CN109794109A - 一种气体过滤装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种气体过滤装置。本发明的气体过滤装置，包括风机过滤机组和多个离子风棒；风机过滤机组包括风机、气体管道、第一过滤组件和第二过滤组件，风机、第一过滤组件和第二过滤组件均设置在气体管道内，且第一过滤组件、风机和第二过滤组件沿气体管道的出风方向依次设置，风机为轴流风机，气体管道的进风口用于吸入外界空气，离子风棒设置在气体管道的出风口，第一过滤组件和第二过滤组件用于将进风口吸入的外界空气过滤为清洁空气，离子风棒用于将由出风口吹出的清洁空气电离为带有电荷的空气。本发明的气体过滤装置可同时保障基板洁净度及消除基板静电，工作效率高，可提高产品良率。

Description

一种气体过滤装置

技术领域

本发明涉及半导体及平板显示技术领域，尤其涉及一种气体过滤装置。

背景技术

在平板显示与半导体行业中，为了保证显示面板的质量，生产现场的环境质量一般需要进行严格的控制，以避免环境中的杂质对显示面板的生产造成影响。

目前，在生产时，基板在制作及传输过程中会产生和积累静电电荷，并可能引发静电击穿现象，为了避免静电荷对基板等产品造成影响，可以利用离子棒消除基板表面的静电电荷。具体的，离子棒可以配合气源使用，离子棒通电后，在离子棒的周围产生高压电场，气源所吹出的空气通过离子棒所产生的高压电场后产生带电离子，带电离子随气源的气流运动至基板表面，与基板表面的静电电荷中和，达到消除基板表面静电的目的。

但是，目前利用离子棒消除基板表面的静电，离子棒的电离范围较小，对于静电荷的去除效果较差，影响到了基板的生产质量。

发明内容

本发明提供一种气体过滤装置，具有较大的静电消除范围，能够提高产品良率。

本发明提供一种气体过滤装置，包括风机过滤机组和多个离子风棒；风机过滤机组包括风机、气体管道、第一过滤组件和第二过滤组件，风机、第一过滤组件和第二过滤组件均设置在气体管道内，且第一过滤组件、风机和第二过滤组件沿气体管道的出风方向依次设置，风机为轴流风机，气体管道的进风口用于吸入外界空气，离子风棒设置在气体管道的出风口，第一过滤组件和第二过滤组件用于将进风口吸入的外界空气过滤为清洁空气，离子风棒用于将由出风口吹出的清洁空气电离为带有电荷的空气。

在一种可能的实施方式中，气体过滤装置还包括挡板，挡板盖设在出风口上并封闭出风口与离子风棒之间的间隙，以使出风口吹出的清洁空气经由离子风棒排出；其中，离子风棒在出风口覆盖的范围内均匀排布。

在一种可能的实施方式中，出风口的截面为矩形，多个离子风棒沿出风口的长度方向和宽度方向呈矩阵式排列。

在一种可能的实施方式中，离子风棒包括壳体和离子针；

壳体具有两端开口的容置腔，容置腔的一端开口朝向第二过滤组件并形成进风端，另一端开口背离第二过滤组件并形成出风端，离子针设置在容置腔内，且离子针的第一端与容置腔的进风端相对固定，离子针的第二端向容置腔的出风端伸出；容置腔的出风端的内径大于容置腔的进风端的内径。

在一种可能的实施方式中，容置腔的出风端的横截面积沿进风端至出风端的方向逐渐增大，且容置腔具有流线型腔壁。

在一种可能的实施方式中，容置腔的进风端具有至少两个，且进风端的延伸方向与离子针的长度方向相互垂直。

在一种可能的实施方式中，气体过滤装置还包括多个可调基座，可调基座与离子风棒一一对应设置，且可调基座第一端与离子风棒连接，可调基座第二端固定在出风口内；可调基座的第一端用于相对于第二端偏转，以使离子风棒的指向与出风口的出风方向之间具有可调的夹角。

在一种可能的实施方式中，进风口的横截面积可以调节。

在一种可能的实施方式中，第一过滤组件包括至少一个第一滤网，第二过滤组件包括至少一个第二滤网，第一滤网的滤孔大小大于第二滤网的滤孔大小。

在一种可能的实施方式中，风机为多个，且多个风机沿与出风方向垂直的方向并排排列在气体管道内。

本发明提供的气体过滤装置，包括风机过滤机组和多个离子风棒；风机过滤机组包括风机、气体管道、第一过滤组件和第二过滤组件，风机、第一过滤组件和第二过滤组件均设置在气体管道内，且第一过滤组件、风机和第二过滤组件沿气体管道的出风方向依次设置，气体管道的进风口用于吸入外界空气，离子风棒设置在气体管道的出风口，第一过滤组件和第二过滤组件用于将进风口吸入的外界空气过滤为清洁空气，离子风棒用于将由出风口吹出的清洁空气电离为带有电荷的空气。通过风机过滤机组可吸入外界空气并将其过滤为清洁空气，外界空气由进风口进入气体管道，经过第一过滤组件和第二过滤组件的两级过滤成为清洁空气，风机可提高空气压力，出风口设置的多个离子风棒同时对出风口吹出的压力较高的清洁空气进行电离，可形成大量带有正负电荷的清洁空气，带电荷的清洁空气的覆盖范围较广且分布较为均匀，其可有效中和基板表面各部位的静电电荷，对基板表面静电电荷的去除效果较好。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例。对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种气体过滤装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的离子风棒的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的气体过滤装置的气体流向示意图；

图4为本发明实施例提供的另一种气体过滤装置的结构示意图。

附图标记说明：

100—气体过滤装置；110—风机过滤机组；111—气体管道；112—风机；113—第一过滤组件；114—第二过滤组件；115—进风口；116—出风口；117—挡板；120—离子风棒；121—壳体；1211—容置腔；1212—进风端；1213—出风端；122—离子针。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

半导体及平板显示行业中，在制作显示面板时，一方面，若基板表面上存在灰尘、毛发等异物，后续在基板上涂覆色阻膜形成彩色滤光片时就会导致膜面褶皱，这会降低产品的质量，严重时甚至会导致彩色滤光片不能使用而使基板报废；并且，在显示面板的长期使用过程中，若基板和膜面之间存在异物，显示器产生的热量可能导致异物的性质发生变化，进而可能对显示面板造成影响，或可能致使显示面板损坏。然而，制作和传输显示面板的设备在运行过程中都会产生异物，因而需要对生产制作显示面板的空间环境进行优化，除去空气中的异物，以保证基板的洁净度。

另一方面，由于基板在制作过程中会产生静电，并且在传输基板的工艺流程中，由于基板与设备、传送带、导轨、机械手等的接触和摩擦，基板表面积聚的静电电荷会越来越多。对于主要材质为玻璃等绝缘材料的基板，其表面附着的静电电荷难以失散，而在基板表面积累了大量静电电荷之后，容易发生静电击穿现象，这会降低显示面板的品质，甚至损伤显示面板。因而需要消除基板表面附着的静电电荷，避免发生静电击穿，提高显示面板的良率。

目前，通常是在生产制作显示面板的无尘室中安装风机过滤机组，通过风机过滤机组吸入环境空气，并对环境空气进行过滤，从而改善无尘室环境，去除空气中的异物，从而确保基板表面不会残留异物；采用离子棒消除基板表面的静电电荷，通过高压发生器与离子棒配合使用，高压气流通过离子棒电离为大量带有正负电荷的气团，这些带正负电荷的气团可将基板表面的静电电荷中和掉，从而达到消除基板静电的目的。

由于是分别通过风机过滤机组对环境空气进行过滤来保证基板表面的洁净度，和通过离子棒来消除基板表面的静电电荷，因此要分别单独设置风机过滤机组和离子棒，这比较占用空间，并且两者需要分别操作，工作效率较低；并且，需要单独为离子棒提供动力源，离子棒需配合高压发生器使用，以为离子棒提供高压气体，这造成了能源浪费；同时，在离子棒的长期使用过程中，离子棒内部也会附着灰尘，若灰尘得不到及时清理的话，其也会作为异物发生源，可能导致基板附着灰尘。

为了解决上述技术问题中的至少一者，本实施例提供了一种气体过滤装置，以在保证基板洁净度的同时，消除基板表面的静电电荷，提高产品的良品率，气体过滤装置的结构设置和运行操作均较为简单，工作效率较高，并且可减少能源消耗。

图1为本发明实施例提供的一种气体过滤装置的结构示意图。如图1所示，本实施例提供的气体过滤装置100包括风机过滤机组110和多个离子风棒120；风机过滤机组110包括风机112、气体管道111、第一过滤组件113和第二过滤组件114，风机112、第一过滤组件113和第二过滤组件114均设置在气体管道111内，且第一过滤组件113、风机112和第二过滤组件114沿气体管道111的出风方向依次设置，风机112为轴流风机，气体管道111的进风口115用于吸入外界空气，离子风棒120设置在气体管道111的出风口116，第一过滤组件113和第二过滤组件114用于将进风口115吸入的外界空气过滤为清洁空气，离子风棒120用于将由出风口116吹出的清洁空气电离为带有电荷的空气。

如图1所示，本实施例的气体过滤装置100由风机过滤机组110和多个离子风棒120组成，其中，风机过滤机组110用于将外界空气过滤为清洁空气，改善制作生产显示面板的无尘室的环境，进而保障基板表面的洁净度；离子风棒120用于将风机过滤机组110吹出的清洁空气电离为带有正负电荷的空气，带有正负电荷的空气可以与基板表面的静电电荷中和，从而消除基板表面静电。通过气体过滤装置100可同时改善无尘室环境，避免基板表面吸附异物，保障基板洁净度，同时可消除基板静电，降低异物和静电对基板产生的影响，提高产品良率。

具体的，本实施例的气体过滤装置100中，风机过滤机组110主要由风机112、气体管道111、第一过滤组件113和第二过滤组件114构成，气体管道111的两端分别连通风机过滤机组110的进风口115和出风口116，气体管道111内沿出风方向依次设置有第一过滤组件113、风机112和第二过滤组件114，第一过滤组件113和第二过滤组件114均用于对进入气体管道111的空气进行过滤，风机112用于增大进入气体管道111的压力，使出风口116输送出的空气压力较大。

其中，风机112可以为轴流风机，进入轴流风机的空气不改变其原有的流向，经第一过滤组件113过滤的外界空气可通过轴流风机直接吹送至第二过滤组件114，再经第二过滤组件114过滤形成清洁空气并吹送至出风口116。这样风机过滤机组中的气体流速较高，气体循环较快，风机112工作效率较高。

具体的，外界空气从进风口115进入气体管道111，设置于第一过滤组件113和第二过滤组件114之间的风机112可增大气体管道111内的空气压力，也使空气的流动速率更高，进而也可促进外界空气源源不断地进入风机过滤机组110的气体管道111内；进入气体管道111的外界空气先经过第一过滤组件113进行初步过滤，然后沿出风方向流动至第二过滤组件114，第二过滤组件114对其进一步过滤，外界空气经两级过滤之后形成清洁空气，清洁空气沿出风方向流动至出风口116。其中，第二过滤组件114对空气的过滤效果可以优于第一过滤组件113。

在风机过滤机组110的出风口116设置有多个离子风棒120，外界空气在经过风机过滤机组110的两级过滤形成清洁空气，并沿出风方向流动至出风口116之后，清洁空气会通过出风口116设置的离子风棒120。压力较高的清洁空气进入离子风棒120，离子风棒120可对清洁空气进行电离，形成带正负电荷的离子，带正负电荷的离子可以和基板表面的静电电荷中和，消除基板表面的静电电荷。其中，清洁空气形成的带正负电荷的离子中，带正电荷的离子和基板表面带负电荷的静电电荷中和，带负电荷的离子和基板表面带正电荷的静电电荷中和，从而消除基板表面静电电荷。

本实施例中，风机过滤机组110的气体管道111内设置有第一过滤组件113和第二过滤组件114这两级过滤组件对外界空气进行过滤，可确保将外界空气过滤成为不含异物的清洁空气，而风机112可以增大风机过滤机组110内的气体压力，加快空气流动速度，使外界空气持续进入风机过滤机组110的气体管道111内，并且风机112增大出风口116排出的清洁空气的压力；进一步的，出风口116设置有多个离子棒，清洁空气进入离子风棒120后，气体压力进一步增大，通过离子风棒120将高压的清洁空气电离为带电离子，带电离子与基板表面静电电荷中和，从而消除基板静电。

因此，本实施例的气体过滤装置100，利用风机过滤机组110过滤的清洁空气作为离子风棒120的气源，风机过滤机组110吹出的清洁空气的风量大、风速高，进而可使离子风棒120吹出的带电离子的含量更多、覆盖范围更广，通过多个离子风棒120向外吹出带电离子，可使带电离子的分布更均匀，能够有效消除基板表面的静电电荷；同时，由于外界空气经过风机过滤机组110过滤，从离子风棒120吹出的气流为清洁空气，并且风压较大，因而可改善环境空气质量，并可去除基板表面附着的异物，因而本实施例的气体过滤装置100可从消除基板表面静电电荷和保障基板表面洁净度两方面来确保基板品质，提高显示面板良率。另外，由于无需为离子风棒120另外提供气源，气体过滤装置100可相应节省能源。

为了能够提高气体过滤装置100向外界吹出的清洁空气的压力，使吹至基板表面的清洁空气的风压足以除去吸附在基板表面的异物，同时，能够使吹出的清洁空气更多的成为带电离子，以更好的中和基板表面的静电电荷，本实施例的气体过滤装置100还包括挡板117，挡板117盖设在出风口116上并封闭出风口116与离子风棒120之间的间隙，以使出风口116吹出的清洁空气经由离子风棒120排出；其中，离子风棒120在出风口116覆盖的范围内均匀排布。

如图1所示，本实施例的风机过滤机组110中，气体管道111的出风口116上可以盖设有挡板117，多个离子风棒120可以间隔设置在该挡板117上。这样，出风口116未设置离子风棒120的部位是封闭的，因此过滤形成的清洁空气无法从这些部位流动至风机过滤机组110外，所有清洁空气均通过离子风棒120向外界散发；而清洁空气通过离子风棒120时，会被离子风棒120电离为带正负电荷的空气，这些带正负电荷的空气会中和基板静电，由于清洁空气只能从离子风棒120向外散发，因此流动至外界的所有清洁空气均为带电离子，这会增大环境中带电荷空气的占比，确保吹送至基板表面的清洁空气均为带电离子，可以有效中和基板表面的静电电荷，消除静电对基板带来的影响，提高显示面板的品质。其中，依据风机过滤机组110的机身的不同结构形式，出风口116的截面形状可以是多边形平面、圆形平面、椭圆平面或不规则形状平面等多种形式，本实施例不作具体限制。

具体的，所有离子风棒120可以均匀的排布在出风口116盖设的挡板117上，这样通过所有离子风棒120吹出的清洁空气可均匀的扩散至气体过滤装置100周围的环境中，可扩大清洁空气的覆盖范围，保证设置气体过滤装置100的周围环境中均为清洁空气，提高空气的清洁度，避免空气中含有异物，从而避免基板表面吸附空气中的异物；并且，清洁空气从均匀排布的每个离子风棒120中吹出，每个离子风棒120吹出的清洁空气的风压均较高，可确保每个离子风棒120吹出的清洁空气均可去除基板上吸附的异物，而离子风棒120均匀分布则可保证基板的每个部位吸附的异物都能被去除，从降低空气中异物含量、减小基板吸附异物概率和有效去除基板所有部位吸附的异物两方面确保基板的洁净度，有效避免因存在异物而降低基板的品质或对基板造成的损伤。

同时，清洁空气通过均匀排布的离子风棒120，则从所有离子风棒120吹出的带电离子也是均匀分散的，可确保空气中的带电气团均匀分布，每个离子风棒120均提高了带电气团的风压，使从所有离子风棒120吹出的带电气团均能吹送至基板表面的各个部位，进而使基板表面所有部位的静电电荷都能够被带电气团中和，消除基板表面所有部位的静电电荷，确保基板表面的所有静电电荷都能被带电荷的清洁空气中和掉，这样既保证了基板的洁净度，又消除了基板表面的静电电荷，从去除基板表面吸附异物和消除基板表面静电两方面提升基板品质，可有效提升基板良率。

在一种具体的实施方式中，风机过滤机组110的出风口116的截面可以为矩形，多个离子风棒120可以沿出风口116的长度方向和宽度方向呈矩阵式排列。由于基板的形状一般为矩形等规则形状，所以气体管道111的出风口116可以为矩形平面，该矩形平面可以和基板的轮廓形状相对应，以使出风口116吹出的清洁空气可均匀分散在基板周围并均匀吹至基板的各部位，从而让基板表面的洁净度和电荷携带状态更加均一，提高良品率。其中，清洁空气从出风口116设置的多个离子风棒120吹出，由于出风口116为矩形平面，因而所有离子风棒120可以为矩阵式排列，该矩阵式排列形式沿矩形平面的长度方向和宽度方向延伸，以使所有离子风棒120均匀的分布在出风口116的矩形平面上，这样从所有离子风棒120吹出的带电荷的清洁空气可均匀分散在基板周围环境中，确保环境中都是清洁空气，并能够将带电荷的清洁空气均匀吹送至基板的各个部位，进而保证基板表面所有部位的洁净度和消除基板表面所有部位的静电电荷。具体的，离子风棒120的数量和相邻离子风棒120之间的间距，可以根据出风口116的矩形平面的具体尺寸而设置。

可选的，离子风棒120可以包括壳体121和离子针122；壳体121可以具有两端开口的容置腔1211，容置腔1211的一端开口朝向第二过滤组件114并形成进风端1212，另一端开口背离第二过滤组件114并形成出风端1213，离子针122可以设置在容置腔1211内，且离子针122的第一端与容置腔1211的进风端1212相对固定，离子针122的第二端向容置腔1211的出风端1213伸出。

图2为本发明实施例提供的离子风棒的结构示意图。如图2所示，本实施例的离子风棒120由壳体121和离子针122组成，其中，壳体121具有容置腔1211，容置腔1211的两端均为开口形式，一端开口为离子风棒120的进风端1212，而另一端开口则为离子风棒120的出风端1213。离子风棒120设置在风机过滤机组110的出风口116，其进风端1212朝向第二过滤组件114，出风端1213则背离第二过滤组件114，外界空气经过第一过滤组件113和第二过滤组件114两级过滤之后形成的清洁空气进入出风口116，出风口116未设置离子风棒120的部位为封闭状态，则出风口116内的清洁空气全部由离子风棒120的进风端1212进入离子风棒120，清洁空气通过离子风棒120的容置腔1211时，会被容置腔1211内的离子针122电离为带正负电荷的气团，带电气团沿出风方向在容置腔1211内流动至离子风棒120的出风端1213，并从开口的出风端1213流向外界，带正负电荷的气团分布在气体过滤装置100所在的周围空间内，并吹送至基板表面。

图3为本发明实施例提供的气体过滤装置的气体流向示意图。如图3所示，由于风机过滤机组110的出风口116盖设有挡板117，因而未设置离子风棒120的部位是封闭的，清洁空气全部由离子风棒120排出，因而离子风棒120的进风端1212的开口应位于出风口116内，以使出风口116的清洁空气进入离子风棒120的进风端1212，而离子风棒120的出风端1213则应该位于风机过滤机组110外侧，以使清洁空气可通过离子风棒120的出风口116流动至外界。需要说明的是，离子风棒120的出风端1213的开口方向可以和风机过滤机组110的出风方向保持一致，以使清洁空气可以顺利通过离子风棒120的出风口116流向外界；而离子风棒120的进风端1212的开口只需位于风机过滤机组110的出风口116内，以使出风口116内的清洁空气可进入离子风棒120即可，对于离子风棒120的进风端1212的具体开口方向可不作限制。其中，离子针122的一端可以固定在容置腔1211的进风端1212，而另一端则可沿着容置腔1211向出风端1213伸出，因而进风端1212的对应出风端1213开口方向的部位可以是封闭的，以使进风端1212固定离子针122，进风端1212的开口则可以设置在其他部位。

并且，容置腔1211的出风端1213的内径可以大于容置腔1211的进风端1212的内径。由于离子风棒120的进风端1212，也就是容置腔1211的进风端1212开口内径小于风机过滤机组110的出风口116覆盖的面积，因而从出风口116进入离子风棒120的进风端1212的清洁空气的风压较大，这可以保证离子风棒120充分的对清洁空气进行电离；而容置腔1211的出风端1213的内径大于进风端1212，则扩大了从离子风棒120向外吹出的清洁空气的覆盖范围，且带电荷的气团分布的更均匀；那么，均匀排布的每个离子风棒120吹出的清洁空气的覆盖范围均扩大，则清洁空气的覆盖范围更广，空气的洁净度更高，可提高基板的整体洁净度，并且带电荷的气团分布均匀，能有效消除基板表面上各部位的静电电荷。

在容置腔1211的出风端1213的内径大于进风端1212的内径的基础上，为了提高出风端1213的出风速率，确保清洁空气能够顺畅、无阻碍的排出，容置腔1211的出风端1213的横截面积沿进风端1212至出风端1213的方向逐渐增大，且容置腔1211具有流线型腔壁。容置腔1211的出风端1213的横截面积逐渐增大，则从出风端1213吹出的清洁空气的流量是逐渐增大的，这可使吹出的带电荷的清洁空气分布更均匀；并且容置腔1211的腔壁为流线型，则清洁空气在流动过程中不会受到阻碍，其流动速度更快，这样在设置气体过滤装置100的周围环境中，始终充满清洁空气，且流动至基板表面的带电荷清洁空气的气压更高，可更有效的去除基板表面附着的异物和中和基板表面吸附的静电电荷，保障基板表面洁净度和消除基板表面静电，提高气体过滤装置100的工作效率，从而有效提高产品良率。

在一种具体的实施方式中，离子风棒120的容置腔1211的出风端1213呈鱼尾形。如图2所示，离子风棒120的出风端1213可以呈鱼尾形，这样出风端1213的内径逐渐向外扩大，且容置腔1211为流线型腔壁，容置腔1211的出风端1213吹出的清洁空气逐步向外扩散，清洁空气分散的较为均匀，并且出风速率高，可保证带电荷清洁空气能够吹送至基板表面。

如图2所示，为了进一步提高离子风棒120的工作效率，离子风棒120的容置腔1211的进风端1212可以具有至少两个，且进风端1212的延伸方向与离子针122的长度方向相互垂直。离子风棒120的进风端1212周围均为风机过滤机组110的出风口116内的清洁空气，并且容置腔1211的出风端1213的内径大于进风端1212的内径，因而为了提高进风端1212的进风均匀性和进风效率，可以设置多个进风端1212，这多个进风端1212可以相互对称，也可以沿着容置腔1211的周向均匀分布，以使离子风棒120周围的清洁空气均能通过进风端1212进入容置腔1211，并且多个进风端1212可提高离子风棒120的进风效率和进风量，从而可提高离子风棒120的出风端1213的出风效率和出风量，保证从出风端1213吹出的带电荷清洁空气具有足够的覆盖范围和空气压力。例如，进风端1212可以为两个，这两个进风端1212可以相对设置，两个方向进入的清洁空气共同汇聚在离子风棒120的容置腔1211内，并经离子针122电离为带电离子。

进风端1212的延伸方向，也就是进风端1212的开口方向可以与离子针122的长度方向垂直，这样离子风棒120的内部气流通道(包括进风端1212以及位于离子针122和容置腔1211之间的空间)整体呈弯折的通道，因而从进风端1212进入的气压、流速较高的清洁空气不会直接朝向离子针122流动，而是在离子风棒120的内部迂回前进。此时，即使出风口116各部位的气流速度和压力具有较大差异，通过离子风棒120内部弯折的气流通道后，气流的速度和压力也会趋同。这样将现有技术中离子风棒的直接出风方式改为间接出风方式，能够平衡不同部位的气流速度和压力，让由气体过滤装置100不同部位吹出的气流具有较为接近的速度和气流压力，提高良品率。

为了进一步提高气体过滤装置100的出风覆盖范围，使其灵活性和实用性更强，气体过滤装置100还可以包括多个可调基座，可调基座与离子风棒120一一对应设置，且可调基座第一端与离子风棒120连接，可调基座第二端固定在出风口116内；可调基座的第一端用于相对于第二端偏转，以使离子风棒120的指向与出风口116的出风方向之间具有可调的夹角。

在风机过滤机组110的出风口116上可以设置有多个可调基座，多个可调基座与多个离子风棒120一一对应，通过可调基座将离子风棒120安装在出风口116上，并且，离子风棒120可相对于可调基座转动，以使离子风棒120的出风方向可调整。具体的，可调基座的第一端可以和离子风棒120连接，可调基座的第二端固定在出风口116内，而其第一端可以相对于第二端偏转，则离子风棒120可相对于出风口116转动，那么，离子风棒120的出风端1213则可以相对于出风口116的出风方向发生偏转，从离子风棒120的出风端1213吹出的气流的流向可以调整，这可扩大从离子风棒120吹出的带电荷清洁空气的覆盖范围，使带电荷空气可更快速的向周围空间扩散，并且可根据不同需求，使气体过滤装置100吹出的带电荷清洁空气在其不同方向上集中并向外扩散，提高气体过滤装置100的灵活性和实用性。例如，位于出风口116边缘部位的可调基座可以朝出风口116的外侧偏转，从而设置于这些可调基座上的离子风棒120的出风端1213即向外偏转，这样即可扩大所有离子风棒120吹出的带电荷清洁空气的覆盖范围。

在一种具体的实施方式中，出风口上可以开设有螺纹孔，可调基座的第二端外壁上设置有与该螺纹孔相匹配的外螺纹，可调基座的第二端通过螺纹连接的方式固定在出风口上；而可调基座的第一端和第二端可以通过转轴连接，这样可调基座的第一端可相对于第二端转动，从而连接在可调基座的第一端的离子风棒120的出风方向可以发生偏转。

可选的，气体管道111的进风口115的横截面积可以调节。气体管道111的进风口115的横截面积可调节，则风机过滤机组110的进风速率和进风量可调节，进风口115的横截面积较小，由进风口115进入气体管道111中的外界空气的流速及压力较大，从出风口116进入离子风棒120的进风端1212，并由离子风棒120的出风端1213吹出的带电荷清洁空气的流速及压力也较大；反之，进风口115的横截面积较大，则由进风口115进入气体管道111中的外界空气的流速及压力较小，从而经出风口116的离子风棒120吹出的带电荷清洁空气的流速及压力也较小。因而，可根据实际需求调节气体管道111的进风口115的横截面积。

可选的，第一过滤组件113可以包括至少一个第一滤网，第二过滤组件114可以包括至少一个第二滤网，第一滤网的滤孔大小可以大于第二滤网的滤孔大小。如图1所示，本实施例中，第一过滤组件113可以为一个第一滤网，或者第一过滤组件113可以为多个第一滤网层叠而成；第二过滤组件114可以为一个第二滤网，或者第二过滤组件114可以为多个第二滤网层叠而成。外界空气通过第一过滤组件113时，空气中的尺寸大于第一滤网的滤孔尺寸的异物不能通过第一滤网，这是对外界空气的第一级过滤；经过第一过滤组件113过滤的空气再通过第二过滤组件114，空气中的尺寸大于第二滤网的滤孔尺寸的异物不能通过第二滤网，这是对外界空气的第二级过滤。其中，第二滤网的滤孔尺寸小于第一滤网的滤孔尺寸，对于尺寸小于第一滤网的滤孔尺寸而大于第二滤网的滤孔尺寸的异物，其可以通过第一滤网而不能通过第二滤网，也就是说，第二过滤组件114能够对经第一过滤组件113过滤的外界空气进一步过滤，经两级过滤组件过滤的外界空气具有更高的清洁度，进而能够更好的改善气体过滤装置100所在的空间环境，提高基板的洁净度。

图4为本发明实施例提供的另一种气体过滤装置的结构示意图。如图4所示，为了提高风机过滤机组110的出风速率，提高从风机过滤机组110的出风口116进入离子风棒120的清洁空气的流速和压力，风机过滤机组110中的风机112可以为多个，且多个风机112可以沿与出风方向垂直的方向并排排列在气体管道111内。根据气体管道111的具体结构，可以设置多个风机112，多个风机112垂直于出风方向并排排列，这样多个风机112可以进一步提高气体管道111内的空气压力，使气体管道111内流向风机过滤机组110的出风口116的清洁空气的压力更大、流速更快，进而可提高从出风口116内的离子风棒120的进风端1212进入离子风棒120的清洁空气的压力和流速，使离子风棒120更高效的对清洁空气进行电离，并且从离子风棒120吹出的带电荷清洁空气的流速更快、流量更大，这样气体过滤装置100的效率更高，对确保基板表面洁净度及消除基板表面静电电荷更有保障。

本实施例提供的气体过滤装置，包括风机过滤机组和多个离子风棒；风机过滤机组包括风机、气体管道、第一过滤组件和第二过滤组件，风机、第一过滤组件和第二过滤组件均设置在气体管道内，且第一过滤组件、风机和第二过滤组件沿气体管道的出风方向依次设置，气体管道的进风口用于吸入外界空气，离子风棒设置在气体管道的出风口，第一过滤组件和第二过滤组件用于将进风口吸入的外界空气过滤为清洁空气，离子风棒用于将由出风口吹出的清洁空气电离为带有电荷的空气。通过风机过滤机组可吸入外界空气并将其过滤为清洁空气，外界空气由进风口进入气体管道，经过第一过滤组件和第二过滤组件的两级过滤成为清洁空气，风机可提高空气压力，出风口设置的多个离子风棒同时对出风口吹出的压力较高的清洁空气进行电离，可形成大量带有正负电荷的清洁空气，带电荷的清洁空气的覆盖范围较广且分布较为均匀，其可有效中和基板表面各部位的静电电荷，对基板表面静电电荷的去除效果较好。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种气体过滤装置，其特征在于，包括风机过滤机组和多个离子风棒；所述风机过滤机组包括风机、气体管道、第一过滤组件和第二过滤组件，所述风机、所述第一过滤组件和所述第二过滤组件均设置在所述气体管道内，且所述第一过滤组件、所述风机和所述第二过滤组件沿所述气体管道的出风方向依次设置，所述风机为轴流风机，所述气体管道的进风口用于吸入外界空气，所述离子风棒设置在所述气体管道的出风口，所述第一过滤组件和所述第二过滤组件用于将所述进风口吸入的外界空气过滤为清洁空气，所述离子风棒用于将由所述出风口吹出的所述清洁空气电离为带有电荷的空气。

2.根据权利要求1所述的气体过滤装置，其特征在于，还包括挡板，所述挡板盖设在所述出风口上并封闭所述出风口与所述离子风棒之间的间隙，以使所述出风口吹出的所述清洁空气经由所述离子风棒排出。

3.根据权利要求2所述的气体过滤装置，其特征在于，所述出风口的截面为矩形，多个所述离子风棒沿所述出风口的长度方向和宽度方向呈矩阵式排列。

4.根据权利要求1-3任一项所述的气体过滤装置，其特征在于，所述离子风棒包括壳体和离子针；

所述壳体具有两端开口的容置腔，所述容置腔的一端开口朝向所述第二过滤组件并形成进风端，另一端开口背离所述第二过滤组件并形成出风端，所述离子针设置在所述容置腔内，且所述离子针的第一端与所述容置腔的进风端相对固定，所述离子针的第二端向所述容置腔的出风端伸出；所述容置腔的出风端的内径大于所述容置腔的进风端的内径。

5.根据权利要求4所述的气体过滤装置，其特征在于，所述容置腔的出风端的横截面积沿所述进风端至所述出风端的方向逐渐增大，且所述容置腔具有流线型腔壁。

6.根据权利要求4所述的气体过滤装置，其特征在于，所述容置腔的进风端具有至少两个，且所述进风端的延伸方向与所述离子针的长度方向相互垂直。

7.根据权利要求1-3任一项所述的气体过滤装置，其特征在于，还包括多个可调基座，所述可调基座与所述离子风棒一一对应设置，且所述可调基座第一端与所述离子风棒连接，所述可调基座第二端固定在所述出风口内；所述可调基座的第一端用于相对于第二端偏转，以使所述离子风棒的指向与所述出风口的出风方向之间具有可调的夹角。

8.根据权利要求1-3任一项所述的气体过滤装置，其特征在于，所述进风口的横截面积可以调节。

9.根据权利要求1-3任一项所述的气体过滤装置，其特征在于，所述第一过滤组件包括至少一个第一滤网，所述第二过滤组件包括至少一个第二滤网，所述第一滤网的滤孔大小大于所述第二滤网的滤孔大小。

10.根据权利要求1-3任一项所述的气体过滤装置，其特征在于，所述风机为多个，且多个所述风机沿与所述出风方向垂直的方向并排排列在所述气体管道内。