CN109976105A - 曝光机、线路板的支撑机构及支撑方法 - Google Patents
曝光机、线路板的支撑机构及支撑方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109976105A CN109976105A CN201910337450.2A CN201910337450A CN109976105A CN 109976105 A CN109976105 A CN 109976105A CN 201910337450 A CN201910337450 A CN 201910337450A CN 109976105 A CN109976105 A CN 109976105A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wiring board
- support
- support portion
- supporting
- ontology
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 75
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims description 23
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims description 23
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 23
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 210000000080 chela (arthropods) Anatomy 0.000 description 1
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 1
- 235000013399 edible fruits Nutrition 0.000 description 1
- 238000007687 exposure technique Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
- G03F7/70825—Mounting of individual elements, e.g. mounts, holders or supports
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Bending Of Plates, Rods, And Pipes (AREA)
Abstract
本发明公开了一种曝光机、线路板的支撑机构及支撑方法,线路板的支撑方法包括以下步骤:获取线路板在第一方向上的长度L1,获取支撑本体在第一方向上的长度L2,获取辅助支撑件在第一方向上的长度L3;若L1≤(L2+L3),则所述支撑本体支撑所述线路板;若(L2+nL3)<L1≤(L2+(n+1)L3),则n个所述辅助支撑件移动至与所述支撑本体配合形成第一支撑部并利用所述第一支撑部支撑所述线路板,其中,n为正整数,且n大于等于1。所述线路板的支撑机构及支撑方法能够保证线路板在定位时不会发生变形和弯曲;如此,采用所述线路板的支撑机构及支撑方法的曝光机,曝光质量好,产品良率高。
Description
技术领域
本发明涉及线路板曝光技术领域,具体涉及一种曝光机、线路板的支撑机构及支撑方法。
背景技术
线路板输送至曝光机的曝光元件进行曝光之前,需对线路板进行准确的定位。传统的方式为采用夹持组件对线路板的侧边进行夹持以对线路板进行定位。利用夹持组件对线路板的侧边进行夹持定位,当线路板的尺寸发生变化时,由于线路板的侧边被夹持时,整个线路板处于悬空状态,极易导致线路板发生弯曲或变形,从而影响曝光质量和产品良率。
发明内容
基于此,提出了一种曝光机、线路板的支撑机构及支撑方法,所述线路板的支撑机构及支撑方法能够保证线路板在定位时不会发生变形和弯曲;如此,采用所述线路板的支撑机构及支撑方法的曝光机,曝光质量好,产品良率高。
其技术方案如下:
一方面,提供了一种线路板的支撑方法,包括以下步骤:获取线路板在第一方向上的长度L1,获取支撑本体在所述第一方向上的长度L2,获取辅助支撑件在所述第一方向上的长度L3;若L1≤(L2+L3),则所述支撑本体支撑所述线路板;若(L2+nL3)<L1≤(L2+(n+1)L3),则n个所述辅助支撑件移动至与所述支撑本体配合形成第一支撑部并利用所述第一支撑部支撑所述线路板,其中,n为正整数,且n大于等于1。
下面进一步对技术方案进行说明:
在其中一个实施例中,在所述若L1≤(L2+L3),则所述支撑本体支撑所述线路板的步骤中,包括:若L1≤L2,则所述支撑本体支撑所述线路板;若L2<L1≤(L2+L3),则一个所述辅助支撑件移动至与所述支撑本体配合形成第二支撑部,并利用所述第二支撑部支撑所述线路板。
在其中一个实施例中,在所述若L1≤(L2+L3),则所述支撑本体支撑所述线路板的步骤中,还包括:使所述支撑本体移动,直至使所述支撑本体在所述第一方向上的中心轴线与所述线路板在所述第一方向上的中心轴线重合或近似重合。
在其中一个实施例中,在所述若(L2+nL3)<L1≤(L2+(n+1)L3),则n个所述辅助支撑件移动至与所述支撑本体配合形成第一支撑部并利用所述第一支撑部支撑所述线路板的步骤中,还包括:第(n+1)个所述辅助支撑件移动至与所述支撑本体、n个所述辅助支撑件配合形成第三支撑部并利用所述第三支撑部支撑所述线路板。
在其中一个实施例中,在所述若(L2+nL3)<L1≤(L2+(n+1)L3),则n个所述辅助支撑件移动至与所述支撑本体配合形成第一支撑部并利用所述第一支撑部支撑所述线路板的步骤中,还包括:使所述第一支撑部移动,直至使所述第一支撑部在所述第一方向上的中心轴线与所述线路板在所述第一方向上的中心轴线重合或近似重合。
另一方面,提供了一种线路板的支撑机构,包括:支撑本体,所述支撑本体设有用于支撑线路板的第一支撑面;辅助支撑组件,所述辅助支撑组件包括至少一个辅助支撑件,所述辅助支撑件设有用于支撑所述线路板的第二支撑面;及第一驱动件,所述第一驱动件的数量与所述辅助支撑件的数量相对应,且一个所述第一驱动件用于驱动一个所述辅助支撑件移动,使每个所述辅助支撑件均能够移动至将所述第二支撑面与所述第一支撑面配合形成用于支撑所述线路板的支撑部。
在其中一个实施例中,线路板的支撑机构还包括第二驱动件,所述第二驱动件用于驱动所述支撑本体及所述辅助支撑组件沿第一方向往复移动。
在其中一个实施例中,线路板的支撑机构还包括长度检测组件,所述长度检测组件用于对所述线路板、所述支撑本体、所述辅助支撑件在第一方向上的长度进行检测。
在其中一个实施例中,所述第一支撑面上设有用于吸附所述线路板的第一吸附孔;和/或所述第二支撑面上设有用于吸附所述线路板的第二吸附孔。
再一方面,提供了一种曝光机,包括定位机构、曝光机构及所述的线路板的支撑机构,所述定位机构用于对支撑机构上的线路板进行定位,所述曝光机构用于对所述定位机构上的线路板进行曝光。
上述实施例的曝光机、线路板的支撑机构及支撑方法,至少具有以下优点:(1)、能够防止线路板在利用定位机构进行定位过程中发生变形或弯曲。(2)、能够使得线路板的两侧尽可能少的伸出支撑本体外,使得线路板的两侧受力均衡,也避免线路板的侧边出现下垂的问题,并便于夹持组件等定位机构对线路板进行夹持定位。
附图说明
图1为一个实施例的线路板的支撑方法的流程图;
图2为一个实施例的曝光机的结构示意图;
图3为图2的曝光机的线路板的支撑机构的结构示意图;
图4为图2的曝光机的线路板的支撑机构的一状态下的结构示意图;
图5为图4的曝光机的线路板的支撑机构的另一视角下的结构示意图;
图6为图2的曝光机的线路板的支撑机构的另一状态下的结构示意图;
图7为图6的曝光机的线路板的支撑机构的另一视角下的结构示意图;
图8为图2的曝光机的线路板的支撑机构的再一状态下的结构示意图;
图9为图8的曝光机的线路板的支撑机构的另一视角下的结构示意图;
图10为图2的曝光机的线路板的支撑机构的还一状态下的结构示意图;
图11为图10的曝光机的线路板的支撑机构的另一视角下的结构示意图。
附图标记说明:
10、曝光机,100、支撑本体,110、第一支撑面,111、第一吸附孔,200、辅助支撑件,210、第二支撑面,211、第二吸附孔,300、第一驱动件,400、第二驱动件,500、定位机构,600、曝光机构,1000、线路板。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及具体实施方式,对本发明进行进一步的详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用以解释本发明,并不限定本发明的保护范围。
需要说明的是,当元件被称为“设置于”、“固设于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当元件被称为“固设于”另一个元件,或与另一个元件“固定连接”,它们之间可以是可拆卸固定方式也可以是不可拆卸的固定方式。当一个元件被认为是“连接”、“转动连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“上”、“下”以及类似的表述只是为了说明的目的,并不表示是唯一的实施方式。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的,不是旨在于约束本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
本发明中所述“第一”、“第二”、“第三”等类似用语不代表具体的数量及顺序,仅仅是用于名称的区分。
如图1所示,在一个实施例中,公开了一种线路板1000的支撑方法,包括以下步骤:
获取线路板1000在第一方向(如图2及图5的A方向所示)上的长度L1,获取支撑本体100在第一方向上的长度L2,获取辅助支撑件200在第一方向上的长度L3。如此,在线路板1000送入曝光机10进行曝光之前,预先对线路板1000在第一方向上的长度L1、支撑本体100在第一方向上的长度L2以及辅助支撑件200在第一方向上的长度L3进行获取,方便后续在第一方向上选择准确数量的辅助支撑件200与支撑本体100进行配合,能够对线路板1000进行有效的支撑,避免线路板1000在后续定位的过程中发生变形或弯曲。
具体地,对线路板1000在第一方向上的长度L1的获取,可以通过线路板1000本身的规格尺寸进行获取,也可以利用皮尺、卡尺等测量元件人工进行测量获取,还可以通过对线路板1000的图像采集后进行相应的对比与换算自动得出,只需满足能够对线路板1000在第一方向上的长度L1进行获取即可。对支撑本体100在第一方向上的长度L2的获取,可以利用皮尺、卡尺等测量元件人工进行测量获取,还可以通过对支撑本体100的图像采集后进行相应的对比与换算自动得出,只需满足能够对支撑本体100在第一方向上的长度L2进行获取即可。对辅助支撑件200在第一方向上的长度L3的获取,可以利用皮尺、卡尺等测量元件人工进行测量获取,还可以通过对辅助支撑件200的图像采集后进行相应的对比与换算自动得出,只需满足能够对辅助支撑件200在第一方向上的长度L3进行获取即可。
若L1≤(L2+L3),则支撑本体100支撑线路板1000。如此,利用支撑本体100的第一支撑面对线路板1000进行支撑,避免线路板1000悬空,从而能够防止线路板1000在定位过程中发生弯曲或变形。具体地,可以利用吸嘴将线路板1000吸取并移动至放置于支撑本体100的第一支撑面110上,从而利用支撑本体100对线路板1000进行支撑,便于后续利用定位机构对线路板1000进行定位。
在一个实施例中,在若L1≤(L2+L3),则支撑本体100支撑线路板1000的步骤中,包括:若L1≤L2,则支撑本体100支撑线路板1000。如此,只需利用支撑本体100即可完整的对线路板1000进行支撑,避免线路板1000在定位时发生变形或弯曲。若L2<L1≤(L2+L3),可以也利用支撑本体100对线路板1000进行支撑。如此,在第一方向上,线路板1000的长度虽略大于支撑本体100的长度,但由于差距不大,利用支撑本体100依然能够对线路板1000进行支撑并达到避免定位过程中线路板1000发生变形或弯曲的效果;另外,由于线路板1000的长度虽略大于支撑本体100的长度,线路板1000放置于支撑本体100上后,在第一方向上,线路板1000的侧边伸出支撑本体100的侧边,从而预留出夹持部位,便于夹头、夹钳等夹持组件类定位机构对线路板1000进行夹持定位。若L2<L1≤(L2+L3),还可以将一个辅助支撑件200移动至与支撑本体100配合形成第二支撑部,并利用第二支撑部支撑线路板1000。如此,对支撑本体100的支撑面进行扩展,利用扩展得到的第二支撑部的支撑面对线路板1000进行支撑,支撑效果好,能够避免定位过程中线路板1000发生变形或弯曲。
在一个实施例中,在若L1≤(L2+L3),则支撑本体100支撑线路板1000的步骤中,还包括:使支撑本体100移动,直至使支撑本体100在第一方向上的中心轴线与线路板1000在第一方向上的中心轴线重合或近似重合。如此,利用驱动机构使得支撑本体100相对线路板1000移动,直至支撑本体100相对线路板1000移动至使支撑本体100在第一方向上的中心轴线与线路板1000在第一方向上的中心轴线重合或近似重合,即使得支撑本体100在第一方向上移动至线路板1000的中心位置,从而使得线路板1000受到更加均衡的支撑力;尤其是当L2<L1≤(L2+L3)并只利用支撑本体100对线路板1000进行支撑时,使支撑本体100在第一方向上移动至线路板1000的中心位置,能够使得线路板1000的两侧尽可能少的伸出支撑本体100外,使得线路板1000的两侧受力均衡,也避免线路板1000的侧边出现下垂的问题,并便于夹持组件等定位机构对线路板1000进行夹持定位。驱动机构驱动支撑本体100发生位移,可以通过齿轮与齿条配合的形式实现,也可以通过液压杆推动的形式实现,只需满足能够使得支撑本体100沿第一方向发生移动即可。
需要进行说明的是,支撑本体100在第一方向上的中心轴线与线路板1000在第一方向上的中心轴线近似重合,是考虑到加工误差和装配误差的影响,在误差允许范围内,即使支撑本体100在第一方向上的中心轴线与线路板1000在第一方向上的中心轴线之间留有间隙,也可认为是重合;例如当支撑本体100在第一方向上的中心轴线与线路板1000在第一方向上的中心轴线之间的间隙在0.1mm~0.5mm时,可以是0.1mm、0.3mm或0.5mm,即可认为支撑本体100在第一方向上的中心轴线与线路板1000在第一方向上的中心轴线重合。
若(L2+nL3)<L1≤(L2+(n+1)L3),则n个辅助支撑件200移动至与支撑本体100配合形成第一支撑部并利用第一支撑部支撑线路板1000,其中,n为正整数,且n大于等于1。如此,在第一方向上,若线路板1000的长度较长,仅利用支撑本体100已经无法满足支撑需求,则可以利用至少一个辅助支撑件200移动至与支撑本体100配合形成第一支撑部,再利用支撑面较大的第一支撑部对线路板1000进行支撑,从而使得线路板1000能够更好的得到支撑,避免后续定位过程中线路板1000因悬空部位较大而发生变形或弯曲。
如图6及图7所示,在一个实施例中,若(L2+L3)<L1≤(L2+2L3),则1个辅助支撑件200移动至与支撑本体100配合形成第一支撑部并利用第一支撑部支撑线路板1000。如此,在第一方向上,第一支撑部对线路板1000的支撑长度变为(L2+L3),线路板1000的长度虽略大于第一支撑部的支撑长度,但由于差距不大,利用第一支撑部依然能够对线路板1000进行支撑并达到避免定位过程中线路板1000发生变形或弯曲的效果;另外,由于线路板1000的长度虽略大于第一支撑部的支撑长度,线路板1000放置于第一支撑部上后,在第一方向上,线路板1000的侧边伸出第一支撑部的侧边,从而预留出夹持部位,便于夹头、夹钳等夹持组件类定位机构对线路板1000进行夹持定位。
如图8及图9所示,在一个实施例中,若(L2+2L3)<L1≤(L2+3L3),则2个辅助支撑件200移动至与支撑本体100配合形成第一支撑部并利用第一支撑部支撑线路板1000。如此,在第一方向上,第一支撑部对线路板1000的支撑长度变为(L2+2L3),线路板1000的长度虽略大于第一支撑部的支撑长度,但由于差距不大,利用第一支撑部依然能够对线路板1000进行支撑并达到避免定位过程中线路板1000发生变形或弯曲的效果;另外,由于线路板1000的长度虽略大于第一支撑部的支撑长度,线路板1000放置于第一支撑部上后,在第一方向上,线路板1000的侧边伸出第一支撑部的侧边,从而预留出夹持部位,便于夹头、夹钳等夹持组件类定位机构对线路板1000进行夹持定位。
如图10及图11所示,在一个实施例中,若(L2+3L3)<L1≤(L2+4L3),则3个辅助支撑件200移动至与支撑本体100配合形成第一支撑部并利用第一支撑部支撑线路板1000。如此,在第一方向上,第一支撑部对线路板1000的支撑长度变为(L2+3L3),线路板1000的长度虽略大于第一支撑部的支撑长度,但由于差距不大,利用第一支撑部依然能够对线路板1000进行支撑并达到避免定位过程中线路板1000发生变形或弯曲的效果;另外,由于线路板1000的长度虽略大于第一支撑部的支撑长度,线路板1000放置于第一支撑部上后,在第一方向上,线路板1000的侧边伸出第一支撑部的侧边,从而预留出夹持部位,便于夹头、夹钳等夹持组件类定位机构对线路板1000进行夹持定位。
在一个实施例中,若(L2+4L3)<L1≤(L2+5L3),则4个辅助支撑件200移动至与支撑本体100配合形成第一支撑部并利用第一支撑部支撑线路板1000。如此,在第一方向上,第一支撑部对线路板1000的支撑长度变为(L2+4L3),线路板1000的长度虽略大于第一支撑部的支撑长度,但由于差距不大,利用第一支撑部依然能够对线路板1000进行支撑并达到避免定位过程中线路板1000发生变形或弯曲的效果;另外,由于线路板1000的长度虽略大于第一支撑部的支撑长度,线路板1000放置于第一支撑部上后,在第一方向上,线路板1000的侧边伸出第一支撑部的侧边,从而预留出夹持部位,便于夹头、夹钳等夹持组件类定位机构对线路板1000进行夹持定位。
在一个实施例中,在若(L2+nL3)<L1≤(L2+(n+1)L3),则n个辅助支撑件200移动至与支撑本体100配合形成第一支撑部并利用第一支撑部支撑线路板1000的步骤中,还包括:第(n+1)个辅助支撑件200移动至与支撑本体100、n个辅助支撑件200配合形成第三支撑部并利用第三支撑部支撑线路板1000。如此,在第一方向上,第三支撑部的支撑长度变为(L2+(n+1)L3),从而能够完整的对线路板1000进行支撑,避免线路板1000在定位时发生变形或弯曲。
在一个实施例中,若(L2+3L3)<L1≤(L2+4L3),则4个辅助支撑件200移动至与支撑本体100配合形成第三支撑部并利用第三支撑部支撑线路板1000。如此,在第一方向上,第三支撑部的支撑长度变为(L2+4L3),从而能够完整的对线路板1000进行支撑,避免线路板1000在定位时发生变形或弯曲。
在一个实施例中,若(L2+4L3)<L1≤(L2+5L3),则5个辅助支撑件200移动至与支撑本体100配合形成第三支撑部并利用第三支撑部支撑线路板1000。如此,在第一方向上,第三支撑部的支撑长度变为(L2+5L3),从而能够完整的对线路板1000进行支撑,避免线路板1000在定位时发生变形或弯曲。
在一个实施例中,在若(L2+nL3)<L1≤(L2+(n+1)L3),则n个辅助支撑件200移动至与支撑本体100配合形成第一支撑部并利用第一支撑部支撑线路板1000的步骤中,还包括:使第一支撑部移动,直至使第一支撑部在第一方向上的中心轴线与线路板1000在第一方向上的中心轴线重合或近似重合。如此,利用驱动机构使得由辅助支撑件200和支撑本体100配合形成的第一支撑部相对线路板1000移动,直至第一支撑部相对线路板1000移动至使第一支撑部在第一方向上的中心轴线与线路板1000在第一方向上的中心轴线重合或近似重合,即使得第一支撑部在第一方向上移动至线路板1000的中心位置,从而使得线路板1000受到更加均衡的支撑力;当(L2+nL3)<L1≤(L2+(n+1)L3)且支撑本体100与n个辅助支撑件200配合形成第一支撑部时,使第一支撑部在第一方向上移动至线路板1000的中心位置,能够使得线路板1000的两侧尽可能少的伸出第一支撑部外,使得线路板1000的两侧受力均衡,也避免线路板1000的侧边出现下垂的问题,并便于夹持组件等定位机构对线路板1000进行夹持定位。驱动机构驱动第一支撑部发生位移,可以通过齿轮与齿条配合的形式实现,也可以通过液压杆推动的形式实现,只需满足能够使得第一支撑部沿第一方向发生移动即可。
需要进行说明的是,第一支撑部在第一方向上的中心轴线与线路板1000在第一方向上的中心轴线近似重合,是考虑到加工误差和装配误差的影响,在误差允许范围内,即使第一支撑部在第一方向上的中心轴线与线路板1000在第一方向上的中心轴线之间留有间隙,也可认为是重合;例如当第一支撑部在第一方向上的中心轴线与线路板1000在第一方向上的中心轴线之间的间隙在0.1mm~0.5mm时,可以是0.1mm、0.3mm或0.5mm,即可认为第一支撑部在第一方向上的中心轴线与线路板1000在第一方向上的中心轴线重合。
在一个实施例中,支撑本体100在第一方向上的长度为400mm,辅助支撑件200在第一方向上的长度为50mm。若线路板1000在第一方向上的长度小于400mm,例如380mm、350mm,则只需利用支撑本体100即可完整的对线路板1000进行支撑,避免线路板1000在定位时发生变形或弯曲。若线路板1000在第一方向上的长度大于400mm且小于或等于450mm,比如420mm或430mm,也可只需利用支撑本体100即可完整的对线路板1000进行支撑,此时,在第一方向上,线路板1000的长度虽略大于支撑本体100的长度,但由于差距不大,利用支撑本体100依然能够对线路板1000进行支撑并达到避免定位过程中线路板1000发生变形或弯曲的效果;当然,还可以将一个辅助支撑件200移动至与支撑本体100配合形成第二支撑部,使得第二支撑部的在第一方向上的支撑长度为450mm,从而能够完整的对线路板1000进行支撑。当线路板1000在第一方向上的长度大于450mm时,例如为540mm时,可以将2个辅助支撑件200移动至与支撑本体100配合形成第二支撑部,使得第二支撑部的在第一方向上的支撑长度为500mm,此时,在第一方向上,线路板1000的长度虽略大于第二支撑部的长度,但由于差距不大,利用第二支撑部依然能够对线路板1000进行支撑并达到避免定位过程中线路板1000发生变形或弯曲的效果,同时也预留出夹持部位;例如线路板1000在第一方向上的长度为630mm时,可以将4个辅助支撑件200移动至与支撑本体100配合形成第二支撑部,使得第二支撑部的在第一方向上的支撑长度为600mm,此时,在第一方向上,线路板1000的长度虽略大于第二支撑部的长度,但由于差距不大,利用第二支撑部依然能够对线路板1000进行支撑并达到避免定位过程中线路板1000发生变形或弯曲的效果,同时也预留出夹持部位。
如图2至图5所示,在一个实施例中,还公开了一种线路板1000的支撑机构,包括:支撑本体100,支撑本体100设有用于支撑线路板1000的第一支撑面110;辅助支撑组件,辅助支撑组件包括至少一个辅助支撑件200,辅助支撑件200设有用于支撑线路板1000的第二支撑面210;及第一驱动件300,第一驱动件300的数量与辅助支撑件200的数量相对应,且一个第一驱动件300用于驱动一个辅助支撑件200移动,使每个辅助支撑件200均能够移动至将第二支撑面210与第一支撑面110配合形成用于支撑线路板1000的支撑部。
上述实施例的线路板1000的支撑机构,使用时,根据获取到的线路板1000在第一方向上的长度L1、支撑本体100在第一方向上的长度L2以及辅助支撑件200在第一方向上的长度L3。若在第一方向上,线路板1000的长度较短,例如,L1≤(L2+L3),则利用支撑本体100的第一支撑面110对线路板1000进行支撑,避免线路板1000悬空,从而能够防止线路板1000在利用定位机构进行定位过程中发生变形或弯曲。若在第一方向上,若线路板1000的长度较长,例如,(L2+nL3)<L1≤(L2+(n+1)L3),其中,n为正整数,且n大于等于1,则可以利用第一驱动件300驱动至少一个辅助支撑件200移动,使至少一个辅助支撑件200的第二支撑面210与支撑本体100的第一支撑面110配合形成支撑部,再利用支撑部的支撑面对线路板1000进行支撑,从而使得线路板1000能够更好的得到支撑,避免后续利用定位机构进行定位过程中线路板1000因出现悬空或悬空部位较大而发生变形或弯曲。
需要进行说明的是,第一驱动件300对辅助支撑件200的驱动,可以通过液压缸顶升的方式实现,也可以通过齿轮与齿条配合的形式驱动,只需满足能够驱动辅助支撑件200移动使得辅助支撑件200的第二支撑面210与支撑本体100的第一支撑面110重合形成支撑部即可。
如图2至图5所示,在一个实施例中,线路板1000的支撑机构还包括第二驱动件400,第二驱动件400用于驱动支撑本体100及辅助支撑组件沿第一方向往复移动。如此,利用第二驱动件400的驱动作用,使得支撑本体100在第一方向上的中心轴线与线路板1000在第一方向上的中心轴线重合或近似重合,也能使得支撑部在第一方向上的中心轴线与线路板1000在第一方向上的中心轴线重合或近似重合。即使得支撑本体100或支撑部移动至线路板1000的中心位置,使得线路板1000受到更加均衡的支撑力;也能使得线路板1000的两侧尽可能少的伸出第一支撑部外,使得线路板1000的两侧受力均衡,避免线路板1000的侧边出现下垂的问题,并便于夹持组件等定位机构对线路板1000进行夹持定位。第二驱动件400驱动支撑本体100及辅助支撑组件沿第一方向发生位移,可以通过齿轮与齿条配合的形式实现,也可以通过液压杆推动的形式实现,还可以通过电机驱动的形式,只需满足能够使得支撑本体100及辅助支撑组件沿第一方向发生移动即可。
第二驱动件400对支撑本体100及辅助支撑组件的驱动,可以直接对支撑本体100和辅助支撑组件进行驱动,也可以间接进行驱动,只需满足能够使得支撑本体100及辅助支撑组件沿第一方向往复移动即可。
在一个实施例中,第一驱动件300设置为伸缩杆,伸缩杆的伸缩端与辅助支撑件200连接,线路板1000的支撑机构还包括移动件,伸缩杆的固定端及支撑本体100均设置于移动件上,且第二驱动件400用于驱动移动件沿第一方向往复移动。如此,通过第二驱动件400驱动移动件沿第一方向移动,从而带动设置于移动件上的伸缩杆和支撑本体100沿第一方向移动,进而使得整个支撑部沿第一方向往复移动。移动件可以为移动板、移动盘或其他能够设置伸缩杆和支撑本体100的元件。
辅助支撑件200可以与支撑本体100在第一方向上并列设置相邻设置,并可以将辅助支撑件200设置为伸缩结构,如此,只需根据需要将相应数量的辅助支撑件200伸张至辅助支撑件200的支撑面与支撑本体100的支撑面重合即可形成第一支撑部,方便、快捷;同时,也便于后续第一支撑部整体在第一方向上进行移动。
在一个实施例中,伸缩杆至少为两个,至少两个伸缩杆在第一方向上并列设置,且每个伸缩杆的伸缩端均设有辅助支撑件200,使至少两个辅助支撑件200与支撑本体100在第一方向上并列设置。如此,只需控制合适数量的伸缩杆伸缩即可使得合适数量的辅助支撑件200上升至使得第二支撑面210与第一支撑面110重合,从而在第一方向上形成具有不同大小支撑长度的支撑部,进而在第一方向上能够有效的对不同长度的线路板1000进行支撑,避免线路板1000在定位过程中发生变形或弯曲。
如图6及图7所示,在一个实施例中,线路板1000在第一方向上的长度L1,支撑本体100在第一方向上的长度L2,辅助支撑件200在第一方向上的长度L3,若(L2+L3)<L1≤(L2+2L3),则1个伸缩杆伸缩,从而带动1个辅助支撑件200移动至与支撑本体100配合形成第一支撑部并利用第一支撑部支撑线路板1000。如此,在第一方向上,第一支撑部对线路板1000的支撑长度变为(L2+L3),线路板1000的长度虽略大于第一支撑部的支撑长度,但由于差距不大,利用第一支撑部依然能够对线路板1000进行支撑并达到避免定位过程中线路板1000发生变形或弯曲的效果;另外,由于线路板1000的长度虽略大于第一支撑部的支撑长度,线路板1000放置于第一支撑部上后,在第一方向上,线路板1000的侧边伸出第一支撑部的侧边,从而预留出夹持部位,便于夹头、夹钳等夹持组件类定位机构对线路板1000进行夹持定位。
如图8及图9所示,在一个实施例中,线路板1000在第一方向上的长度L1,支撑本体100在第一方向上的长度L2,辅助支撑件200在第一方向上的长度L3,若(L2+2L3)<L1≤(L2+3L3),则2个伸缩杆伸缩,从而带动2个辅助支撑件200移动至与支撑本体100配合形成第一支撑部并利用第一支撑部支撑线路板1000。如此,在第一方向上,第一支撑部对线路板1000的支撑长度变为(L2+2L3),线路板1000的长度虽略大于第一支撑部的支撑长度,但由于差距不大,利用第一支撑部依然能够对线路板1000进行支撑并达到避免定位过程中线路板1000发生变形或弯曲的效果;另外,由于线路板1000的长度虽略大于第一支撑部的支撑长度,线路板1000放置于第一支撑部上后,在第一方向上,线路板1000的侧边伸出第一支撑部的侧边,从而预留出夹持部位,便于夹头、夹钳等夹持组件类定位机构对线路板1000进行夹持定位。
在一个实施例中,线路板1000在第一方向上的长度L1,支撑本体100在第一方向上的长度L2,辅助支撑件200在第一方向上的长度L3,若(L2+nL3)<L1≤(L2+(n+1)L3),则n个伸缩杆伸缩,从而带动n个辅助支撑件200移动至与支撑本体100配合形成第一支撑部并利用第一支撑部支撑线路板1000,其中,n为正整数,且n大于等于1。如此,在第一方向上,若线路板1000的长度较长,仅利用支撑本体100已经无法满足支撑需求,则可以利用n个伸缩杆伸缩,从而带动n个辅助支撑件200移动至与支撑本体100配合形成第一支撑部,再利用支撑面较大的第一支撑部对线路板1000进行支撑,从而使得线路板1000能够更好的得到支撑,避免后续定位过程中线路板1000因悬空部位较大而发生变形或弯曲。
在一个实施例中,线路板1000的支撑机构还包括长度检测组件(未示出),长度检测组件用于对线路板1000、支撑本体100、辅助支撑件200在第一方向上的长度进行检测。如此,能够高效、快速的对线路板1000、支撑本体100、辅助支撑件200在第一方向上的长度进行获取,便于后续完成相应的支撑操作。长度检测组件可以是皮尺、卡尺等需要人工完成测量的元件,也可以是电子测距仪等能够自动对长度进行测量的元件,只需满足能够对长度进行检测即可。
在一个实施例中,所述长度检测组件设置为图像采集元件,线路板1000的支撑机构还包括控制器(未示出),所述控制器与所述图像采集元件、所述第一驱动件300均电性连接。如此,利用图像采集元件对线路板1000、支撑本体100及辅助支撑件200的图像进行采集,将采集到的图像信息发送至控制器,由控制器将采集到的图像信息与标准预设图像进行对比,通过相应的比例换算从而得出线路板1000、支撑本体100及辅助支撑件200在第一方向上的实际长度,在第一方向上,将线路板1000的实际长度与支撑本体100的实际长度及辅助支撑件200的实际长度进行长度大小的比对,从而控制合适数量的第一驱动件300工作,使得合适数量的辅助支撑件200移动,使得第二支撑面210与第一支撑面110配合形成支撑部,从而得到不同大小的支撑面,进而能够对线路板1000进行有效的支撑,避免线路板1000在定位过程中发生变形或弯曲。图像采集元件可以是是摄像头、CCD(Charge-coupledDevice,电荷耦合元件)或其他能够对图像信息进行采集的元件。控制器可以是单片机、PLC(Programmable Logic Controller,可编程逻辑控制器)或其他具有控制功能并能够对图像信息进行处理的器件。电性连接可以直接通过数据线进行连接,也可以通过加设发射元件与接收元件后实现无线连接。
如图2及图3所示,在一个实施例中,第一支撑面110上设有用于吸附线路板1000的第一吸附孔111。如此,利用第一吸附孔111,可以外设抽气机构,例如抽气泵,通过抽真空的方式能够使得线路板1000尽可能紧密的贴合于第一支撑面110上,对线路板1000的支撑效果更好,能够更好的避免线路板1000在定位过程中发生变形或弯曲。
如图2至图4、图6、图8及图10所示,在一个实施例中,第二支撑面210上设有用于吸附线路板1000的第二吸附孔211。如此,利用第二吸附孔211,可以外设抽气机构,例如抽气泵,通过抽真空的方式能够使得线路板1000尽可能紧密的贴合于第二支撑面210上,对线路板1000的支撑效果更好,能够更好的避免线路板1000在定位过程中发生变形或弯曲。
如图2及图3所示,在一个实施例中,第一支撑面110上设有用于吸附线路板1000的第一吸附孔111,第二支撑面210上设有用于吸附线路板1000的第二吸附孔211。如此,可以外设抽气机构,例如抽气泵,通过抽真空的方式能够使得线路板1000尽可能紧密的贴合于支撑部的支撑面上,对线路板1000的支撑效果更好,能够更好的避免线路板1000在定位过程中发生变形或弯曲。
在一个实施例中,还公开了一种曝光机10,包括定位机构500、曝光机构600及上述任一实施例的线路板1000的支撑机构,定位机构500用于对支撑机构上的线路板1000进行定位,曝光机构600用于对定位机构500上的线路板1000进行曝光。
如图2、图4至图11所示,上述实施例的曝光机10,使用时,根据获取到的线路板1000在第一方向上的长度L1、支撑本体100在第一方向上的长度L2以及辅助支撑件200在第一方向上的长度L3。若在第一方向上,线路板1000的长度较短,例如,L1≤(L2+L3),则利用支撑本体100的第一支撑面110对线路板1000进行支撑,避免线路板1000悬空,从而能够防止线路板1000在利用定位机构500进行定位过程中发生变形或弯曲,进而能够更好的利用曝光机构600对线路板1000进行曝光,曝光质量好,产品良率高。若在第一方向上,若线路板1000的长度较长,例如,(L2+nL3)<L1≤(L2+(n+1)L3),其中,n为正整数,且n大于等于1,则可以利用第一驱动件300驱动至少一个辅助支撑件200移动,使至少一个辅助支撑件200的第二支撑面210与支撑本体100的第一支撑面110配合形成支撑部,再利用支撑部的支撑面对线路板1000进行支撑,从而使得线路板1000能够更好的得到支撑,避免后续利用定位机构500进行定位过程中线路板1000因出现悬空或悬空部位较大而发生变形或弯曲,进而能够更好利用曝光机构600对线路板1000进行曝光,曝光质量好,产品良率高。
需要进行说明的是,上述定位机构500可以是利用夹头或夹钳进行夹持定位,也可以是利用吸嘴或吸气口进行吸附定位,只需满足能够对线路板1000进行定位以适应曝光需求即可。上述曝光机10可以是无掩膜曝光机10。上述曝光机构600可以是曝光头或其他能够对线路板1000进行曝光处理的机构。
以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对发明专利范围的约束。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种线路板的支撑方法,其特征在于,包括以下步骤:
获取线路板在第一方向上的长度L1,获取支撑本体在所述第一方向上的长度L2,获取辅助支撑件在所述第一方向上的长度L3;
若L1≤(L2+L3),则所述支撑本体支撑所述线路板;
若(L2+nL3)<L1≤(L2+(n+1)L3),则n个所述辅助支撑件移动至与所述支撑本体配合形成第一支撑部并利用所述第一支撑部支撑所述线路板,其中,n为正整数,且n大于等于1。
2.根据权利要求1所述的线路板的支撑方法,其特征在于,在所述若L1≤(L2+L3),则所述支撑本体支撑所述线路板的步骤中,包括:
若L1≤L2,则所述支撑本体支撑所述线路板;
若L2<L1≤(L2+L3),则一个所述辅助支撑件移动至与所述支撑本体配合形成第二支撑部,并利用所述第二支撑部支撑所述线路板。
3.根据权利要求1或2所述的线路板的支撑方法,其特征在于,在所述若L1≤(L2+L3),则所述支撑本体支撑所述线路板的步骤中,还包括:
使所述支撑本体移动,直至使所述支撑本体在所述第一方向上的中心轴线与所述线路板在所述第一方向上的中心轴线重合或近似重合。
4.根据权利要求1所述的线路板的支撑方法,其特征在于,在所述若(L2+nL3)<L1≤(L2+(n+1)L3),则n个所述辅助支撑件移动至与所述支撑本体配合形成第一支撑部并利用所述第一支撑部支撑所述线路板的步骤中,还包括:
第(n+1)个所述辅助支撑件移动至与所述支撑本体、n个所述辅助支撑件配合形成第三支撑部并利用所述第三支撑部支撑所述线路板。
5.根据权利要求1或4所述的线路板的支撑方法,其特征在于,在所述若(L2+nL3)<L1≤(L2+(n+1)L3),则n个所述辅助支撑件移动至与所述支撑本体配合形成第一支撑部并利用所述第一支撑部支撑所述线路板的步骤中,还包括:
使所述第一支撑部移动,直至使所述第一支撑部在所述第一方向上的中心轴线与所述线路板在所述第一方向上的中心轴线重合或近似重合。
6.一种线路板的支撑机构,其特征在于,包括:
支撑本体,所述支撑本体设有用于支撑线路板的第一支撑面;
辅助支撑组件,所述辅助支撑组件包括至少一个辅助支撑件,所述辅助支撑件设有用于支撑所述线路板的第二支撑面;及
第一驱动件,所述第一驱动件的数量与所述辅助支撑件的数量相对应,且一个所述第一驱动件用于驱动一个所述辅助支撑件移动,使每个所述辅助支撑件均能够移动至将所述第二支撑面与所述第一支撑面配合形成用于支撑所述线路板的支撑部。
7.根据权利要求6所述的线路板的支撑机构,其特征在于,还包括第二驱动件,所述第二驱动件用于驱动所述支撑本体及所述辅助支撑组件沿第一方向往复移动。
8.根据权利要求6所述的线路板的支撑机构,其特征在于,还包括长度检测组件,所述长度检测组件用于对所述线路板、所述支撑本体、所述辅助支撑件在第一方向上的长度进行检测。
9.根据权利要求6至8任一项所述的线路板的支撑机构,其特征在于,所述第一支撑面上设有用于吸附所述线路板的第一吸附孔;和/或所述第二支撑面上设有用于吸附所述线路板的第二吸附孔。
10.一种曝光机,其特征在于,包括定位机构、曝光机构及如权利要求6至9任一项所述的线路板的支撑机构,所述定位机构用于对支撑机构上的线路板进行定位,所述曝光机构用于对所述定位机构上的线路板进行曝光。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910337450.2A CN109976105A (zh) | 2019-04-25 | 2019-04-25 | 曝光机、线路板的支撑机构及支撑方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910337450.2A CN109976105A (zh) | 2019-04-25 | 2019-04-25 | 曝光机、线路板的支撑机构及支撑方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109976105A true CN109976105A (zh) | 2019-07-05 |
Family
ID=67086351
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201910337450.2A Pending CN109976105A (zh) | 2019-04-25 | 2019-04-25 | 曝光机、线路板的支撑机构及支撑方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN109976105A (zh) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03120798A (ja) * | 1989-10-03 | 1991-05-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プリント基板サポートピン切換装置及び部品実装機 |
US5660436A (en) * | 1995-11-17 | 1997-08-26 | Wilson; Michael | Laterally extendable furniture |
JP2007027653A (ja) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Nikon Corp | 基板ホルダおよび露光装置 |
CN101480117A (zh) * | 2006-06-26 | 2009-07-08 | 松下电器产业株式会社 | 部件支撑方法 |
US20190049856A1 (en) * | 2015-09-30 | 2019-02-14 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, manufacturing method of flat-panel display, and device manufacturing method |
CN209590537U (zh) * | 2019-04-25 | 2019-11-05 | 中山新诺科技股份有限公司 | 曝光机及其线路板的支撑机构 |
-
2019
- 2019-04-25 CN CN201910337450.2A patent/CN109976105A/zh active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03120798A (ja) * | 1989-10-03 | 1991-05-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プリント基板サポートピン切換装置及び部品実装機 |
US5660436A (en) * | 1995-11-17 | 1997-08-26 | Wilson; Michael | Laterally extendable furniture |
JP2007027653A (ja) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Nikon Corp | 基板ホルダおよび露光装置 |
CN101480117A (zh) * | 2006-06-26 | 2009-07-08 | 松下电器产业株式会社 | 部件支撑方法 |
US20190049856A1 (en) * | 2015-09-30 | 2019-02-14 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method, manufacturing method of flat-panel display, and device manufacturing method |
CN209590537U (zh) * | 2019-04-25 | 2019-11-05 | 中山新诺科技股份有限公司 | 曝光机及其线路板的支撑机构 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108775887B (zh) | 一种锂电池的检测方法 | |
CN110794320A (zh) | 一种全自动电压内阻测试系统 | |
CN101685073B (zh) | 载重轮胎x光机测试装置及其方法 | |
CN106041375A (zh) | 一种电池盖帽焊接机 | |
US20190148201A1 (en) | Wafer positioning and loading system | |
CN107064175A (zh) | 离线式玻璃基板传送装置和玻璃基板缺陷检测装置 | |
CN109406878A (zh) | 一种电力开关控制柜线路智能检测系统 | |
CN108539117A (zh) | 一种圆柱型锂离子电池注液及静置装置 | |
CN110180921A (zh) | 汽车弹簧片铆压折弯机构 | |
CN108598592A (zh) | 锂电池检验设备 | |
CN214516150U (zh) | 一种具有自动回测功能的测试分选设备 | |
CN112845161B (zh) | 一种基于视觉传感装置的外观检测装置及其检测方法 | |
CN110126478A (zh) | 一种产品外观检测及打标设备 | |
CN209590537U (zh) | 曝光机及其线路板的支撑机构 | |
CN109976105A (zh) | 曝光机、线路板的支撑机构及支撑方法 | |
CN211905622U (zh) | 一种全自动电压内阻测试系统 | |
CN102175986A (zh) | 一种用于三相电能表自动检定的上下表装置 | |
CN109781046A (zh) | 长度测量机构和新能源电池检验设备 | |
CN108787482A (zh) | 一种新能源电池检验设备 | |
CN110667968A (zh) | 一种医用采血管信息标注及密封装袋机构 | |
CN106743604A (zh) | 一种电芯抓取装置及热压机 | |
CN104128395B (zh) | 一种卧式压力矫直机 | |
CN216574291U (zh) | 一种超级电容自动串排机 | |
CN216348385U (zh) | 一种长宽尺寸检测装置 | |
TW200842373A (en) | Alignable carrying device for use in electronic element |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |