CN109856917A - 安全装置、工件台及光刻机 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种安全装置、工件台及光刻机，所述安全装置固定在工件台面上，所述工件台面运动时，带动所述安全装置一起运动，所述安全装置的作用块组件位于第一基准线上，安全销组件位于第二基准线上，所述第一基准线和所述第二基准线之间的夹角小于或等于90度，所述作用块组件包括驱动单元和作用块，所述驱动单元能够驱动所述作用块往返运动，带动所述插销伸出所述导向单元的端面或缩进所述导向单元的端面内，通过驱动单元与作用块的配合，使得作用块组件与安全销组件变为非轴向的布置，将轴向尺寸大大压缩，满足了轴向尺寸紧张场合的使用要求。

Description

安全装置、工件台及光刻机

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种安全装置、工件台及光刻机。

背景技术

目前，在光刻领域内，工件台作为光刻机整机系统中一个独立的精密运动平台，工件台可以移入移出光刻机用于对工件台或光刻机其他结构进行维护，安全装置用来对工件台进行定位和保护。安全装置通过作用块组件实现安全销在销孔内的伸出伸回，继而实现对设备的位置限制，在工件台移入移出过程中起到安全保护作用。

现有的安全装置，一般是气缸、插销通过防转装置连接，而气缸、插销和防转装置均设置在一条轴上，气缸的活塞与插销直接相连，活塞的伸缩运动带动插销伸进或退出销孔，然而，现有的安全装置轴向占用空间较大，在轴向尺寸紧张的场合无法应用。

发明内容

本发明的目的在于提供一种安全装置、工件台及光刻机，以解决现有的安全装置轴向占用空间较大，在轴向尺寸紧张的场合无法应用等问题。

为了达到上述目的，本发明提供了一种安全装置，所述安全装置包括作用块组件和安全销组件，所述作用块组件位于第一基准线上，所述安全销组件位于第二基准线上，所述第一基准线和所述第二基准线之间具有一小于或等于90度的夹角；

所述作用块组件包括驱动单元和作用块，所述驱动单元能够驱动所述作用块沿着所述第一基准线往返运动；

所述安全销组件包括导向单元和设置于所述导向单元内的插销，所述插销包括第一端和第二端，所述第二端较所述第一端远离所述作用块；

所述驱动单元驱动所述作用块沿着所述第一基准线往返运动时，所述作用块带动所述插销的第二端沿着所述第二基准线伸出所述导向单元或缩进所述导向单元内。

可选的，所述第一基准线和所述第二基准线垂直。

可选的，所述作用块包括一斜面、A端和B端，所述作用块的A端和B端分别于所述斜面的两端连接，并且所述A端在沿所述第二基准线方向上较所述B端尺寸小。

可选的，当所述插销的第一端接触所述作用块的A端时，所述插销缩进所述导向单元内；当所述插销的第一端接触所述作用块的B端时，所述插销伸出所述导向单元。

可选的，所述作用块上设置有一导轨，所述插销的第一端设置有可动结构，所述可动结构能够沿着所述导轨运动。

可选的，所述导轨包括轮槽、直线导轨或滑轨，所述可动结构包括滚轮或滑块。

可选的，所述作用块与所述滚轮的材料为异极磁性材料。

可选的，所述定位销组件还包括复位单元，所述复位单元套接在所述插销，在所述插销处于伸出所述导向单元的状态时，所述插销处于缩进的趋势。

本发明还提供了一种工件台，包括一工作台面和若干个所述安全装置；

所述安全装置固定在所述工作台面上，所述工作台面运动时，带动所述安全装置一起运动；

所述安全装置的作用块与所述工作台面接触，所述驱动单元驱动所述作用块在所述工作台面上沿着第一基准线往返运动。

可选的，所述安全装置的数量大于等于两个。

可选的，所述工作台面上设置有导轨，所述驱动单元驱动所述作用块在所述导轨上沿着第一基准线往返运动。

本发明还提供了一种光刻机，包括机架和如所述工件台，所述工件台设置于所述机架内，所述机架上设置有销孔。

可选的，所述销孔的数量与所述安全装置的数量匹配。

本发明提供了一种安全装置、工件台及光刻机，所述安全装置固定在工件台面上，所述工件台面运动时，带动所述安全装置一起运动，所述安全装置的作用块组件位于第一基准线上，安全销组件位于第二基准线上，所述第一基准线和所述第二基准线之间具有一小于或等于90度的夹角，所述作用块组件包括驱动单元和作用块，所述驱动单元能够驱动所述作用块沿第一基准线方向往返运动，带动所述插销沿着第二基准线运动，即带动所述插销伸出所述导向单元，也可以带动所述插销部分或全部伸出所述导向单元或缩进所述导向单元内，通过驱动单元与作用块的配合，使得作用块组件与安全销组件变为非轴向的布置，将轴向尺寸大大压缩，满足了轴向尺寸紧张场合的使用要求。

附图说明

图1-图2为实施例一提供的安全装置的示意图；

图3-图4为实施例二提供的安全装置的示意图；

图5-图6为实施例三提供的安全装置的示意图；

其中，a-第一基准线，b-第二基准线，1-工件台面，2-销孔，3-作用块组件，31-驱动单元，32-作用块，A-作用块的A端，B-作用块的B端，323-轮槽，4-安全销组件，41-导向单元，42-插销，421-插销的第一端，422-插销的第二端，423-可动结构，43-复位单元，5-限位单元。

具体实施方式

下面将结合示意图对本发明的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

实施例一

参阅图1，其为本实施例提供的安全装置的示意图，包括作用块组件3和安全销组件4，所述作用块组件3位于第一基准线a上，所述安全销组件4位于第二基准线b上，所述第一基准线a和所述第二基准线b之间具有一小于或等于90度的夹角；所述作用块组件3包括驱动单元31和作用块32，所述驱动单元31能够驱动所述作用块32沿着所述第一基准线a往返运动；所述安全销组件4包括导向单元41和设置于所述导向单元41内的插销42，所述插销42包括第一端421和第二端422，所述第二端422较所述第一端421远离所述作用块32；所述驱动单元31驱动所述作用块32沿着第一基准线b往返运动时，带动所述插销42的第二端421沿着第二基准线b运动，即带动所述插销42伸出所述导向单元41，也可以带动所述插销42部分或全部缩进所述导向单元41内。通过驱动单元31与作用块42的配合，使得作用块组件3与安全销组件4变为非轴向的布置，将轴向尺寸大大压缩，满足了轴向尺寸紧张场合的使用要求。

请继续参阅图1，所述作用块组件3位于第一基准线a上，所述安全销组件4位于第二基准线b上，所述第一基准线a和所述第二基准线b之间的夹角小于或等于90度，使得作用块组件3与安全销组件4变为非轴向的布置，当然，所述作用块组件3的轴线与所述安全销组件4的轴线之间的夹角既可以是锐角，也可以是钝角。本实施例中，所述作用块组件3与安全销组件4正交设置，即第一基准线a与第二基准线b垂直，以使所述安全装置的轴向尺寸进一步缩小。

具体的，请参阅图1-图3，其为实施例一提供的安全装置的示意图，接下来，将结合图1-图3来对本发明提供的安全装置作进一步描述。

所述作用块32包括一斜面、A端和B端，所述A端和所述B端分别与所述斜面的两端连接，所述A端在所述第二基准线b方向上尺寸较所述B端321小，所述驱动单元31可以设置在作用块的A端方向、B端方向或其他易于驱动作用块32的位置，以驱动所述作用块32在工件台面1上沿着第一基准线进行往返运动。一般的，工件台面指工件台的侧面。

所述安全销组件包括插销42和导向单元41，所述插销42穿过所述导向单元，所述插销42的第一端与所述作用块32接触，第二端穿过所述导向单元41。所述插销42的第一端421可以设置一可动结构423，例如是滚轮、滑块等，所述可动结构423与所述作用块32接触，实现与作用块32的低摩擦运动，此处也可不设置可动结构423，通过使用低摩擦材料，例如尼龙和特氟龙等，实现与作用块32低摩擦运动。所述插销42可以在所述导向单元41内滑动，优选的，所述导向单元41由低摩擦结构或材料制成，以降低插销42在所述导向单元41内滑动的摩擦力。当所述驱动单元31驱动所述作用块32在工件台面1上沿着第一基准线a往返运动时，带动所述插销42沿着第二基准线b伸出所述导向单元41或缩进所述导向单元41内。

本实施例中，所述安全销组件还包括一复位单元43，所述复位单元43包括复位板和若干个阻尼，所述若干个阻尼分别与所述复位板和所述插销42相连，在所述插销42处于伸出所述导向单元41的状态时，所述复位单元43使所述插销42处于缩进所述导向单元41内的趋势。

如图1所示，当所述插销42包括第一端421和第二端422，所述插销的第一端421与所述作用块32的A端接触时，插销42的第二端422缩进所述导向单元41内，此时处于未锁紧的状态，所述驱动单元31驱动所述作用块32沿着第一基准线a的方向移动，所述插销42的第一端421从作用块的A端通过所述斜面滑动到所述作用块的B端，由于所述作用块的B端较所述作用块的A端厚，所述插销42的第一端421沿着第二基准线b的方向移动，所述复位单元43的阻尼被拉伸，所述插销42在导向单元41的限制下，伸出所述导向单元41，此时处于锁紧的状态。

优选的，可以在作用块32行程的极限位置设置一限位单元5，使所述作用块32在工件台面1处于锁紧的状态时不再移动，也可以在插销42行程的极限位置设置位置传感器，以检测确认插销42已伸出所述导向单元41或缩进所述导向单元41内，继而进行后续工作流程。

同时，本实施例还提供了一种工件台，包括一工作台面1和若干个所述安全装置；所述安全装置固定在所述工作台面1上，所述工作台运动时，带动所述安全装置一起运动，具体的，所述作用块32随同工件台一同运动；所述安全装置的作用块32与所述工作台面1相连接。在工件台移入移出流程中，当所述工件台运动到制定位置或上升至一定高度时，所述驱动单元31驱动所述作用块32沿着第一基准线a往返运动，使所述插销42深处所述导向单元41，实现所述工件台的垂向位置的锁紧固定。其中，所述驱动单元设置于内部框架上，所述导向单元41可以设置于所述内部框架1上，所述复位单元43可以设置于所述内部框架上。

所述安全装置还可以不设置驱动单元，所述作用块32固定连接于所述工件台面1，工件台移入移出时，所述作用块32随工件台一同沿第一基准线a运动。

如图1所示，所述安全装置固定在工件台面1上，当工件台面1沿第一基准线a方向移动时，带动所述安全装置同时运动，所述安全装置包括作用块组件3和安全销组件4，所述作用块组件3包括驱动元件31和作用块32，所述作用块32与所述工件台面1接触，并且能够在工件台面1上沿着第一基准线a移动。所述工件台面1与所述作用块32接触的表面可以设置低摩擦材料，例如尼龙和特氟龙等，以实现工件台面1和作用块32的低摩擦运动，当然，也可以在工件台面1上设置导轨，将作用块32与导轨固结，并可以在导轨上沿着第一基准线a往返运动，同样实现工件台面1和作用块32的低摩擦运动。

所述工件台可以设置若干个安全装置，优选的，安全装置的数量大于等于两个，例如是两个、四个和六个等，所述安全装置均匀或不均匀的设置在所述工作台面1上，实现对工件台的位置限制，起到安全保护作用，同时也可实现解锁功能，实现工件台的移入移出。

本实施例还提供了一种光刻机，包括机架和上述工件台，所述工件台位于所述机架内，所述机架上设置有销孔2。所述销孔2的数量可以与所述安全装置的数量相匹配，所述安全装置的插销42伸进所述销孔2时，所述工件台被锁紧，所述插销42伸出所述销孔2时，所述工件台被解锁，可以移入移出。通过多个安全装置的搭配，可以实现所述工件台的定位和安全防护。

实施例二

请参阅图3-图4，与实施例一不同的是，本实施例中所述插销42上设置了可动结构423，所述可动结构423与所述作用块32为异极磁性材料制成，可依靠磁力相互吸引以保持彼此始终紧贴，实现实施例一中的复位单元43的复位功能，进一步缩短所述安全装置的轴向尺寸。

实施例三

请参阅图5-图6，与实施例一、二的区别在于，本实施例中，所述插销42的一端上设置有可动结构423，可动结构423可以是滚轮或滑块或其他可以在导轨上沿导轨运动的结构，所述作用块32的斜面上设置有导轨323，所述导轨323可以是轮槽、直线导轨、滑轨等形式，所述可动结构423能够沿所述导轨323运动且由所述导轨323限位。随着作用块32的沿着第一基准线a往返运动，可动结构423与所述作用块32的第一端或第二端接触，实现插销42沿着第二基准线b伸出所述导向单元41或缩进所述导向单元41内。

综上，在本发明实施例提供的一种安全装置、工件台及光刻机中，所述安全装置固定在工件台面上，所述工件台面运动时，带动所述安全装置一起运动，所述安全装置的作用块组件位于第一基准线上，安全销组件位于第二基准线上，所述第一基准线和所述第二基准线之间具有一小于或等于90度的夹角，所述作用块组件包括驱动单元和作用块，所述驱动单元能够驱动所述作用块沿第一基准线方向往返运动，带动所述插销沿着第二基准线运动，即带动所述插销伸出所述导向单元，也可以带动所述插销部分或全部伸出所述导向单元或缩进所述导向单元内，通过驱动单元与作用块的配合，使得作用块组件与安全销组件变为非轴向的布置，将轴向尺寸大大压缩，满足了轴向尺寸紧张场合的使用要求。

上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。

Claims (13)

1.一种安全装置，其特征在于，所述安全装置包括作用块组件和安全销组件，所述作用块组件位于第一基准线上，所述安全销组件位于第二基准线上，所述第一基准线和所述第二基准线之间具有一小于或等于90度的夹角；

所述作用块组件包括驱动单元和作用块，所述驱动单元能够驱动所述作用块沿着所述第一基准线往返运动；

所述安全销组件包括导向单元和设置于所述导向单元内的插销，所述插销包括第一端和第二端，所述第二端较所述第一端远离所述作用块；

所述驱动单元驱动所述作用块沿着所述第一基准线往返运动时，所述作用块带动所述插销的第二端沿着所述第二基准线伸出所述导向单元或缩进所述导向单元内。

2.如权利要求1所述的安全装置，其特征在于，所述第一基准线和所述第二基准线垂直。

3.如权利要求1所述的安全装置，其特征在于，所述作用块包括一斜面、A端和B端，所述作用块的A端和B端分别于所述斜面的两端连接，并且在沿所述第二基准线方向上所述A端较所述B端尺寸小。

4.如权利要求3所述的安全装置，其特征在于，当所述插销的第一端接触所述作用块的A端时，所述插销缩进所述导向单元内；当所述插销的第一端接触所述作用块的B端时，所述插销伸出所述导向单元。

5.如权利要求4所述的安全装置，其特征在于，所述作用块上设置有一导轨，所述插销的第一端设置有可动结构，所述可动结构能够沿着所述导轨运动。

6.如权利要求5所述的安全装置，其特征在于，所述导轨包括轮槽、直线导轨或滑轨，所述可动结构包括滚轮或滑块。

7.如权利要求6所述的安全装置，其特征在于，所述作用块与所述滚轮的材料为异极磁性材料。

8.如权利要求3所述的安全装置，其特征在于，所述定位销组件还包括复位单元，所述复位单元套接在所述插销，在所述插销处于伸出所述导向单元的状态时，所述插销处于缩进的趋势。

9.一种工件台，其特征在于，包括一工作台面和若干个如权利要求1-8中任一项所述的安全装置；

所述安全装置固定在所述工作台面上，所述工作台面运动时，带动所述安全装置一起运动；

所述安全装置的作用块与所述工作台面接触，所述驱动单元驱动所述作用块在所述工作台面上沿着第一基准线往返运动。

10.如权利要求9所述的工件台，其特征在于，所述安全装置的数量大于等于两个。

11.如权利要求9所述的工件台，其特征在于，所述工作台面上设置有导轨，所述驱动单元驱动所述作用块在所述导轨上沿着第一基准线往返运动。

12.一种光刻机，其特征在于，包括机架和如权利要求9-11中任一项所述的工件台，所述工件台设置于所述机架内，所述机架上设置有销孔。

13.如权利要求12所述的光刻机，其特征在于，所述销孔的数量与所述安全装置的数量匹配。