存在较大困难，从而限制了卧式储藏盒储藏掩模板的数量，同时存在取出时损坏下层存放的掩模板的风险。

基于上述技术问题，发明人提供一种可实现掩模板的储藏盒在水平状态和竖直状态之间变换的掩模板存储运输装置。且其变换过程中可通过控制台自动控制变换的速度和角度等参数，避免人工翻转对掩模板可能造成的损伤。此外，通过控制台控制掩模板的储藏盒在水平状态和竖直状态之间自动变换，能够有效避免掩模板存储和取放对其造成的损伤，同时可以减少人力投入。

图1为本发明实施例提供的一种掩模板存储运输装置的剖面结构示意图，参考图1，掩模板存储运输装置包括底座10、第一驱动组件21、第二驱动组件22和用于放置掩模板的储藏盒30。底座10包括相互垂直的底座底壁11和底座侧壁12。第一驱动组件21包括第一本体部211和第一活动部212，第二驱动组件22包括第二本体部221和第二活动部222。第一本体部211固定于底座底壁11且第一活动部212沿第一方向与第一本体部211滑动连接，第二本体部221固定于底座侧壁12且第二活动部222沿第二方向与第二本体部221滑动连接，第一方向与底座底壁11垂直或者平行，第二方向与第一方向垂直。储藏盒30邻近底座侧壁12的一端与第二活动部222铰接，储藏盒30远离底座侧壁12的一端与第一活动部212铰接。

示例性地，参考图1，第一方向与底座底壁11垂直，第二方向与底座侧壁12垂直，第一方向与第二方向垂直。

本发明实施例中，掩模板存储运输装置包括第一驱动组件和第二驱动组件，第一驱动组件的第一活动部相对于第一驱动组件的第一本体部可以沿第一方向(例如竖直方向)运动，第二驱动组件的第二活动部相对于第二驱动组件的第二本体部可以沿第二方向(例如水平方向)运动，第一活动部和第二活动部同时运动时，可以将与第一活动部、第二活动部铰接的储藏盒由水平状态翻转为竖直状态，或者由竖直状态翻转为水平状态，实现了储藏盒在水平状态和竖直状态之间的变换。

可选地，参考图1，掩模板存储运输装置还包括设置于储藏盒30上的第一铰接部件41，储藏盒30通过第一铰接部件41直接与第一活动部212以及第二活动部222铰接。

示例性地，参考图1，图1中以两个储藏盒30为例，并非对本发明的限定，本发明提供的掩模板存储运输装置可以包括一个储藏盒30，也可以包括多于两个的储藏盒30。为了区分两个储藏盒30，将远离第一活动部212、第二活动部222的储藏盒30称为第一储藏盒31，将邻近第一活动部212、第二活动部222的储藏盒30称为第二储藏盒32。第一储藏盒31固定于第二储藏盒32远离第一活动部212和第二活动部222一侧的表面。第二储藏盒32通过第一铰接部件41直接与第一活动部212以及第二活动部222铰接。

图2为本发明实施例提供的另一种掩模板存储运输装置的剖面结构示意图，参考图2，掩模板存储运输装置还包括承载板50和设置于承载板50上的第二铰接部件42，储藏盒30固定于承载板50上，储藏盒30间接通过承载板50上的第二铰接部件42与第一活动部212以及第二活动部222铰接。本发明实施例中，储藏盒30固定于承载板50上，储藏盒30不再直接与第一活动部212以及第二活动部222铰接，而是通过承载板50间接与第一活动部212以及第二活动部222铰接，从而无需将旋转轴等可以实现铰接的部件固定到储藏盒30，降低了对储藏盒30的(例如承载力)设计要求。

可选地，参考图1和图2，第一本体部211为套筒，第一活动部212为连接杆，第二本体部221为套筒，第二活动部222为连接杆。也就是说，第一本体部211和第二本体部221可以为伸缩杆的套筒，第一活动部212和第二活动部222可以为伸缩杆的连接杆，第一驱动组件21和第二驱动组件22可以为伸缩杆。需要说明的是，本发明实施例中第一本体部211的长度、第一活动部212的长度、第二本体部221的长度、第二活动部222的长度不代表真实的长度，其仅为一种位置关系的示意。伸缩杆的套筒还可以包括多个相互滑动连接的子套筒。

图3为本发明实施例提供的另一种掩模板存储运输装置的剖面结构示意图，参考图3，第一本体部211为滑轨，第一活动部212为滑块，第二本体部221为滑轨，第二活动部222为滑块。也就是说，第一本体部211和第二本体部221可以为滑轨，第一活动部212和第二活动部222可以为滑块，滑块滑动连接于滑轨上。在其他实施方式中，第一驱动组件21可以采用伸缩杆，第二伸缩组件22可以采用滑轨和滑块的组合；或者，第一驱动组件21可以采用滑轨和滑块的组合，第二伸缩组件22可以采用伸缩杆，本发明实施例对此不做限定。

示例性地，参考图3，第一本体部211固定于底座底壁11，第一活动部212沿第一方向与第一本体部211滑动连接。第二本体部221固定于底座侧壁12，第二活动部222沿第二方向与第二本体部221滑动连接，第一方向与底座底壁11平行，第二方向与底座侧壁12平行，第一方向与第二方向垂直。储藏盒30邻近底座侧壁12的一端通过承载板50上的第二铰接部件42间接与第二活动部222铰接，储藏盒30远离底座侧壁12的一端通过承载板50上的第二铰接部件42间接与第一活动部212铰接。

图5为本发明实施例提供的另一种掩模板存储运输装置的俯视结构示意图，

图6为本发明实施例提供的一种储藏盒的剖面结构示意图，参考图5和图6，储藏盒30包括第一侧壁301、第二侧壁302、第三侧壁303和第四侧壁304。第一侧壁301和第二侧壁302对置，第三侧壁303和第四侧壁304对置。第一侧壁301以及第二侧壁302平行于掩模板(掩模板在图6中以虚线所示)所在平面。储藏盒30还包括多个第一滚轮81和多个第二滚轮82，第一滚轮81的转动轴平行于第一侧壁301以及第二侧壁302，第一滚轮81围绕第一滚轮81的转动轴转动。第二滚轮82的转动轴平行于第三侧壁303以及第四侧壁304，第二滚轮82围绕第二滚轮82的转动轴转动。如果不设置第一滚轮81和第二滚轮82，移动掩模板时，掩模板直接与储藏盒30的侧壁(例如第二侧壁302)滑动摩擦，摩擦力较大。本发明实施例中，通过设置第一滚轮81和第二滚轮82，移动掩模板时，掩模板不与储藏盒30的侧壁直接接触，而是与第一滚轮81和第二滚轮82接触，掩模板与第一滚轮81和第二滚轮82之间的摩擦力为滚动摩擦力，摩擦力较小。

示例性地，参考图5和图6，第一滚轮81可以固定于第一侧壁301和第二侧壁302，第二滚轮82可以固定于第二侧壁302。在其他实施方式中，也可以将第一滚轮81固定于第三侧壁303和/或第四侧壁304，可以将第二滚轮82固定于第一侧壁301、第三侧壁303和第四侧壁304中的至少一者，只要保证第一滚轮81的转动轴平行于第一侧壁301以及第二侧壁302，以及保证第二滚轮82的转动轴平行于第三侧壁303以及第四侧壁304即可。邻近第一侧壁301的第一滚轮81与邻近第二侧壁302的第一滚轮81可以关于掩模板对称。邻近第三侧壁303的第二滚轮82与邻近第四侧壁304的第二滚轮82可以关于掩模板对称。

图7为本发明实施例提供的一种机械臂的俯视结构示意图，图8为本发明实施例提供的一种机械臂的剖面结构示意图，参考图6、图7和图8，储藏盒30包括第一侧壁301、第二侧壁302、第三侧壁303和第四侧壁304。第一侧壁301和第二侧壁302对置，第三侧壁303和第四侧壁304对置。第一侧壁301以及第二侧壁302平行于掩模板所在平面。储藏盒30包括机械臂83，机械臂83固定于第一侧壁301或者第二侧壁302(图6和图8中以机械臂83固定于第一侧壁301为例)。机械臂83的末端设置有机械手834，机械手834包括滑动连接的机械手套筒8341和机械手连接杆8342。本发明实施例提供的掩模板存储运输装置中，储藏盒30的第一侧壁301或者第二侧壁302固定有机械臂83，机械臂83的末端设置有机械手834，取放掩模板时，机械手连接杆8342由机械手套筒8341中伸出并固定掩模板，通过机械臂83的伸缩可以实现取放掩模板。相对于通过人工的方式取放掩模板，通过机械臂83取放掩模板提高了掩模板存储运输装置的自动化水平，提高了取放掩模板的效率。

可选地，参考图6、图7和图8，机械臂83包括多个伸缩抽匣(本发明实施例中以三个伸缩抽匣为例进行解释说明，并非对本发明的限制)，分别为第一伸缩抽匣831，第二伸缩抽匣832和第三伸缩抽匣833。第三伸缩抽匣833远离第一伸缩抽匣831的一端为机械臂83的末端，第三伸缩抽匣833远离第一伸缩抽匣831的一端设置有机械手834。第一伸缩抽匣831的尺寸大于第二伸缩抽匣832的尺寸，第二伸缩抽匣832的尺寸大于第三伸缩抽匣833的尺寸，第三伸缩抽匣833滑动连接于第二伸缩抽匣832的内侧，第二伸缩抽匣832滑动连接于第一伸缩抽匣831的内侧。机械臂83伸展时，第二伸缩抽匣832由第三伸缩抽匣833延伸出来，第一伸缩抽匣831由第二伸缩抽匣832延伸出来；机械臂83收缩时，第一伸缩抽匣831收缩到第二伸缩抽匣832中，第二伸缩抽匣832收缩到第三伸缩抽匣833中。由于多个伸缩抽匣可以相互嵌套、折叠收藏，因此伸缩抽匣的结构可以减小机械臂83的体积，简化机械臂83的结构。

可选地，参考图1、图2和图3，掩模板存储运输装置包括叠层设置的多个储藏盒30，相邻两个储藏盒30焊接固定或者卡扣固定。相邻两个储藏盒30卡扣固定时，方便相邻两个储藏盒30在需要分离时的分离。

示例性地，参考图1、图2和图3，第一储藏盒31和第二储藏盒32可以焊接固定或者卡扣固定。

图4为相邻两个储藏盒卡扣固定的示意图，参考图4，第一储藏盒31邻近第二储藏盒32的一侧设置有插销91，插销91上设置有可自由伸缩的卡扣，第二储藏盒32邻近第一储藏盒31的一侧在与插销91对应位置设置有插槽92。第一储藏盒31与第二储藏盒32接触时，插销91插入插槽92，插销91上的卡扣伸展并将第一储藏盒31与第二储藏盒32固定；插销91上的卡扣收缩时，可以将插销91移出插槽92，以使第一储藏盒31与第二储藏盒32分离。需要说明的是，本发明实施例提供的插销91和插槽92仅为一种示例，并非对本发明的限定。

可选地，参考图1-图3，以及图5，掩模板存储运输装置还包括轮子60和控制台70。轮子60固定于底座底壁11远离储藏盒30的一侧，轮子60方便对储藏盒30的移动。控制台70可以包括人机交互的界面，方便对第一驱动组件21、第二驱动组件22以及机械臂83的控制。通过控制台70控制掩模板的储藏盒30在水平状态和竖直状态之间自动变换，能够有效避免掩模板存储和取放对其造成的损伤，同时可以减少人力投入。

本发明实施例提供一种掩模板存储运输方法，采用上述任一实施例中的掩模板存储运输装置，掩模板存储运输方法包括掩模板的放入方法和/或掩模板的取出方法。图9为本发明实施例提供的一种掩模板存储运输装置由水平状态翻转为竖直状态的示意图，参考图1-图3，以及图9，掩模板的放入方法包括：

S110、将掩模板放入水平状态的储藏盒30。

S120、同时驱动第一活动部212相对于第一本体部211沿第一方向运动，以及驱动第二活动部222相对于第二本体部221沿第二方向运动，以将储藏盒30由水平状态翻转为竖直状态。

其中，第一方向与底座底壁11垂直或者平行，第二方向与第一方向垂直。

示例性地，参考图1、图2和图9，第一本体部211为套筒，第一活动部212为连接杆。第二本体部221为套筒，第二活动部222为连接杆。第一驱动组件21和第二驱动组件22为伸缩杆。随着固定在底座底壁11的伸缩杆沿第一方向的伸长，以及固定底座侧壁12的伸缩杆沿第二方向的伸长，储藏盒30由水平状态变为倾斜状态；随着固定在底座底壁11的伸缩杆沿第一方向的进一步伸长，以及固定底座侧壁12的伸缩杆沿第二方向的进一步伸长，储藏盒30由倾斜状态变为竖直状态，从而实现了储藏盒30由水平状态到竖直状态的变换。第一方向与底座底壁11垂直，第二方向与第一方向垂直。

图10为本发明实施例提供的一种掩模板存储运输装置由竖直状态翻转为水平状态的示意图，参考图1-图3，以及图10，掩模板的取出方法包括：

S210、同时驱动第一活动部212相对于第一本体部211沿第一方向运动，以及驱动第二活动部222相对于第二本体部221沿第二方向运动，以将储藏盒30由竖直状态翻转为水平状态。

S220、将掩模板由水平状态的储藏盒30取出。

其中，第一方向与底座底壁11垂直或者平行，第二方向与第一方向垂直。

示例性地，参考图1、图2和图10，第一驱动组件21和第二驱动组件22为伸缩杆。随着固定在底座底壁11的伸缩杆沿第一方向的收缩，以及固定底座侧壁12的伸缩杆沿第二方向的收缩，储藏盒30由竖直状态变为倾斜状态；随着固定在底座底壁11的伸缩杆沿第一方向的进一步收缩，以及固定底座侧壁12的伸缩杆沿第二方向的进一步收缩，储藏盒30由倾斜状态变为水平状态，从而实现了储藏盒30由竖直状态到水平状态的变换。第一方向与底座底壁11垂直，第二方向与第一方向垂直。

可选地，参考图3，第一本体部211可以为滑轨，第一活动部212可以为滑块，第二本体部221可以为滑轨，第二活动部222可以为滑块。第一驱动组件21和第二驱动组件22均为滑轨和滑块的组合时掩模板的取出方法和掩模板的放入方法，与第一驱动组件21和第二驱动组件22均为伸缩杆时掩模板的取出方法和掩模板的放入方法类似，在此不再赘述。

可选地，参考图5-图8，储藏盒30包括第一侧壁301、第二侧壁302、第三侧壁303和第四侧壁304。第一侧壁301和第二侧壁302对置，第三侧壁303和第四侧壁034对置。第一侧壁301以及第二侧壁302平行于掩模板所在平面。储藏盒30包括机械臂83，机械臂83固定于第一侧壁301或者第二侧壁302。机械臂83的末端设置有机械手834，机械手834包括滑动连接的机械手套筒8341和机械手连接杆8342。

将掩模板放入水平状态的储藏盒30(即步骤S110)包括：

机械手834沿平行于第一侧壁301的方向伸出储藏盒30，机械手连接杆8342沿垂直于第一侧壁301的方向由机械手套筒8341伸出以固定住掩模板(示例性地，机械手连接杆8342可以固定掩模板的外框)。

将掩模板由水平状态的储藏盒30取出(即步骤S220)包括：

机械手连接杆8342沿垂直于第一侧壁301的方向由机械手套筒8341伸出以固定住掩模板(示例性地，机械手连接杆8342可以固定掩模板的外框)，机械手834沿平行于第一侧壁301的方向伸出储藏盒30。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种掩模板存储运输装置，其特征在于，包括：

底座，所述底座包括相互垂直的底座底壁和底座侧壁；

第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一驱动组件包括第一本体部和第一活动部，所述第二驱动组件包括第二本体部和第二活动部；所述第一本体部固定于所述底座底壁且所述第一活动部沿第一方向与第一本体部滑动连接，所述第二本体部固定于所述底座侧壁且所述第二活动部沿第二方向与第二本体部滑动连接，所述第一方向与所述底座底壁垂直或者平行，所述第二方向与所述第一方向垂直；

用于放置所述掩模板的储藏盒，所述储藏盒邻近所述底座侧壁的一端与所述第二活动部铰接，所述储藏盒远离所述底座侧壁的一端与所述第一活动部铰接；

所述掩模板存储运输装置还包括轮子和控制台；所述轮子固定于所述底座底壁远离所述储藏盒的一侧；所述控制台包括人机交互的界面。

2.根据权利要求1所述的掩模板存储运输装置，其特征在于，还包括设置于所述储藏盒上的第一铰接部件，所述储藏盒通过第一铰接部件直接与所述第一活动部以及所述第二活动部铰接。

3.根据权利要求1所述的掩模板存储运输装置，其特征在于，还包括承载板，和设置于所述承载板上的第二铰接部件，所述储藏盒固定于所述承载板上，所述储藏盒间接通过所述承载板上的第二铰接部件与所述第一活动部以及所述第二活动部铰接。

4.根据权利要求1所述的掩模板存储运输装置，其特征在于，所述第一本体部为套筒，所述第一活动部为连接杆；或者，所述第一本体部为滑轨，所述第一活动部为滑块；

所述第二本体部为套筒，所述第二活动部为连接杆；或者，所述第二本体部为滑轨，所述第二活动部为滑块。

5.根据权利要求1所述的掩模板存储运输装置，其特征在于，所述储藏盒包括第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁；所述第一侧壁和所述第二侧壁对置，所述第三侧壁和所述第四侧壁对置；所述第一侧壁以及所述第二侧壁平行于所述掩模板所在平面；所述储藏盒还包括多个第一滚轮和多个第二滚轮，所述第一滚轮的转动轴平行于所述第一侧壁以及所述第二侧壁，所述第一滚轮围绕所述第一滚轮的转动轴转动；所述第二滚轮的转动轴平行于所述第三侧壁以及所述第四侧壁，所述第二滚轮围绕所述第二滚轮的转动轴转动。

6.根据权利要求1所述的掩模板存储运输装置，其特征在于，所述储藏盒包括第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁；所述第一侧壁和所述第二侧壁对置，所述第三侧壁和所述第四侧壁对置；所述第一侧壁以及所述第二侧壁平行于所述掩模板所在平面；

所述储藏盒包括机械臂，所述机械臂固定于所述第一侧壁或者所述第二侧壁；所述机械臂的末端设置有机械手，所述机械手包括滑动连接的机械手套筒和机械手连接杆。

7.根据权利要求6所述的掩模板存储运输装置，其特征在于，所述机械臂包括多个伸缩抽匣。

8.根据权利要求1所述的掩模板存储运输装置，其特征在于，所述掩模板存储运输装置包括叠层设置的多个所述储藏盒，相邻两个所述储藏盒焊接固定或者卡扣固定。

9.一种掩模板存储运输方法，采用权利要求1-8任一项所述的掩模板存储运输装置，其特征在于，包括：

将所述掩模板放入水平状态的储藏盒；同时驱动第一活动部相对于第一本体部沿第一方向运动，以及驱动第二活动部相对于第二本体部沿第二方向运动，以将所述储藏盒由水平状态翻转为竖直状态；和/或，

同时驱动所述第一活动部相对于所述第一本体部沿所述第一方向运动，以及驱动所述第二活动部相对于所述第二本体部沿所述第二方向运动，以将所述储藏盒由竖直状态翻转为水平状态；将所述掩模板由水平状态的储藏盒取出；

其中，所述第一方向与底座底壁垂直或者平行，所述第二方向与所述第一方向垂直。

10.根据权利要求9所述的掩模板存储运输方法，其特征在于，所述储藏盒包括第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁；所述第一侧壁和所述第二侧壁对置，所述第三侧壁和所述第四侧壁对置；所述第一侧壁以及所述第二侧壁平行于所述掩模板所在平面；所述储藏盒包括机械臂，所述机械臂固定于所述第一侧壁或者所述第二侧壁；所述机械臂的末端设置有机械手，所述机械手包括滑动连接的机械手套筒和机械手连接杆；

将所述掩模板放入水平状态的储藏盒包括：

所述机械手沿平行于所述第一侧壁的方向伸出所述储藏盒，所述机械手连接杆沿垂直于所述第一侧壁的方向由所述机械手套筒伸出以固定住所述掩模板；

将所述掩模板由水平状态的储藏盒取出包括：

所述机械手连接杆沿垂直于所述第一侧壁的方向由所述机械手套筒伸出以固定住所述掩模板，所述机械手沿平行于所述第一侧壁的方向伸出所述储藏盒。

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