TWI709003B - 安全裝置、工件台及光刻機 - Google Patents

Abstract

本發明提供了一種安全裝置、工件台及光刻機，所述安全裝置固定在工件台面上，所述工件台面運動時，帶動所述安全裝置一起運動，所述安全裝置的作用塊組件位於第一軸向上，安全銷組件位於第二軸向上，所述第一軸向和所述第二軸向不平行，所述作用塊組件包括驅動單元和作用塊，所述驅動單元用於驅動所述作用塊往返運動，帶動所述插銷伸出所述導向單元的端面或縮進所述導向單元的端面內，藉由驅動單元與作用塊的配合，使得作用塊組件與安全銷組件變為非軸向的佈置，將軸向尺寸大大壓縮，滿足了軸向尺寸緊張場合的使用要求。

Description

安全裝置、工件台及光刻機

本發明涉及半導體製造領域，尤其涉及一種安全裝置、工件台及光刻機。

目前，在光刻領域內，工件台作為光刻機整機系統中一個獨立的精密運動平台，工件台可以移入移出光刻機從而工件台或光刻機等其他結構可以進行維護，安全裝置用來對工件台進行定位和保護。安全裝置藉由作用塊組件實現安全銷在銷孔內的伸出伸回，繼而實現對設備的位置限制，在工件台移入移出過程中起到安全保護作用。

習知的安全裝置，一般是氣缸、插銷藉由防轉裝置連接，而氣缸、插銷和防轉裝置均設置在一條軸上，氣缸的活塞與插銷直接相連，活塞的伸縮運動帶動插銷伸進或退出銷孔，然而，習知的安全裝置軸向佔用空間較大，在軸向尺寸緊張的場合無法應用。

本發明的目的在於提供一種安全裝置、工件台及光刻機，以解決習知的安全裝置軸向佔用空間較大，在軸向尺寸緊張的場合無法應用等問題。

為了達到上述目的，本發明提供了一種安全裝置，所述安全裝置包括作用塊組件和安全銷組件，所述作用塊組件沿第一軸向設置，所述安全銷組件沿第二軸向設置，所述第一軸向和所述第二軸向不平行；所述作用塊組件包括驅動單元和作用塊，所述驅動單元用於驅動所述作用塊沿著所述第一軸向進行往返運動；所述安全銷組件包括導向單元和設置於所述導向單元內的插銷；所述驅動單元驅動所述作用塊沿著所述第一軸向往返運動時，所述作用塊帶動所述插銷沿著所述第二軸向伸出所述導向單元或縮進所述導向單元內。

可選的，所述第一軸向和所述第二軸向之間具有一小於或等於90度的夾角。

可選的，所述第一軸向和所述第二軸向垂直。

可選的，所述作用塊包括一斜面、第一端和第二端，所述作用塊的所述第一端和所述第二端分別與所述斜面的兩端連接，並且在沿所述第二軸向方向上所述作用塊在所述第一端的尺寸小於在所述第二端的尺寸。

可選的，所述插銷包括第一端和第二端，所述插銷的第二端較所述插銷的第一端遠離所述作用塊，所述驅動單元驅動所述作用塊沿著所述第一軸向往返運動時，所述作用塊帶動所述插銷的第二端沿著所述第二軸向伸出所述導向單元或縮進所述導向單元內。

可選的，當所述插銷的所述第一端接觸所述作用塊的所述第一端時，所述插銷縮進所述導向單元內；當所述插銷的所述第一端接觸所述作用塊的所述第二端時，所述插銷伸出所述導向單元。

可選的，所述作用塊上設置有一導軌，所述插銷的第一端設置有可動結構，所述可動結構能夠沿著所述導軌運動。

可選的，所述導軌包括輪槽、直線導軌或滑軌，所述可動結構包括滾輪或滑塊。

可選的，所述作用塊與所述滾輪的材料為異極磁性材料。

可選的，所述安全銷組件還包括復位單元，所述復位單元套接在所述插銷，在所述插銷處於伸出所述導向單元的狀態時，所述插銷具有縮進的趨勢。

本發明還提供了一種工件台，包括一工件台面和至少一個所述安全裝置；所述安全裝置固定在所述工件台面上，所述工件台面運動時，帶動所述安全裝置一起運動；所述安全裝置的作用塊與所述工件台面接觸，所述驅動單元驅動所述作用塊在所述工件台面上沿著第一軸向往返運動。

可選的，所述安全裝置的數量大於等於兩個。

可選的，所述工件台面上設置有導軌，所述驅動單元驅動所述作用塊在所述導軌上沿著第一軸向往返運動。

本發明還提供了一種光刻機，包括機架和如所述工件台，所述工件台設置於所述機架內，所述機架上設置有銷孔，當安全裝置的插銷沿著第二軸向伸進所述銷孔時，所述工件台被鎖緊。

可選的，所述銷孔的數量與所述安全裝置的數量匹配。

可選的，當所述安全裝置的所述插銷沿著所述第二軸向伸出所述銷孔時，所述工件台被解鎖。

本發明提供了一種安全裝置、工件台及光刻機，所述安全裝置固定在工件台面上，所述工件台面運動時，帶動所述安全裝置一起運動，所述安全裝置的作用塊組件位於第一軸向上，安全銷組件位於第二軸向上，所述第一 軸向和所述第二軸向之間具有一小於或等於90度的夾角，所述作用塊組件包括驅動單元和作用塊，所述驅動單元能夠驅動所述作用塊沿第一軸向方向往返運動，帶動所述插銷沿著第二軸向運動，即帶動所述插銷伸出所述導向單元，也可以帶動所述插銷部分或全部伸出所述導向單元或縮進所述導向單元內，藉由驅動單元與作用塊的配合，使得作用塊組件與安全銷組件變為非軸向的佈置，將軸向尺寸大大壓縮，滿足了軸向尺寸緊張場合的使用要求。

a:第一軸向

b:第二軸向

1:工件台面

2:銷孔

3:作用塊組件

4:安全銷組件

5:限位單元

31:驅動單元

32:作用塊

41:導向單元

42:插銷

43:復位單元

323:輪槽

421:插銷的第一端

422:插銷的第二端

423:可動結構

第1圖及第2圖為實施例一提供的安全裝置的示意圖。

第3圖及第4圖為實施例二提供的安全裝置的示意圖。

第5圖及第6圖為實施例三提供的安全裝置的示意圖。

下面將結合示意圖對本發明的具體實施方式進行更詳細的描述。根據下列描述和申請專利範圍，本發明的優點和特徵將更清楚。需說明的是，圖式均採用非常簡化的形式且均使用非精准的比例，僅用以方便、清晰地輔助說明本發明實施例的目的。

實施例一

參閱第1圖，其為本實施例提供的安全裝置的示意圖，包括作用塊組件3和安全銷組件4，所述作用塊組件3設置于第一軸向a上，所述安全銷組件4設置於第二軸向b上，所述第一軸向a和所述第二軸向b之間具有一小於或等於90度的夾角；所述作用塊組件3包括驅動單元31和作用塊32，所述驅動單元31能夠驅動所述作用塊32沿著所述第一軸向a往返運動；所述安全銷組件4包括導向單元41和設置於所述導向單元41內的插銷42，所述插銷42包括第一端421和第 二端422，所述第二端422較所述第一端421遠離所述作用塊32；所述驅動單元31驅動所述作用塊32沿著第一軸向b往返運動時，帶動所述插銷42的第一端421沿著第二軸向b運動，即帶動所述插銷42伸出所述導向單元41，也可以帶動所述插銷42部分或全部縮進所述導向單元41內。藉由驅動單元31與作用塊42的配合，使得作用塊組件3與安全銷組件4變為非軸向(非設置在同一條軸向上)的佈置，將軸向尺寸大大壓縮，滿足了軸向尺寸緊張場合的使用要求。

請繼續參閱第1圖，所述作用塊組件3設置於第一軸向a上，所述安全銷組件4設置於第二軸向b上，所述第一軸向a和所述第二軸向b之間的夾角小於或等於90度，使得作用塊組件3與安全銷組件4變為非軸向的佈置，當然，所述作用塊組件3的軸線與所述安全銷組件4的軸線之間的夾角既可以是銳角，也可以是鈍角。本實施例中，第1圖中所示所述作用塊組件3與安全銷組件4正交設置，即第一軸向a與第二軸向b垂直，以使所述安全裝置的軸向尺寸進一步縮小。

具體的，請參閱第1圖至第3圖，其為實施例一提供的安全裝置的示意圖，接下來，將結合第1圖至第3圖來對本發明提供的安全裝置作進一步描述。

所述作用塊32包括一斜面、A端和B端，所述A端和所述B端分別與所述斜面的兩端連接，所述A端在所述第二軸向b方向上尺寸較所述B端小，所述驅動單元31可以設置在作用塊的A端方向、B端方向或其他易於驅動作用塊32的位置，以驅動所述作用塊32在工件台面1上沿著第一軸向a進行往返運動。一般的，工件台面指工件台的側面。

所述安全銷組件4包括插銷42和導向單元41，所述插銷42穿過所述導向單元41，所述插銷42的第一端421與所述作用塊32接觸，所述插銷42的第二端422穿過所述導向單元41。所述插銷42的第一端421可以設置一可動結構 423，例如是滾輪、滑塊等，所述可動結構423與所述作用塊32接觸，實現與作用塊32的低摩擦運動，此處也可不設置可動結構423，藉由使用低摩擦材料，例如尼龍和特氟龍等，實現與作用塊32低摩擦運動。所述插銷42可以在所述導向單元41內滑動，較佳的，所述導向單元41由低摩擦結構或材料製成，以降低插銷42在所述導向單元41內滑動的摩擦力。當所述驅動單元31驅動所述作用塊32在工件台面1上沿著第一軸向a往返運動時，帶動所述插銷42沿著第二軸向b伸出所述導向單元41或縮進所述導向單元41內。

本實施例中，所述安全銷組件還包括一復位單元43，所述復位單元43包括復位板和若干個阻尼，所述若干個阻尼分別與所述復位板和所述插銷42相連，在所述插銷42處於伸出所述導向單元41的狀態時，所述復位單元43使所述插銷42處於縮進所述導向單元41內的趨勢。

如第1圖所示，當所述插銷的第一端421與所述作用塊32的A端接觸時，插銷42的第二端422縮進所述導向單元41內，此時處於未鎖緊的狀態，所述驅動單元31驅動所述作用塊32沿著第一軸向a的方向移動，所述插銷42的第一端421從作用塊的A端藉由所述斜面滑動到所述作用塊32的B端，由於所述作用塊32的B端較所述作用塊32的A端厚，所述插銷42的第一端421沿著第二軸向b的方向移動，所述復位單元43的阻尼被拉伸，所述插銷42在導向單元41的限制下，伸出所述導向單元41，此時處於鎖緊的狀態。

較佳的，可以在作用塊32行程的極限位置設置一限位單元5，使所述作用塊32在工件台面1處於鎖緊的狀態時不再移動，也可以在插銷42行程的極限位置設置位置傳感器，以檢測確認插銷42已伸出所述導向單元41或縮進所述導向單元41內，繼而進行後續工作流程。

同時，本實施例還提供了一種工件台，包括一工件台面1和若干個所述安全裝置；所述安全裝置固定在所述工件台面1上，所述工件台運動時， 帶動所述安全裝置一起運動，具體的，所述作用塊32隨同工件台一同運動；所述安全裝置的作用塊32與所述工件台面1相連接。在工件台移入移出流程中，當所述工件台運動到制定位置或上升至一定高度時，所述驅動單元31驅動所述作用塊32沿著第一軸向a往返運動，使所述插銷42伸出所述導向單元41，實現所述工件台的垂向位置的鎖緊固定。其中，所述驅動單元設置於內部框架上，所述導向單元41可以設置於所述內部框架上，所述復位單元43可以設置於所述內部框架上。

所述安全裝置還可以不設置驅動單元，所述作用塊32固定連接於所述工件台面1，工件台移入移出時，所述作用塊32隨工件台一同沿第一軸向a運動。

如第1圖所示，所述安全裝置固定在工件台面1上，當工件台面1沿第一軸向a方向移動時，帶動所述安全裝置同時運動，所述安全裝置包括作用塊組件3和安全銷組件4，所述作用塊組件3包括驅動單元31和作用塊32，所述作用塊32與所述工件台面1接觸，並且能夠在工件台面1上沿著第一軸向a移動。所述工件台面1與所述作用塊32接觸的表面可以設置低摩擦材料，例如尼龍和特氟龍等，以實現工件台面1和作用塊32的低摩擦運動，當然，也可以在工件台面1上設置導軌，將作用塊32與導軌固結，並可以在導軌上沿著第一軸向a往返運動，同樣實現工件台面1和作用塊32的低摩擦運動。

所述工件台可以設置若干個安全裝置，較佳的，安全裝置的數量大於等於兩個，例如是兩個、四個和六個等，所述安全裝置均勻或不均勻的設置在所述工作台面1上，實現對工件台的位置限制，起到安全保護作用，同時也可實現解鎖功能，實現工件台的移入移出。

本實施例還提供了一種光刻機，包括機架和上述工件台，所述工件台位於所述機架內，所述機架上設置有銷孔2。所述銷孔2的數量可以與所述 安全裝置的數量相匹配，所述安全裝置的插銷42伸進所述銷孔2時，所述工件台被鎖緊，所述插銷42伸出所述銷孔2時，所述工件台被解鎖，可以移入移出。藉由多個安全裝置的搭配，可以實現所述工件台的定位和安全防護。

實施例二

請參閱第3圖及第4圖，與實施例一不同的是，本實施例中所述插銷42上設置了可動結構423，所述可動結構423與所述作用塊32為異極磁性材料製成，可依靠磁力相互吸引以保持彼此始終緊貼，實現實施例一中的復位單元43的復位功能，進一步縮短所述安全裝置的軸向尺寸。

實施例三

請參閱第5圖及第6圖，與實施例一、二的區別在於，本實施例中，所述插銷42的一端上設置有可動結構423，可動結構423可以是滾輪或滑塊或其他可以在導軌上沿導軌運動的結構，所述作用塊32的斜面上設置有導軌323，所述導軌323可以是輪槽、直線導軌、滑軌等形式，所述可動結構423能夠沿所述導軌323運動且由所述導軌323限位。隨著作用塊32的沿著第一軸向a往返運動，可動結構423與所述作用塊32的第一端或第二端接觸，實現插銷42沿著第二軸向b伸出所述導向單元41或縮進所述導向單元41內。

綜上，在本發明實施例提供的一種安全裝置、工件台及光刻機中，所述安全裝置固定在工件台面上，所述工件台面運動時，帶動所述安全裝置一起運動，所述安全裝置的作用塊組件位於第一軸向上，安全銷組件位於第二軸向上，所述第一軸向和所述第二軸向之間具有一小於或等於90度的夾角，所述作用塊組件包括驅動單元和作用塊，所述驅動單元能夠驅動所述作用塊沿第一軸向方向往返運動，帶動所述插銷沿著第二軸向運動，即帶動所述插銷伸出所述導向單元，也可以帶動所述插銷部分或全部伸出所述導向單元或縮進所述導向單元內，藉由驅動單元與作用塊的配合，使得作用塊組件與安全銷組件 變為非軸向的佈置，將軸向尺寸大大壓縮，滿足了軸向尺寸緊張場合的使用要求。

上述僅為本發明的較佳實施例而已，並不對本發明起到任何限制作用。任何所屬技術領域具有通常知識者，在不脫離本發明的技術方案的範圍內，對本發明揭露的技術方案和技術內容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本發明的技術方案的內容，仍屬本發明的保護範圍之內。

a:第一軸向

b:第二軸向

1:工件台面

2:銷孔

3:作用塊組件

4:安全銷組件

5:限位單元

31:驅動單元

32:作用塊

41:導向單元

42:插銷

43:復位單元

421:插銷的第一端

422:插銷的第二端

423:可動結構

Claims (14)

1. 一種安全裝置，其包括作用塊組件和安全銷組件，該作用塊組件沿第一軸向設置，該安全銷組件沿第二軸向設置，該第一軸向和該第二軸向不平行；該作用塊組件包括驅動單元和作用塊，該驅動單元用於驅動該作用塊沿著該第一軸向進行往返運動；該安全銷組件包括導向單元和設置於該導向單元內的插銷；該驅動單元驅動該作用塊沿著該第一軸向往返運動時，該作用塊帶動該插銷沿著該第二軸向伸出該導向單元或縮進該導向單元內；其中，該插銷的第一端設置有可動結構，該作用塊上設置有一導軌，該可動結構能夠沿著該導軌運動，該可動結構與該作用塊為異極性材料製成。
2. 如請求項1所述的安全裝置，其中該第一軸向和該第二軸向之間具有一小於或等於90度的夾角。
3. 如請求項2所述的安全裝置，其中該第一軸向和該第二軸向垂直。
4. 如請求項1所述的安全裝置，其中該作用塊包括一斜面、第一端和第二端，該作用塊的該第一端和該第二端分別與該斜面的兩端連接，並且在沿該第二軸向方向上該作用塊在該第一端的尺寸小於在該第二端的尺寸。
5. 如請求項4所述的安全裝置，其中該插銷包括第一端和第二端，該插銷的第二端較該插銷的第一端遠離該作用塊，該驅動 單元驅動該作用塊沿著該第一軸向往返運動時，該作用塊帶動該插銷的第二端沿著該第二軸向伸出該導向單元或縮進該導向單元內。
6. 如請求項5所述的安全裝置，其中，當該插銷的該第一端接觸該作用塊的該第一端時，該插銷縮進該導向單元內；當該插銷的該第一端接觸該作用塊的該第二端時，該插銷伸出該導向單元。
7. 如請求項6所述的安全裝置，其中該導軌包括輪槽、直線導軌或滑軌，該可動結構包括滾輪或滑塊。
8. 如請求項4所述的安全裝置，其中該安全銷組件進一步包括復位單元，該復位單元套接在該插銷，在該插銷處於伸出該導向單元的狀態時，該插銷具有縮進的趨勢。
9. 一種工件台，其包括一工件台面和至少一個如請求項1至8中任一項所述的安全裝置；該安全裝置固定在該工件台面上，該工件台面運動時，帶動該安全裝置一起運動；該安全裝置的作用塊與該工件台面接觸，該驅動單元驅動該作用塊在該工件台面上沿著第一軸向往返運動。
10. 如請求項9所述的工件台，其中該安全裝置的數量大於等於兩個。
11. 如請求項9所述的工件台，其中該工件台面上設置有導軌，該驅動單元驅動該作用塊在該導軌上沿著第一軸向往返運動。
12. 一種光刻機，其包括機架和如請求項9至11中任一項所述 的工件台，該工件台設置於該機架內，該機架上設置有銷孔，當安全裝置的插銷沿著第二軸向伸進該銷孔時，該工件台被鎖緊。
13. 如請求項12所述的光刻機，其中該銷孔的數量與該安全裝置的數量匹配。
14. 如請求項12所述的光刻機，其中，當該安全裝置的該插銷沿著該第二軸向伸出該銷孔時，該工件台被解鎖。

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