CN109791910B - 用于将至少部分铁磁性的电子元件从载体非接触式地转移至基板的装置和方法 - Google Patents

用于将至少部分铁磁性的电子元件从载体非接触式地转移至基板的装置和方法 Download PDF

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Abstract

根据本发明的装置和方法用于使用磁性组件将铁磁性的电子元件从载体转移到基板。磁性组件被设计和布置成有助于将至少部分铁磁性的电子元件正确地定位在基板上。由磁性组件产生的磁场产生了从载体朝向基板定向的磁力，所述磁力有助于元件从载体转移到基板，使得与不采用所述磁力的转移相比，实现了元件的定位准确度的显著提高。

Description

用于将至少部分铁磁性的电子元件从载体非接触式地转移至 基板的装置和方法
技术领域
本文将描述一种用于将至少部分铁磁性(at least partly ferromagnetic)的电子元件从载体非接触式地转移至基板的预定的座(place)上的装置和方法。装置和方法的各方面在说明书和附图及权利要求中均已定义。
背景技术
背景
当转移电子元件时，尤其是转移晶粒时，并且尤其是当转移单个电子元件时，通常存在这样的问题：在电子元件经受连续的小型化时，对将电子元件从载体转移到基板的放置准确度的要求会不断增加。
非接触式转移电子元件的方法是有利的，这不仅出于对晶粒生产中对无污染制造技术的特别高的要求的考虑,还出于与制造过程相关的时间效率的原因。然而，由于元件在目标基板上的放置太不精确，因此无法建立用于电子元件的非接触式组装的方法。
现有技术
具有至少部分铁磁性的电子元件在现有技术中是已知的，例如具有所谓NI/AU(镍/金)连接面(凸起)的晶粒。
此外，对凸起的连接面进行大规模的金属化层取代的方法是已知的，例如，所述方法与RFID晶粒相关。在这种情况下，存在使用例如镍作为金属化层的铁磁成分。
US 8,119,427 B1公开了一种装置和方法，用于通过磁体来将LED暂时固定在预期位置，与此同时并行执行其它工作步骤，尤其是用环氧树脂来对封闭LED的工件进行填充的步骤。
JP 2006,31387 1A公开了借助于元件的磁性在中间载体或基板上调整电子元件的装置和方法。
US 3,918,146 A示出了用于将至少部分铁磁性的电子元件从分发载体转移至接收基板的装置，其中所述装置包括：用于所述分发载体的第一保持固定装置，所述分发载体构造和布置成将至少部分铁磁性的电子元件保持在所述分发载体的面对所述接收基板的一侧；用于所述接收基板的第二保持固定装置，所述接收基板构造和布置成在接收基板上的为此预定的座处接收所述电子元件中的一个，并且其中所述第一保持固定装置位于距第二保持固定装置的预定距离处；以及脱离单元，其构造和布置成每个情况下至少支持所述元件中的一个从所述分发载体脱离，以使所述电子元件转移至所述接收基板；以及磁性装置，所述磁性装置相对于用于所述接收基板的所述第二保持固定装置定位，使得由所述磁性装置产生的磁场至少在转移所述电子元件的期间对所述电子元件施加从所述分发载体指向所述接收基板的磁吸引力，其中，所述吸引力至少支持将所述电子元件放置到所述接收基板上的为此预定的所述座上。
US 2011/0291302涉及一种具有以下步骤的方法：在载体上产生结构，其中所述结构适于将其上的电子元件对齐，使得所述电子元件能够相对于所述结构实现所需的目标位置；使用材料涂覆结构以形成液体弯液面，其中所述液体弯液面适于至少部分地接收所述电子元件；在所述电子元件的递送点处提供携带多个电子元件的保留区，至少将具有所述结构的载体移动到所述递送点附近并与其相对；通过所述递送点将电子元件的其中一个无接触地递送，同时将载体上的结构如此靠近所述递送点定位，使得所述电子元件在离开所述保留区之后不被任何机械装置机械地保持或引导，从而在自由阶段之后电子元件至少部分地接触所述材料；将具有所述结构的载体移动到下游处理点，同时所述电子元件在液体弯液面上与所述结构本身自对齐以实现其目标位置，所述电子元件通过至少部分地保留在所述结构和电子元件之间的材料来与所述载体的结构连接。激光光源位于递送点，用于通过递送点启动其中一个元件的无接触递送。
发明内容
问题
本发明的目的在于提供一种用于将至少部分铁磁性的电子元件以高精确度和高速的方式从载体非接触式地转移至基板的装置和方法。
提出的方案
为了实现这一目的，提出用于将至少部分铁磁性的电子元件从载体非接触式转移至基板的装置。本文的装置包括用于所述分发载体的第一保持固定装置，所述分发载体构造和布置成将至少部分铁磁性的电子元件保持在所述分发载体的面对所述接收基板的一侧；
用于所述接收基板的第二保持固定装置，所述接收基板构造和布置成在接收基板上的为此预定的座处接收所述电子元件中的一个，并且其中所述第一保持固定装置位于距第二保持固定装置的预定距离处；以及脱离单元，其构造和布置成每个情况下至少支持所述元件中的一个从所述分发载体脱离，以使所述电子元件转移至所述接收基板；以及
磁性装置，所述磁性装置相对于用于所述接收基板的所述第二保持固定装置定位，使得由所述磁性装置产生的磁场至少在转移所述电子元件的期间对所述电子元件施加从所述分发载体指向所述接收基板的磁吸引力，
其中，所述吸引力至少支持将所述电子元件放置到所述接收基板上的为此预定的所述座上，其特征在于，
用于使与所述分发载体连接的所述电子元件从所述分发载体脱离的所述脱离单元是强度可控的激光器，以及
设置具有一个或多个可移动镜子的镜子装置以及至少一个镜子定位致动器，其中所述镜子定位致动器适配成移动和/或旋转所述镜子装置的至少一个镜子以反射所述脱离单元发射的激光束，
第一致动器，其构造和布置成移动和/或旋转所述第一保持固定装置，和/或
第二致动器，其构造和布置成移动和/或旋转所述第二保持固定装置，具有内存功能的至少一个可编程控制单元，其构造成控制所述第一致动器和/所述的第二致动器，以及
在每种情况下，对所述镜子装置的每个镜子定位致动器进行彼此独立的控制。
性能，优点和变形
本文公开和要求的装置和已知的非接触转移方法相比，在精确度上有显著的提高。由于本发明的装置，不再需要与至少部分铁磁性的元件进行物理接触来将其精确定位在基板上。一些金属在室温下总是具有铁磁性。这些金属例如是铁、镍或钴。大多数电子元件至少部分地包括镍。还可以在电子元件的制造中有目的地添加镍，以产生铁磁性质。与类似精确度的已知方法相比，因为不再需要移动机械定位工具，所以显著提高了元件相关的转移速度。本装置均能够实现高转移速度和高放置精确度。
取决于实施例变形，磁性装置可以是非常简单的磁性装置(在最简单的情况下是单个永磁体)也可以是由控制单元通过它们的电源彼此独立控制的几个电磁体的复杂磁性装置。因此，从载体到基板的传输路径也可以不被重力改变。也可以组合永磁体和电磁体。
在一个变形中，至少在限定的区域内，磁性装置的磁体分别通过磁体调节或定位装置移动和/或旋转。
在一个变形中，元件通过热失活型粘合剂连接至载体。这允许使用这样的装置，其中用于从载体脱离元件的脱离单元是强度可控的热源，特别是激光器。
在一个变形中，元件通过能够受到UV(紫外线)辐射而降低粘合力的粘合剂而连接在载体上。激光器构造并布置成使得元件上的粘合剂的中间边界层蒸发来使元件脱离。
在一个变形中，在分发载体和激光器之间定位有遮蔽物。该遮蔽物构造和布置成使激光束的几何结构适配位于载体上的元件的基部区域。
用所述激光器作为固定的脱离单元，只有由脱离单元发射的激光束被镜子装置反射到预定的座上。在这种情况下，镜子装置由一个或多个镜子组成，每个所述镜子构造和布置成通过镜子定位致动器而至少在限定区域中移动和/或旋转。
在一个变形中，用于载体的保持固定装置构造和布置成通过第一致动器而至少在一定区域中移动和/或旋转。
在一个变形中，用于基板的保持固定装置构造和布置成通过第二致动器而至少在一定区域中移动和/或旋转。
在其它示例性实施例中，用于基板的保持固定装置也可以是组装线，尤其是传送带，为了定位一个或多个铁磁性电子元件，在所述组装线，尤其是所述传送带上相继或连续地引导多个基板单元通过载体。
在一个变形中，用于基板的第二保持固定装置构造和布置成使基板相对于分发载体的第一保持固定装置相继或连续地移动，其中所述基板具有用于接收元件的多个预定的座。在这种情况下，引导基板在支承件上被引导，所述支承件从基板背向元件的一侧支承基板，从而有助于元件的精确定位。磁性装置的至少一部分也可以至少部分地容纳或集成在为此设置的支承件的接收装置中。本文中的支承件不具有铁磁性，相反，支承件是非磁性的并且是导磁性的。
在另一个变形中，磁性装置可以通过适于此的磁体保持件来定位在支承件之下。在一个变形中，至少在限定的区域内，磁性装置的磁体分别通过磁体调节或定位装置而能够移动和/或旋转。尤其是，至少在限定的区域内，磁性装置和磁体保持件作为整体而通过磁体调节或定位装置进行移动和/或旋转。例如，磁体保持件能够形成为可旋转和/或可移动的支承臂。
在一个变形中，基板构造和布置成从第一辊渐渐地或连续地移动至第二辊并且在该过程中在支承件上被引导。在这种情况下，在由辊带动基板通过固化站之前，可以对晶粒进行固化，特别是通过热压或通过压力和/或UV光固化，在固化站位置基板的传送速度可以与晶粒脱离时的基板的速度脱钩(decouple)。
在一个变形中，装置包括第一传感器，尤其是成像传感器，其构造和布置成直接确定元件在载体上的位置和/或通过检测相对于元件而具有已知几何位置的参考标记物来确定元件在载体上的位置。
由于装置设置有作为热源的激光器和所述镜子装置，第一传感器，在该变形中特别是光学传感器，使用与激光器相同的光束路径。
在一个变形中，装置包括第二传感器，尤其是成像传感器，其构造和布置成直接确定元件在基板上的位置和/或通过检测相对于元件的规定定位点而具有已知几何位置的参考标记物来确定元件在基板上的位置。
在一个变形中，装置包括具有内存功能的可编程控制单元(电子控制单元/ECU)，其构造和布置成评估和存储来自传感器的信息。通过传感器信息和参考标记物辅助设备的存储位置数据以及外部提供或存储的包含待转移元件的选择的信息，ECU辅助对两个保持固定装置的致动器、定位致动器、脱离单元的强度、镜子定位致动器、磁体调节或定位装置以及电磁体的电源进行控制，所述电磁体的电源独立于彼此。
公开并要求保护一种用于将至少部分铁磁性的电子元件从载体转移至基板的方法。
所述方法包括-在所述分发载体的面对所述接收基板的一侧提供至少部分铁磁性的电子元件；
-通过距用于所述接收基板的第二保持装置预定距离的第一保持固定装置并相对于用于所述电子元件的脱离单元而将所述分发载体定位；
-在每个情况下，至少通过所述脱离单元来支持所述电子元件中的一个从所述分发载体的脱离，以将各个所述电子元件从所述分发载体转移至所述接收基板上的为此预定的座上，其中所述脱离单元是用于使连接到所述分发载体的所述电子元件从所述分发载体脱离的强度可控的激光器；
-提供具有一个或多个可移动镜子的镜子装置和至少一个镜子定位致动器；以及
-通过所述镜子定位致动器使所述镜子装置的至少一个镜子移动和/或旋转以反射所述脱离单元发射的激光束；
-通过磁吸引力来吸引至少部分铁磁性的电子元件，所述磁吸引力通过磁场施加在所述电子元件上，其中所述磁场由磁性装置产生，所述磁性装置相对于处于所述第二保持固定装置中的接收基板定位，使得所述磁吸引力至少支持所述电子元件放置在所述接收基板上的为此预定的座上；
-在所述接收基板上的为此预定的座处接收所述电子元件，所述接收基板由所述第二保持固定装置定位；
其中，通过第一致动器来移动或旋转所述第一保持固定装置(4)，和
其中，通过第二致动器来移动或旋转所述第二保持固定装置(5)，进一步包括使用具有内存功能的至少一个可编程控制单元，来控制所述第一致动器和所述第二致动器，和在每种情况下，对每个镜子定位致动器进行彼此独立的控制。
磁场由磁性装置产生。取决于实施例变形，磁场同样可以由非常简单的磁性装置(在最简单的情况下是单个永磁体)产生，也可以由控制单元彼此独立控制的几个电磁体的复杂磁性装置产生。也可以是永磁体和电磁体的组合。
在一个变形中，一个或多个电磁体经由电源控制，所述电磁体可以与一个或多个其它电磁体分开调节。转移路径由此实现并且不被重力改变。
方法的一个变形是采用具有不同强度的多个永磁体或电磁体的装置或采用不同控制的多个电磁体的装置，这些装置产生不均匀的磁场。这抵消了在转移过程中元件的例如通过元件从粘合剂薄膜的不均匀脱离而触发的旋转。
在一个变形中，至少在限定的区域内，磁性装置的各个磁体通过磁体调节或定位装置移动和/或旋转。
所述元件通过热失活型粘合剂连接至所述载体，而所述元件从所述载体的脱离通过强度可控的激光器来进行。
在一个变形中，元件通过能够受到UV辐射而降低粘合力的粘合剂而连接在载体上。可控的激光器的强度通过使得所述元件上的粘合剂的中间边界层蒸发来使所述元件从载体脱离。
在一个变形中，在分发载体和激光器之间定位有遮蔽物。该遮蔽物使激光束的几何结构适配位于载体上的元件的基部区域。
用所述激光器作为固定的脱离单元，只有由脱离单元发射的激光束被可移动的镜子装置反射到预定的座上。在这种情况下，镜子装置由一个或多个镜子组成，每个所述镜子通过镜子定位致动器而至少在限定范围内移动和/或旋转。
在一个变形中，方法包括第一传感器，尤其是成像传感器，其直接确定元件在载体上的位置和/或通过检测相对于元件而具有已知几何位置的参考标记物来确定元件在载体上的位置。
在为该方法设置有作为热源的激光器和镜子装置的一种变形中，第一传感器，在该变形中特别是光学传感器，使用与激光器相同的光束路径。
在一个变形中，装置包括第二传感器，尤其是成像传感器，其直接确定元件在基板上的位置和/或通过额外检测相对于元件的所规定定位点而具有已知几何位置的参考标记物来确定元件在基板上的位置。
在一个变形中，装置包括具有内存功能的可编程控制单元(电子控制单元/ECU)，其评估和存储来自传感器的信息。通过传感器信息和参考标记物辅助设备的存储位置数据以及外部提供或存储的包含待转移元件的选择的信息，ECU对两个保持固定装置的致动器、脱离单元的强度、镜子定位致动器、磁体调节或定位装置以及电磁体的电源进行控制，所述电磁体的电源独立于彼此。
附图说明
图1是具有激光器和单个永磁体的装置的示例性实施例的示意图；
图2是具有定位激光器和具有几个电磁体的装置的装置的示例性实施例的示意图，其中所述电磁体通过它们的电源来受控；
图3是具有固定激光器、定位镜和具有几个部分定位电磁体的装置的装置的示例性实施例的示意图，其中所述电磁体通过它们的电源来受控；
图4是以电路框图示出的控制系统的示意图。
具体实施方式
图1示出的装置(以横截面的方式)示意性地示出了叉型保持固定装置4，其均通过一个保持夹仅在两个相对的接触点将夹环固定而将位于夹环中的晶圆薄片2拾取。其上安装有元件1的晶圆薄片2的前侧和相对的后侧都不被叉形保持固定装置4遮蔽。
在图1示出的变形中，至少部分铁磁性的电子元件1是具有所谓镍\金连接面的晶粒。
下面描述为晶粒的元件1位于晶圆薄片2的前侧并通过热失活型粘合剂薄膜11(“热失粘胶带”)而连接于晶圆薄片2。
在其它实施例中，在半导体技术的制造步骤中采用的电子元件的所有其它类型的载体能够用来替代本文中采用的晶圆薄片2。电子元件能够通过粘合剂尤其是热失活型粘合剂来连接到各自的载体，但是这在每个实施例中都不是必需的。在一个实施例中，在电子元件和晶圆薄片之间的边界层能够蒸发。
在一个实施例中，还可以通过UV辐射来减小粘合剂薄膜对晶粒的粘合力，其中与这相关的热量输入完全去除粘合。
其它实施例也可以包含通过不同连接技术来完全或至少部分地沿晶圆薄片或载体的外边缘而固定晶圆薄片或载体的保持固定装置或保持件。实施例也可以通过不定位在晶圆薄片或载体的外边缘上的接触点来额外或专门地与晶圆薄片或载体接触。在其它的实施例中，可以通过保持固定装置或保持件来部分地遮蔽晶圆薄片或载体的至少一侧。
在图1示出的实施例中，叉型保持固定装置4通过致动器12而至少在一个工作区域的空间中自由移动，其中这里的致动器12包括三维可旋转电动直线驱动器，所述驱动器通过电控单元(ECU)18受控。致动器12还包括同样通过ECU18受控的电机，所述电机通过旋转保持夹而使得晶圆薄片2至少旋转一定角度，所述保持夹用于固定晶圆薄片2的夹环。由此，晶圆薄片2可以倾斜。最后，本文描述的致动器12包括同样通过ECU 18受控的机电元件，所述机电元件实现保持夹的开合。
在其它实施例中，可以采用多个其它致动器并可以替代或补充电动直线驱动器和电机或机电元件，特别是用液压或气动致动器或其它机电元件进行替代或补充。在这里并未在所有实施例中实现所有三个空间维度中的移动自由度以及旋转晶圆薄片的可能性。
图1还示出了基板3，晶粒1被转移至所述基板3上。金属化层和粘合剂位于所述基板3上的为此设置的几个座6处，所述晶粒1均被转移到所述金属化层和粘合剂上。
在一个实施例中，设置在基板3上的座6可以是天线的天线连接对(antennaconnection pair)或导电粘合剂沉积物。
在其它实施例中，晶粒首先被转移到中间载体。在一个实施例中，基板是结构化且无粘合剂的中间载体。在一些实施例中，可以将几个晶粒并排地从晶圆薄片转移至基板上设置的座上。
图1还示出了类似于晶圆薄片2的叉型保持固定装置4的叉型保持固定装置5，所述叉型固定装置5均通过一个保持夹以仅在两个相对的接触点固定基板3的方式将基板3保持。其上设置有用于拾取的座6的基板3的前侧和相对的后侧都不被叉形保持固定装置5遮蔽。
其它实施例可以包括通过不同连接技术来沿基板的外边缘而完全或至少部分地固定基板的保持固定装置或保持件。实施例也可以通过不位于基板的外边缘的接触点来额外或专门地与基板接触。在其它的实施例中，可以通过保持固定装置或保持件来部分地遮蔽基板的至少一侧。
在一个变形中，基板构造和布置成从第一辊渐渐地或连续地移动至第二辊并且在该过程中被在支承件上被引导。在这种情况下，第二保持固定装置可以特别是辊对，其中辊对中的一个辊能够被伺服电动机驱动。
在图1示出的实施例中，类似于晶圆薄片2的叉型保持固定装置4的叉型保持固定装置5通过致动器13而在至少在一个工作区域的空间中自由移动，其中这里的致动器13包括三维可旋转电动直线驱动器，所述驱动器通过ECU 18受控。此外，致动器13包括同样经由ECU 18受控的电机。这通过旋转用于固定基板3的保持夹而使得基板3至少旋转一定角度。因此可以倾斜基板。最后，本文描述的致动器13包括同样通过ECU 18受控的机电元件，所述机电元件实现保持夹的开合。
在其它实施例中，可以采用多个其它致动器并可以替代或补充电动直线驱动器和电机或机电元件，特别是用液压或气动致动器或机电致动器进行替代或补充。在这里无法总是实现所有三个空间维度中的移动自由度以及旋转基板的可能性。
在图1的进一步说明中，假设至少在转移晶粒1的过程中，晶圆薄片2的前侧面向基板3的具有已制备的座6的一侧，无论所描述的保持固定装置4和5是否允许其它可能的布置。
图1也示出了用于将各个晶粒1从粘合剂薄膜11上脱离的激光器7，其强度能够受到ECU 18的控制。为此，激光器7照射在位于晶圆薄片2后侧的元件1对面的点上，从而产生可选的升高的温度。激光器7从而使得位于晶粒1和晶圆薄片2之间的粘合剂薄膜11的粘合性失活。
激光器7的特性允许单个晶粒1脱离而不会影响第二晶粒区域中的粘合剂薄膜11的粘合性能，使得同样可以将第二晶粒脱离。
固定地安装激光器7。在图1示出的仅用于理解的一个变形中，激光器7通过定位致动器10移动，其中定位致动器10包括电动直线驱动器，所述电动直线驱动器能够在三维空间中旋转并通过ECU18受控。由此，激光器7可以通过定位致动器10至少在一个工作区域中以任何方式定位。被额外地整合到定位致动器10并同样受控于ECU 18的电机允许激光器7沿着正交于发出的激光束的轴旋转至少一定角度。由此能够影响激光束在晶圆薄片2的后侧上的入射角度。由于晶圆薄片2能够如上所述同样地旋转，这样的功能对于避免以下情况是必要的，即激光束以过于平坦的角度投射到晶圆薄片上而无意地加热相邻的晶粒并使其脱离。
在其它实施例中，可以采用多个其它致动器并可以替代或补充电动直线驱动器和电机，特别是用液压或气动致动器以及机电致动器进行替代或补充。在这里无法总是实现所有三个空间维度中的移动自由度以及旋转脱离单元的可能性。
图1此外示出了直接位于设置的座6下方的固定永磁体8，所述永磁体8产生磁场9以对晶粒1施加磁力。该力吸引由于激光器7而从粘合剂薄膜11脱离的晶粒1，从而至少支持晶粒1定位在基板3上的为此设置的座6上。在这种情况下，晶粒1受到的磁力总是从晶圆薄片2指向基板。
图1进一步示出了两个照相机传感器14和16。照相机传感器14确定参考标记物15的位置并将该信息转发至ECU 18。由于参考标记物15的在晶圆薄片2上的几何位置和晶圆薄片2的旋转状态对ECU 18来说是已知的，ECU18因此也具有晶圆薄片2上的每个晶粒1的位置信息。
在另一实施例中，照相机传感器14直接确定晶粒1在晶圆薄片2的位置而不需要参考标记物。
在示出的示例性实施例中，仅将那些在前面的质量检测(不属于本文所述的装置的一部分)中合格的晶粒1从晶圆薄片2转移至基板3。这些检查合格的晶粒的列表及其在晶圆薄片2上的几何位置存储在ECU 18的存储器中。
照相机传感器16确定参考标记物17的位置以及用于转移的座6在基板3上的位置，并将该信息转发到ECU 18。由于参考标记物16的在基板3上的几何位置和基板3的旋转状态对ECU 18来说是已知的，ECU18因此也具有设置在基板3上的各个座6的位置信息。在当前的示例性实施例中，由于设置的座6能够直接被照相机传感器16检测到，在传送过程结束之后，通过相机传感器16来对晶粒1在设置在基板3上的座6上的正确定位进行质量检查。
在另一实施例中，质量检查专门由为此专门设置的另一照相机传感器进行。
图2示出了类似于图1的装配，并具有这样的改进，即三个电磁体的装置8*替代了永磁体8。
在另一实施例中，可以采用任何数量的电磁体和/或永磁体，尤其是单个磁体。
电磁体8*一起产生磁场9*以对晶粒1施加磁力。该力吸引由于激光器7而从粘合剂薄膜11脱离的晶粒1，使得至少支持晶粒1定位在基板3上的为此设置的座6上。
每个图2中示出的每个电磁体8*连接至电源22，电源22由ECU 18单独调节。
图3示出了类似于图2的装配，并具有两处变形(改进A和改进B)。
改进A：
在图3中，激光器7**是固定激光器。图3中示出的镜子20将指向它的激光束反射至晶圆薄片2的后侧的由ECU 18确定的点处。镜子20通过镜子定位致动器21而至少在一个工作区域的空间中自由移动，其中镜子定位致动器21包括三维可旋转、由ECU 18控制的电动直线驱动器。镜子定位致动器21进一步包括同样由ECU 18控制的电机，所述电机辅助镜子至少在一定角度上的旋转。
改进B：
在图3中，磁性装置8**替代了图2的磁性装置8*。磁性装置8**具有磁性装置8*的所有特点，但此外图3的磁性装置的一部分能够被磁体调节或定位装置19定位。
所示出的磁性装置8**的两个磁体分别通过磁体定位致动器19而至少在一个工作区域的空间中自由移动，其中每个磁体定位致动器19包括三维可旋转、由ECU 18控制的电动直线驱动器。此外，每个磁体定位致动器19进一步包括同样由ECU 18控制的电机，所述电机辅助各个磁体至少在一定角度上的旋转。
图4示出了逻辑电路图，其示意性地描述了ECU 18的信息输入和控制访问。所有参考标记均参考前面的图1至3及其描述。
上述装置的变形和其功能和操作方面仅用于能更好理解本发明的结构、运行模式和特性，并非用于将本发明的申请范围限定至示例性实施例。附图是部分示意图，其中部分地显著地放大了实质特性和效果，以阐明功能，有效组分，技术构造和特征。上述附图或上文中披露的各种运行模式、组分、技术构造及特征均能够以任意形式与本申请的所有权利要求项、上文及其它附图中的各特征、包含在本文中或可由本文推导出的其它运行模式、原理、技术构成及特征自由组合，以使所有可想到的组合与所描述的装置相关联。在这种情况下，文本中的所有单独实现之间的组合，即在说明书的每个部分之间的组合，在权利要求中和在文本中不同变体之间的组合，在权利要求中和在附图中的组合也被包括在内并且能够成为其它权利要求的主题。权利要求也不限制本公开，因此也不限制彼此示出的所有特征的组合可能性。这里也明确地单独公开了所有公开的特征并且这些公开的特征能够与所有其它特征组合。

Claims (15)

1.用于将至少部分铁磁性的电子元件从分发载体转移至接收基板的装置，其中所述装置包括：
用于所述分发载体的第一保持固定装置，所述分发载体构造和布置成将至少部分铁磁性的电子元件保持在所述分发载体的面对所述接收基板的一侧；
用于所述接收基板的第二保持固定装置， 所述接收基板构造和布置成在接收基板上的为此预定的座处接收所述电子元件中的一个，并且其中所述第一保持固定装置位于距第二保持固定装置的预定距离处；以及
脱离单元，其构造和布置成每个情况下至少支持所述电子元件中的一个从所述分发载体脱离，以使所述电子元件转移至所述接收基板；以及
磁性装置，所述磁性装置相对于用于所述接收基板的所述第二保持固定装置定位，使得由所述磁性装置产生的磁场至少在转移所述电子元件的期间对所述电子元件施加从所述分发载体指向所述接收基板的磁吸引力，
其中，所述吸引力至少支持将所述电子元件放置到所述接收基板上的为此预定的所述座上，其特征在于，
用于使与所述分发载体连接的所述电子元件从所述分发载体脱离的所述脱离单元是强度可控的激光器，以及
设置镜子装置, 所述镜子装置具有一个或多个可移动镜子以及至少一个镜子定位致动器，其中所述至少一个镜子定位致动器适配成移动和/或旋转所述镜子装置的至少一个镜子以反射所述脱离单元发射的激光束，
具有内存功能的至少一个可编程控制单元，
其中，所述装置还包括：
第一致动器，其构造和布置成移动和/或旋转所述第一保持固定装置，其中所述至少一个可控制编程单元构造成控制所述第一致动器和在每种情况下对所述镜子装置的所述至少一个镜子定位致动器的每个进行彼此独立的控制，和/或
第二致动器，其构造和布置成移动和/或旋转所述第二保持固定装置，其中所述至少一个可控制编程单元构造成控制所述第二致动器和在每种情况下对所述镜子装置的所述至少一个镜子定位致动器的每个进行彼此独立的控制。
2.根据权利要求1的所述装置，其中：
所述磁性装置包括一个或多个永磁体和/或电磁体，和/或
进一步包括至少一个磁体调节或定位装置，所述磁体调节或定位装置构造和布置成移动和/或旋转磁性装置的至少一个磁体。
3.根据权利要求1的所述装置，其中：
用于所述接收基板的所述第二保持固定装置构造并布置成相对于用于所述分发载体的第一保持固定装置相继或连续地移动所述接收基板，其中
所述接收基板具有用于接收电子元件的多个预定的座。
4.根据权利要求3的所述装置，其中：
所述接收基板的背向所述电子元件的一侧由所述第二保持固定装置在支承件上引导。
5.根据权利要求3或4的所述装置，其中：
所述磁性装置至少部分地定位在为此设置的支承件的接收装置中。
6.根据权利要求1所述的装置，
进一步包括第一成像传感器，其构造和布置成直接确定所述电子元件在所述分发载体上的位置和/或通过检测参考标记物来确定所述电子元件在所述分发载体上的位置，和/或
进一步包括第二成像传感器，其构造和布置成直接确定所述电子元件在所述接收基板上的位置和/或通过检测参考标记物来确定所述电子元件在所述接收基板上的位置。
7.根据权利要求6所述的装置，所述至少一个可编程控制单元还构造成
评估和/或存储所述第一成像传感器的信息，和
评估和/或存储所述第二成像传感器的信息。
8.根据权利要求1所述的装置，所述至少一个可编程控制单元还构造成控制所述激光器的强度。
9.根据权利要求2所述的装置，
其中所述磁性装置包括所述一个或多个电磁体并且所述至少一个可编程控制单还构造成在每种情况下对所述一个或多个电磁体的每个的电源进行彼此独立的控制，和/或
其中所述装置还包括所述至少一个磁体调节或定位装置并且所述至少一个可编程控制单元还构造成在每种情况下对所述至少一个磁体调节或定位装置的每个进行彼此独立的控制。
10.用于将至少部分铁磁性的电子元件从分发载体转移至接收基板的方法，其中所述方法的特征在于以下步骤：
-在所述分发载体的面对所述接收基板的一侧提供至少部分铁磁性的电子元件；
-通过距用于所述接收基板的第二保持固定装置预定距离的第一保持固定装置并相对于用于所述电子元件的脱离单元而将所述分发载体定位；
-在每个情况下，至少通过所述脱离单元来支持所述电子元件中的一个从所述分发载体的脱离，以将各个所述电子元件从所述分发载体转移至所述接收基板上的为此预定的座上，其中所述脱离单元是用于使连接到所述分发载体的所述电子元件从所述分发载体脱离的强度可控的激光器；
-提供具有一个或多个可移动镜子的镜子装置和至少一个镜子定位致动器；以及
-通过所述镜子定位致动器使所述镜子装置的至少一个镜子移动和/或旋转以反射所述脱离单元发射的激光束；
-通过磁吸引力来吸引至少部分铁磁性的电子元件，所述磁吸引力通过磁场施加在所述电子元件上，其中所述磁场由磁性装置产生，所述磁性装置相对于处于所述第二保持固定装置中的接收基板定位，使得所述磁吸引力至少支持所述电子元件放置在所述接收基板上的为此预定的座上；
-在所述接收基板上的为此预定的座处接收所述电子元件，所述接收基板由所述第二保持固定装置定位；
其中，通过第一致动器来移动或旋转所述第一保持固定装置，和
其中，通过第二致动器来移动或旋转所述第二保持固定装置，
进一步包括使用具有内存功能的至少一个可编程控制单元，来
控制所述第一致动器和所述第二致动器，和在每种情况下，对每个镜子定位致动器进行彼此独立的控制。
11.根据权利要求10的所述方法，
其中所述磁性装置由一个或多个永磁体和/或电磁体制成，和/或
其中所述磁性装置的至少一个磁体由至少一个磁体调节或定位装置移动和/或旋转。
12.根据权利要求10所述的方法，
进一步包括使用第一成像传感器，来直接确定所述电子元件在所述分发载体上的位置和/或通过检测参考标记物来确定所述电子元件在所述分发载体上的位置，和/或
进一步包括使用第二成像传感器，来直接确定所述电子元件在所述接收基板上的位置和/或通过检测参考标记物来确定所述电子元件在所述接收基板上的位置。
13.根据权利要求12所述的方法，所述至少一个可编程控制单元还构造成
评估和/或存储所述第一成像传感器的信息，和
评估和/或存储所述第二成像传感器的信息。
14.根据权利要求10所述的方法，所述至少一个可编程控制单元还构造成控制所述激光器的强度。
15.根据权利要求11所述的方法，
其中由所述至少一个磁体调节或定位装置移动和/或旋转所述磁性装置的所述至少一个磁体并且所述至少一个可编程控制单元还构造成在每种情况下对所述至少一个磁体调节或定位装置的每个进行彼此独立的控制，和/或
其中所述磁性装置由所述一个或多个电磁体形成并且所述至少一个可编程控制单元还构造成在每种情况下对所述一个或多个电磁体的每个的电源进行彼此独立的控制。
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