CN109950200B - 显示面板及其制作方法、显示装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种显示面板及其制作方法、显示装置，属于显示技术领域，包括：提供柔性基板；形成第一无机层；使用图案化工艺在第一无机层中形成至少一个镂空部；形成有机垫层；使有机垫层填充镂空部；在有机垫层背离柔性基板的一侧表面形成至少一个第一金属部；第一金属部靠近柔性基板的一侧表面为第一表面，第一金属部背离柔性基板的一侧表面为第二表面，第一金属部还包括侧面，侧面和第一表面、第二表面相接；在位于弯折区中的第一金属部的第一表面、第二表面、侧面形成金属氧化物层。相对于现有技术，可以改善弯折区中的第一金属部被氧化的问题，提高显示面板的可靠性，提升用户体验。

Description

显示面板及其制作方法、显示装置

技术领域

本发明涉及显示技术领域，更具体地，涉及一种显示面板及其制作方法、显示装置。

背景技术

随着显示技术的不断发展，显示面板的功能和使用场景越来越丰富。柔性显示面板应运而生。

柔性显示面板的特点是，轻薄、不易碎、柔软易于弯曲以及可佩戴。随着显示技术的近年来的发展，柔性显示技术逐渐得到了越来越多的关注，其应用前景十分广阔。

现有技术提供的柔性显示面板中，在弯折区容易出现金属线被氧化腐蚀的现象，降低了显示面板的可靠性，影响了用户的使用体验。

因此，提供一种高可靠性的柔性显示面板，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种显示面板及其制作方法、显示装置，以解决现有技术提出的问题。

一方面，本发明提供了一种显示面板的制作方法，包括：提供柔性基板；柔性基板具有显示区和非显示区，非显示区包括弯折区；形成第一无机层，第一无机层位于柔性基板一侧；使用图案化工艺在第一无机层中形成至少一个镂空部，镂空部位于弯折区；形成有机垫层；使有机垫层填充镂空部；在有机垫层背离柔性基板的一侧表面形成至少一个第一金属部；第一金属部靠近柔性基板的一侧表面为第一表面，第一金属部背离柔性基板的一侧表面为第二表面，第一金属部还包括侧面，侧面和第一表面、第二表面相接；在位于弯折区中的第一金属部的第一表面、第二表面、侧面形成金属氧化物层。

另一方面，本发明提供了一种显示面板，具有显示区和非显示区，包括：非显示区包括弯折区；柔性基板；第一无机层，第一无机层位于柔性基板一侧，第一无机层包括至少一个镂空部，镂空部位于弯折区；有机垫层，有机垫层填充在镂空部中；至少一个第一金属部；第一金属部位于有机垫层背离柔性基板的一侧表面；第一金属部靠近柔性基板的一侧表面为第一表面，第一金属部背离柔性基板的一侧表面为第二表面，第一金属部还包括侧面，侧面连接于第一表面和第二表面之间；位于弯折区中的第一金属部的第一表面、第二表面、侧面为金属氧化物层。

又一方面，本发明提供了一种显示装置，包括本发明提供的显示面板。

与现有技术相比，本发明提供的显示面板及其制作方法、显示装置，至少实现了如下的有益效果：

在柔性基板上形成第一无机层，为了使显示面板易于弯折，使用图案化工艺在第一无机层中形成至少一个镂空部，镂空部位于弯折区。而后在镂空部中填充有机垫层，并且在在有机垫层背离柔性基板的一侧表面形成至少一个第一金属部。在位于弯折区中的第一金属部的第一表面、第二表面、侧面形成金属氧化物层，金属氧化物层的材料为金属氧化物，金属氧化物可以保护第一金属部的内部进一步的被水氧和杂质所侵蚀，一方面，可以阻挡通过柔性基板和有机垫层进入的水氧和杂质侵蚀第一表面和侧面，另一方面，可以阻挡通过后续制作的膜层进入的水氧和杂质侵蚀第二表面和侧面，从而全面的保护第一金属部，提高显示面板的可靠性。

当然，实施本发明的任一产品不必特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。

通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。

图1是本发明实施例提供的一种显示面板的制作方法的流程示意图；

图2是图2所示的制作方法对应的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的一种显示面板的局部剖面结构示意图；

图4是本发明实施例提供的另一种显示的剖面结构示意图；

图5是本发明实施例提供的又一种显示的剖面结构示意图；

图6是本发明实施例提供的又一种显示的平面结构示意图；

图7是本发明实施例提供的又一种显示的局部剖面结构示意图；

图8是本发明实施例提供的一种显示装置的结构示意图。

具体实施方式

现在将参照附图来详细描述本发明的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。

以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。

对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。

在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

请参考图1和图2，图1是本发明实施例提供的一种显示面板的制作方法的流程示意图；图3是图2所示的制作方法对应的结构示意图；

本实施例提供了一种显示面板的制作方法，包括：

步骤S10：提供柔性基板10；柔性基板10具有显示区AA和非显示区NA，非显示区NA包括弯折区N1；

步骤S20：形成第一无机层11，第一无机层11位于柔性基板10一侧；

步骤S30：使用图案化工艺在第一无机层11中形成至少一个镂空部20，镂空部20位于弯折区N1；

步骤S40：形成有机垫层30；使有机垫层30填充镂空部20；

步骤S50：在有机垫层30背离柔性基板10的一侧表面形成至少一个第一金属部40；第一金属部40靠近柔性基板10的一侧表面为第一表面41，第一金属部40背离柔性基板10的一侧表面为第二表面42，第一金属部40还包括侧面43，侧面43和第一表面41、第二表面42相接；

步骤S60：在位于弯折区N1中的第一金属部40的第一表面41、第二表面42、侧面43形成金属氧化物层MO。

本实施例提供的制作方法中，在步骤S10中提供柔性基板10，柔性基板10具有柔软、耐弯折的特性。柔性基板10可以使用树脂材料制作，例如聚酰亚胺等。

柔性基板10中预设了显示区AA和非显示区NA，在制作后续的膜层结构的步骤中，可以通过图案化工艺，在显示区AA中形成显示单元，例如像素阵列，在非显示区NA中形成走线、电路等结构。非显示区NA中预设了弯折区N1，在显示面板制作完成后，弯折区N1可以弯曲弯折。本实施例对于弯折区N1具体的弯折方向、弯折后形成的形状均不作具体限制。

在步骤S20中形成了第一无机层11，第一无机层11位于柔性基板10一侧。第一无机层11的材料为无机材料，无机材料结构致密，可以有效的阻挡空气中的水氧、杂质。第一无机层也具有绝缘的效果，通常设置在两个导电层之间。

本实施例提供的显示面板具有弯折区N1，在显示面板制作完成后，弯折区N1可以弯曲弯折。由于无机层的材料致密，在弯折时容易产生裂纹，降低显示面板的可靠性，因此，弯折区N1的无机层通常被去除。在步骤S30中，通过使用图案化工艺在第一无机层11中形成至少一个镂空部20，镂空部20位于弯折区N1，从而减少弯折区N1中无机层的体积，提高弯折区的弯折性能。

可以理解的是，镂空部20的数量可以为一个、也可以为两个或者更多个，本实施例对此不作具体限制。本实施例中，仅以镂空部20的数量为一个附图示意。并且，本实施例对于镂空部20的大小、形状均不作具体限制。

由于在弯折区N1中，第一无机层11中包括至少一个镂空部20，为了防止后续制作的膜层和柔性基板10直接接触而降低可靠性，在步骤S40中形成了有机垫层30，使有机垫层30填充镂空部20。有机垫层30的材料为有机材料，有机材料通常具有良好的耐弯折性能。

在步骤S50中，在有机垫层30背离柔性基板10的一侧表面形成至少一个第一金属部40。可选的，显示面板中包括阵列层和发光器件层，阵列层位于发光器件层与柔性基板之间，阵列层包括薄膜晶体管阵列、驱动电路等结构，发光器件层包括有机发光二极管。第一金属部40可以位于阵列层中。可选的，第一金属部40可以为金属走线、或者为电容器件、或者为薄膜晶体管开关的栅极、源极、漏极中的任意一者，本实施例对此均不作具体限制。

第一金属部40具有第一表面41、第二表面42，以及侧面43，侧面43和第一表面41、第二表面42相接。侧面43的数量可以为一个、也可以为两个或者更多个，本实施例对此均不作具体限制。

由于弯折区N1中，第一无机层11中包括至少一个镂空部20，一方面，水氧和杂质容易通过柔性基板10和有机垫层30进入显示面板侵蚀第一金属部40。另一方面，后续制作的膜层中，弯折区N1中的无机层均需要形成镂空部，水氧和杂质也会从后续制作的膜层中进入显示面板侵蚀第一金属部40。

为了防止第一金属部40被侵蚀，造成显示面板的可靠性降低，本实施例提供的制作方法中设置了步骤S60：在位于弯折区N1中的第一金属部40的第一表面41、第二表面42、侧面43形成金属氧化物层MO。金属氧化物层MO的材料为金属氧化物，由第一金属部的表面被氧化而生成，具体的材料取决于第一金属部的材料。例如第一金属部的材料为铜、钛、铝，则金属氧化物层MO相应的为氧化铜、氧化钛、氧化铝。第一金属部40表面金属与氧气发生化学反应，形成致密的金属氧化物层MO，完整地覆盖在第一金属部40的第一表面41、第二表面42、侧面43，将水氧与第一金属部40内层金属隔绝，可以保护第一金属部40的内部进一步的被水氧和杂质所侵蚀，从而提高显示面板的可靠性。

本实施例提供的制作方法所制作的显示面板，可以为液晶显示面板、有机发光显示面板、电子纸显示面板，或者其他类型的显示面板，本实施例对此不作具体限制。

本实施例提供的制作方法用于制作一种显示面板，包括：在柔性基板10上形成第一无机层11，为了使显示面板易于弯折，使用图案化工艺在第一无机层11中形成至少一个镂空部20，镂空部20位于弯折区N1。而后在镂空部20中填充有机垫层30，并且在在有机垫层30背离柔性基板10的一侧表面形成至少一个第一金属部40。在位于弯折区N1中的第一金属部40的第一表面41、第二表面42、侧面43形成金属氧化物层MO，金属氧化物层MO的材料为金属氧化物，金属氧化物可以保护第一金属部40的内部进一步的被水氧和杂质所侵蚀，一方面，可以阻挡通过柔性基板10和有机垫层30进入的水氧和杂质侵蚀第一表面和侧面，另一方面，可以阻挡通过后续制作的膜层进入的水氧和杂质侵蚀第二表面和侧面，从而全面的保护第一金属部40，提高显示面板的可靠性。

在一些可选的实施例中，请继续参考图1和图2，步骤S60：在位于弯折区N1中的第一金属部40的第一表面41、第二表面42、侧面43形成金属氧化物层MO进一步包括：

使用含氧等离子体处理第一金属部40，使位于弯折区N1中的第一金属部40的第一表面41、第二表面42、侧面43中的至少一者形成金属氧化物层MO。

本实施例提供了如何形成金属氧化物层MO的具体实施方式。具体而言，在制作完成第一金属部40后，将承载有第一无机层、有机垫层、第一金属部的柔性基板10放入反应腔中，使用含氧等离子体处理第一金属部40，以促进第一金属部40的各表面充分氧化，生成致密的金属氧化物层。可选的，反应腔中的环境可以为高温高压环境，以进一步加快第一金属部40的各表面的氧化速度。

可选的，含氧等离子体包括：氧气、臭氧、一氧化二氮。氧气、臭氧、一氧化二氮均具有较强的氧化性，可以加快第一金属部的各表面的氧化速率，快速生成致密的金属氧化物层，提高显示面板的生产效率。

在一些可选的实施例中，为了使得第一金属部40的第一表面41可以被充分氧化以形成金属氧化物层MO，请结合参考图2和图4，图4是本发明实施例提供的一种显示面板的局部剖面结构示意图；形成有机垫层30包括：将有机垫层30制备为多孔形状。或者，形成有机垫层30包括：在有机垫层30中掺杂氧化性物质。

本实施例提供的制作方法，有利于在位于弯折区N1中的第一金属部40的第一表面41、第二表面42、侧面43充分形成金属氧化物层MO。具体而言，对第一金属部40进行氧化处理的工艺中，第一金属部40的第一表面41不易充分接触到含氧等离子体，因而不利于被充分氧化。为了解决这一问题，本实施例中，将有机垫层30制备为多孔形状，例如可以使用树脂发泡工艺，将有机垫层制作为多孔形状，使有机垫层中形成密集的气孔。多孔形状可以有利于含氧等离子体通过有机垫层30的多孔结构进入第一金属部40的第一表面41，使第一表面41得到充分的氧化以形成金属氧化物层。

或者，在有机垫层30中掺杂氧化性物质，氧化性物质可以释放进入第一金属部40的第一表面41，使第一表面41得到充分的氧化以形成金属氧化物层。可选的，氧化性物质包括：氧化钾、氧化钙、氧化钠、氧化镁。第一金属部40的材料通常为铜或者钛，上述氧化性物质均为活泼金属(相比较于铜和钛)的氧化物，可以和第一金属部40发生化学反应，使第一金属部40的第一表面41被氧化而形成金属氧化物层MO。

本发明实施例还提供了一种显示面板。

请参考图4，图4是本发明实施例提供的另一种显示的剖面结构示意图；

本实施例提供了一种显示面板，具有显示区AA和非显示区NA，包括：

柔性基板10；

非显示区NA包括弯折区N1；

第一无机层11，第一无机层11位于柔性基板10一侧，第一无机层11包括至少一个镂空部20，镂空部20位于弯折区N1；

有机垫层30，有机垫层30填充在镂空部20中；

至少一个第一金属部40；第一金属部40位于有机垫层30背离柔性基板10的一侧表面；

第一金属部40靠近柔性基板10的一侧表面为第一表面41，第一金属部40背离柔性基板10的一侧表面为第二表面42，第一金属部40还包括侧面43，侧面43连接于第一表面41和第二表面42之间；

位于弯折区N1中的第一金属部40的第一表面41、第二表面42、侧面43为金属氧化物层MO。

本实施例提供的显示面板具有可弯折的性能，显示面板包括非显示区，非显示区包括弯折区，弯折区中的显示面板可以弯曲、弯折。本实施例对于弯折区N1具体的弯折方向、弯折后形成的形状均不作具体限制。

显示面板具有柔性基板10具有柔软、耐弯折的特性。柔性基板10可以使用树脂材料制作，例如聚酰亚胺等。

第一无机层11位于柔性基板10一侧。第一无机层11的材料为无机材料，无机材料结构致密，可以有效的阻挡空气中的水氧、杂质。第一无机层也具有绝缘的效果，通常设置在两个导电层之间。由于无机层的材料致密，在弯折时容易产生裂纹，降低显示面板的可靠性，因此，弯折区N1的无机层通常被去除。具体的，第一无机层11中包括至少一个镂空部20，镂空部20位于弯折区N1，从而减少弯折区N1中无机层的体积，提高弯折区的弯折性能。

为了防止后续制作的膜层和柔性基板10直接接触而降低可靠性，显示面板中还包括有机垫层30，有机垫层30填充在镂空部20中，有机垫层30的材料为有机材料，有机材料通常具有良好的耐弯折性能。

有机垫层30背离柔性基板10的一侧表面设置有至少一个第一金属部40，可选的，第一金属部40可以为金属走线、或者为电容器件、或者为薄膜晶体管开关的栅极、源极、漏极中的任意一者，本实施例对此均不作具体限制。第一金属部40具有第一表面41、第二表面42，以及侧面43，侧面43和第一表面41、第二表面42相接。侧面43的数量可以为一个、也可以为两个或者更多个，本实施例对此均不作具体限制。

本实施例提供的显示面板，可以为液晶显示面板、有机发光显示面板、电子纸显示面板，或者其他类型的显示面板，本实施例对此不作具体限制。

本实施例提供的显示面板，为了保护第一金属部，在位于弯折区N1中的第一金属部40的第一表面41、第二表面42、侧面43形成了金属氧化物层MO。可选的，第一金属部40的材料包括钛，金属氧化物层MO的材料包括氧化钛。一方面，防止水氧和杂质容易通过柔性基板10和有机垫层30进入显示面板侵蚀第一金属部40，另一方面，防止水氧和杂质从后续制作的膜层中进入显示面板，侵蚀第一金属部40。本实施例提供的显示面板，可以全面的保护第一金属部40，防止第一金属部被水氧和杂质侵蚀而发生断线等情况，从而提高显示面板的可靠性，提升用户的使用体验。

在一些可选的实施中，请参考图3，有机垫层30为多孔形状，或者有机垫层30中掺杂氧化性物质。本实施例提供的显示面板，有利于在位于弯折区N1中的第一金属部40的第一表面41、第二表面42、侧面43充分形成金属氧化物层MO。具体而言，对第一金属部40进行氧化处理的工艺中，第一金属部40的第一表面41不易充分接触到氧化性性的气体或者物质，因而不利于被充分氧化。为了解决这一问题，本实施例中，将有机垫层30制备为多孔形状，可以有利于氧化性气体或者物质通过有机垫层30的多孔结构进入第一金属部40的第一表面41，使第一表面41得到充分的氧化以形成金属氧化物层。或者，在有机垫层30中掺杂氧化性物质，氧化性物质可以释放进入第一金属部40的第一表面41，使第一表面41得到充分的氧化以形成金属氧化物层。可选的，氧化性物质包括：氧化钾、氧化钙、氧化钠、氧化镁。第一金属部40的材料通常为铜，上述氧化性物质均为活泼金属(相比较于铜)的氧化物，可以和第一金属部40发生化学反应，使第一金属部40的第一表面41被氧化而形成金属氧化物层MO。

可选的，请继续参考图3，有机垫层30为多孔形状，有机垫层30包含的气体的体积为V1，有机垫层30包含的固体的体积为V2，其中，V1：V2的范围是[1.5：1～9：1]。本实施例中，将有机垫层30制备为多孔形状，例如可以使用树脂发泡工艺，将有机垫层制作为多孔形状，使有机垫层中形成密集的气孔。一方面，将有机垫层30制作成多孔形状，可以使之更容易弯曲，有效提升有机垫层30的耐弯折性能，提高显示面板的柔软度。另一方面，多孔形状可以有利于氧化性气体或物质通过有机垫层30的多孔结构进入第一金属部40的第一表面41，使第一表面41得到充分的氧化以形成金属氧化物层。其中，有机垫层30包含的气体的体积为V1，有机垫层30包含的固体的体积为V2，V1和V2的比值范围是[1.5～9]。V1和V2的比值不宜过小或者过大。V1和V2的比值小于1.5，则气体的体积占比过小，有机垫层的孔洞较为疏松，不利于氧化性气体或物质通过有机垫层30的多孔结构进入第一金属部40的第一表面41。V1和V2的比值大于9，则有机垫层30中的气体体积占比过大，有机垫层的结构过于疏松，无法对后续制作的膜层起到良好的支撑作用，会降低显示面板的可靠性。

本实施例提供的显示面板中，将V1：V2的范围设定为[1.5：1～9：1]，一方面，可以使有机垫层具有多孔形状，有利于氧化性气体或物质通过有机垫层30的多孔结构进入第一金属部40的第一表面41；另一方面，有机垫层不会过于疏松，可以对后续制作的膜层起到良好的支撑作用，从而提高显示面板的可靠性。

可选的，有机垫层30为多孔形状，有机垫层30的材料包括：聚苯乙烯、聚氯乙烯，聚乙烯、聚碳酸酯。上述材料均有利于使用发泡工艺制作为多孔形状，且耐弯折性能良好，是制作柔性显示面板的优选材料。

在一些可选的实施例中，请参考图5和图6，图5是本发明实施例提供的又一种显示的剖面结构示意图；图6是本发明实施例提供的又一种显示的平面结构示意图；

本实施例中，显示区AA包括第一信号线L1；

第一金属部40和第一信号线L1电连接。

本实施例中，第一金属部40用于向显示区中的第一信号线传输电信号。第一信号线用于向显示区中的结构传输电信号，辅助实现显示功能。可选的，第一信号线可以为数据线，数据线用于向显示区中的像素(图中未示意出)传输数据信号。或者，第一信号线还可以是PVDD信号线、或者PVEE信号线、或者触控走线，或者EMIT信号线。本实施例对于第一信号线的具体传输的电信号不作具体限制。

可选的，图6仅以第一信号线为数据线为例进行说明，数据线通过多路分配电路DEMUX和第一金属部40的一端电连接，第一金属部40的另一端和绑定区BD中的绑定焊盘B1电连接。

或者，在本发明其他可选的实施例中，第一信号线为触控走线，触控走线延伸至非显示区NA中，电连接至第一金属部40，第一金属部和绑定区的绑定焊盘电连接。

显示面板在制作完成后，绑定区BD中可以绑定IC芯片或者柔性线路板，将弯折区弯折后，可以使IC芯片或者柔性线路板弯折至显示面板背离出光面的一侧，从而实现窄边框化的技术效果。

在一些可选的实施例中，请参考图7，图7是本发明实施例提供的又一种显示的局部剖面结构示意图；

本实施例中，有机垫层30覆盖镂空部20的边缘；

第一金属部40包括第一金属氧化物层MO1，第一金属氧化物层MO1覆盖有机垫层30并且经由有机垫层30的侧壁延伸至第一无机层11背离柔性基板10的一侧表面。

本实施例提供的显示面板中，有机垫层30凸出于第一无机层11，第一金属部40位于有机垫层30背离柔性基板10的一侧表面，第一金属部40和有机垫层30相接触的表面均形成金属氧化物层，第一金属氧化物层MO1覆盖凸出于第一无机层11的部分有机垫层，即为第一金属氧化物层MO1覆盖有机垫层30并且经由有机垫层30的侧壁延伸至第一无机层11背离柔性基板10的一侧表面，第一金属氧化物层MO1和第一无机层11相接触，从而更充分的保护第一金属部，

可选的，请继续参考图7，本实施例中，第一金属部40包括第二金属氧化物层MO2，第二金属氧化物层MO2覆盖第一金属部40背离柔性基板10的一侧表面。

本实施例提供的显示面板中，第一金属部40背离柔性基板10的一侧表面均形成了第二金属氧化物层MO2，第二金属氧化物层MO2个第一金属部40提供了较为充分的保护，从而有效的防止水氧和杂质从后续制作的膜层中直接侵蚀第一金属部。

本发明还提供了一种显示装置，包括本发明上述任一实施例提供的显示面板。

请参考图8，图8是本发明实施例提供的一种显示装置的结构示意图。图8提供的显示装置1000包括本发明上述任一实施例提供的显示面板1001。

图8施例仅以手机为例，对显示装置1000进行说明，可以理解的是，本发明实施例提供的显示装置，可以是电脑、电视、车载显示装置等其他具有显示功能的显示装置，本发明对此不作具体限制。本发明实施例提供的显示装置，具有本发明实施例提供的显示面板的有益效果，具体可以参考上述各实施例对于显示面板的具体说明，本实施例在此不再赘述。

通过上述实施例可知，本发明提供的显示面板及其制作方法、显示装置，至少实现了如下的有益效果：

在柔性基板上形成第一无机层，为了使显示面板易于弯折，使用图案化工艺在第一无机层中形成至少一个镂空部，镂空部位于弯折区。而后在镂空部中填充有机垫层，并且在在有机垫层背离柔性基板的一侧表面形成至少一个第一金属部。在位于弯折区中的第一金属部的第一表面、第二表面、侧面形成金属氧化物层，金属氧化物层的材料为金属氧化物，金属氧化物可以保护第一金属部的内部进一步的被水氧和杂质所侵蚀，一方面，可以阻挡通过柔性基板和有机垫层进入的水氧和杂质侵蚀第一表面和侧面，另一方面，可以阻挡通过后续制作的膜层进入的水氧和杂质侵蚀第二表面和侧面，从而全面的保护第一金属部，提高显示面板的可靠性。

虽然已经通过例子对本发明的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上例子仅是为了进行说明，而不是为了限制本发明的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本发明的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本发明的范围由所附权利要求来限定。

Claims (9)

1.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：

提供柔性基板；所述柔性基板具有显示区和非显示区，所述非显示区包括弯折区；

形成第一无机层，所述第一无机层位于所述柔性基板一侧；使用图案化工艺在所述第一无机层中形成至少一个镂空部，所述镂空部位于所述弯折区；

形成有机垫层；使所述有机垫层填充所述镂空部；在所述有机垫层背离所述柔性基板的一侧表面形成至少一个第一金属部；所述第一金属部靠近所述柔性基板的一侧表面为第一表面，所述第一金属部背离所述柔性基板的一侧表面为第二表面，所述第一金属部还包括侧面，所述侧面和所述第一表面、所述第二表面相接；

在位于所述弯折区中的所述第一金属部的所述第一表面、所述第二表面、所述侧面形成金属氧化物层；

所述形成有机垫层包括：在所述有机垫层中掺杂氧化性物质；

所述氧化性物质包括：氧化钾、氧化钙、氧化钠、氧化镁。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，

所述在位于所述弯折区中的所述第一金属部的所述第一表面、所述第二表面、所述侧面形成金属氧化物层包括：

使用含氧等离子体处理所述第一金属部，使位于所述弯折区中的所述第一金属部的所述第一表面、所述第二表面、所述侧面中的至少一者形成金属氧化物层。

3.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于，

所述含氧等离子体包括：氧气、臭氧、一氧化二氮。

4.一种显示面板，具有显示区和非显示区，其特征在于，包括：

柔性基板；

所述非显示区包括弯折区；

第一无机层，所述第一无机层位于所述柔性基板一侧，所述第一无机层包括至少一个镂空部，所述镂空部位于所述弯折区；

有机垫层，所述有机垫层填充在所述镂空部中；

至少一个第一金属部；所述第一金属部位于所述有机垫层背离所述柔性基板的一侧表面；

所述第一金属部靠近所述柔性基板的一侧表面为第一表面，所述第一金属部背离所述柔性基板的一侧表面为第二表面，所述第一金属部还包括侧面，所述侧面连接于所述第一表面和所述第二表面之间；

位于所述弯折区中的所述第一金属部的所述第一表面、所述第二表面、所述侧面为金属氧化物层；

所述有机垫层中掺杂氧化性物质；

所述氧化性物质包括：氧化钾、氧化钙、氧化钠、氧化镁。

5.根据权利要求4所述的显示面板，其特征在于，

所述显示区包括第一信号线；

所述第一金属部和所述第一信号线电连接。

6.根据权利要求4所述的显示面板，其特征在于，

所述第一金属部的材料包括钛，所述金属氧化物层的材料包括氧化钛。

7.根据权利要求4所述的显示面板，其特征在于，

所述有机垫层覆盖所述镂空部的边缘；

所述第一金属部包括第一金属氧化物层，所述第一金属氧化物层覆盖所述有机垫层并且经由所述有机垫层的侧壁延伸至所述第一无机层背离所述柔性基板的一侧表面。

8.根据权利要求4所述的显示面板，其特征在于，

所述第一金属部包括第二金属氧化物层，所述第二金属氧化物层覆盖所述第一金属部背离所述柔性基板的一侧表面。

9.一种显示装置，其特征在于，包括根据权利要求4-8任一项所述的显示面板。

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