一种大长径比钼坩埚旋压用钼板的轧制方法
技术领域
本发明属于钼坩埚加工技术领域,具体涉及一种大长径比钼坩埚旋压用钼板的轧制方法。
背景技术
蓝宝石晶体(α-Al2O3)是一种耐高温、耐磨损、抗腐蚀和透光波段宽的优质光功能材料,还是使用最广泛的氧化物衬底(主要用作半导体衬底和大规模集成电路衬底)材料之一,可用于微电子-光电子技术、军事、航空航天、通信、医学等领域,有着广阔的应用前景。
目前,有多种方法可以制作蓝宝石单晶,如泡生法、柴氏拉晶法、导模法、热交换法、温度梯度法、坩埚下降法、冷心放肩微量提拉法等方法。这些方法中,热交换法生长蓝宝石单晶需要用到高品质的大长径比的钼坩埚。
钼是一种难熔稀有金属,熔点为2620℃,具有极强的原子间结合力使其在常温和高温下强度都很高;钼具有膨胀系数小,导电率大,导热性能好等优良的物理性能。这些优异的性能使得钼及其合金在冶金、玻璃、陶瓷、军工装备、高温机械等领域有广泛的应用。钼坩埚作为钼材的一种,被广泛应用于稀土金属熔炼、玻璃熔炼等过程中。目前,钼坩埚的制作方法主要有以下几种:等离子喷涂法、浇铸法、冲压法、焊接法、烧结法等。但是等离子喷涂法生产特别浪费原料且价格昂贵;浇铸法制备工艺复杂,需要制作大量模具,且钼的熔点高,熔化需要消耗大量电能;冲压法对于壁厚较大的坩埚有很好的效果,但对于大尺寸薄壁的坩埚工艺实现难度较大;焊接法焊接的坩埚在使用过程中易在焊缝处开裂,降低坩埚的使用寿命;烧结钼坩埚在烧结过程中孔隙的存在,会使钼坩埚的强度降低,影响钼坩埚的使用。旋压加工方法适合对大长径比薄壁容器的加工,但因为钼这种材料属于难熔金属,相对于普通金属旋压难度较大,而大长径比的钼坩埚旋压难度更大,普通钼坩埚旋压用钼板的纤维组织较粗,这样的组织延展性比较差,在旋压的过程中容易产生裂纹而造成产品报废。
因此,需要提供一种针对上述现有技术不足的一种大长径比钼坩埚旋压用钼板的轧制方法。
发明内容
本发明的目的在于提供一种大长径比钼坩埚旋压用钼板的轧制方法以至少解决目前大长径比钼坩埚旋压用钼板延展性差,不利于旋压变形等问题。
为了实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种大长径比钼坩埚旋压用钼板的轧制方法,优选,所述轧制方法包括如下步骤:
S1,投料,根据所需钼板坯尺寸,选取合适尺寸的模具,进行装粉;
S2,压型,对步骤S1中装粉的模具进行压型处理,制得合适厚度的板坯;
S3,烧结,对步骤S2中压制得的板坯进行烧结;
S4,轧制,对步骤S3中烧结后的板坯进行轧制,得到轧制件;
S5,表面处理,对步骤S4中得到的轧制件进行表面处理,去除所述轧制件的表面缺陷,得到钼板轧制件成品。
如上所述的一种大长径比钼坩埚旋压用钼板的轧制方法,优选,所述步骤S2中,采用等静压的成型方法对步骤S1中装粉的模具进行压型。
如上所述的一种大长径比钼坩埚旋压用钼板的轧制方法,优选,所述步骤S2中,采用冷等静压的成型方法对步骤S1中选取的板坯进行压型,压型采用的压力为200-220MPa,保压10-30分钟。
如上所述的一种大长径比钼坩埚旋压用钼板的轧制方法,优选,还包括整形,对步骤S2中制得的板坯根据烧结过程中的收缩比进行整形,以保证烧结后得到所需尺寸、平整完好的板坯。
如上所述的一种大长径比钼坩埚旋压用钼板的轧制方法,优选,所述步骤S3中,将整形后的板坯置于烧结炉中进行烧结,最高烧结温度为2000-2200℃,保温3-5小时。
如上所述的一种大长径比钼坩埚旋压用钼板的轧制方法,优选,所述烧结炉采用中频炉。
如上所述的一种大长径比钼坩埚旋压用钼板的轧制方法,优选,所述步骤S4具体操作方法为:首先对所述步骤S3中烧结后的板坯进行交叉轧制,得到轧制件;然后将得到的轧制件进行最终退火处理;最后抽取最终退火处理后的轧制件进行力学性能测试,测试退火后轧制件的断裂延伸率。
如上所述的一种大长径比钼坩埚旋压用钼板的轧制方法,优选,所述交叉轧制过程中,首先对步骤S3中烧结后的板坯进行开坯轧制,开坯温度控制在1150-1350℃,采用每道次回炉降温轧制的方式,每道次降温30-100℃,最终轧制温度不低于700℃,在轧制过程中采用横向和纵向交替的交叉轧制方式,交叉轧制得到轧制件;
优选地,在轧制过程中每道次的压下量为30%-40%;
再优选地,在交叉轧制过程中使板坯的总变形量控制在90%-98%之间。
如上所述的一种大长径比钼坩埚旋压用钼板的轧制方法,优选,所述步骤S5的具体操作为:对步骤S4中得到的轧制件的表面进行清洗打磨,去除所述轧制件表面的氧化皮,打磨掉所述轧制件表面的凹坑、小裂纹局部缺陷。
如上所述的一种大长径比钼坩埚旋压用钼板的轧制方法,优选,所述交叉轧制过程中穿插去应力退火处理,所述去应力退火的温度700-850℃;所述最终退火处理的退火温度为850-920℃。
与最接近的现有技术相比,本发明提供的技术方案具有如下优异效果:
本发明提供一种大长径比钼坩埚旋压用钼板的轧制方法,通过冷等静压技术进行压型得到板坯,得到高密度的板坯,通过制定烧结工艺对压型后的板坯进行烧结,以提高其整体质量;通过交叉轧制的方法对烧结后的板坯进行大变形量的轧制,使其内部组织之间的结合力提高,通过交叉轧制可以得到各向同性的细小纤维组织,且纵横向组织相互交错搭接,组织更为均匀,能有效的避免各向受力不均匀时产生的缺陷,为后续旋压提供有利的条件,本发明采用冷等静压、烧结和大变形量的交叉轧制方法对钼原料板坯进行加工,使其满足大长径比钼坩埚的旋压要求,对大长径比钼坩埚的生产具有重要的意义。
附图说明
构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。
其中:
图1为本发明实施例的大长径比钼坩埚旋压用钼板的制备工艺流程图;
图2为本发明实施例的大长径比钼坩埚结构示意;
图3为普通工艺轧制的钼板的金相组织图片;
图4为本发明实施例的轧制方法得到的金相组织图片。
具体实施方式
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本发明的描述中,术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明而不是要求本发明必须以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。本发明中使用的术语“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接;可以是直接相连,也可以通过中间部件间接相连,对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
根据本发明的具体实施例,如图1和图2所示,本发明提供一种大长径比钼坩埚旋压用钼板的轧制方法,该轧制方法包括如下步骤:
S1,投料,根据所需钼板坯尺寸,选取合适尺寸的胶套模具,进行装粉。
S2,压型,采用冷等静压的成型方法对步骤S1中装满粉末的模具进行压型;压型采用的压力为200-220MPa(比如202MPa、205MPa、208MPa、212MPa、215MPa、218MPa),保压10-30min(比如12min、15min、18min、23min、28min)。为了便于后续轧制,在本发明的实施例中,在压型处理后,对压型后的板坯根据烧结过程中的收缩比进行整形,以保证烧结后的板坯平整完好,为后续轧制做好准备工作,因板坯在烧结后,其强度将大大增强,因此选择在压型后进行整形,便于加工,节约加工成本。
S3,烧结,对步骤S2中压型后的板坯进行烧结;将整形后的板坯置于中频炉中进行烧结,最高烧结温度为2000-2200℃(比如2030℃、2060℃、2090℃、2120℃、2150℃、2180℃),保温3-5小时(比如3.2小时、3.5小时、3.8小时、4.0小时、4.2小时、4.5小时、4.8小时)。
优选地,所述烧结包括:将整形后的钼板坯加热至600-800℃(比如630℃、660℃、690℃、720℃、750℃、780℃),保温1-3小时(比如1.2小时、1.5小时、1.8小时、2.0小时、2.5小时、2.8小时),再加热至900-1000℃(比如910℃、920℃、930℃、940℃、950℃、960℃、970℃、980℃、990℃),保温1-2小时(例如1.2小时、1.4小时、1.6小时、.8小时、1.9小时),再加热至1100-1200℃(比如1110℃、1120℃、1130℃、1140℃、1150℃、1160℃、1170℃、1180℃、1190℃),保温2-4小时(比如2.2小时、2.5小时、2.8小时、3.1小时、3.4小时、3.7小时、3.9小时),再加热至1300-1400℃(例如1320℃、1340℃、1360℃、1380℃、1390℃),保温2-3小时(比如2.2小时、2.4小时、2.6小时、2.8小时),再加热至1500-1600℃(例如1520℃、1540℃、1560℃、1580℃、1590℃),保温1-3小时(比如1.2小时、1.5小时、1.8小时、2.0小时、2.5小时、2.8小时、),再加热至1700-1800℃(例如1720℃、1740℃、1760℃、1780℃、1790℃),保温2-3小时(比如2.2小时、2.4小时、2.6小时、2.8小时),最后加热至最高烧结温度2000-2200℃(比如2030℃、2060℃、2090℃、2120℃、2150℃、2180℃),保温3-5小时(比如3.3小时、3.6小时、3.9小时、4.2小时、4.5小时、4.8小时),制得高密度钼板坯,密度达到10.0-10.15cm3/g。采用优选方式得到的烧结板坯,内部组织更加致密均匀,为轧制提供有利的条件。
S4,轧制,对步骤S3中烧结后的板坯进行轧制,得到轧制件;该步骤的具体操作方法为:首先对烧结后的板坯进行开坯轧制,开坯温度控制在1150-1350℃(例如1180℃、1210℃、1240℃、1270℃、1300℃、1330℃),采用每道次回炉降温轧制的方式,每道次降温30-100℃(例如37℃、45℃、53℃、60℃、68℃、76℃、85℃、92℃、98℃),最终轧制温度不低于700℃,在轧制过程中采用横向和纵向交替的交叉轧制方式,在轧制过程中每道次的压下量为30%-40%(例如32%、34%、36%、38%、39%),板坯的总变形量控制在90%-98%之间,根据所需板厚选择合适的总变形量,得到轧制件;然后将得到的轧制件进行最终退火处理;在交叉轧制过程中穿插去应力退火处理,去应力退火温度700-850℃(例如720℃、740℃、760℃、780℃、800℃、820℃、840℃),到温保温0.5-1.5小时(比如0.6小时、0.8小时、1.0小时、1.2小时、1.4小时),火次变形量控制在40%-80%(例如45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%);此处的火次变形量是指间隔去应力退火之间的总变形量。最终退火处理的退火温度为850-920℃(例如860℃、870℃、880℃、890℃、900℃、910℃),到温保温1-1.5小时(1.1小时、1.2小时、1.3小时、1.4小时)。最后对最终退火后的轧制件进行力学性能测试,测试退火处理后的轧制件的断裂延伸率,要求达到20%-30%。去应力退火能及时消除轧制过程中产生的内应力,但必须保证在退火过程中不发生再结晶,所以去应力退火的温度控制和保温时间控制非常重要。最终退火处理后的轧制件内部组织为细小的纤维组织并夹杂一些再结晶组织,细小的纤维组织夹杂再结晶组织更有利于后期的旋压变形,更利于加工出大长径比的坩埚制品。
S5,表面处理,对步骤S4中得到的轧制件进行表面处理,去除轧制件的表面缺陷,清洗去除轧制件表面的氧化皮(碱洗,碱液温度400-650℃,所用碱液可以是熔融状态的氢氧化钠,氢氧化钠的纯度99wt%),打磨掉轧制件表面的凹坑、小裂纹等局部缺陷,从而得到钼板轧制件的成品。
本发明中所述的大长径比钼坩埚优选是长径比为4-5的钼坩埚。
实施例1
制备厚度为4.8mm的旋压用钼板,具体包括如下步骤:
S1,投料,选取厚度为60mm的模具例如胶套模具,装入钼粉。
S2,压型,采用冷等静压的成型方法对步骤S1中选取的装有粉末的模具进行压型;压型采用的压力为220MPa,保压20分钟。在压型处理后,对压型后的板坯根据烧结过程中的收缩比进行整形,以保证烧结后的板坯平整完好。
S3,烧结,对步骤S2中压型后的板坯进行烧结;将整形后的板坯置于中频炉中进行烧结,将钼板坯加热至600℃,保温1小时,再加热至900℃,保温2小时,再加热至1200℃,保温4小时,再加热至1300℃,保温2小时,再加热至1600℃,保温3小时,再加热至1700℃,保温3小时,最后加热至2000℃,保温5小时,制得高密度钼板坯,密度达到10.05cm3/g。
S4,轧制,首先对烧结后的板坯进行开坯轧制,开坯温度控制在1150℃,采用每道次回炉降温轧制的方式,每次降温30℃,最终轧制温度不低于700℃,在轧制过程中采用横向和纵向交替的交叉轧制方式,在轧制过程中每道次的压下量为35%,板坯的总变形量为92%。在整个交叉轧制过程中穿插1次去应力退火,退火温度设置为830℃,保温0.5小时,轧制后得到轧制件的厚度为4.8mm,该厚度的钼板能旋压出壁厚为3mm的坩埚,且此厚度的钼板成品率较高,能达到95%以上;然后将得到的轧制件进行最终退火处理,退火温度900℃,保温1小时;经过最终退火处理后的钼板力学性能较好,断裂延伸率能控制在25%以上;最后选取最终退火后的轧制件进行力学性能测试,测量退火处理后的轧制件的断裂延伸率,轧制件纵向的断裂延伸率达到27%,轧制件横向的断裂延伸率达到25.5%。采用光学显微镜对该轧制工艺制得的钼板进行观察拍摄,得到金相组织图片如图4。
S5,表面处理,对步骤S4中得到的轧制件进行表面处理,去除轧制件的表面缺陷,清洗去除轧制件表面的氧化皮(碱洗,碱液温度600℃),打磨掉轧制件表面的凹坑、小裂纹等局部缺陷,从而得到钼板轧制件的成品。
S6,下料,水刀切成Φ150*4.8mm大小的坯料。
S7,选择合适的旋压用工装模具,使用火焰喷枪将钼板加热至600-800℃,在旋压机上进行旋压变形,此旋压温度由钼板的组织结构来决定,具有细小纤维组织并夹杂一部分的再结晶的组织在此温度下较容易变形,根据大长径比钼坩埚的尺寸制定相应的旋压路径。
S8,机加工车切外形,清洗打磨坩埚表面,即得成品坩埚。其最终尺寸大概为:坩埚高度约170mm,底部直径36mm,坩埚开口处直径48mm,坩埚底部厚度4.8mm,坩埚壁厚3mm,此坩埚在1800℃以上使用,寿命能达到350小时以上,使用后未发现有裂纹和明显变形等缺陷产生。
实施例2
制备厚度为2.5mm的旋压用钼板,具体包括如下步骤:
S1,投料,选取厚度为50mm的模具例如胶套模具,装入钼粉。
S2,压型,采用冷等静压的成型方法对步骤S1中选取的装有粉末的模具进行压型;压型采用的压力为200MPa,保压30分钟。在压型处理后,对压型后的板坯根据烧结过程中的收缩比进行整形,以保证烧结后的板坯平整完好。
S3,烧结,将钼板坯加热至700℃,保温2小时,再加热至1000℃,保温2小时,再加热至1200℃,保温2小时,再加热至1400℃,保温3小时,再加热至1500℃,保温3小时,再加热至1800℃,保温2小时,最后加热至2100℃,保温5小时,制得高密度钼板坯,密度达到10.12cm3/g。
S4,轧制,首先对烧结后的板坯进行开坯轧制,开坯温度控制在1200℃,采用每道次回炉降温轧制的方式,每次降温50℃,最终轧制温度不低于700℃,在轧制过程中采用横向和纵向交替的交叉轧制方式,在轧制过程中每道次的压下量为30%,板坯的总变形量为95%,交叉轧制过程中穿插1次去应力退火,退火温度设置为800℃,保温1小时,轧制后得到轧制件的厚度为2.5mm,该厚度的钼板能旋压出壁厚为1.5mm的坩埚,且此厚度的钼板成品率较高,能达到92%以上,然后将得到的轧制件进行最终退火处理,退火温度850℃,保温1小时;经最终退火处理后的钼板力学性能较好,断裂延伸率能控制在20%以上;最后选取最终退火处理后的轧制件进行力学性能测试,测量退火处理后的轧制件的断裂延伸率,轧制件纵向的断裂延伸率达到25%,轧制件横向的断裂延伸率达到22%。
S5,表面处理,对步骤S4中得到的轧制件进行表面处理,去除轧制件的表面缺陷,清洗去除轧制件表面的氧化皮(碱洗,碱液温度600℃),打磨掉轧制件表面的凹坑、小裂纹等局部缺陷,从而得到钼板轧制件的成品。
S6,下料,水刀切成Φ160*2.5mm大小的坯料。
S7,选择合适的旋压用工装模具,将板坯加热至700-800℃在旋压机上进行旋压变形,旋压温度由钼板的组织结构来决定,具有细小纤维组织并夹杂一部分的再结晶的组织在此温度下较容易变形,根据大长径比钼坩埚的尺寸制定相应的旋压路径。
S8,机加工车切外形,清洗打磨坩埚表面,即得成品坩埚。其最终尺寸大概为:坩埚高度约165mm,底部直径34mm,坩埚开口处直径48mm,坩埚底部厚度2.5mm,坩埚壁厚1.5mm。此坩埚在2000℃以上使用,寿命能达到200小时以上,使用后未发现有裂纹和明显变形等缺陷产生。
实施例3
本实施例除烧结工艺不同于实施例1以外,其他工艺步骤同实施例1。该实施例的烧结工艺为以10℃/min的速度升温至2000℃,并保温5h,得到的钼板坯密度为9.6cm3/g。
采用实施例1的轧制工艺轧制后得到的轧制件纵向的断裂延伸率达到15%,轧制件横向的断裂延伸率达到10%。
实施例4
本实施例除轧制工艺不同于实施例1以外,其他工艺步骤同实施例1。本实施例的轧制工艺如下:首先对烧结后的板坯进行开坯轧制,开坯温度1350℃,采用每道次回炉降温轧制的方式,每次降温100℃,最终轧制温度不低于700℃,在轧制过程中采用横向和纵向交替的交叉轧制方式,在轧制过程中每道次的压下量为35%,板坯的总变形量为92%。在整个交叉轧制过程中穿插1次去应力退火,退火温度设置为800℃,保温1小时,轧制后得到轧制件的厚度为4.8mm,该厚度的钼板能旋压出壁厚为3mm的坩埚,且此厚度的钼板成品率较高,能达到90%以上;然后将得到的轧制件进行最终退火处理,退火温度880℃,保温1小时;经过最终退火处理后的钼板力学性能较好,断裂延伸率能控制在20%以上;最后选取最终退火处理后的轧制件进行力学性能测试,测量退火处理后的轧制件的断裂延伸率,轧制件纵向的断裂延伸率达到22%,轧制件横向的断裂延伸率达到20%。
对比例1
本对比例采用普通轧制工艺进行钼板轧制,本对比例除轧制工艺不同于实施例1,其他工艺步骤同实施例1。本对比例的轧制工艺如下:首先对烧结后的板坯进行开坯轧制,开坯温度控制在1100-1300℃,采用每道次回炉降温轧制的方式,每道次降温50-100℃,最终轧制温度不低于750℃,在轧制过程中每道次的压下量为15-20%,板坯的总变形量控制在80-90%之间,根据所需板厚选择合适的总变形量,得到轧制件;然后将得到的轧制件进行最终退火处理,在轧制过程中穿插去应力退火处理,去应力退火温度750-850℃,保温1-1.5小时,火次变形量控制在40%-80%;最终退火处理的退火温度为950-1050℃,保温1-1.5小时。最后对最终退火后的轧制件进行力学性能测试,测试退火处理后轧制件的断裂延伸率,其断裂延伸率为15%,采用光学显微镜对该轧制工艺制得的钼板的组织进行观察拍摄,得到金相组织图片如图3。
对比图3和图4的金相组织图片可以看出,在同样的放大倍数下(200x),按照本发明实施例1轧制出的钼板,得到较细的纤维组织,并夹杂有一些再结晶组织在内,这样的组织较容易旋压变形,而对比例1中普通工艺轧制出的钼板,金相显示,纤维组织较粗,并且没有再结晶组织在内,这样的组织在旋压过程中容易出现旋压撕裂的现象,从而导致产品报废。
综上所述,本发明提供的一种大长径比钼坩埚旋压用钼板的轧制方法,通过冷等静压技术对粉末进行压型,获得较高密度的板坯,通过烧结方法对压型后的板坯进行烧结,以提高其整体质量;通过交叉轧制的方法对烧结后的板坯进行大变形量的轧制,可以得到各向同性的细小纤维状组织,且纵横向组织相互搭接交错,组织排布均匀有序,能有效的避免各向受力不均匀时产生的缺陷,为后续旋压提供有利的条件,本发明采用冷等静压、烧结和大变形量的交叉轧制方法对钼原料板坯进行加工,使其满足大长径比钼坩埚的旋压要求,对大长径比钼坩埚的生产具有重要的意义。
以上所述仅为本发明的优选实施例,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。