CN109943815B - 一种溅镀设备及其传送机构的停复方法 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 74
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 40
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims abstract description 13
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 6
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 5
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract description 2
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
Images
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
一种溅镀设备及其传送机构的停复方法，包括功能腔室、传送机构和防护门，所述功能腔室设置于所述传送机构侧面，在所述传送机构两侧设置有两个防护门，并在两个所述防护门上均设置一键停止按钮和一键启动按钮来控制所述传送机构的启停，同时只有在完全停止所述传送机构后才能开启所述防护门；有益效果：通过在两个所述防护门上设置一键停复按钮，可以在工作人员穿行所述传送机构时做到一键启停所述传送机构，保证了工作人员的安全并缩短溅镀机保养和维修时导致生产停止的时间。
Description
技术领域
本发明涉及一种显示面板工艺制程中使用的溅镀机设备，尤其涉及一种溅镀设备及其传送机构的停复方法。
背景技术
溅镀，通常指的是磁控溅镀，属于高速低温溅镀法。该工艺要求真空度在1×10- 3Torr(托，压强单位)左右，即1.3×10-3Pa的真空状态充入惰性气体氩气(Ar)，并在塑胶基材(阳极)和金属靶材(阴极)之间加上高压直流电，由于辉光放电(glow discharge)产生的电子激发惰性气体，产生等离子体，等离子体将金属靶材的原子轰出，沉积在塑胶基材上。
溅镀机由真空室，排气系统，溅射源还有传送装置等设备组成，当溅镀机宕机或者需要保养时，工作人员需要通过传送机构进入内部进行设备检查等操作，但是当人员在通过传送机构时，需要停止设备，且传送机构上还有载物架，存在作业高风险，也会影响正常生产时间。
为减少人员工作时的危险性以及生产损失，本发明提供一种新型的溅镀设备及其传送机构的停复方法。
发明内容
本发明提供一种溅镀设备及其传送机构的停复方法，所述溅镀机传送机构两侧设置有两个防护门，通过在两个所述防护门上都设置一键停止按钮和一键启动按钮来控制所述传送机构的启停，以解决现有装置中人员工作时具有危险性以及生产损失较大的问题。
为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：
本发明提供一种溅镀设备，包括：
至少一个功能腔室，所述功能腔室为溅镀室和/或电源设备室；
传送机构，为传送产品至溅镀机的装置，且所述功能腔室设置于所述传送机构侧面；
内防护门，设置于所述传送机构的一侧，且位于所述功能腔室与所述传送机构之间，所述内防护门上设置有一键启动按钮和一键停止按钮；
外防护门，设置于所述传送机构的另一侧，所述外防护门上同样设置有一键启动按钮和一键停止按钮。
根据本发明一优选实施例，所述传送机构上运载载物架，所述载物架上承托产品，且所述传送机构包括至少一个传送单元，每个所述传送单元独立运行。
根据本发明一优选实施例，所述传送单元的传送速率均相同。
根据本发明一优选实施例，所述外防护门上设置有开门杆，位于所述外防护门靠近所述传送机构一面。
根据本发明一优选实施例，所述内防护门上设置有电磁铁吸盘；
通电时则所述内防护门为无法开启状态，断电时则所述内防护门为可开启状态。
根据本发明一优选实施例，所述内防护门上设置有紧急机械关闭开关，为紧急停止所述传送机构的开关。
根据本发明一优选实施例，所述外防护门和所述内防护门上的两个所述一键启动按钮为并联设置，两个所述一键停止按钮为并联设置。
一种溅镀设备的传送机构停复方法，用于控制所述传送机构启停，以便于工作人员安全穿行，所述方法包括以下步骤：
S10、按下进口侧防护门上的一键停止按钮；
S20、所述内防护门和所述外防护门之间设置有通过区，当按下所述一键停止按钮时，所述通过区上游区域的所述传送机构均停止传送，所述通过区内以及所述通过区下游的所述传送机构继续传送，直至将所述通过区内的所述载物架传送完毕之后停止传送；
S30、此时可以开启所述进口侧防护门进入所述通过区，通过所述通过区后开启出口侧防护门并关闭所述进口侧防护门，当人员通过所述传送机构时关闭所述出口侧防护门；
S40、最后按下所述出口侧防护门上的一键启动按钮，启动所述传送机构。
根据本发明一优选实施例，在所述步骤S30中，当所述传送机构全部停止时，且所述一键停止按钮保持常亮状态，则所述防护门可开启。
根据本发明一优选实施例，在所述步骤S40中，当两个所述防护门均处于关闭状态时，所述一键启动按钮可执行。
本发明的有益效果为：通过在两个所述防护门上设置一键停复按钮，可以在工作人员穿行所述传送机构时做到一键启停所述传送机构，保证了工作人员的安全并缩短溅镀机保养和维修时导致生产停止的时间。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明溅镀设备结构示意图。
图2为本发明溅镀设备的传送机构停复方法流程图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。
本发明针对现有的溅镀设备，由于在进行维修或保养的时候，员工需要通过传送机构进入内部，加上传送机构的运行以及传送机构的载物架，员工易发生危险事故和影响生产效率的问题。
本发明提供的溅镀设备如图1所示，包括至少一个功能腔室113，传送机构109、防护门以及所述传送机构109上的载物架110，所述防护门包括外防护门101以及内防护门102。
所述功能腔室113为溅镀室和/或电源设备室，且设置于所述传送机构109侧面。
所述外防护门101和所述内防护门102设置于所述传送机构109两侧。
所述传送机构109是传送产品至溅镀机的装置，所述传送机构109上运载所述载物架110，所述载物架110上承托产品(图中并未画出)，且所述传送机构109为分段式设计，具有多个传送单元，即传送单元1091、传送单元1092、传送单元1093、传送单元1094(图中只显示有防护门之间的所述传送单元，其余区域的并未显示)，每一段所述传送单元均可单独运行，且各段传送单元的传送速率相同，用以传送所述载物架110，所述载物架110包括有载物架1101、载物架1102、载物架1103、载物架1104(图中只显示有防护门之间的所述载物架，其余区域的并未显示)。
所述传送机构109运载所述载物架110按图1中箭头的方向传送。
所述外防护门101设置于所述传送机构109无所述功能腔室113一侧，且在所述外防护门101上设置有一键启动按钮103和一键停止按钮104，通过修改设置PLC程式，使得所述一键启动按钮103和所述一键停止按钮104可以一键启动和一键停止所述传送机构109，可以保证工作人员在进行保养和维修的时候可以及时将所述传送机构109停下，并在工作人员通过所述传送机构109之后可以将所述传送机构109及时启动，减少因保养和维修对生产造成的影响。
同时，所述外防护门101上还设置有开门杆107，所述开门杆107延伸至所述防护门内部，便于工作人员在内部可以开启所述外防护门101。
同理，所述内防护门102设置于所述传送机构109与所述功能腔室113之间，且在所述内防护门102上设置有一键启动按钮105和一键停止按钮106，通过修改设置PLC程式，使得所述一键启动按钮105和所述一键停止按钮106可以一键启动和一键停止所述传送机构109，可以保证工作人员在进行保养和维修的时候可以及时将所述传送机构109停下，并在工作人员通过所述传送机构109之后可以将所述传送机构109及时启动，减少因保养和维修对生产造成的影响。
同时，在所述内防护门102上加装有电磁铁吸盘108，当所述电磁铁吸盘108通电时，则所述内防护门102被吸盘吸住，无法开启，当所述电磁铁吸盘108断电时，则所述内防护门102可以开启。
即，按下所述一键停止按钮104或106时，系统断电，此时所述电磁铁吸盘也断电，则所述内防护门102可开启；当按下所述一键启动按钮103或105时，系统通电，此时所述电磁铁吸盘也通电，则所述内防护门102无法开启，保证了工作人员的人身安全，防止危险事故的发生。
另外，所述内防护门102上还设置有紧急机械关闭开关111(EMO，EmergencyMechanical off Switch)，当工作人员进行维修和保养时，若是遇到危险情况，按下所述紧急机械关闭开关111，则所述传送机构109将会紧急停止，保护人员安全。
如图2所示是上述溅镀设备的传送机构停复方法，此方法包括以下步骤：
S10、按下进口侧防护门上的一键停止按钮。
S20、所述内防护门和所述外防护门之间设置有通过区，当按下所述一键停止按钮时，所述通过区上游区域的所述传送机构均停止传送，所述通过区内以及所述通过区下游的所述传送机构继续传送，直至将所述通过区内的所述载物架传送完毕之后停止传送。
S30、此时可以开启所述进口侧防护门进入所述通过区，然后关闭所述进口侧防护门并在通过所述通过区后开启出口侧防护门，当工作人员通过所述传送机构时关闭所述出口侧防护门。
S40、最后按下所述出口侧防护门上的一键启动按钮，启动所述传送机构。
下面我们举例说明所述停复方法，如图1中的虚线框为通过区112，并规定沿所述传送机构109传送方向为正方向，即图1中箭头的方向，反之则为反方向。
当设备宕机或者是需要保养时，工作人员需要通过所述传送机构109进入内部进行维修或保养，工作人员首先按下所述外防护门上的所述一键停止按钮104，此时，所述通过区112以及沿所述通过区112正方向上的所述传送机构109继续运行，且反方向上的所述传送机构109将停止运行，直到将所述通过区112内的所述载物架110全部传送完毕为止，此时全部所述传送机构将停止运行。
即当按下所述已将停止按钮104时，所述传送单元1091立即停止运行，则所述载物架1101将停止在所述通过区112之外，所述传送单元1092、所诉传送单元1093、所述传送单元1094将继续运行，将所述载物架1102、所述载物架1103、所述载物架1104全部传送出所述通过区112，当所述通过区112内的所述载物架110全部传送完毕后，全部所述传送机构将停止运行。
此时，所述一键停止按钮104为常亮状态，表示可以开门进入。
当工作人员进入所述通过区112后，可关闭所述外防护门101，此时，所述电磁铁吸盘108为断电状态，工作人员可开启所述内防护门102，当工作人员通过所述内防护门102之后，便可以关闭所述内防护门102，并按下所述一键启动按钮105，此时，所述传送机构109将正常运行。
需要注意的是，只有所述外防护门101和所述内防护门102均处于关闭状态时，所述一键启动按钮105才可以执行。
同理，当工作人员维修或保养完毕之后，工作人员需要按下所述内防护门102上的所述一键停止按钮106，此时所述传送单元1091立即停止运行，则所述载物架1101将停止在所述通过区112之外，所述传送单元1092、所诉传送单元1093、所述传送单元1094将继续运行，将所述载物架1102、所述载物架1103、所述载物架1104全部传送出所述通过区112，当所述通过区112内的所述载物架110全部传送完毕后，全部所述传送机构将停止运行。
此时，所述一键停止按钮106为常亮状态，且所述电磁铁吸盘108已断电，则所述内防护门102可开启。
当工作人员通进入所述通过区112后，可关闭所述内防护门102，并通过开门杆开启所述外防护门101，当工作人员通过所述外防护门101之后，便可以关闭所述外防护门101，再按下所述一键启动按钮103，此时，所述传送机构109将正常运行。
需要注意的是，只有所述外防护门101和所述内防护门102均处于关闭状态时，所述一键启动按钮103才可以执行。
本发明通过在两个所述防护门上设置一键停复按钮，可以在工作人员穿行所述传送机构时做到一键启停所述传送机构，保证了工作人员的安全并缩短溅镀机保养和维修时导致生产停止的时间。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。
Claims (10)
1.一种溅镀设备，其特征在于，包括：
至少一个功能腔室，所述功能腔室为溅镀室和/或电源设备室；
传送机构，为传送产品至溅镀机的装置，且所述功能腔室设置于所述传送机构侧面，所述传送机构上运载载物架，所述载物架用于承托所述产品；
内防护门，设置于所述传送机构的一侧，且位于所述功能腔室与所述传送机构之间，所述内防护门上设置有一键启动按钮和一键停止按钮；
外防护门，设置于所述传送机构的另一侧，所述外防护门上同样设置有一键启动按钮和一键停止按钮。
2.根据权利要求1所述的溅镀设备，其特征在于，所述传送机构包括至少一个传送单元，每个所述传送单元独立运行。
3.根据权利要求2所述的溅镀设备，其特征在于，所述传送单元的传送速率均相同。
4.根据权利要求1所述的溅镀设备，其特征在于，所述外防护门上设置有开门杆，位于所述外防护门靠近所述传送机构一面。
5.根据权利要求1所述的溅镀设备，其特征在于，所述内防护门上设置有电磁铁吸盘；
通电时则所述内防护门为无法开启状态，断电时则所述内防护门为可开启状态。
6.根据权利要求5所述的溅镀设备，其特征在于，所述内防护门上设置有紧急机械关闭开关，为紧急停止所述传送机构的开关。
7.根据权利要求1所述的溅镀设备，其特征在于，所述外防护门和所述内防护门上的两个所述一键启动按钮为并联设置，两个所述一键停止按钮为并联设置。
8.一种如权利要求1-7任一项所述的溅镀设备的传送机构停复方法，用于控制所述传送机构启停，以便于工作人员安全穿行，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
S10、按下进口侧防护门上的一键停止按钮；
S20、所述内防护门和所述外防护门之间设置有通过区，当按下所述一键停止按钮时，所述通过区上游区域的所述传送机构均停止传送，所述通过区内以及所述通过区下游的所述传送机构继续传送，直至将所述通过区内的所述载物架传送完毕之后停止传送；
S30、此时可以开启所述进口侧防护门进入所述通过区，然后关闭所述进口侧防护门并在通过所述通过区后开启出口侧防护门，当工作人员通过所述传送机构时关闭所述出口侧防护门；
S40、最后按下所述出口侧防护门上的一键启动按钮，启动所述传送机构。
9.根据权利要求8所述的溅镀设备的传送机构停复方法，其特征在于，在所述步骤S30中，当所述传送机构全部停止时，且所述一键停止按钮保持常亮状态，则所述防护门可开启。
10.根据权利要求8所述的溅镀设备的传送机构停复方法，其特征在于，在所述步骤S40中，当两个所述防护门均处于关闭状态时，所述一键启动按钮可执行。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910281910.4A CN109943815B (zh) | 2019-04-09 | 2019-04-09 | 一种溅镀设备及其传送机构的停复方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910281910.4A CN109943815B (zh) | 2019-04-09 | 2019-04-09 | 一种溅镀设备及其传送机构的停复方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109943815A CN109943815A (zh) | 2019-06-28 |
| CN109943815B true CN109943815B (zh) | 2021-01-01 |
Family
ID=67012831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910281910.4A Active CN109943815B (zh) | 2019-04-09 | 2019-04-09 | 一种溅镀设备及其传送机构的停复方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109943815B (zh) |
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| US7123144B2 (en) * | 2003-04-23 | 2006-10-17 | Miller Edge, Inc. | Monitored transmitter and receiver system and method for safety devices |
-
2019
- 2019-04-09 CN CN201910281910.4A patent/CN109943815B/zh active Active
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN109943815A (zh) | 2019-06-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
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|
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |